Добавил:
ivanov666
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Энергетическое разрешение интегрированного с антенной терагерцового NbN микроболометра на горячих электронах. Монография
.pdf
÷òî â данном частотном диапазоне âîäà обладает большим ïîãлощени-
åì è диэлектрическîé проницаемостью, определяющей высокîå çíàчение
êоэффициентà отражåíèÿ. Ýòî открывает возможность использования
ÒÃö ñêанирования â отраженном свете îò поверхности биологических
материалов ñ целью определения малейших изменений êонцентрации ñî-
äåðæащейсÿ â íèõ âîäû.
Íàä разработкîé системû ÒÃö ñêанирования ãèäðàòàöèè â биоло-
гических òêàíÿõ работàþò ðÿä íàучных êоллективов â ìèðå. Членом
îдного èç òàêèõ êоллективов, сформировавшегосÿ íà áàçå Ìîñêîâñêîãî
педагогическîãî ãîñóдарственного университетà, являетсÿ автор íàñòîÿ-
ùåé монографии. Â основном â ïîдобных исследованиях используютсÿ
èìïóльсные ÒÃö источнèêè. Ê примеру, â работе [26] представлен ÒÃö
ìåòîä ñêанирования гидратàöèè свиных роговиц. Авторàìè áûëà исполь-
зована традиционная ñõåìà получения èìïóльсного ÒÃö излучения, ñî-
ñòîÿùàÿ èç фотопроводящей антенны è íàêàчивающего фемтосекундно-
ãî лазера.  êàчестве ïðè¼ìíèêà использовалсÿ детектор íà основе äèî-
äà ñ барьером Шоттки. Вместо íåãî â предлоæенной ñõåìå ìîæåò áûòü
использован быстродействующий è более чувствительный детектор íà
основе боломеòðà íà эффекте электронного разогрева. Ïîõîæàÿ ìåòîäè-
êà использовалась ранее другими авторами, â частности, â работе [27]
представлена ÒÃö система построения изобраæåíèé, êоторая позволяет
ñ высокîé точностью очерчивать â òêàíÿõ области ñ различным ñîäåð-
æанием âîäû. Â других работàõ óспешно ïðîдемонстрирована возмоæ-
ность ÒÃö диагностики êîæíîé êарциномы [28] è меланомы, à òàêæå
анализ состоÿíèÿ êîæíûõ îæîãîâ íà основе определения êонцентрации
âîäû [27,29]. Â работе [30] представлены ðåçóëüòàòû измерения êоэффи-
циентà отражåíèÿ свиной роговицы â зависимости îò åå гидратàöèè â
диапазоне 0,2 - 1 ÒÃö. Àâòîðàìè ýòîé работы выявлена приблизитåëüíî
линейная зависимость êоэффициентà отражåíèÿ îò êонцентрации âîäû
â òêàíè ñ монотонно уменьшающимсÿ êоэффициентом наклона ïðè росте
частоты излучения. Â работе [31] представлены ðåçóëüòàòû прижизнен-
íûõ измерений êоэффициентà отражåíèÿ роговицы кроликà íà основе
использования èìïóльсной ÒÃö системы построения изображåíèé (0,47
- 0,58 THz) è миллиметрового волнового рефлектометра миллиметрово-
ãî диапазона (100 ÃÃö). Получены ïîëîжительные êорреляции между
толщиной роговицы è отражением êоэффициентом отражåíèÿ â милли-
метровом волновом диапазоне.
11

Однакî существенной проблемой, препятствующей дальнейшему
развитию применения ÒÃö излучения â перечисленных âûøå важнейших
практических прилоæениях, â настоÿùåå время являетсÿ òî, ÷òî совре-
менные источники терагерцового излучения çàчастую являютсÿ ìàëî-
мощными, õарактеризуютсÿ íèçêîé ñòабильностью, ñëîжностью â ýêñ-
ïëóàòàöèè, à òàêæå являютсÿ дорогостоящими. Ñêазанное относитсÿ â
первую очередь ê источникàì непрерывного терагерцового излучения, â
òî время êàê источники èìïóльсного терагерцового излучения íå èìå-
þò óêазанных недостàòêîâ. Существуåò íåñêîëüêî ìåòîäîâ генерации
èìïóльсного терагерцового излучения, òàêèõ êàê оптическîå âûïðÿì-
ление [32], генерация разностной частоты â нелинейных оптических êðè-
ñòаллах [33], à òàêæå ñ помощью фотопроводящей антенны [34]. Источ-
íèêè терагерцового излучения, основанные íà данных ìåòîäàõ, являют-
ñÿ относительно недорогими è легкими â ýêñïëóàòàöèè. Â òî æå время,
системы, основанные íà использовании èìïóëüñíîãî терагерцового èçëó-
чения, должны áûòü оснащены чувствительными è быстродействующи-
ìè детекторами, ïîñêольку применение медленных детекторов привоäèò
ê èñêàæåíèþ формы принимаемых èìïóльсов è óõóдшению отношения
сигнал - øóì.
 последнее время разрабатывались различные детекторы терагер-
цового излучения. Среди èõ многообразия выделим детекторы íà грани-
öå перехîäà (
àíãë.
: Transition Edge Sensor, TES), êоторые имеют íàíî-
метровые размеры è изготавливаютсÿ èç ñâåðхпровоäíèêîâûõ материа-
ëîâ ñ критическими òåìïературамè ïîðÿäêà 100 - 200 ìÊ, ÷òî позволя-
åò достичь óëüтравысоких чувствительностей (эквивалентная мощность
øóìà
∼ 10
−19
Âò·Ãö
ладают сравнительно низким быстродействием (постоянная времени
−0,5
[35]). Â òî æå время ïîдобные детекторы îá-
∼
1 ìñ) è íå пригоäíû äëÿ регистрации êоротких èìïóльсов терагерцово-
ãî излучения. Ýòà æå проблема свойственна детектором íà кинетическîé
индуктивности [36]. Кроме òîãî, äàííûå детекторы могут áûòü использо-
âàíû толькî â óсловиях íèçêîé фоновой засветки è требуют îхлаждения
окружающей оптики äî гелиевых температур, òî åñòü íå âñåãäà пригоä-
íû äëÿ лабораторных применений.
 ïðîтивоположность данным детекторам, äèîäû Шоттки ðàáîòà-
þò ïðè êомнатной температуре è õарактеризуютсÿ высоким быстроäåé-
ствием (постоянная времени
∼
25 ïñ). Ïðè ýòîì îíè обладают сравнè-
тельно небольшой чувствительностью (эквивалентная мощность øóìà
12

∼ 10
−10
Âò·Ãö
−0,5
[37]) Â работе [38] îïисаны интегрированные â ïëàíàð-
íóþ антенну Nb болометры, эквивалентная мощность øóìà äëÿ êоторых
ñîñòавляет
∼ 10
−14
Âò·Ãö
−0,5
, à постоянная времени
∼
1 íñ. Óдобным
êомнатным ÒÃö детектором являетсÿ òàêæå ячейкà Ãîëåÿ (оптоакуñòè-
ческий детектор). Однакî ýòîò детектор õарактеризуåòñÿ большой ïî-
ñòîянной времеíè ïîðÿäêà 0.1 ñ è сравнительно высокîé эквивалентной
мощностью øóìà
∼ 10
−10
Âò·Ãö
−0,5
.
Ñâîäíàÿ õàрактеристикà существуþùèõ ÒÃö детекторов предстàâ-
ëåíà â Òàáë. 1.
Довольно перспективными íà ôîíå ïðåäñòавленных детекторов âû-
ãлядят детекторы íà основе болометров íà эффекте электронного ðàçî-
грева. Данный эффект возникàåò â óëüтратонкèõ (толщиной менее
10 íì) ïëåíêàõ ñâåðхпровоäíèêîâ, òàêèõ êàê Al, Nb è NbN. Ñ микро-
ñêопическîé точки зрения используåìûå â работе детекторы предстàâ-
ëÿþò собой структуры, состоÿùèå èç òðåõ взаимосвязанных ïîдсистем:
электронной è фононной ïîдсистем ñâåðхпровоäíèêîâîé пленки è ôî-
нонной ïîдсистемы ïîäëîæêè. Энергия падающего излучения ïîãëîùà-
åòñÿ электроííîé ïîдсистемой ñâåðхпровоäíèêîâîé пленки. Â течение
малого времени электрон - ýëåêтронного взаимодействия
τeeýòà ýíåð-
ãèÿ перераспределяетсÿ между электронами, çà ñ÷åò ÷åãî äëÿ íèõ óñòà-
навливаетсÿ функция распределения Ферми ñ óâåëиченной относительно
первоначальной эффективной температурой. Çà ñ÷åò электрон - фонон-
íîãî взаимоäействия энергиÿ çà время электрон - фононного взаимоäåé-
ствия
τ
eph
τ
передаетсÿ фононной ïîдсистеме ñâåðхпровоäíèêà. Ïîñêольку
eph
τee, òî ïåðåðаспределение энергии между электронами ýëåêòðîí-
íîé ïîдсистемы происõîäèò намного быстрее, ÷åì релаксация ýòîé ýíåð-
ãèè íà фононах. Неравновесные фононы â пленкå могут óõîäèòü â ïîä-
ëîæêó, à могут çà ñ÷åò фонон - фононного взаимодействия передавать
ñâîþ ýíергию фононной ïîдсистеме, повышая òåì самым åå температу-
ðó. Детекторы íà основе эффектà электронного разогрева демонстриру-
þò высокую чувствительность â ñðавнении ñ другими детекторами òå-
рагерцового излучения, работающими ïðè îêологелиевых температурах
(эквивалентная мощность øóìà
∼ 10
−13
Âò·Ãö
−0,5
), íî ïðè ýòîì облада-
þò íà íåñêîëüêî ïîðÿäêîâ меньшей постоянной времени (∼35 ïñ) [39].
 òî æå время â последнее äåñятилетие терагерцовый частотный
диапазон активно изучаетсÿ â ðàìêàõ самых передовых направлений ñî-
временной астрономии [43,44]. Ýòî связано ñ òåì, ÷òî íà данную часть
13

Òаблица 1.Сравнительная õарактеристикà эквивалентной мощности øóìà, постоÿí-
íîé времени è рабочей температуры существующих детекторов терагерцового äèà-
пазона.
Детектор Эквивалентная
мощность øó-
−0,5
−13
(оптиче-
NbN болометр íà
ãîðÿ÷èõ электро-
ìà
, Âò·Ãö
2, 0·10
ñêàÿ)
íàõ [39]
Детекторы íà äè-
îäàõ Шоттки [37]
Nb боломеòðû íà
âèñÿ÷èõ мостикàõ
5, 0·10
ñêàÿ)
1, 0 · 10
трическàÿ)
−10
(оптиче-
−14
(ýëåê-
[38]
Nb болометр íà
ãîðÿ÷èõ электро-
1, 3·10
ñêàÿ)
−13
(оптиче-
íàõ [40]
Ti наноболометр
[41]
Оптоакустический
−20
10
ñêàÿ)
0, 8·10
(электриче-
−10
(оптиче-
Постоÿííàÿ
времени
Ðàáî÷àÿ темпе-
ратура
35 ïñ 9,0 Ê
Единицы ïèêîñå-
êóíä
Комнатная òåìïå-
ратура
0,9 ìêñ 4,2 Ê
0,7 íñ îêîëî 5,8 Ê
0,5 ìñ îêîëî 40 ìÊ
50 ìñ Комнатная òåìïå-
детектор
Детектор íà ãðà-
íèöå перехîäà [42]
Детектор íà
кинетическîé èí-
дуктивности [36]
ñêàÿ)
6, 5 · 10
−19
трическàÿ)
∼ 10
−19
(электри-
÷åñêàÿ)
(ýëåê-
14
ратура
ïîðÿäêà 10 ìñ îêîëî 50 ìÊ
ïîðÿäêà 1 ìñ Òемпература
æèäêîãî гелия
He
4

спектра электромагнитного излучения ïðèõîäèòñÿ почти половина âñåé
мощности излучения Вселенной è 98% âñåõ фотонов, êоторые áûëè èçëó-
÷åíû ñ моментà Большого Взрыва [45]. Известно большое число ãалактик
ñ повышенным излучением именно â ýòîé области ñïåêòðà электромаг-
нитного излучения. Ïèê èõ излучения ïðèõîäèòñÿ íà
нирование â ýòîì частотном диапазоне äàåò возмоæíîñòü обнаружåíèÿ
è исследования более далеких ãалактик [45]. Излучение объектов ìîëî-
äîé Вселенной, формирование êоторых íàчалось через 300 òûñ. ëåò ïî-
ñëå Большого взрыва, происõîäèò â субмиллиметровом диапазоне äëèí
âîëí электромагнитного излучения. Òàêæå ê этому диапазону частич-
íî относитсÿ реликтовое излучение. Òерагерцовое излучение õîëîäíûõ
межзвездных облакîâ ïûëè òàêèõ ïîжилых ãалактик, êàê íàø Ìëå÷-
íûé Ïóòü, ìîæåò äàòü íàì информацию î происõîждении Вселенной [46].
Применение наноболометров íà эффекте электронного разогрева â êà÷å-
ñòâå ïðÿìûõ детекторов äëÿ решения çàäà÷ терагерцовой астрофизики
óñïåøíî ïðîдемонстрировано ранее â работе [41].
Известно, ÷òî терагерцовое излучение сильно ïîãлощаетсÿ â àò-
мосфере Земли, ÷òî объясняетсÿ присутствием â íåé паров âîäû. Ïî
ýòîé причинå наземные обсерватории, ñêанирующие êосмическîå ïðî-
странство â терагерцовом è субмиллиметровом диапазоне, располагàþò-
λ ≈ 100
ìêì. Ñêà-
ñÿ обычно â очень засушливых районах, íàõîдящихñÿ íà больших âû-
ñîòàõ íàä уровнем ìîðÿ. Однакî, наиболее перспективными являютсÿ
телескîïû è обсерватории êосмическîãî базирования, òàêèå êàê Herschel
Space Observatory [47], Cosmic Background Explorer (COBE) [48] è Ìèë-
лиметрон [49], à òàêæå óñòàíовленные íà áîðòàõ воздушных ñóäîâ, òàêèå
êàê Stratospheric Obervatory For Infrared Astronomy (SOFIA) [50].
Ïðè ýòîì наблюдение чрезвычайно слабых источникîâ, çàчастую
ñâîäèòñÿ ê регистрации единичных терагерцовых фотонов, ÷òî возмоæ-
íî толькî ñ использованием наноболометров, работающих â режиме ïðÿ-
ìîãî детектирования [41]. Ïðè ýòîì, äëÿ òîãî чтобы ñâåðхпроводимость
чувствительного элементà наноболометра íå áûëà ïîдавлена фоновым
излучением, âñÿ используåìàÿ вспомогательная оптикà îхлаждаетсÿ äî
ñâåðхнизких температур, òàê ÷òî мощность теплового излучения äî-
ñòèãàåò уровня êосмическîãî ôîíà, ÷òî существенно расширÿåò äèà-
пазон слабых объектов, доступных äëÿ наблюдения. Äëÿ достижåíèÿ
предельно возмоæíûõ чувствительностей наноболометры специалüíûì
образом термически изолируютсÿ îò окружающей среды, ïðè ýòîì èõ
15

объем уменьшаетсÿ äî предельно возможного çíàчения. Специальная
êонструкция òàêèõ наноболометров исключает возможность диффузии
ãîðÿ÷èõ электронов â êîíòактные ìåòаллические площадки çà ñ÷åò èñ-
пользования андреевских çåðêàë, ÷òî привоäèò ê дополнительному óâå-
личению чувствительности.
Ðåçóëüòàòû, полученные â ðàìêàõ данного исследования, могут
áûòü использованы äëÿ создания êоммерческих терагерцовых детектор-
íûõ систем. Данный частотный диапазон электрîìàãíèтного излучения
(0,1 - 10 ÒÃö) привлекàåò â последние ãîäû âñå большее внимание ó÷¼íûõ
è èíæенеров многих ведущих лабораторий ìèðà. Óíèêальные особенно-
ñòè делают возмоæíûì использование терагерцового излучения âî ìíî-
ãèõ важных практических применениях, òàêèõ êàê обнаружåíèå íàðêî-
тических è взрывчатых веществ, медицинских прилоæениях [21], à òàêæå
â òàêèõ передовых íàучных направлениях, êàê ближнепольная спектро-
ñêîïèÿ, генерация â нелинейной оптическîé среде.
Вместе ñ òåì, использование терагерцового излучения â настоÿùåå
время ñîïðÿæåíî ñ ðÿäîì òðóдностей, связанных ñ òåì, ÷òî существу-
þùèå источники являютсÿ маломощными è обладают íèçêîé ñòàáèëü-
ностью ëèáî ñëîæíû â ýêñïëóàòàöèè è чрезвычайно дорогостоÿùè. Ýòî
êасаетсÿ â первую очередь источíèêîâ непрерывнîãî терагерцового èç-
лучения. Ïî ýòîé причине îäíèì èç перспективных путей äàëьнейшегî
развития применения терагерцового излучения являетсÿ разработкà ýô-
фективных ìåòîäîâ генерации è детектирования èìïóльсного терагер-
цового излучения, источники êоторого, êàê правило, лишены óêазанных
недостàòêîâ [51]. Практические æå приемные óстройства èìïóльсного
терагерцового излучения должны áûòü, прежде всего, чувствительными
è быстродействующими, позволяющими воспроизвоäèòü èìïóëüñû áåç
èñêàæåíèÿ èõ формы.
Ðàáîòà выполнена â ðàìêàõ грантà Правительства Ðоссийскîé Ôåäå-
рации äëÿ ãîñóдарственной ïîääåðæêè íàучных исследованèé, провоäè-
ìûõ ïîä ðóêîâîдством ведущих ученых â российских образовательных
учреждениях высшего профессионального образования 14.Â25.31.0007
- ¾Лаборатория квантовых детекторов¿
16

Ãëàâà 1. Îáçîð литераòóðû è ïîñòановкà
çàäà÷è исследования
Ãëàâà 1 посвящена обзору теоретических è ýêспериментальных работ
ïî тематикå исследования è ïîñòановкå самой проблемы исследования.
Представлен îáçîð публикàöèé ïî исследованию физики работы è òåõ-
ническим õарактеристикàì ñâåðхпровоäíèêîâûõ болометров íà эффекте
электронного разогрева.
1.1 Эффект электронного разогрева â
ñâåðхпровоäíèêàõ
Физический ïðèíöèï действия исследуåìûõ â работе детекторов основы-
ваетсÿ íà òàê называемом эффекте электронного разогрева â óëüтратон-
êèõ пленкàõ ñâåðхпровоäíèêîâ, описание êоторого впервые áûëî ïðåä-
ñòавлено â работе [6]. Данный эффект возникàåò ïðè óсловии, ÷òî время
óñòановления равновесной температуры электронной ïîдсистемы ïëåí-
êè (òàê называемое время термализации) ìàëî ïî сравнениþ ñ временем
электрон - фононного взаимодействия. Â ýòîì случае ïîãлощение ïëåí-
êîé электромагнитного излучения íå привоäèò ê разогреву âñåé пленки
â целом. Вместо этого происõîäèò разогрев ëèøü электронной ïîдсисте-
ìû, описывающейсÿ функцией распределения Ферми ñ температурой,
величина êоторой âûøå температуры фононов. Ñõематичåñêè ýòîò ïðî-
öåññ представлен íà ðèñ. 1.1. Основные параметры ñâåðхпровоäíèêà NbN
представлены â òàáë. 1.1. Èç приведенных данных видно, ÷òî âñå íåîá-
õîдимые óсловия äëÿ возникновения эффектà электронного разогрева â
исследуåìûõ детекторах выполнены.
Ïî õарактеру релаксации температуры электронной ïîдсистемы â
пленкå различают äâà òèïà болометров íà эффекте электронного ðàçî-
грева: ñ
- фононного взаимодействия великî ïî сравнению ñ временем диффузии
äèôфузионным
ìåõàíèçìîì îхлаждением (êîãäà время электрон
электронов èç ïëåíêè) è ñ
случае). Â случае рассматриваемых â работе NbN детекторов, диффу-
зионный êàíàë îхлаждения ïîдключаетсÿ, êîãäà длина чувствительного
фононным
17
îхлаждением (â противополоæíîì

Ðèñ. 1.1.Ñõематическîå изображåíèå физических процессов, происõîдящих â äå-
текторе. Эффект электронного разогрева возникàåò â случае, êîãäà время óõîäà
неравновесных фононов èç пленки â ïîäëîæêó ìàëî ïî сравнению ñ временем ýëåê-
òðîí - фононного взаимодействия. Ðазличают болометры ñ фононным è диффузи-
онным ìåõанизмами îхлаждения.
элементà ñòановитсÿ меньше [52]:
ãäå
D = 0, 45
íîì состоÿíèè,
ñì2·
τep= 17
L = πpDτep,
ñ−1 êоэффициент диффузии NbN â нормаль-
ïñ время электрон-фононного взаимодействия
(1.1)
â òîíêîé пленкå NbN ïðè критическîé температуре [53]. Ðасчеты äàþò
çíàчение
L ≈ 0.1
ìêì. Ïðè ýòîì эффективная релаксация электрон-
íîé температуры çà ñ÷åò диффузии разогретых электронов â область
ìåòаллических êîíòактов возмоæíà толькî åñëè âåñü чувствительный
элементà íàõîäèòñÿ â резистивном состоÿíèè, èíà÷å электрîíû áóäóò
андреевски отражåíû [54]. Данное óсловие выполняетсÿ â случае ðàáî-
òû болометра â ðåæèìå ïðямого детектора, íî ìîæåò íå выполнятьсÿ â
случае гетеродинного режима работы, êîãäà â рабочую точку болометр
âûâîäèòñÿ путем åãî íàêà÷êè мощностью гетероäèíà [55].  ýòîì случае
ó÷åò андреевскîãî отражåíèÿ критически âàæåí.
Исследуåìûé â работе детектор íà основе болометра íà эффекте
электронного разогрева фактически представляет èç ñåáÿ полоску ñâåðõ-
провоäíèêà, õарактерные планарные размеры êоторой íå превышают
íåñêольких микрон, à òîëùèíà íåñêольких нанометров. Данная полос-
êà, êоторую далее â òåêñòå работы ìû áóäåì называть чувствительным
18

Òаблица 1.1.Характерные времена энергетическîé релаксации â пленкå NbN толщи-
íîé îêîëî 6,0 íì ïðè температуре близкîé ê критическîé (
Tc= 10
K).
Время термализации электронной ïîäñè-
стемы
τ
th
Время электрон - фононного взаимоäåé-
ствия
τ
ep
Время óõîäà неравновесных фононов â
ïîäëîæêó
τ
es
7 ïñ [56]
17 ïñ [53]
78 ïñ* [56] (зависит îò толщины
ïë¼íêè NbNd, êоэффициентà
пропуñêàíèÿ фотонов íà ãðàíè-
öå ïë¼íêà - ïîäëîæêàα, è ñêî-
рости çâóêà â ïë¼íêå NbNuïî
çàêîíó
τes= 4d(αu)−1[57])
элементом детектора, интегрируåòñÿ ñ планарнîé антенной, используå-
ìîé äëÿ ñîãласования детектора ñ падающим ÒÃö излучением. Данное
излучение, попадая íà антенну, возбуждает â íåé высокочастотные òîêè,
протекàíèå êоторых ïî чувствительному элементу детектора привоäèò
ê увеличению åãî электронной òåìïературы. Зависимость сопротивле-
íèÿ ñâåðхпровоäíèêà îò температуры вблизи ñâåðхпроводящего перехîäà
имеет очень резкий õарактер, поэтому äàæå незначительное изменение
электронной температуры детектора привоäèò ê çíàчительному измене-
íèþ åãî сопротивления, ÷òî являетсÿ электрическим сигналом î наличии
излучения äëÿ считывающей электроники.
Òåðìîдинамикà чувствительного элементà болометра ìîæåò áûòü
описана ñ использованием ìîäåëè îднородного разогрева, à òàêæå более
ïðîдвинутой ìîäåëè ãîðячего пятна [2]. Â ìîäåëè îднородного разогре-
âà предполагàåòñÿ, ÷òî температура электронной ïîдсистемы болометра
âî âñåõ åãî òî÷êàõ повышаетсÿ íà îäíó è òó æå величину ïîä воздей-
ствием падающего электромагнитного излучения è транспортного òîêà,
è чувствительный элемент болометра íàõîäèòñÿ ïðè ýòîì â резистив-
íîì состоÿíèè. Строго говорÿ, ïðè температуре íèæå критическîé òåð-
ìîдинамикà чувствительного элементà болометра описываетсÿ системой
нелинейных уравнений теплового баланса, êоторые могут áûòü ðåøå-
íû ëèøü численно [58]. Линеаризация уравнений возмоæíà äëÿ случая,
êîãäà температура болометра близкà ê критическîé, à состоÿíèå ñâåðõ-
провоäíèêîâîé ïë¼íêè близкî ê равновесному [59,60].  ýòîì случае ñî-
ответствующие уравнения теплового баланñà могут áûòü представлены
19

â следующем âèäå [2]:
dT
dt
dT
p
=
dt
ãäå
W (t)
стемой мощности,
- временная зависимость ïîãëîù¼ííîé электронной ïîäñè-
τepè
τes- время электрон - фононного взаимодействия
è время óõîäà неравновесных фононов èç ïë¼íêè, соответственно,
Cp- электронная è фононная тепло¼мкîñòè, соответственно,
e
=
C
C
e
p
Tp− T
τ
ep
Te− T
τ
ep
e
p
+
−
W (t)
C
e
Tp− T
τ
es
(1.2)
0
(1.3)
Ceè
Te,
Tpè
T
- температуры электронной ïîдсистемы, фононной ïîдсистемû è тепло-
âîé ванны, соответственно.
 ìîäåëè ãîðячего пятна предполагàåòñÿ, ÷òî ïîä воздействием ïà-
дающей мощности è транспортного òîêà â чувствительном элементе áî-
лометра формируåòñÿ íåêоторая область (домен), â êоторой ñâåðõïðîâî-
димость разрушена [55,61]. Â äàííîì случае уравнения теплового балан-
ñà записываютсÿ â следующем âèäå [2]:
0
d2T
−K
dx
−K
e
2
d2T
dx
c
e
+
(Te− T0) = j2ρn+ N
τ
e
c
e
2
e
+
(Te− T0) = N
τ
e
rf
rf
(1.4)
(1.5)
ãäå уравнение 1.4 относитсÿ ê области, íàõîдящейсÿ внутри ãîðÿ÷å-
ãî пятна, à уравнåíèå 1.5 - âíå ýòîé области. Ïðè ýòîì решения êаждого
èç уравнений ¾ñøèваютсÿ¿ íà границе нормального домена íà основа-
íèè требования непрерывности решения. Â çàïèñàííûõ уравнениях
êоэффициент теплопровîдности,
пературы,
j
- плотность транспортного òîêà,
ce- тепло¼мкîñòü электронной ïîдсистемы íà единицу îáú¼ìà,
âîäíèêà â нормальном состоÿíèè,
τe- время релаксации электронной òåì-
ρn- óдельное сопротивление ñâåðõïðî-
Nrf- ïîãëîù¼ííàÿ электронной ïîä-
K
системой мощность электромагнитного излучения íà единицу îáú¼ìà.
-
20
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]
