Добавил:
ivanov666
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Физика и техника высокочастотной газоразрядной плазмы. Лабораторный практикум. Учебное пособие.pdf
X
- •Введение
- •1.1. Цель работы
- •1.2. Описание высокочастотного генератора ВЧГ8-60/13
- •1.3. Порядок выполнения работы
- •2.3. Порядок выполнения работы
- •2.4. Математическая обработка и представление результатов измерений
- •2.5. Требования к содержанию отчета
- •Контрольные вопросы и задания
- •Список литературы
- •3.1. Цель работы
- •3.2. Описание плазменной установки на базе ВЧФ-плазмотрона
- •1.4. Требования к содержанию отчета
- •Контрольные вопросы и задания
- •Список литературы
- •2.1. Цель работы
- •2.2. Описание плазменной установки на базе ВЧФ-плазмотрона
- •3.3. Порядок выполнения работы
- •3.4. Расчетные формулы
- •3.5. Математическая обработка и представление результатов экспериментальных исследований
- •3.6. Требования к содержанию отчета
- •Контрольные вопросы и задания
- •Список литературы
- •4.1. Цель работы
- •4.2. Измерение температуры тяжелых частиц
- •4.3. Описание плазменной установки на базе ВЧФ-плазмотрона
- •4.4. Порядок выполнения работы
- •4.5. Расчетные формулы
- •4.6. Математическая обработка и представление результатов экспериментальных исследований
- •4.7. Требования к содержанию отчета
- •Контрольные вопросы и задания
- •Список литературы
- •5.1. Цель работы
- •5.2. Методы измерения скорости истечения плазменной струи
- •5.3. Описание плазменной установки на базе ВЧФ-плазмотрона
- •5.4. Порядок выполнения работы
- •5.5. Расчетные формулы
- •5.6. Математическая обработка и представление результатов экспериментальных исследований
- •5.7. Требования к содержанию отчета
- •Контрольные вопросы и задания
- •Список литературы
- •6.1. Цель работы
- •6.2. Измерение тепловых потоков
- •6.3. Описание плазменной установки на базе ВЧФ-плазмотрона
- •6.4. Порядок выполнения работы
- •6.5. Расчетные формулы
- •6.7. Требования к содержанию отчета
- •Контрольные вопросы и задания
- •Список литературы
- •ПРИЛОЖЕНИЕ
- •Содержание

71
тромагнитного излучения. Основные технические характеристики генератора ВЧГ8-60/13 приведены в табл. 6.1.
1
К
2
3
4
5
6
ВОДА
В8
В9
М2
Р4
В4
Р3
В3
Р2
В2
Р1
В1
В5
В6
В7
М1
Рис. 6.6. Схема плазменной установки на базе ВЧФ-плазмотрона:
1 – ВЧ-генератор ВЧГ8-60/13; 2 – водоохлаждаемый электрод;
3 – узел ввода плазмообразующего и охлаждающего газа;
4 – водоохлаждаемый корпус ВЧФ-плазмотрона; 5 – кварцевая разрядная
камера ВЧФ-плазмотрона; 6 – слив охлаждающей воды; К – компрессор;
М1, М2 – манометры; Р1–Р4 – ротаметры; В1–В9 – вентили
Таблица 6.1
Основные технические характеристики генератора ВЧГ8-60/13
Величина
Единица измерения
Значение
Напряжение питающей сети
В
380
Частота питающей сети
Гц
50
Потребляемая мощность
кВт
90
Колебательная мощность
кВт
60 ± 6
Рабочая частота
МГц
13,56 ± 0,13
КПД % не менее 75
Напряжение анодное
кВ
10,4…10,5
Ток анодный
А
7,6…7,7
Ток сеточный
А
1,8
Расход охлаждающей воды
м3/ч
не менее 1,4
Генератор выполнен в стальном шкафу, разделенном на два отсека:
экранированный и неэкранированный. Шкаф генератора имеет двери
с двух сторон, что делает удобным доступ ко всему размещенному
в нем оборудованию. Двери снабжены электромеханической блокировкой, которая обеспечивает безопасность обслуживания.
Высокочастотный экранированный отсек разделен на две части:
анодную и сеточную. В анодной части расположены: генераторная лампа

72
ГУ-66А со стендом охлаждения, водоохлаждаемая регулируемая анодная
индуктивность, две группы регулируемых вакуумных конденсаторов
КП1-3-15/350 для регулирования частоты и мощности генератора, фидер –
для связи генератора с нагрузкой, дроссель безопасности, дроссели фильтра.
В сеточной части расположены: сеточная водоохлаждаемая индук-
тивность, вакуумный конденсатор КП1-3-15/350 с ручной регулировкой
сеточного тока, сеточный дроссель, блокировочные конденсаторы и антипаразитные сопротивления.
Электрические выводы из высокочастотного отсека выполнены че-
рез проходные конденсаторы.
В неэкранированном отсеке расположены: рубильник, контактор,
анодный трансформатор, выпрямитель, трансформатор накала, аппаратура управления, контроля и защиты, вентилятор для охлаждения генераторной лампы, приводы вакуумных конденсаторов.
На дверях с лицевой стороны расположены измерительные приборы, сигнальные лампы, кнопки и тумблеры включения и управления генератором, блок стабилизации частоты, гнездо для измерения частоты.
На левой боковой стороне генератора расположен переключатель
анодного напряжения (50 и 100 %).
На нижней раме имеются трубки для подачи и слива охлаждающей
воды, болты для подсоединения генератора к общему заземлению.
Технологический блок включает следующие основные узлы
(рис. 6.6): ВЧФ-плазмотрон 1, реактор 2, форсунка 4, регуляторизмеритель температуры 5, газоход 6, узел «мокрой» очистки отходящих газов (УМО), погружной насос 7, вытяжной вентилятор 8.
6.4. Порядок выполнения работы
Работа выполняется в следующей последовательности:
1. До возбуждения разряда в ВЧФ-плазмотроне замерить темпера-
туру охлаждающей воды на водоохлаждаемых элементах установки
(анод генераторной лампы, сеточная и анодная индуктивность, электрод
и корпус ВЧФ-плазмотрона). Результаты измерений занести в табл. 6.2.
2. Включить компрессор К и вентилем В1 установить на ротаметре
Р1 необходимый расход плазмообразующего газа QПГ, а вентилем В2 на ротаметре Р2 – расход охлаждающего кварцевую разрядную камеру газа QОГ.
При помощи узла «поджига» возбудить ВЧФ-разряд в разрядной камере
ВЧФ-плазмотрона и позиционерами на лицевой стороне ВЧ-генератора
установить заданный режим работы генератора (Jа = 2,0…5,0 А).
3. Через 10 минут, после установления режимов, провести замеры
температуры охлаждающей воды на водоохлаждаемых элементах плазменного стенда.

73
4. Используя данные, полученные в лабораторной работе «Граду-
ировка датчиков расхода жидкости и газа», рассчитать потери тепловой
мощности, выделяемые на водоохлаждаемых элементах системы
«ВЧ-генератор – ВЧФ-плазмотрон».
5. Определить мощность воздушной плазменной струи, генериру-
емой ВЧФ-плазмотроном, при различных значениях анодного тока Jа,
расхода плазмообразующего газа QПГ и расхода охлаждающего кварцевую разрядную камеру газа QОГ.
6. Определить тепловые потоки, генерируемые ВЧФ-плазмот-
роном.
7. Провести математическую обработку полученных результатов.
Построить графические зависимости тепловых потоков генерируемых
ВЧФ-плазмотроном, от анодного тока Jа, расхода плазмообразующего
газа QПГ. Результаты занести в табл. 6.3, 6.4.
8. Провести анализ полученных результатов. Определить опти-
мальные режимы работы ВЧФ-плазмотрона, обеспечивающие максимальный тепловой поток плазменной струи. Сделать выводы.
Таблица 6.2
Начальные параметры температуры и расхода жидкости
Плазмообр.
газ
Охлажд.
газ
Анод
Сетка
Электрод
КП
t
нач
, °C
Q, г/с
Таблица 6.3
Начальные параметры ВЧ-генератора
№
Jа, А Jс, А Uа,
кВ
Qг,
г/с
Qа,
г/с
Δtа,
°C
Qс,
г/с
Δtс,
°C
Qэ,
г/с
Δtэ,
°C
Qк,
г/с
Δtк,
°C 1 2 … 7
Mср
ΔM
6.5. Расчетные формулы
1. Мощность, потребляемая ВЧ генератором от сети:
0 aa
P J U
, кВт,
где Ja – ток анода, А; Ua – напряжение на аноде генераторной лампы, кВ.

74
2. Мощность, выделяемая на аноде генераторной лампы:
3
4,186 10
а a p a
P m c t
, кВт,
где ma – массовый расход воды для охлаждения анода генераторной лампы, кг/с; Δta – разность начальной и конечной температур охлаждающей
анод генераторной лампы воды, °C; cp – теплоемкость воды, ккал/кг.
3. Мощность, выделяемая на сеточной и анодной индуктивности:
3
4,186 10
с с p с
P m c t
, кВт,
где mс – массовый расход воды для охлаждения сеточной и анодной индуктивности, кг/с; Δtс – разность начальной и конечной температур
охлаждающей сеточную и анодную индуктивность воды, °C.
4. Мощность, выделяемая на электроде:
3
э э э
4,186 10
p
P m c t
, кВт,
где mэ – массовый расход воды для охлаждения электрода, кг/с; Δtэ – разность начальной и конечной температур охлаждающей электрод воды, °C.
5. Мощность, выделяемая на корпусе ВЧФ-плазмотрона:
3
к к к
4,186 10
p
P m c t
, кВт,
где mк – массовый расход воды для охлаждения корпуса ВЧФ-плазмотрона, кг/с; Δtк – разность начальной и конечной температур охлаждающей корпус ВЧФ-плазмотрона воды, °C.
6. Мощность ВЧФ-разряда:
раз 0 э
()
ac
P P P P P
, кВт.
7. Мощность плазменной струи
стр раз к
P P P
, кВт.
8. Термический КПД ВЧФ-плазмотрона
стр
пл
раз
100
P
P
, %.
9. Энтальпия плазменной струи:
стр
3
0
г
10
T
P
HH
Q
, кДж/кг.
10. Среднемассовую температуру плазменной струи определять
с помощью графической зависимости энтальпии воздуха от его температуры, представленной на рис. 6.7.
11. Тепловой поток плазменной струи:
стр раз гд УМО
()Q P P P Q
, кВт∙ч.
где Q
УМО
– тепловая энергия, уловленная узлом «мокрой» очистки отхо-
дящих газов; Δτ – время измерения теплового потока, ч.

75
Таблица 6.4
Расчет мощностей на элементах плазменной установки
№
P0,
кВт
Pа,
кВт
Pс,
кВт
Pэ,
кВт
Pк,
кВт
P
раз
,
кВт
P
стр
,
кВт
ηпл, % HT,
кДж/кг
Q
стр
,
кВт∙ч
1
2
…
7
Mср
ΔM
Рис. 6.7. Зависимость энтальпии воздуха от его температуры
6.6. Математическая обработка
и представление результатов экспериментальных исследований
Производятся в следующей последовательности:
1. Для каждой серии измерений (n = 7) вычислить среднее значение:
_
1
1
n
i
i
tt
n
.

76
2. Определить погрешности отдельных измерений:
_
0
ii
t t t
.
3. Для контроля правильности вычислений отклонений результа-
тов измерений от среднего арифметического вычислить:
0
1
n
i
it
,
если результаты равны 0, следовательно, ошибок в расчетах не было.
4. Вычислить квадраты погрешностей отдельных измерений. Для
контроля правильности вычисления сумм квадратов отклонений воспользоваться тождеством
_
_
2 2 2
11
()
nn
ii
ii
t t t nt
.
5. Вычислить среднюю квадратичную погрешность результата се-
рии измерений (среднего арифметического):
0
2
1
()
( 1)
n
i
i
x
t
S
n
.
6. Для определения границ доверительного интервала воспользо-
ваться неравенством Чебышева:
2
1
( ) 1
xx
P x k S x x k S
k
,
для доверительной вероятности α = 0,95 коэффициент kα = 4,4.
7. Вычислить границы доверительного интервала:
0
x
t k S
.
8. Вычислить относительную погрешность результата серии изме-
рений:
0
0
100%
t
t
t
.
9. Построить по итогам проведенной обработки результатов изме-
рений графические зависимости КПД ВЧФ-плазмотрона от анодного
тока JА, расхода плазмообразующего газа QПГ и расхода охлаждающего
кварцевую разрядную камеру газа QОГ.
6.7. Требования к содержанию отчета
Отчет по лабораторной работе должен содержать:
1. Цель проведения работы.

77
2. Принципиальную электрическую схему плазменной установки
на базе ВЧФ-плазмотрона и ее краткое описание.
3. Табличные данные и графические зависимости КПД ВЧФ-плазмо-
трона от анодного тока JА, расхода плазмообразующего газа QПГ и расхода
охлаждающего кварцевую разрядную камеру газа QОГ.
4. Анализ полученных результатов. Оптимальные режимы работы
ВЧФ-плазмотрона с максимальным тепловым потоком. Выводы.
Контрольные вопросы и задания
1. Назовите основные узлы плазменной установки.
2. Какова последовательность включения плазменной установки?
3. Какова последовательность выключения плазменной установки?
4. Каким способом определяются потери тепловой мощности
на водоохлаждаемых узлах плазменной установки?
5. Как определяется мощность, подведенная от ВЧ-генератора
к ВЧФ-плазмотрону?
6. Как определяется мощность плазменной струи (полезная мощ-
ность), генерируемая ВЧФ-плазмотроном?
7. Как определяется энтальпия плазменной струи, генерируемая
ВЧФ-плазмотроном?
8. Как определяется среднемассовая температура плазменной
струи?
9. Как определяется скорость плазменной струи?
10. Перечислите требования безопасности перед началом работы
установки.
11. Перечислите требования безопасности во время работы уста-
новки.
12. Перечислите требования безопасности по окончании работы
установки.
13. Перечислите требования безопасности при аварийных ситуаци-
ях на установке.
Список литературы
1. Крапивина С.А. Плазмохимические технологические процессы /
С.А. Крапивина. – Ленинград : Химия, 1981. – 248 с.
2. Артамонов А.Г. Математическое моделирование и оптимизация
плазмохимических процессов / А.Г. Артамонов, В.М. Володин,
В.Г. Авдеев. – Москва : Химия, 1989. – 224 с.
3. Пархоменко В.Д. Технология плазмохимических производств /
В.Д. Пархоменко, П.Н. Цыбулев, Ю.И. Краснокутский. – Киев : Выща
школа, 1991. – 253 с.

78
4. Приборы для научных исследований. Том 29 / Дж. Грей и др. –
1962. – 127 с.
5. Дресвин С.В. Физика и техника низкотемпературной плазмы /
С.В. Дресвин. – Москва : Атомиздат, 1972. – 352 с.
6. Кондрашов А.П. Основы физического эксперимента и матема-
тическая обработка результатов измерений / А.П. Кондрашов,
Е.В. Шестопалов. – Москва: Атомиздат, 1977. – 195 с.
7. Ясельский В.К. Обработка результатов измерений : учебное по-
собие / В.К. Ясельский, А.И. Кузнецов, В.Ф. Дядик. – Томск : Изд-во
ТПИ, 1977. – 95 с.

79
ПРИЛОЖЕНИЕ
Инструкция по охране труда при работе
на высокочастотном генераторе ВЧГ8-60/13
1. Общие требования безопасности
1. К работе на ВЧ-генераторе допускаются лица, не моложе
18 лет, прошедшие медосмотр, инструктаж на рабочем месте, имеющие
профессиональную подготовку, соответствующую характеру работ,
прошедшие проверку знаний по вопросам охраны труда. Периодичность
повторного инструктажа один раз в квартал.
2. Работники, осуществляющие пусконаладочные, ремонтные ра-
боты, периодические плановые осмотры на ВЧ-генераторе, должны
иметь IV группу по электробезопасности (напряжение выше 1000 В),
остальные работники – группу III.
3. Все виды работ на ВЧ-генераторе производятся группой не ме-
нее 2 человек, один из которых имеет IV квалификационную группу
по электробезопасности (напряжение выше 1000 В).
4. Запрещается работать на ВЧ-генераторе одному человеку
и оставлять включенный генератор без присмотра.
5. Лабораторные работы на ВЧ-генераторе со студентами прово-
дятся только в присутствии и под руководством преподавателя
6. Работы по наладке, настройке и регулированию технологиче-
ских режимов работы ВЧ-генератора производятся работниками в соответствии с настоящей инструкцией.
7. Все работы по наладке и настройке ВЧ-генератора производятся
по письменному распоряжению и в соответствии с «Программой пусконаладочных работ для высокочастотного генератора ВЧГ8-60/13».
8. Все работники должны соблюдать правила внутреннего трудо-
вого распорядка.
9. На рабочем месте возле ВЧ-генератора должна быть вывешена
краткая инструкция по охране труда, в которой для работников указываются основные требования по безопасным приёмам работы, а также требования к защитным, предохранительным и блокировочным устройствам.
10. Работа на ВЧ-генераторе характеризуется следующими вред-
ными и опасными факторами, воздействие которых на работников может привести к несчастному случаю:
высокое напряжение;

80
электромагнитное излучение.
11. Во избежание несчастных случаев каждый работник должен
строго соблюдать требования правил, норм и инструкций.
12. Для создания безопасных условий труда предусмотрены следу-
ющие меры защиты:
токоведущие части установки изолированы, в результате че-
го находятся в недоступных для работающих местах;
металлические части установки, которые могут вследствие
повреждения изоляции оказаться под напряжением, заземлены. За-
мер сопротивления контура заземления производится ежегодно;
запрещено во время работы открывать двери ВЧ-генератора.
При соблюдении указанных мер электромагнитное излучение не
превышает допустимого уровня.
13. В случае прекращения подачи электроэнергии, во время пере-
рыва в работе или в аварийной ситуации, ВЧ-генератор должен быть
отключен от питающей сети.
14. Периодические осмотры и планово-предупредительные ремон-
ты ВЧ-генератора, производятся по графикам, утверждённым руководителем работ.
15. Осмотр и ремонтные работы на ВЧ-генераторе производить при пол-
ном отключении установки от источников питания. При этом необходимы:
видимый разрыв в виде отключения разъединителя входно-
го рубильника с последующим снятием предохранителей;
на приводах (рукоятках приводов) коммутационных аппара-
тов во избежание подачи напряжения на рабочее место должны
быть вывешены плакаты «Не включать, работают люди»;
проверка отсутствия напряжения на отходящих кабельных
линиях, питающих установку;
заземление шкафа технологического блока.
16. Установка должна быть обеспечена следующими защитными
средствами:
штанга оперативная на напряжение до 35 кВ – 1 шт.;
указатель напряжения УВН-110 на напряжение до 20 кВ – 1 шт.;
клещи токоизмерительные К4570/1Ц – 1 шт.;
диэлектрические перчатки – 2 пары;
диэлектрические боты – 1 пара;
диэлектрические коврики 2 шт.;
переносное заземление ЗПП-15 – 1 шт.;
защитные очки – 2 пары;
щипцы (пассатижи) – 1 шт.;
халаты – 2 шт.
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]
