Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
20
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
60.93 Кб
Скачать

Таблица 3

Изменение режимов полирования в 3-х стадийном процессе химико-механического полирования пластин кремния.

п/п

Характеристика

Значения

Стадии процесса

I

II

III

1

Тип станка

SPEED FAM

59 SPAW

SPEED FAM

59 SPAW

SPEED FAM

59 SPAW

2

Тип полировальника

SUBA-800

SURFIN X-5

SURFIN 000

3

Полирующий состав

а) тип

COMPOL 50AD

COMPOL 50AD

GLANZOX 3900RS

б) размер частиц

мкм

0.02–0.12

0.02 – 0.12

0.05

в) pH среды

10.8–11.2

10.8 – 11.2

10.8 – 11.2

4

Давление, г/см2

200 – 400

150 – 200

50 – 100

5

Скорость вращения полировальника, об/мин

60 – 63

40 – 63

40 – 63

6

Скорость съема, мкм/мин

0.8 – 1.0

0.4 – 0.5

0.1 – 0.2

7

Температура полирования, 0С

38 – 42

32 – 35

28 – 30

Соседние файлы в папке polirovka