Диплом Messir 2002г (отл) / polirovka / Таблица 3
.doc
Таблица 3
Изменение режимов полирования в 3-х стадийном процессе химико-механического полирования пластин кремния.
|
№ п/п |
Характеристика |
Значения |
||
Стадии процесса |
||||
|
I |
II |
III |
||
|
|
|
|
|
|
|
1 |
Тип станка |
SPEED FAM 59 SPAW |
SPEED FAM 59 SPAW |
SPEED FAM 59 SPAW |
|
2 |
Тип полировальника |
SUBA-800 |
SURFIN X-5 |
SURFIN 000 |
|
3 |
Полирующий состав а) тип |
COMPOL 50AD |
COMPOL 50AD |
GLANZOX 3900RS |
|
|
б) размер частиц мкм |
0.02–0.12 |
0.02 – 0.12 |
0.05 |
|
|
в) pH среды |
10.8–11.2 |
10.8 – 11.2 |
10.8 – 11.2 |
|
|
|
|
|
|
|
4 |
Давление, г/см2 |
200 – 400 |
150 – 200 |
50 – 100 |
|
5 |
Скорость вращения полировальника, об/мин |
60 – 63 |
40 – 63 |
40 – 63 |
|
6 |
Скорость съема, мкм/мин |
0.8 – 1.0 |
0.4 – 0.5 |
0.1 – 0.2 |
|
7 |
Температура полирования, 0С |
38 – 42 |
32 – 35 |
28 – 30 |