Топологическая норма

Параметры

2.0 мкм

1.0 – 0.8 мкм

0.5 мкм

1. Диаметр и его допуск, мм

1000,5

1500,3

2000,2

2. Коробление, не более, мкм

40

25

20

3. Локальная неплоскостность, не более, мкм, на участке:

• 10 х 10 мм

• 20 х 20 мм

2,0

---

1,2

0,8

---

0,5

4. Качество поверхности (HAZE, ppm), не более, ат/см²

1,2

0,6

0,2

5. Ионные загрязнения на поверхности, не более, ат/см²

5 10¹³

1 10¹²

8 10¹⁰

6. Частицы на поверхности, не более, шт., с размером:

• 0.3 мкм

• 0.25 мкм

100

---

20

---

---

10

7. Окислительные дефекты упаковки, не более,см^-2

2 10² -5 10²

5 10¹

2 10¹ -5 10¹