Содержание.

стр.

Аннотация………….……………………………………………………….3

Введение……………………………………………….……...……………4

Глава 1. Химико механическое полирование пластин кремния большого диаметра………………………………………………………6

1. Факторы и основные показатели процесса химико-

механического полирования……………….………………6

2. Анализ технологических особенностей одностороннего

ХМП пластин кремния…………………………..…………..10

3. Аналитическое исследование погрешности формы пластин при ХМП…………………………………...…………18

Глава 2. Сравнительные характеристики оборудования для ХМП…………………………………………………………….………….25

2.1 Особенности и недостатки различных схем ХМП пластин кремния…………………………………………..………25

2.2 Методы и оборудование для монтажа пластин кремния…………………………………………………………………...31

2.3 Конструктивные особенности станка 16В4Р…………….43

Глава 3. Разработка технологии одностороннего ХМП пластин кремния на станке 16В4Р……………………………..………………48

3.1 Методика подготовки станка к проведению технологических процессов ХМП……………………………...48

3.2 Выбор схемы обработки и подбор технологических режимов……………………………………………………...………53

3.3 Методика проведения процессов ХМП…………….……..55

3.4 Результаты исследований………………………….………..58

Глава 4. Мероприятия по ПЭБ в процессах механической обработки кремниевых пластин…………………………….……….68

4.1 Опасные и вредные факторы, присутствующие на участке ХМП кремниевых пластин……………………………70

4.2 Мероприятия по устранению воздействия опасных и вредных факторов на персонал……………………………..….72

4.3 Охрана окружающей среды…………………………………75

4.4 Эргономические вопросы при ХМП………………………79

4.5 Расчет освещенности рабочего места……………………..80

Глава 5. Экономическое обоснование эффективности перехода к двухстороннему ХМП пластин Si на станке 16В4Р…….……..84

5.1 Исходные данные для расчета текущих затрат…….…..86

5.2 Расчет показателей экономической эффективности…..91

Выводы…………………………………………………………….……..95

Список литературы…………………………………………………….97

2