Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Метод конечных элементов для моделирования устройств и систем. Учебное пособие

.pdf
Скачиваний:
2
Добавлен:
07.09.2026
Размер:
1 Мб
Скачать
☆
3.5. Рекомендации по реализации метода конечных элементов…
61
mgamma3 = np.array([[1,x1,z1], [1,x2,z2], [1,x4,z4]])
mgamma4 = np.array([[1,x1,z1], [1,x2,z2], [1,x3,z3]])
mdelta1 = np.array([[1,x2,y2], [1,x3,y3], [1,x4,y4]])
mdelta2 = np.array([[1,x1,y1], [1,x3,y3], [1,x4,y4]])
mdelta3 = np.array([[1,x1,y1], [1,x2,y2], [1,x4,y4]])
mdelta4 = np.array([[1,x1,y1], [1,x2,y2], [1,x3,y3]])
beta1 = -np.linalg.det(mbeta1)
beta2 = np.linalg.det(mbeta2)
beta3 = -np.linalg.det(mbeta3)
beta4 = np.linalg.det(mbeta4)
gamma1 = np.linalg.det(mgamma1)
gamma2 = -np.linalg.det(mgamma2)
gamma3 = np.linalg.det(mgamma3)
gamma4 = -np.linalg.det(mgamma4)
delta1 = -np.linalg.det(mdelta1)
delta2 = np.linalg.det(mdelta2)
delta3 = -np.linalg.det(mdelta3)
delta4 = np.linalg.det(mdelta4)
b1 = np.array([[beta1,0,0], [0,gamma1,0],
[0,0,delta1], [gamma1,beta1,0],
[0,delta1,gamma1], [delta1,0, beta1]])
b2 = np.array([[beta2,0,0], [0,gamma2,0],
[0,0,delta2], [gamma2,beta2,0],
[0,delta2,gamma2], [delta2,0, beta2]])
b3 = np.array([[beta3,0,0], [0,gamma3,0],
[0,0,delta3], [gamma3,beta3,0],
[0,delta3,gamma3], [delta3,0, beta3]])
b4 = np.array([[beta4,0,0], [0,gamma4,0],
[0,0,delta4], [gamma4,beta4,0],
[0,delta4,gamma4], [delta4,0, beta4]])
b = np.concatenate((b1, b2, b3, b4), axis = 1) / (6*v)
return b
# Вычисление матрицы эластичности элемента
def get_elasticity_matrix(self, e=350e9, nu=0.27):
d = (e/((1+nu)*(1-2*nu))) * np.array([
3. Программная реализация напряженно-деформированных состояний…
62
[1-nu,nu,nu,0,0,0], [nu,1-nu,nu,0,0,0], [nu,nu,1-nu,0,0,0], [0,0,0,(1-2*nu)/2,0,0], [0,0,0,0,(1-2*nu)/2,0], [0,0,0,0,0,(1-2*nu)/2] ]) return d # Вычисление матрицы жесткости элемента def get_stiffness_matrix(self, e=350e9, nu=0.27): v = self.get_volume() b = self.get_shape_matrix() d = self.get_elasticity_matrix(e, nu) b_t = b.transpose() k = np.linalg.multi_dot([b_t, d, b]) k *= v return k # Вычисление сил, действующих на элемент def get_element_forces(self, e=350e9, nu=0.27, alpha=8.8e-6): v = self.get_volume() b = self.get_shape_matrix() d = self.get_elasticity_matrix(e, nu) b_t = b.transpose() t = np.zeros((6), dtype=float) ct = alpha*(self.center_point.t - 293) t[0],t[1],t[2] = ct,ct,ct y = np.linalg.multi_dot([b_t, d, t]) y *= v return y
# Построение ансамбля матриц жесткости # для элементов def get_stresses(self, condition, source_elements, bound_box, e=350e9, nu=0.27, alpha=8.8e-6): stresses = [] k = self.assemble_global_stiffness(condition,
3.5. Рекомендации по реализации метода конечных элементов…
63
source_elements, e, nu, alpha)
y = self.assemble_external_forces(condition,
source_elements, e, nu, alpha)
u = np.linalg.solve(k, y)
for ind, el in enumerate(source_elements):
u_local = np.zeros(NODES_PER_ELEMENT *
DEGREES_OF_FREEDOM)
b = el.get_shape_matrix()
d = el.get_elasticity_matrix(e, nu)
t = np.zeros((6), dtype=float)
ct = alpha*(el.center_point.t - 293)
t[0], t[1], t[2] = ct, ct, ct
for i in range(NODES_PER_ELEMENT):
for j in range(DEGREES_OF_FREEDOM):
glob_index = el.nodes_indices[i] *
DEGREES_OF_FREEDOM + j
u_local[i * DEGREES_OF_FREEDOM + j] =
u[glob_index]
epsilon = b @ u_local
sigma = d @ (epsilon - t)
stresses.append(sigma)
return np.array(stresses)
def get_stresses_sig_bound(self, condition, source_elements, bound_box,
e=350e9, nu=0.27, alpha=8.8e-6):
stresses = []
k = self.assemble_global_stiffness(condition, source_elements,
e, nu, alpha)
y = self.assemble_external_forces(condition,
source_elements, e, nu, alpha)
# Задание граничных условий и решение систем
# линейных алгебраических уравнений,
# нахождение напряжений:
for ind, el in enumerate(source_elements):
if (el.location != mesh.Location.inner
and el.location != mesh.Location.top):
3. Программная реализация напряженно-деформированных состояний…
64
for i in range(NODES_PER_ELEMENT): for j in range(DEGREES_OF_FREEDOM): glob_index = el.nodes_indices[i] * DEGREES_OF_FREEDOM glob_index += j y[glob_index] = 0.0 for row_col in range(len(k[glob_index])): k[glob_index, row_col] = 0.0 k[row_col, glob_index] = 0.0 k[glob_index, glob_index] = 1.0 u = np.linalg.solve(k, y) for ind, el in enumerate(source_elements): u_local = np.zeros(NODES_PER_ELEMENT * DEGREES_OF_FREEDOM) b = el.get_shape_matrix() d = el.get_elasticity_matrix(e, nu) t = np.zeros((6), dtype=float) ct = alpha*(el.center_point.t - 293) t[0], t[1], t[2] = ct, ct, ct for i in range(NODES_PER_ELEMENT): for j in range(DEGREES_OF_FREEDOM): glob_index = el.nodes_indices[i] * DEGREES_OF_FREEDOM + j u_local[i * DEGREES_OF_FREEDOM + j] = u[glob_index] epsilon = b @ u_local stresses.append(epsilon) return np.array(stresses)
3.3. Основные сведения о синтаксисе языка Python
65
4. ПРИМЕР ПРИМЕНЕНИЯ МЕТОДА КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ РАСЧЕТА ТЕРМОУПРУГИХ
НАПРЯЖЕНИЙ В КРИСТАЛЛАХ САПФИРА
В настоящее время сапфир (α-Al2O3) является одним из перспектив-
ных материалов. Благодаря уникальному сочетанию физико-химических и оптических свойств (высокая температура плавления, малый коэффициент трения, большая твердость, химическая инертность, оптическая прозрач­ность в большом диапазоне длин волн, высокая прочность и теплопровод­ность, радиационная стабильность и высокая стойкость к термоудару), сап­фир является важным материалом, находящим широкое применение в микро- и наноэлектронике [29–30].
В течение последних десятилетий для выращивания монокристаллов
сапфира большого размера, использующихся для электронной техники, при­менялись методы горизонтальной направленной кристаллизации (ГНК), Чо­хральского, Киропулоса и метод Степанова. Одним из распространенных способов выращивания кристаллов сапфира из расплава является метод го­ризонтальной направленной кристаллизации (ГНК) [29–34]. При кристалли­зации существенное влияние на процесс роста кристалла сапфира и дефекто­образование оказывает форма кристалла. Так как кристаллы сапфира, полу­ченные методом ГНК, имеют характерную конфигурацию на начальном и последующих этапах роста, то представляют интерес исследования процесса формирования структуры, распределения примесей и характер дефектов в объеме кристалла, возникающих в процессе роста.
Вакуумная установка для роста кристаллов сапфира методом гори­зонтальной направленной кристаллизации состоит из контейнера, напол­ненного шихтой, молибденовой или вольфрамовой теплозащиты и графи­товой изоляции [35]. Рост кристаллов происходит при очень высоких тем­пературах (приблизительно 2 050 °C). Взаимодействие продуктов испаре­ния расплава с лодочкой вакуумной установки и теплозащитными экра­нами, а также с нагревателем может оказывать негативное влияние на про­цесс кристаллизации. Требования к качеству кристаллов сапфира зависят от их области применения. Тем не менее термоупругие напряжения могут сократить срок службы сапфировых элементов и могут привести к форми-
4. Пример применения метода конечных элементов для расчета…
66
рованию трещин. Таким образом, уменьшение уровня термоупругих напря­жений в кристаллах сапфира является актуальной задачей для получения кристаллов сапфира с улучшенными механическими и оптическими харак­теристиками.
Проведены экспериментальные исследования и расчеты уровня тер-
моупругих напряжений в процессе получения кристаллов сапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации.
Компьютерное моделирование термоупругих напряжений для про-
гнозирования качества получаемых кристаллов сапфира является предме­том исследования в течение последних нескольких лет [36–38]. В ряде тео­ретических работ рассматривают термоупругие напряжения в кристаллах сапфира [39–44]. Целью данного исследования является поиск общего под­хода для моделирования формирования возможных дефектов в процессе роста кристаллов сапфира.
В настоящее время проведено трехмерное моделирование термо­упругих напряжений в кристаллах сапфира, однако при этом актуальным является учет конусной части кристалла сапфира, полученного методом го­ризонтальной направленной кристаллизации.
Температурные градиенты в процессе роста кристаллов сапфира яв­ляются причиной формирования термоупругих напряжений в кристаллах. Для прогнозирования процесса формирования дефектов следует рассчи­тать распределение температур в процессе роста кристаллов сапфира в установке методом горизонтальной направленной кристаллизации. Опре­деление распределения температур в системе кристалл-расплав требует ре­шения уравнения теплопроводности [1–3].
В связи с малой скоростью движения контейнера установки для ро­ста монокристаллов сапфира, можно сделать вывод о том, что процесс находится в квазистационарном состоянии, а распределение температуры можно найти по следующей формуле [1–3, 34]:
,0)),,()(( zyxgradTTdiv
ii
(36)
где
i
– коэффициент теплопроводности, зависящий от температуры (
,1i
2 – соответственно кристалл и расплав);
i
T
– температура в кристалле
и расплаве.
4. Пример применения метода конечных элементов для расчета…
67
Граничные условия для системы уравнений (36), отражающие нераз-
рывность тепловых полей и тепловых потоков на границах раздела сред кристалл-расплав, записываются в виде следующих соотношений:
,
),,(
)(
),,(
)(
2
2
1
1
x
zyxT
T
x
zyxT
T
CC
(37)
),(
44
21
hotss
TTqq

(38)
,0sq
(39)
где  – постоянная Стефана-Больцмана;  – коэффициент излучения;
hot
T
– функция, задающая распределение температуры на кристаллизато-
рах; q – тепловой поток.
Результаты расчета температур (риc. 4.1, a) используются для моде-
лирования распределения дефектов (напряжений и трещин) на различных стадиях роста кристаллов сапфира. Для расчета распределения температур в кристаллах сапфира использовался метод контрольных объемов.
a б
Рис. 4.1. Схемы к расчету процесса роста кристаллов сапфира методом
горизонтальной направленной кристаллизации:
a – 1 – кристалл; 2 – расплав; б – 4, 5, 6, 7, 8 – боковые поверхности кристалла;
S1, S2 – верхняя и нижняя поверхность
Моделирование формируемых термоупругих напряжений в про-
цессе роста кристаллов сапфира проводилось с помощью метода конечных элементов [1–3, 45–46], использовались линейные элементы (тетраэдры), которые описывались функциями формы. Программа была разработана на высокоуровневом языке Python.
Матрица жесткости элемента задается формулой
4. Пример применения метода конечных элементов для расчета…
68
 
],][[][k BDBVT
(40)
где V – объем тетраэдра.
Как только получена глобальная матрица жесткости, мы имеем сле­дующее структурное уравнение:
   
,U[K] F
(41)
где U – вектор глобальных узловых перемещений; F – вектор глобальных узловых сил.
Матрицу деформаций можно найти как
 = Bu (42)
где B– матрица деформационного смещения; u– вектор перемещения эле­мента u = u; v; w).
Отношение напряжение-деформация ɛ может быть описано как
= D( - th), (43)
где D – матрица эластичности материала;
th
– начальные деформации,
вызванные тепловым расширением.
Граничные условия для выражений (42)–(43) для всех границ, кроме верхней (рис. 4.1,б) u = v = w = 0. Граничные условия на верхней границе:
yy = yx = yz
=0.
Метод конечных элементов [3, 45–46] для расчета перемещений, де­формаций и напряжений в кристаллах сапфира включает следующее:
1. Приближенное представление компонент перемещения u, v и w че-
рез типичные конечные элементы как линейную комбинацию их значений и значений их производных в заранее определенном числе узловых точек.
2. Матрицы жесткости элемента определяются на основе принципа
минимума потенциальной энергии.
3. Глобальная матрица жесткости находится на основе объединения
всех элементов и использования соответствующих граничных условий, что позволяет получить равновесные выражения для всех элементов.
4. Равновесные выражения решаются и находятся напряжения в ти­пичном элементе заменой локальных перемещений в соответствующем вы­ражении [45].
4. Пример применения метода конечных элементов для расчета…
69
Результаты расчета перемещений представлены на рис. 4.2, которые
оказывают влияние на значение термоупругих напряжений. Размер термо­упругих напряжений зависит от распределения температур.
Результаты численного моделирования термоупругих напряжений в кристаллах сапфира используются для исследования возможных причин образования трещин в кристаллах сапфира, полученных методом горизон­тальной направленной кристаллизации. Модель включает расчет темпера­тур, перемещений, деформаций и термоупругих напряжений в кристаллах сапфира методом конечных элементов на неструктурированной сетке.
а б
в г
Рис. 4.2. Результаты расчета в системе кристалл-расплав:
а –температур (в K); б – перемещенийu (в м);
в – перемещений v (в м); г – перемещений w (в м)
Экспериментальное исследование напряжений в кристаллах сапфира основано на поляризационном методе, который был признан наиболее при­менимым в качестве инструмента отображения дефектов сапфира. Экспери­ментальные исследования подтвердили результаты моделирования.
4. Пример применения метода конечных элементов для расчета…
70
Поэтому наличие градиентов температуры приводит к термоупру-
гим напряжениям в кристалле. Если термические напряжения превышают предел прочности материала, то в объеме кристалла будут созданы условия формирования структурных дефектов.
Для того чтобы избежать формирования дефектов, необходимо контролировать процесс роста кристаллов сапфира. Низкие термоупругие напряжения в процессе роста кристаллов сапфира позволяют уменьшить размеры и плотность дефектов в кристалле. Наличие неравномерно рас­пределенных термоупругих напряжений, превышающих предел критиче­ской силы материала, приводит к интенсивным пластическим течениям в растущем кристалле, что может привести к интенсивному образованию дислокаций [31].
Градиенты температуры вызывают термоупругие напряжения в кристалле. Если термические напряжения превышают предел прочности материала, то в кристалле возникают условия образования структурных дефектов.
Предложена вычислительная модель для анализа формируемых термоупругих напряжений в кристаллах сапфира. Приведены основы чис­ленных методов для исследования термоупругих напряжений в кристал­лах сапфира.
Модель расчета температур, перемещений, деформаций и полей напряжений при выращивании кристаллов сапфира позволяет провести численные эксперименты и изучить влияние входных параметров на каче­ство кристаллов. Такой подход позволяет улучшить процесс роста кристал­лов и получить кристаллы с пониженным уровнем дефектов. В предлагае­мой модели адекватно описывается влияние температур на образование термоупругих напряжений в сапфире. Данная модель позволяет выбрать оптимальные параметры роста кристаллов сапфира, что позволяет устра­нить формирование дефектов во время роста сапфира.
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]