Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Диплом Messir 2002г (отл) / polirovka / Список литературы

.doc
Скачиваний:
21
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
60.93 Кб
Скачать

Список литературы:

1. Чуканов С.В. Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня.: Диссертация на соискание уч.степ.канд.техн.наук: 05.27.06.

2. Технология СБИС Под ред. С. Зи. – М.: Мир, 1986. – Т.1.

3. Сагателян Г.Р., Шульга В.Г., Хохлов А.И. Минимизация формируемой на операции одностороннего полирования разнотолщинности тонких кремниевых пластин // Вестник МГТУ, Сер. Приборостроение, 1995, №3, с.109–120.

4. Работа “Модуль” Москва, НИИМВ, 1997г.

5. Хохлов А.И., Чуканов С.В., Шульга В.Г. Методы и оборудование для монтажа пластин кремния большого диаметра на технологическом этапе химико-механического полирования // Известия ВУЗов: Электроника, 1998, №4, с.37-41

6. Кузнецов С.М., Шевелькова Л.И., Сергеев С.А. Основные представления о классическом процессе формообразования //Формообразование оптических поверхностей /Под ред. К.Г.

7. Л.А.Константинова, И.И.Ларионов, В.М.Писеев “Методы и средства обеспечения безопасности технологических процессов на предприятиях электронной промышленности” М.МИЭТ, 1986г.

8. Каранеян В.И., Ушаков В.И., Дащинская Л.И., “Физиолого-гигиенические аспекты организации чистых производственных помещений” М.МИЭТ, 1986г.

9. Л.А. Константинова и др. Метододические указания по выполнению раздела “Охрана труда” в дипломном проекте для студентов МИЭТ/ под ред. В.И.Каракеян М.МИЭТ, 1988г.

10. В.И.Каракеян. “Токсикометрические характеристики материалов в технологии микроэлектроники” М.МИЭТ, 1992г

11. Л.А.Константинова, В.М.Писеев. Методические указания по выполнению раздела “Охрана окружающей среды” в дипломном проектировании под ред. В.И.Каракеян. М.МИЭТ,1988г.

12. А.Н.Пилишенко, В.Я.Лякса-Тиминский. Методические указания по выполнению курсовых работ по экономике и организации производства. Под ред. В.Я.Лякса-Тиминского М.МИЭТ, 1980г.

13. Ю.П.Анискин, В.Я.Лякса-Тиминский. Экономические проблемы научно-технического прогресса и методы расчета экономической эффективности. Учебное пособие. Под ред. А.В.Проскурякова М.МИЭТ, 1982г.

2

Соседние файлы в папке polirovka