Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Специальные методы сварки плавлением в электронике. Учебное пособие для бакалавров

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
07.09.2026
Размер:
2 Мб
Скачать
☆
помог создать совершенно новые изделия во многих отраслях современной техники: в машиностроении, космической техни­ке, электронике, авиации, корабле- и приборостроении.
Но главное, что сделал в мировой науке Николай Федо­тович, — он сформулировал следующее определение диф­фузионного соединения: «Диффузионная сварка в твердом состоянии — способ получения монолитного соединения, обра­зовавшегося вследствие возникновения связей на атомарном уровне, появившихся в результате максимального сближения контактных поверхностей за счет локальной пластической деформации при повышенной температуре, обеспечивающей взаимную диффузию в поверхностных слоях соединяемых материалов».
В этом определении два ключевых слова: «диффузия» и «соединение». Процесс соединения характеризуется сращи­ванием материалов и их превращением в одно целое. К основным параметрам этого метода относятся температура, давление, время, а их удельное значение зависит от физико-химических и механических свойств соединяемых материалов, состояния их поверхностей, степени разрежения, конструктивных осо­бенностей и др. Это определение было принято Международ­ным институтом сварки в качестве определяющего
1
.
1.2. Особенности сварки деталей и узлов электронных приборов
Работоспособность практически всех изделий электрон­ной техники в значительной степени определяется качес­твом соединений деталей и узлов. Удельный вес операций с использованием сварки составляет довольно значительные величины от общей трудоемкости изготовления различных типов приборов: ПУЛ — 46–48%, CBЧ-приборов — 18–20%, дискретных полупроводниковых приборов и интегральных
1
Конюшков Г. В., Мусин Р. А. Специальные методы сварки давлени-
ем: Учеб. пособие. — Саратов: Ай Пи ЭР Медиа, 2009. — С. 85.
11
микросхем — 20–75%. Велика доля сварочных операций и при изготовлении вакуумного откачного оборудования, ва­куумных и водородных печей, насосов, сварочных установок и другого оборудования
2
.
Выпрямительные и приемно-усилительные лампы (ПУЛ), электронно-лучевые и фотоэлектронные, генера­торные мощные усилительные и газоразрядные приборы, несмотря на различное назначение и разнообразие конс­трукций, состоят из элементов, наличие которых характерно для всех групп. К этим элементам относятся катоды, аноды, замедляющие системы, выводы энергии, оболочки и т. д. Эле­менты имеют сходное исполнение и могут быть изготовлены из одних и тех же материалов по типовым технологическим процессам.
На рис. 1.1 представлены элементы различного оборудо­вания, изготавливаемого в большинстве случаев из стыковых и угловых соединений труб и труб с листами.
Требования к сварным соединениям определяются свойс­твами соединяемых материалов, назначением узлов и услови­ями эксплуатации электронных приборов и оборудования.
В электронной технике наиболее широкое применение находят медь марок МБ и МВ (медь бескислородная и медь вакуумной плавки чистотой 99,999% меди), нержавеющая сталь 12Х18Н10Т, ковар марки 29Н18К, никель, а также ту­гоплавкие металлы и их сплавы: титан, молибден, вольфрам, ниобий, рений и другие в литом или порошковом изготовлении. Известно, что только в электровакуумном производстве ис­пользуется более 300 марок металлов и сплавов. Как ни в ка­кой другой области техники, широкое применение находят керамика, стекла, ситаллы, ферриты, керметы, кремний, германий и другие неметаллические и полупроводниковые материалы. Сваркой плавлением изготавливают чаще всего замедляющие системы, анодные блоки и, как правило, обо­лочки ЭВП СВЧ-диапазона.
2
Конюшков Г. В., Мусин Р. А. Указ. соч. — С. 85.
12
¦

à)
¦
¦

¦
á)
Рис. 1.1. Положение шва при сварке:
стыковых (а) и угловых (б) соединений труб
¦

¨
3
:
Н1 — нижнее при горизонтальном расположении осей труб,
свариваемых с поворотом; Н2 — нижнее при вертикальном
расположении оси трубы, свариваемой без поворота или с поворотом
и горизонтальном расположении оси трубы, привариваемой с поворотом;
В1 — переменное при горизонтальном расположении осей труб
(трубы) свариваемых без поворота (на подъем); В2 — переменное
при горизонтальном расположении осей труб (трубы) свариваемых
без поворота (на спуск); Г — горизонтальное при вертикальном
расположении осей труб, свариваемых без поворота или с поворотом;
Н45 — переменное при наклонном расположении осей труб (трубы)
свариваемых без поворота; П2 — потолочное при вертикальном
расположении оси трубы, свариваемой без поворота или с поворотом
Замедляющие системы, анодные блоки являются важней­шими элементами практически всех СВЧ-приборов. Замедля­ющие системы ряда ЛОВ и ЛБВ (ламп обратной волны и ламп бегущей волны) выполняют одновременно и функцию оболочек приборов. Их соединения должны иметь высокую вакуумную плотность при термических нагрузках.
3
Сборник нормативных документов системы аттестации сварщиков
и специалистов сварочного производства РД 03-495-02. — М., 2002. — С. 75.
13
Оболочки приборов обеспечивают взаимное расположе­ние элементов, механическую прочность и жесткость всего прибора при различных статических и динамических нагруз­ках, получение внутри прибора вакуума и его сохранение при работе в различных температурных условиях. Через детали оболочки во внешнюю среду передается основное количество выделяемой в приборах тепловой энергии. В некоторых прибо­рах по металлическим деталям оболочек текут значительные по величине и частоте токи. Поэтому соединения деталей оболочки должны обладать высокой точностью, статической, динамической прочностью и формоустойчивостью, тепло­и электропроводностью, вакуумной плотностью, малой газо­проницаемостью при термоциклических нагрузках. Нередко к оболочкам приборов предъявляются жесткие требования по стойкости к воздействию агрессивных сред и радиации.
Одним из наиболее важных условий надежности и дол- говечности электровакуумных приборов (ЭВП) является способность их вакуумных оболочек сохранять герметичность в процессе изготовления и эксплуатации. Наблюдаемые на практике натекания через сквозные неплотности в обо­лочках могут отличаться по скорости на несколько порядков: от 10
–10
до 10
–20
Па. Допустимая величина натеканий современ­ных ЭВП СВЧ исходя из условий работоспособности в течение 10–12 лет не должна превышать 133,3 × (10
–20
... 10
–21
) Па·м 3/с.
Пример устройства металлокерамического СВЧ-прибо­ра, откачиваемого камерным способом, например камерной и гнездовой откачкой ЭВП, см. на рис. 1.2.
При изготовлении оболочек необходимо получать отве­чающие этим требованиям соединения меди, железа, никеля и других металлов и их сплавов друг с другом, а также со стек­лом и вакуумно-плотными керамическими материалами. В на­стоящее время широко применяются пайка твердыми припо­ями, аргонодуговая, электронно-лучевая, холодная и другие способы пайки и сварки.
Применение сварки в электронике позволяет не только по­лучить качественные соединения отдельных деталей, но и раз-
14
работать принципиально новые технологические процессы, улучшающие качество изделий электронной техники.
Рис. 1.2. Металлокерамический СВЧ-прибор, откачиваемый камерным
способом, например камерной и гнездовой откачкой ЭВП
4
Весьма перспективными направлениями являются сов­мещение операций спекания порошков с их одновременной приваркой к металлам, присоединение проводников в микро­схемах к тонким пленкам и полупроводникам и др.
5
Помимо конструктивных назначений сварных изделий они должны удовлетворять требованиям их применения и эксплуатации, прежде всего климатическим воздействиям: параметрам зоны умеренного климата, зоны пустынь, районов тропического кли­мата, морского тумана, Арктики, Антарктики и Гренландии. Высотные условия, параметры вибрации и ударных воздейс­твий также требуют учитывать их параметры при сварке.
Все сварные соединения в зависимости от конструктивных размеров соединяемых элементов в месте сварки, условий работ и предъявляемых требований можно условно разделить на три категории
6
.
1. Микросоединения круглых или плоских металлических выводов, выводов 5–500 мкм или этих выводов к поверхности полупроводников, диэлектриков или металлических пленок толщиной 0,05–5 мкм. Для материала выводов используются
4
Конюшков Г. В., Копылов Ю. Н. Диффузионная сварка в электро-
нике. — М.: Энергия, 1974. — С. 19.
5
Конюшков Г. В., Мусин Р. А. Указ. соч.
6
Костенко Е. М. Сварочные работы: Практическое пособие. —
М.: НЦ ЭНАС, 2006.
15
золото, серебро, алюминий, медь, позолоченный ковар или никель. Контактные площадки на полупроводниках, вакуумно­плотных, магнитных, пьезоэлектрических керамиках и стеклах изготавливаются из алюминия, золота, меди, никеля и серебра. Область контакта полупроводника с металлом должна иметь низкое удельное сопротивление (менее 1 Ом × см).
2. Сварные соединения приборов и устройств, которые при достаточном уровне прочности и контролируемом уровне деформации должны быть вакуумно-плотными при проверке масс-спектрометрическим гелиевым течеискателем чувст-
–11 м3
вительностью не хуже 6,5 × 10
Па/с после прогревов в те­чение десятков часов до температуры примерно 973–1073 K и 20-кратном термоциклировании по режиму 293–1073–293 К, эксплуатации в полевых условиях и хранении на складах в те­чение 10–12 лет.
3. Сварные соединения сборочных единиц, имеющих необходимый запас прочности, к которым не предъявляются требования по вакуумной плотности.
Помимо указанных требований, методы сварки, применяе-
7
мые в электронной технике, должны обеспечивать
:
сохранение на исходном уровне специфических свойств
свариваемых материалов и параметров микросхем;
соединение без применения припоев, флюсов и без огра-
ничения соотношения толщин одноименных и разноименных металлических материалов, а также металлов с полупровод­никами, керамиками, стеклами и другими неметаллическими материалами;
прочность сварных соединений, которая должна со-
ставлять не менее 0,8 предела прочности наименее прочного из свариваемых материалов;
уменьшение использования драгоценных и дефицитных
материалов;
100%-ный контроль качества соединений в процессе
сварки;
7
Костенко Е. М. Указ. соч.
16
создание высокопроизводительного автоматического
сборочног о оборудовани я на основе у нифици рованной конст рук­тивно-узловой базы с активным управлением технологически­ми процессами сварки для многономенклатурного производства изделий с аффективной эксплуатацией в течение 5–7 лет.
Названным требованиям удовлетворяет большинство из из-
вестных методов сварки, разумеется, в той или иной степени.
Качество сварного соединения и стабильность параметров процесса зависят также от ряда факторов, объединяемых по­нятием «качество процесса сварки» (рис.
1.3). К ним относятся технический уровень применяемого оборудования, надежность его системы и контрольно-измерительной аппаратуры. Су­щественное влияние оказывают также качество и надежность применяемой сварочной оснастки (приспособления, обеспечива­ющие центровку, передачу давления и температуры, экраниру­ющие устройства и др.), профессиональный уровень оператора и качество подготовки деталей к сварке.
¬КДЗ»БШЦГКИДМ¹Л¹ПББ
£ЗЖКЛЙМГЛБ»ЖФ¾Н¹ГЛЗЙФ
¡ÊÎǽÆÔ¾
ȹɹžËÉÔ
ɾ¿ÁŹ
«¾ÎÆÁоÊÃÁÂÌÉÇ»¾ÆÕ
БЖ¹½¾¿ЖЗКЛХЗºЗЙМ½З»¹ЖБШ
£¹Ð¾ÊË»Ç ÇÊÆ¹ÊËÃÁ
£¹Ð¾ÊË»Ç Ê»¹ÉÆÇ¼Ç
ÊǾ½ÁƾÆÁØ
£¹Ð¾ÊË»Ç
ÈÉÇϾÊʹ
Ê»¹ÉÃÁ
¨Ç½¼ÇËǻù
½¾Ë¹Ä¾ÂÃÊ»¹Éþ
£¹Ð¾ÊË»Ç
ÁÊÎǽÆÔÎ
Ź˾ÉÁ¹ÄÇ»
¦¹½¾¿ЖЗКЛХ
БАЕ¾ЙБЛ¾ДХЖФОИЙБºЗЙЗ»
£»¹ДБНБГ¹ПБШ
ÇȾɹËÇɹ
Рис. 1.3. Факторы, определяющие качество соединения
8
Конюшков Г. В., Копылов Ю. Н. Указ. соч.
8
17
Можно показать, что некоторое отличие качества соедине­ний одних и тех же сочетаний материалов, наблюдаемое у раз­ных исследователей, объясняется, видимо, расхождениями в качестве процесса и в оценке свойств соединений.
1.3. Теоретические основы образования соединения при сварке плавлением
1.3.1. Сварочная дуга и сущность протекающих в ней процессов
Наиболее распространенным способом сварки плавле­нием является электродуговая сварка. Прмерно 70–80% всех операций по сварке изделий практически во всех отраслях техники приходится на этот метод сварки с его многочислен­ными разновидностями.
Электрическая дуговая сварка классифицируется по не с кольким признакам.
По способу воздействия дуги на металл:
1) сварка дугой прямого действия плавящимся электродом (способ Славянова), рис. и изделием. Сварочный шов образуется за счет материала плавящегося электрода и оплавления кромок свариваемых изделий;
2) сварка неплавящимся электродом (способ Бенардоса), рис.
1.4, б. Дуга горит между неплавящимся угольным или вольфрамовым электродом и изделием. Сварочный шов об­разуется за счет оплавления кромок изделия и плавления присадочного прутка металла, подаваемого в зону сварки. Электрод нужен только для возбуждения и поддержания горения дуги;
3) сварка косвенной дугой. В сварочную цепь включены два электрода, а основной металл нагревается за счет тепло­отдачи столба дуги, рис.
1.4, а. Дуга горит между электродом
1.4, в;
18
4) сварка трехфазной дугой, рис.
1.4, г — дуга горит между электродами, а также между каждым электродом и изделием. В последних двух случаях электроды могут быть плавящимися либо неплавящимися.
а) б) в) г)
Рис. 1.4. Сварочные дуги:
а) прямого действия; б) неплавящимся электродом
(способ Бенардоса); в) косвенного действия; г) прямого
действия двумя электродами при трехфазном токе
По степени механизации процесса: ручная полуавтома­тическая и автоматическая сварка. При ручной сварке подача электрода и перемещение его относительно свариваемых кро­мок производятся рукой сварщика. При полуавтоматической сварке подача электрода механизирована, а при автомати­ческой сварке механизированы подача электрода и его пере­мещение относительно изделия или перемещение изделия относительно электрода.
По роду сварочного тока: сварка на переменном, постоян­ном и выпрямленном токе.
По виду защиты дуги: сварка открытой (видимой сварщи­ком) либо закрытой дугой, т. е. под слоем плавящегося флюса. Открытая дуга может быть защищена струей газа, вдуваемого в зону сварки, например аргона, углекислого газа.
По виду электрода: сварка штучным электродом, прово­локой, ленточным электродом, порошковой проволокой или лентой.
19
При дуговой сварке расплавление кромок соединяемых деталей и присадочного материала производится за счет тепла, выделяющегося при горении электрической дуги в га­зовой среде. При нормальных условиях газы ток не проводят, а в дуге они ионизируются и приобретают электропровод­ность.
После касания и отдаления электрода от изделия на­пряжение резко падает, что увеличивает плотность тока эмиссии и приводит к ионизации атомов газа в электродном промежутке, а это, в свою очередь, — к падению напряжения до предела устойчивого горения дуги. Ионизация приводит к образованию положительных и отрицательных ионов. По­ложительно заряженные ионы перемещаются к катоду-из­делию, а отрицательно заряженные ионы — к аноду-изделию (при прямой полярности тока).
Возникновение сварочной дуги происходит в четыре этапа (рис. 1.5).
Дуга, горящая между электродом и изделием при прямой полярности на воздухе, называется свободной (рис. 1.6).
В свободной дуге возникают три зоны: катодная с ка­тодным пятном служит для эмиссии электронов; анодная с анодным пятном, бомбардирующимся электронным потоком (при прямой полярности), и столба дуги, который занимает промежуточное положение между катодной и анодной зонами. К катоду устремляется поток положительных ионов, которые накаляют его до 2500–4000
о
С.
При ручной дуговой сварке покрытыми электродами тем­пература в зоне столба дуги при сварке достигает 6000–7000 ºС в зависимости от плотности сварочного тока.
В зависимости от применяемых электродов, рода тока и его полярности, способа сжатия и применяемого оборудова­ния можно идентифицировать дуги следующим образом: дугу называют короткой, если длина ее составляет 2–4 мм, длина нормальной дуги — 4–6 мм, дугу длиной более 6 мм называют длинной.
20
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]