SHADOW / OGLAV

Содержание.

Введение.......................................................................................

Глава 1. Многоуровневая металлизация. Проблема неровности профиля изоляционного слоя. 1.1. Многоуровневая металлизация в современных СБИС................................................................................. 1.2. Технология создания слоя металлизации в многоуровневых структурах............................................... 1.3. Анализ структуры после химико-механического полирования......................................................................

Глава 2. Метод уменьшения неровности профиля изоляционного слоя. 2.1. Метод снижения неровности поверхности................ 2.2. Структура процесса разработки фотошаблона......... 2.3. Этап коррекции фотошаблона.................................. 2.4. Общая характеристика средств описания топологии........................................................................

Глава 3. Алгоритм коррекции фрагмента топологии. 3.1. Общее описание алгоритма коррекции слоя металлизации.......................................................... 3.2. Описание алгоритма коррекции фрагмента.............. 3.2.1. Основные представления и понятия.................... 3.2.2. Общее описание алгоритма коррекции фрагмента..................................................................... 3.2.3. Детальное описание алгоритма...........................

Глава 4. Программная реализация алгоритма и результаты тестирования. 4.1. Общее описание программы.................................... 4.2. Тестовые примеры.................................................... 4.3. Временная оценка работы программы.....................

Глава 5. Организационно - экономический раздел. Расчет годового экономического эффекта от внедрения системы автоматической коррекции шаблонов БИС. 5.1. Общие положения..................................................... 5.2. Методика расчета годового экономического эффекта от внедрения САПР........................................... 5.3. Расчет годовой экономии......................................... 5.4. Расчет дополнительных капитальных вложений........ 5.5. Данные для расчета.................................................. 5.6. Расчет годового экономического эффекта и ожидаемых технико - экономических показателей.......... 5.7. Вывод.......................................................................

Глава 6. Раздел «Производственно-Экологическая безопасность». Электробезопасность в помещениях вычислительных центров. 6.1. Анализ вредных воздействий на организм человека при работе на ЭВМ .......................................... 6.2. Электроопасность при работе с ЭВМ....................... 6.3. Факторы влияющие на степень поражения электрическим током...................................................... 6.4. Медицинская помощь при поражении электрическим током....................................................... 6.5. Организационные и технические мероприятия по безопасности эксплуатации........................................ 6.6. Вывод.......................................................................

Заключение...................................................................................

Список используемой литературы.................................................

Приложение. Текст основных процедур, реализующих алгоритм.................................................................