Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
19
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
79.87 Кб
Скачать

Таблица 1.

Основные параметры пластин кремния, предназначенных для изготовления СБИС и ССИС

Топологическая норма

Параметры

2.0 мкм

1.0 – 0.8 мкм

0.5 мкм

1. Диаметр и его допуск, мм

1000,5

1500,3

2000,2

2. Коробление, не более, мкм

40

25

20

3. Локальная неплоскостность, не более, мкм, на участке:

  • 10 х 10 мм

  • 20 х 20 мм

2,0

---

1,2

0,8

---

0,5

4. Качество поверхности (HAZE, ppm), не более, ат/см2

1,2

0,6

0,2

5. Ионные загрязнения на поверхности, не более, ат/см2

5 1013

1 1012

8 1010

6. Частицы на поверхности, не более, шт., с размером:

  • 0.3 мкм

  • 0.25 мкм

100

---

20

---

---

10

7. Окислительные дефекты упаковки, не более,см-2

2 102 -5 102

5 101

2 101 -5 101

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Оставленные комментарии видны всем.

Соседние файлы в папке polirovka