
книги / Справочник по производственному контролю в машиностроении
..pdf
|
Измерение непрялюлинейности и неплоскостности |
|
6CI |
||||||||||
|
|
|
|
Примерное |
число |
пятен краски |
|
ТАБЛИЦА |
10.2 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
Минимальное |
число |
пятен |
|
|
Степень точности проверяемых |
|
|||||||
|
в квадрате |
2 ->;.ч2 Г> мм |
|
|
поверхностен |
(по |
ГОСТ |
10356—63) |
|||||
Св. |
20 |
до |
30 |
|
|
|
|
|
! 11 — IV |
|
|
||
» |
12 |
» |
20 |
|
|
|
|
|
|
V - |
VI |
|
|
» |
5 |
» |
12 |
|
|
|
|
|
VII - V I I I |
|
|
||
До |
5 |
|
|
|
|
|
|
|
IX ~ X |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ТАБЛИЦА |
10.3 |
|
|
|
|
Услонин |
применении |
iKiiu‘po'iiii.14 линеек |
I 71 |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
Кл асСЫ |
СоЧМ< )<• 1п |
|
|
|
|
||
Тип |
|
|
|
|
0 |
|
| 1 |
1 |
|
Метод |
|
||
|
Длина в мм |
Степень точности |
|
|
|||||||||
|
|
проверки |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
проверяемых |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
поверхностен |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
по |
ГОСТ |
10356 - 63, |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
не точнее |
|
|
|
|
|
ЛД, ЛТ, |
ЛЧ |
80. |
128. |
200 |
11 |
|
IV |
- |
1 |
«На |
просвет» |
||
|
|
|
320, |
500 |
|
III |
|
IV |
- |
} |
|||
шп, шд, |
|
|
|
|
|
||||||||
400, |
630, |
1000 |
IV |
|
VI |
VII |
'I |
Метод |
линейных |
||||
шм |
|
1600 |
|
— |
|
VI |
VII |
| |
|||||
|
|
|
|
|
отклонений |
и |
|||||||
|
|
|
2500,” 4000 |
— |
|
VII |
VIII |
J |
«на |
краску» |
|||
УТ |
|
630, |
1000 |
|
— |
|
VII |
VIII |
|
«На |
краску |
|
П р и м е ч а н и е . У шаброванных линеек типов ШМ и УТ при контроле «на краску» число пятен в квадрате со стороной 25 мм должно быть не менее: о0 — для линеек класса 0, 25 -— для линеек 1-го класса, 20 — для линеек 2-го класса.
ТАБЛИЦА 10.4 Условии применении поверочных плит при контроле «от плиты» [7]
|
|
|
|
Классе» |
точности плит |
|
|
Размеры |
п.ай г м мм |
01 |
0 |
1 |
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
Степень точности проверяемых поверх |
||||
|
|
|
ностей по ГОСТ 10356—63, не точнее |
||||
|
250x280 |
V! |
VII |
VIII |
| |
X |
|
400X |
400; |
630 х •!()<): |
V |
VI |
VII |
|
IX |
1000X |
630; |
1600 X 1000; |
|
|
|
|
|
2500 X 1600; |
4 000Х 1600 |
|
|
|
|
|
6S2 Измерение отклонений формы и расположения поверхностей
Механические приборы
Уровни (см. главу шестую). Уровни применяются для контроля прямолинейности и плоскостности шаговым методом. Сущность ша гового метода заключается в последовательном измерении смеще ния отдельных точек проверяемой поверхности относительно пре
дыдущей точки. Уровень, укрепленный на подставке с двумя опо рами, переставляют по проверяемой поверхности так, чтобы задняя опора каждый раз устанавливалась на место передней (рис. 10.2), и отсчитывают отклонения от горизонтали. По полученным данным строят график отклонений точек профиля относительно горизонтальной пло скости, проходящей через нулевую точку, й определяют отклонения
от прямой, соединяющей крайние точки профиля, и от прилегающей прямой (плоскости). Методика обработки результатов измерений при ведена в [2, 7, 13]. Погрешности измерения находятся в диапазоне ±0,003—0,005 мм [5].
При измерении отклонений от плоскостности подставку с уровнем
перемещают в нескольких направлениях* связанных общей точкой, |
|
и строят совмещенный график |
[1]. |
Плоскомеры карусельные |
завода «Калибр». Прибор (рис. 10.3) |
состоит из основания 1 с колонкой 2Увокруг которой поворачивается кронштейн 3 с измерительной головкой 4.
Прибор устанавливают основанием на середину проверяемой по верхности и выверяют так, чтобы показания и з м е р и т е л ь н о й головки
Измерение непрямолинейности и неплоскостности |
693 |
были одинаковы в трех произвольных точках проверяемой поверхности. По этим точкам устанавливают измерительную головку на нуль, а за тем определяют отклонения от них других точек проверяемой поверх ности. Основные данные и условия применения плоскомеров приведены
в |
табл. |
10.5 |
и |
10.6. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Для определения отклонений от прилегающей плоскости при из |
||||||||||||||
мерении |
карусельными |
плоскомсрами, |
а |
также |
шаговым |
методом |
|||||||||
в |
ЭНИМС |
разработан |
специальный |
прибор — модель |
|
плоскости |
|||||||||
МС25-М [7]. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ТАГ,ЛИЦА |
10.5 |
||
|
|
Техническая характеристика |
карусельных илткомерои 1.71 |
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1КП |
|
|
|
|
|
|
Основные |
показатели |
|
417 |
|
|
|
|
913 |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
Наибол! mini ;.|!,1лнт|) окруж |
|
UOO |
|
|
|
900 |
|
|||||||
|
ности, |
ограничивающем |
изме |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
рительную |
поверхность в мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
Цена деле;;ия |
отсчстного уст |
|
|
|
0,002 |
и 0,01 |
|
|
|
|||||
|
ройства |
в |
мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Погрешность |
прибора |
^<без |
|
0,0025 |
|
0,0025 |
|
|||||||
|
отсчетного |
устройства) в |
мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
Размеры площадки для уста |
|
0440 |
|
|
|
0 220 |
|
|||||||
|
новки прибора |
в мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
Габаритные |
размеры в |
мм |
1290 X. 410 X 870 |
732X 220X434 |
|
|||||||||
|
Масса |
в |
кг |
|
|
|
|
30 |
|
|
|
|
16 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ТАБЛИЦА |
10.6 |
||
|
|
|
Условия применения карусельных |
плоскомеров [7] |
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Размеры проверяемых |
поверх |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
При |
|
|
|
ностей в мм |
|
|
|
||
|
Отсчетное |
перемещении |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
измеритель |
60-160. 160- |
400- |
1009 |
| |
1000—2500 |
||||||||
|
устройство |
ного |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
стерж ИЯ |
|
с л <4icm. точности |
проверяемых |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
в пределах |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
поверх постен |
по ГОСТ |
10356—63, |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
не точнее |
|
|
|
||
|
Индикатор |
ч а с о в о |
0, 1 мм |
|
VIII |
|
VII |
VI |
|
V |
|
||||
го типа |
|
|
|
|
и начале |
|
; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
второго |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
оборота |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 мм |
|
IX |
|
VIII |
VII |
|
VI |
|
|
|
Измерительная го |
0,04 мм |
|
VI |
|
V |
IV |
|
III |
|
|||||
ловка с |
ценой |
деле |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ния 2 мкм
694 Измерение отклонений формы и расположения поверхностей
Оптические приборы
Автоколлиматоры и коллиматоры. Автоколлиматоры и коллима торы (см. главу шестую) применяются для измерения непрямолиш ; - ности и неплоскостности шаговым методом и методом оптического вн рования.
При измерении шаговым методом на проверяемую поверхность v.\’ кладываю'ГТСщо^ 10.4) с двумя опорами, на которой укр'. н- лено плоское зеркало 2\ автоколлиматор 3 устанавливают рядом с про веряемой поверхностью. Ось автоколлиматора должна быть перпенди кулярна к зеркалу и находиться на одной высоте с осью зеркала. В эт«м случае отраженное от зеркала изображение марки автоколлиматора (прозрачное перекрестие на темном поле или др.) занимает осевое поло жение в поле зрения окуляра.
При перемещении подставки с зеркалом по проверяемой поверх ности отклонения от прямолинейности (плоскостности) вызывают на клоны зеркала, в результате чего изображение марки смещается. Из меряя смещение изображения марки, определяют отклонения точек профиля проверяемой поверхности. Зеркало перемещают каждый раз на расстояние, равное расстоянию между опорами подставки.
При измерении методом оптическогошзи^овапия автоколлиматор используется как простая зрйтеЖна7труЙ2г,^авЯгеста зеркала приме няется визирная марка (освещенное перекрестие), устанавливаемая в отдельных точках проверяемой поверхности. Смещения перекрестия вызываемые отклонениями от прямолинейности (плоскостности), отсчи тываются по шкале окуляр-микрометра автоколлиматора.
Методика обработки результатов измерений приведена в [2, 7 ]. Условия применения автоколлиматоров указаны в табл. 10.7.
При использовании коллиматора визирную трубу прибора устана вливают рядом с проверяемой поверхностью, а по поверхности переме щают подставку с коллиматором или марку.
Микротелескопы. К этой группе приборов относятся приборы ППС-11, ППС-7, оптическая струна и плоскомеры оптические. При бор ППС-11 (ЛОМО) состоит из зрительной трубы, закрепляемой в установочном устройстве, визирной марки, зеркала и подставок с под светкой. Ранее выпускавшийся прибор ППС-7 состоит из зрительной трубы и коллиматора. С помощью этих приборов измерения отклонен кий от прямолинейности (плоскостности) могут осуществляться мето дами оптического визирования или_автокоддишдионным (методом рефлекции). Смещения изображения марки относительно центра пере-
|
Измерение непрямолинейности и неплоскостности |
695 |
|||
|
|
|
|
ТАБЛИЦА 10.7 |
|
Условия применения автоколлиматоров |
для контроля прямолинейности |
||||
|
|
|
и плоскостности [7] |
|
|
|
|
|
|
Тип автоколлиматора |
|
|
|
|
|
АК -0.25; |
|
|
Диапазоны проверяемых размеров |
А К-0,5; |
АК-1 |
||
|
АФ-2; МГА |
|
|||
|
|
|
в мм |
(ломот. точности |
прове |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
ряемых поверхпостсй |
|
|
|
|
|
по ГОСТ 10350-03, |
|
|
|
|
|
но точнее |
|
От |
400 |
ДО |
1 000 |
1 |
I — II |
Св. |
1000 |
|
2 500 |
I |
I —III |
» |
2500 |
|
Г) 300 |
I |
II |
* |
G300 |
» |
10 000 |
I |
I—II |
|
п р » |
|
|
для начала и конца диа- |
пазона.
крестин прибора могут быть определены в двух взаимно перпендику лярных направлениях по шкалам оптического микрометра.
Техническая характеристика прибора ППС-11 [2, 7]
Диапазон и з м е р е н и я |
в .................................................... |
.... « • |
0 , 2 — 2 0 |
|
У в е л и ч е н и е ( п р и ф о к у с и р о в к е н а б е с к о н е ч н о с т ь ) |
* . • |
2 6 * |
||
П о л е з р е н и я ( п р и ф о к у с и р о в к е н а б е с к о н е ч н о с т ь ) « « « |
0 ° 3 0 ' |
|||
Д и а п а з о н и з м е р е н и я п о ш к а л а м б а р а б а н о в о п т и ч е с к о г о |
|
|||
м и к р о м е т р а в м м ..................................................................... |
|
|
1 |
|
Ц е н а д е л е н и я ш к а л ы б а р а б а н о в в м м |
|
0 , 0 2 |
||
Погрешность прибора |
в мм ...................................................... |
— (0,01 -+ ^QQ" )» |
||
|
|
|
г д е L — р а с с т о я н и е |
|
Степень точности проверяемых поверхностей по ГОСТ |
д о м а р к и в м |
|||
VI —VII |
||||
10350 — 03, не т о ч н е е .............................................................. |
|
|||
Н е п а р а л л е л ви о с т ь об р , п у к и н о й п а р у жи о г о ц и л и н д р а |
|
|||
визирной липни труби........................................................ |
|
2" |
||
Г а б а р и т н ы е р а з м е р ы н мм ..................................................................... |
|
5 1 5 X 1 3 0 X 1 2 0 |
||
Масса в кг . ..................................................................................... |
5 |
Оптическая струма ДП-477М [7]. Опа состоит из визирной трубы, устанавливаемой неподвижно. и марки с точечным источником света, перемещаемой по проверяемой поверхности. Отклонения от прямо линейности могут быть измерены в вертикальной и горизонтальной плоскостях с помощью оптического компенсатора визирной трубы или микрометрических винтов марки, перемещающих источник света. Ви зирная труба имеет объектив со свойствами аксикопа, не требующий перефокусировки. Прибор оснащен также записывающим устрой ством.
696 Измерение отклонений формы и располоокения поверхностей
|
|
|
Техническая |
характеристика |
оптической |
струны |
|||||
Диапазон измерения отклонений от пря |
|
=£0,4 |
|||||||||
молинейности в |
м м ...................... |
|
в |
м....• |
« « |
|
|||||
Длина |
измеряемой |
поверхности |
• . |
|
0,2 — 30 |
||||||
Погрешность измерения . . . . . . . . |
|
=£0,5" |
|||||||||
Степень |
точности |
контролируемых |
по |
|
1 V - X |
||||||
верхностей по ГОСТ 10356—63 |
« . . |
|
|||||||||
Диапазон |
регистрируемых |
отклонений |
|
=£0,05 |
|||||||
в мм |
|
........................................ |
|
|
. ...................... |
|
|||||
Вертикальный |
масштаб регистрации . . . |
|
1000 |
: 1 |
|||||||
Диапазон перемещения марки в двух |
|
|
|
||||||||
взаимноперпендикулярных |
направле |
|
|
|
|||||||
ниях в мм . . . . . . . . . . . . . |
|
|
|
||||||||
Цена |
деления |
барабана |
компенсатора |
|
1 |
|
|||||
в мкм . ...................... |
|
|
|
|
|
|
|||||
Цена деления барабана микрометра марки |
|
0,01 |
|||||||||
в мм |
................................................. |
|
|
|
|
|
. . . . |
Трубы |
|||
Габариты |
в мм . . . . . . . . . . . . |
— 450 X 145X 200, |
|||||||||
Масса |
в |
кг |
|
|
|
|
|
|
марки |
— 130Х 120Х 185 |
|
|
|
|
|
|
|
Трубы — 9,85, |
марки — 1,85 |
Плоскомеры оптические. Эти приборы предназначены для кон троля плоскостности горизонтальных и наклонных поверхностей боль шой протяженности. Приборы основаны на визирном методе. Они со стоят из визирной трубы 1 (рис. 10.5), трех базовых марок 2 и измери тельной марки 3. Базовые марки, расположенные на проверяемой поверхности, задают плоскость отсчета.
Рис. 10.5
Регулируя опоры визирной трубы, совмещают плоскость визиро вания трубы с плоскостью отсчета, а затем определяют отклонения от этой плоскости измерительной марки, устанавливаемой в различные точки проверяемой поверхности. Крепление марок к проверяемой по верхности осуществляется с помощью постоянных магнитов.
При наводке на марки визирная труба плоскомеров не требует перефокусировки, так как в качестве объектива в ней применены сфе
рические |
аксиконы. |
|
Основные |
данные и условия применения плоскомеров приведены |
|
в табл. |
10.8 и |
10.9. |
|
|
Измерение непрямолинейности и неплоскостности |
|
697 |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Т А Б Л И Ц А |
10.# |
|
|
|
Техническая характеристика плоскомеров оптических |
[7] |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Тип |
|
|
|
|
Основные |
показа челн |
|
ПС41М |
ИО 12 |
ДП1477А-12 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
Погрешность |
измерения |
|
в о |
|
|
• 1 |
|
+ 0,5 |
|||||
в |
Размеры |
поверяемых |
|
поверхностей |
35 >; '.'9 |
35 X 2Г, |
25X25 |
|||||||
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
в |
Диапазоны |
измеряемых |
<п клоипии! |
|
|
|
|
|||||||
мм: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
П О |
микрометру |
Н И |
l l l p l l o i l |
ipyfn.l |
•' 0,5 |
d'0,5 |
dr 0,5 |
|||||
|
|
» |
|
v |
|
марки |
|
|
5, о |
:' 5,0 |
dr 5,0 |
|||
в |
Цена |
деления |
O I C |
B I I I |
O |
T O |
барабана |
|
|
|
|
|||
мм: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
микрометра |
визирной |
трубы |
0,001 |
0,001 |
0,001 |
|
||||||
|
|
|
» |
|
марки |
|
|
|
|
0,01 |
0,01 |
0,01 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ТАБЛИЦА |
10.9 |
|
|
|
|
Условия |
применения |
плоскомеров оптических [7J |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Типы плоскомеров |
|
|
||
|
Диапазоны |
|
|
|
IIC-4IM |
|j |
ИС-42 |
ДП1477А-12 |
|
|||||
|
проверяемых |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
размеров |
|
|
Степень точности проверяемых поверхностей |
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
по ГОСТ 10356—03, не точнее |
|
|
||
|
400— 1000 |
|
|
|
IV —VI |
|
I V - V |
|
II —IV |
|
||||
|
1000—2500 |
|
|
|
|
V —VII |
|
I V - V I |
|
III —VI |
|
|||
|
2500 —6300 |
|
|
|
V I —V III |
> 1> |
|
V —VII |
|
|||||
|
6300— 10 000 |
|
|
VII —VIII |
V i i —VIII |
|
VI |
|
||||||
|
II р и м о ч а и н е. Два |
значения |
даны для начала и конца диа |
|||||||||||
|
пазона. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Аналогичный прибор (мп кротелеекоп) выпускается фирмой «Rank |
|||||||||||||
Taylor |
Hobson» |
|2, |
7 1. |
|2, |
7, |
9, 11, |
13 J. Прибор |
основан на измере |
||||||
|
Оптическая линейка |
|
нии отклонении точек контролируемой поверхности от «нематериальной» прямой— оптической оси. Линейка / (тонкостенная труба с оптиче ской системой), устанавливаемая па две опоры 2 (рис. 10.б), имеет сквоз ной шлиц, вдоль которого перемещается измерительная каретка 3 со щупом 4, касающимся контролируемой поверхности. Для определе ния отклонений точек поверхности необходимо совмещать видимые на экране визирный штрих 5 и бифиляр 6 и снимать отсчеты по барабану микрометра 7.
698 Измерение отклонений формы и расположения поверхностей
Измерение непрямолинейности и неплоскостности |
699 |
Прибор имеет также регистрирующее устройство, позволяющее графически воспроизвести на бумаге профиль контролируемой поверх ности.
Техническая характеристика серийно выпускаемых линеек при ведена в табл. 10.10.
|
|
|
|
|
|
|
|
ТАБЛИЦА 10.10 |
|
|
Техническая |
ха(>ак герис гика |
оптических линеек |
||||
|
|
|
|
|
|
|
Гии |
лI* nt* iiк it |
Основные |
ПоказаТеЛ и |
|
IП : збм |
п с и |
ИС-49 |
|||
|
|
|
|
|
|
|||
Цена деления |
н мкм |
|
1 |
ОД. |
— |
|||
Наибольшая |
и. (меняемая |
1600 |
800 |
1600 |
||||
длина в мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
Пределы |
допускаемой |
по |
=£1,5 |
=£0,5 |
— 1,0 |
|||
грешности |
измерения |
ь мкм |
|
|
|
|||
Степень |
|
точности |
|
кон |
I —X |
1 - Х |
I —X |
|
тролируемых |
|
поверхностей |
|
|
|
|||
по ГОСТ 10356 — 63 |
|
|
|
|
|
|||
Диапазон |
в |
регистрируемых |
=£0,5 |
=£0,25 |
=£0,2 |
|||
отклонений |
мм |
|
|
|
|
|
|
|
Вертикальный |
масштаб |
ре |
1000 : 1 |
2000 ; 1 |
От 250 : 1 до 4000 ; 1 |
|||
гистрации |
|
|
|
|
|
|
|
|
Горизонтальный |
масштаб |
1 г 1 |
1 S 1 |
1 1 1 |
||||
регистрации |
|
|
|
|
|
|
|
Разработаны также оптические линейки для измерения на длине 3 и 4 м с погрешностью ± 2 и ± 3 мкм, бескорпусная линейка, позво ляющая контролировать прямолинейность на длине до 12—15 м, и авто матическая линейка (ИС-49) с фотоэлектрическим наведением.
На аналогичном принципе основан прибор «Родолайт» [2], выпу скаемый фирмой «Сбоке, Troughton Simms» (США). Прибор предназна чен для проверки прямолинейности, плоскостности, правильности взаимного расположения поверхностей, соосности отверстий и точности вращения.
Интерференционные приборы (интерферометры). Такие приборы предназначены для измерения непрямолинейности и неплоскостности поверхностей высоких степенен точности по ГОСТ 10356—63 (/ и II).
Прибор, разработанный акад. В. П. Липняком [10], состоит из коллиматора и зрительной грубы, в поле зрения которой сразу видна вся проверяемая поверхность. Измерение отклонений от прямолиней ности и плоскостности может быть произведено в любом месте поверх ности по искривлению иптер«|)Срснционных полос в десятых долях расстояния между ними. Точность измерения— до 1 мкм при длине проверяемой поверхности до 2 м.
Интерферометры [2, 7|, выпускаемые английской фирмой «Hilgerand Watts» (модели Т-48 и Т-24), позволяют производить измерения на длине соответственно 1250 и 610 мм, а интерферометр народного предприя тия «Саг! Zeiss» (ГДР) — па длине до 12 м (модель 12).
700 Измерение отклонений формы и расположения поверхностей
Проверка плоскостности доведенных поверхностей небольших размеров (до 120 мм) не грубее степени точности II по ГОСТ 10356—63 производится с помощью плоских стеклянных пластин (ГОСТ 2923—59).
Рис. 10.7
При наложении пластины с небольшим наклоном на проверяемую поверхность детали прямоугольной формы возникают интерференцион ные полосы, а при наложении на поверхность круглой детали — интер ференционные кольца (рис. 10.7). В случае выпуклости проверяемой поверхности интерференционные полосы будут искривлены от ребра
клина (рис. 10. 7, а), а в случае вогну- Ксмтро/шрисмая гости — к ребру клина (рис. 10.7, б), по^хметь Неплоскостность оценивается в долях интервала интерференционных полос или соответственно по числу замкнутых интер ференционных колец. При наблюдении интерференции в белом свете расстоянию между полосами (одному кольцу) соответ ствует 0,3 мкм (половина длины волны белого света). На рис. 10.7, а, б, в непло скостность соответственно равна 0,12 мкм
|
= |
0,4 |
0.3 мкм ^ у = |
1^ и 0,6 мкм |
|
(два кольца). |
струны и ми |
||
|
Измерение с помощью |
|||
|
кроскопа. |
Измерение непрямолинейности |
||
|
вертикальных плоскостей может произво |
|||
микроскопа |
диться с помощью микроскопа (рис. 10.8) |
|||
относительно струны. Струна должна быть |
||||
Рис. 10.8 |
расположена так, чтобы в крайних поло |
|||
жениях |
микроскопа ее изображение со |
впадало с перекрестием нитей окулярного микрометра. Отклонения от прямолинейности поверхности в различных ее точках вызывают соответствующие смещения перекрестия относи тельно струны.
Лазеры. Приборы позволяют производить измерения на больших расстояниях. Так, например, прибор модели 5600 фирмы «Pilkington
Perkin—Elmer» (Англия) предназначен для измерений на |
длине до |
105 м [7]; погрешность измерения на расстоянии св. 60 м |
примерно |
12 мкм. Измерения могут осуществляться визирным^или автоколлимационным (шаговым) методом. *— ' * ~~"