Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Рэди, Дж. Действие мощного лазерного излучения

.pdf
Скачиваний:
19
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
40.3 Mб
Скачать

Э Ф Ф Е К Т Ы , В Ы З Ы В А Е М Ы Е П О ГЛО Щ Е Н И Е М И З Л У Ч Е Н И Я

121

ность лазерного импульса. Для миллисекундного лазерногоимпульса типичные величины /'’крпх лежат в пределах 106— 107 Вт/см2. При очень низкой мощности лазерного излучения наибольшее количество массы выносится у тех материалов, кото­ рые обладают самой низкой теплопроводностью.

Существующие лазеры дают возможность легко получать в миллисекундном импульсе выходную энергию порядка 10 Дж. Типичная величина площади фокального пятна при использова­ нии короткофокусных линз составляет 10_3 см2. Для плотности энергии 104 Дж/см2 типичные глубины разрушения лежат в пре­ делах от нескольких десятых долей миллиметра до нескольких миллиметров. Для сфокусированного импульсного излучения с энергией в несколько джоулей типичные величины выброшенной массы составляют около 1 мг. При увеличении полной энергии в миллисекундном лазерном импульсе до сотен джоулей диаметр кратера растет быстрее, чем его глубина, так что глубины могут измеряться еще миллиметрами, но выброшенная из мишени масса уже достигает десятков и сотен миллиграммов [28, 29].

Рассмотрим теперь способы вычисления количества вещества, удаляемого с облучаемой поверхности. Обычно используемоеприближение основано на тех же предположениях, которыеиспользовались ранее при расчете увеличения температуры облу­ чаемой лазером массивной пластины. Для простоты пренебрежем наличием жидкой фазы. Это предположение можно оправдать, если заметить, что для типичных металлов скрытая теплота плав­ ления намного меньше как скрытой теплоты испарения, так и количества тепла, требуемого для нагревания .металла до точки кипения. Однако во многих случаях экспериментальные резуль­ таты свидетельствуют о том, что больше металла выбрасывается в жидком состоянии, чем в виде пара. Это может происходить при формировании материала кратера, когда испаренное веществосоздает давление внутри его. Под действием этого давления рас­ плавленный материал может вымываться со стенок кратера. Это

значительно увеличивает

количество

выброшенного вещества,

но такое явление трудно

поддается

расчетам 4). Предположим,,

что лазерный импульс имеет гладкую огибающую, п пренебрежем наличием пичков. Ни в одной из предложенных до сих пор моделей не рассматривают сложную осциллирующую структуру импульса.

Сначала мы проведем анализ, основанный на одномерном потоке тепла; поверхность испаряется непрерывно при постоянном под­ воде тепла; отток испаренного вещества от поверхности также происходит непрерывно [33]. Это рассмотрение позволяет быстрополучить простые оценки глубины испарения при заданных условиях.

4) Анализ этого процесса дан в работах [70, 71, 93].— Прим. ред.

ГЛАВА 3

122

При типичных параметрах поверхность материала нагревается до температуры испарения :) за очень короткое время tacn, опре­ деляемое выражением

W = (л/4) {Kpc/F2) (Г„Сп - Т0)2.

(3.39)

Здесь К, с, р и F — соответственно теплопроводность, теплоем­ кость единицы массы, плотность вещества и плотность потока лазерного излучения, Т„сп — температура испарения, Т0 — на­ чальная температура. Некоторые значения г!псп для типичных металлов и типичных плотностей потока лазерного излучения приведены в табл. 3.6.

ТАБЛИЦА 3.6

Время fjiсп, необходимое для достижения температуры испарения

Металл

 

 

Плотность потока лазерного излучения,

Вт/СМ 2

 

10J

 

105

J

10»

 

107

 

 

 

Bi

2,460 мс

24,6

мкс

0,246

мкс

 

 

■€d

8,970

мс

89,7

мкс

0,897

мкс

 

 

Pb

11,770

мс

117,7

мкс

1,177

мкс

 

 

Zn

12,770

мс

127,7

мкс

1,277 мкс

 

 

Mg

 

 

245,1

мкс

2,451

мкс

 

 

Sn

 

 

599,8

мкс

5,998

мкс

0,060

мкс

Ni

 

 

1,842

мс

18,415 мкс

0,184

мкс

Fe

 

 

1,855

мс

18,550

мкс

0,186

мкс

A1

 

 

2,666

мс

26,66

мкс

0,267

мкс

Mo

 

 

5,557

мс

55,57

мкс

0,556

мкс

Cu

 

 

8,26

мс

82,60

мкс

0,826

мкс

W

 

 

10,46

мс

104,61 мкс

1,046

мкс

I

Время до начала испарения может быть очень коротким. Как правило, оно намного меньше длительности миллисекундного импульса. Во многих случаях Аисп даже короче длительности

•одного пичка. Величины tncn для различных металлов меняются в широких пределах. Поверхность таких металлов, как висмут, кадмий и свинец, начинает испаряться уже на ранних стадиях импульса. Испарение вольфрама, меди и молибдена может не начаться даже до конца импульса. Если плотность потока не очень высока, длительность лазерного импульса оказывается слишком малой для того, чтобы эти металлы начали испаряться.

Если материал облучается постоянным потоком большой интен­ сивности и спустя время гисп начинает испаряться, то скорость

а) Под «температурой испарения» здесь имеется в виду температура кипения материала при нормальном давлении. Позже мы обсудим этот вопрос.

у с т 7ИСп )

Э Ф Ф Е К Т Ы , В Ы З Ы В А Е М Ы Е П О ГЛ О Щ Е Н И Е М И З Л У Ч Е Н И Я

123

удаления вещества будет приближаться к стационарному значе­ нию, равному

уст = Ftp {L с (^исп — Т0)\.

(3.40)

Здесь L — теплота испарения единицы массы. Глубину испарения можно выразить как функцию времени в единицах 2ПСЦ. При этом неявно предполагается, что импульс во времени имеет плоскую форму. При уве­ личении времени скорость приближается к стационар­ ному значению. На фиг.

3.17 показана зависимость глубины испарения под действием лазерного им­ пульса (в единицах

•о т

п р и в е д е н н о г о

 

в р е м е н и

 

 

 

t / t a c n

Д л я

т и п и ч н ы х

м е -

 

 

 

т а л л о в .

 

быстро

оценить

 

 

 

 

Чтобы

 

 

 

глубину

испарения

мате­

 

 

 

риала под действием мил­

 

 

 

лисекундного

лазерного

 

 

 

импульса, можно вычис­

ФИГ. 3,17.

 

 

лить

из

равенств

(3 .3 9 )

и

Приведенная глубина

испарения для ти­

■(3.40)

величины

уст и 7поп

пичных металлов как функция приведен­

для данного материала

и

ного времени в случае миллисекундных

лазерных импульсов.

 

 

данных

параметров

лазе­

Расчет проводился по модели, предполагающей

ра, а затем воспользовать­

непрерывный отток испаренного вещества. За еди­

ницу глубины принято произведение стационар­

ся

графиком фиг.

3 .1 7 .

 

ной скорости испарения 1

на

время достижения

 

Рассмотрим теперь им­

температуры испарения <

.

Подробное описа­

пульсы

более

реальной

ние см. в тексте.

 

 

формы.

Если

величина

 

 

 

t acп

очень

мала в масштабе

времени изменения

мощности в ла­

зерном импульсе, то скорость движущейся границы раздела парообразной и твердой фаз г) будет устанавливаться равной своей стационарной величине, которая соответствует значению потока в каждый момент времени. Глубину испарения можно найти численными методами, используя соотношение (3.40) для мгновенной величины скорости испарения в интервале от 7ИСП до конца импульса. Это дает количество вынесенного материала в зависимости от полной энергии лазерного излучения в импульсе конкретной формы. Типичные результаты представлены на

*) Как указано в работе [72], граница твердое тело — пар в режиме разви­ того испарения является скорее исключением; в случае металлов испаре­ ние всегда происходит с поверхности жидкой фазы.— Прим, перев.

ГЛАВА 3

124

фиг. 3.18. Они относятся к тем же самым металлам, эксперимен­

тальные

результаты

для которых

были даны на фиг.

3.15.

 

 

 

 

На фиг. 3.18 приведена

 

 

 

 

зависимость

вычисленной

 

 

 

 

глубины испарения от плот­

 

 

 

 

ности

энергии

в

гладком

 

 

 

 

импульсе

с длительностью

 

 

 

 

700 мкс для двух

различ­

 

 

 

 

ных диапазонов

плотности

 

 

 

 

энергии лазерного

излуче­

 

 

 

 

ния. Общий порядок рас­

 

 

 

 

положения металлов почти

 

 

 

 

такой же,

как

и в экспе­

 

 

 

 

рименте.

Форма

кривых

 

 

 

 

на фиг. 3.18,

а

при

пото­

 

 

 

 

ках ниже

400 Дж/см2 схо­

 

 

 

 

дна

с формой

эксперимен­

 

 

 

 

тальных

кривых

вблизи

 

 

 

 

10 000

Дж/см2,

но глуби­

 

 

 

 

ны испарения меньше. На

 

 

 

 

фиг. 3.18, б расчетные кри­

 

 

 

 

вые

лежат

относительно

 

 

 

 

близко друг к другу и идут

 

 

 

Хоо параллельно.

Абсолютные

 

Плотность энергии, Д ж /см *

величины

 

вычисленных

 

 

 

 

глубин

на

фиг.

3.18, б

 

 

 

 

близки к

эксперименталь­

 

 

 

 

ным для металлов

с

низ­

 

 

 

 

кой температурой

плавле­

 

 

 

 

ния, но отличаются у ме­

 

 

 

 

таллов с высокой

темпера­

 

 

 

 

турой

плавления.

Подоб­

 

 

 

 

ные

расхождения

указы­

 

 

 

 

вают на то, что отраже­

 

 

 

 

ние

света

от поверхности

 

 

 

 

металла, а также выброс

 

 

 

 

расплавленного материала

т о т о 6000 вооо юооо т оо т оо юоои

играют существенную роль.

Результаты,

представлен­

Фиг . 3.18.

Плотность энергии, Дж /см 2

ные на фиг. 3.15, относят­

 

 

 

ся к

мощности

падающего-

Расчетная глубина кратера, образующе­

лазерного излучения,

при­

гося при

испарении различных металлов

лазерным

импульсом

с

длительностью

ходящейся на единицу пло­

700 мкс,

в зависимости

от

энергии, по­

щади. Если большая часть

глощенной на единице площади,

падающего на поверхность

а — малая плотность поглощенной энергии; б

света отражается,

то

пра-

большая плотность поглощенной энергии.

Э Ф Ф Е К Т Ы ,

В Ы З Ы В А Е М Ы Е П О ГЛ О Щ Е Н И Е М И З Л У Ч Е Н И Я

125

вильнее

было бы сравнивать фиг. 3.15 с фиг. 3.18, а,

а не с

фиг. 3.18, б. Столь высокие экспериментальные величины указы­ вают на то, что происходит выброс расплавленного вещества. Если значительная доля металла вырывается из кратера, не ис­ парившись полностью, то измеряемая глубина существенно уве­ личивается.

В наших расчетах не учитывалось также отражение света, кроме того, не принимались во внимание осциллирующая струк­

тура

лазерного

 

импульса

 

 

 

и

выброс

расплавленного

 

 

 

материала. Формы теоре­

 

 

 

тических

кривых при ма­

 

 

 

лых

значениях

энергии,

 

 

 

приходящейся

на единицу

 

 

 

площади, а также тот факт,

 

 

 

что общий порядок распо­

 

 

 

ложения различных

мате­

 

 

 

риалов близок к получен­

 

 

 

ному

экспериментально,

 

 

 

свидетельствуют о том, что

 

 

 

проведенное

рассмотрение

 

 

 

н

основном

корректно

в

 

 

 

пределах ограничений, на­

 

 

 

лагаемых неучтенными яв­

 

 

 

лениями.

 

 

теперь ре­

ФИг. 3.19,

 

 

 

Рассмотрим

испарения графита под действием

зультаты

расчета

для гра­

Глубина

лазерного импульса длительностью 700 мкс

фита,

где

следует ожидать

в завпснмостп от плотности поглощенной

более

эффективного

пог­

энергии.

 

 

лощения света и отсутствия

1 — гладкий

графит; 2 — шероховатый графит;

жидкой фазы. Эти резуль­

о — графит

спектроскопического класса [27].

 

данными [27] приведены на

таты вместе с

экспериментальными

фиг. 3.19. Можно отметить

хорошее

согласие между расчетами и

экспериментом.

лучшей

теории, по-видимому, нецелесообразно

 

Построение

ввиду значительных усложнений, возникающих при рассмотрении ппчковой структуры и таких деталей, как механизм выброса расплавленного материала. Более того, если принять во внимание поправки, изложенная теория в состояний описать в общем виде наблюдаемые явления. Поскольку в экспериментальных данных имеется большой разброс, зависящий от условий опыта, более целесообразно изучать каждый конкретный случай эксперимен­ тально х).

J)С такой точкой зрения трудно согласиться. Описанный в тексте подход

канализу процесса испарения металлов под действием лазерного излуче­ ния является чрезвычайно упрощенным. Прежде всего, как видно из тек-

ГЛАВА 3

12f>

Для сравыеипя энергии, получаемой от лазерного луча, с пол­

ной энергией, требуемой для выноса вещества, в работе

[34]

было проведено всестороннее экспериментальное исследование выноса материала под действием лазера с миллисекундным импульсом *). При этом измерялся энергетический баланс. С помо­ щью интегрирующей сферы была измерена зависимость коэффи­ циента отражения света от времени. Результаты измерений пока­ зывают, что для излучения лазера на неодимовом стекле с интен­ сивностью в интервале 106—107 Вт/см2 отражательная способность резко падает в течение первых 200 мкс до уровня ~ 0 ,2 —0,3 и остается низкой в течение оставшейся части импульса. Это означает, что большая часть энергии сфокусированного милли­ секундного лазерного импульса поглощается металлической поверхностью, даже еслп начальный коэффициент отражения велик.

Удаленный с поверхности материал собирался и изучался под микроскопом. Для определения относительных долей пара и жидкости в выброшенном веществе было использовано окисление металла п травление кислотой. Для оценки кинетической энергии применялся баллистический маятник, а количество тепла, остав­ шееся в образце, определялось по толщине измененного слоя металла. Уравнение для энергетического баланса имеет вид

t

 

j Р (t') А di' = M lEl -f M VEV+ КЕ + НЕ,

(3.41)

о

 

где Р (t) н А (t) — мощность лазерного излучения и поглоща­ тельная способность поверхности как функции времени; М и Е — выброшенная масса и удельная теплота фазового перехода; индек­ сы L и V относятся соответственно к жидкости и пару; КЕ н НЕ — соответственно кинетическая энергия вынесенного вещества и теп­ ловая энергия, остающаяся в образце. Было найдено, что баланс

ста, оп не согласуется с экспериментом по измерению испаренжнфяассы; кроме того, ои не позволяет в принципе определить температуру испаряе­ мой поверхности, скорость движепия пара, условия экранировки поверх­ ности паром, долю жидкой фазы в продуктах разрушения, величину импульса отдачи и многие другие физические характеристики процесса испарения. Таким образом, излагаемый в книге подход является с физи­ ческой точки зрения неудовлетворительным.

В настоящее время имеется достаточно полная теория испарения погло­ щающих твердых тел под действием лазерного излучения, дающая удов­ летворительное объяснение основным закономерностям, наблюдаемым

вэксперименте. Кроме цитируемых ниже в этой главе работ [35—37], отметим статьи [69—81], в которых подробно исследована кинетика испа­ рения, динамика расширения пара, баланс энергии и доля жидкой фазы

впродуктах разрушения при умеренных интенсивностях лазерного излу­

чения.— Прим, ред.

i) Аналогичные измерения были проведены в работе [73].— Прим. ред.

Э Ф Ф Е К Т Ы , В Ы З Ы В А Е М Ы Е П О ГЛ О Щ Е Н И Е М И З Л У Ч Е Н И Я

127

энергии достаточно хорошо выполняется даже при

измерениях

с временным разрешением.

 

До сих пор мы полагали температуру испарения равной обыч­ ной температуре кипения материала. В работе [28] предложена модель, в которой температура па движущейся границе, разделяю­ щей пар и твердое тело, была выше обычной температуры испаре­ ния *). Для определения характеристик стационарного режима предполагается существование предельной скорости ист перемеще­ ния границы фаз. Считается, что температура поверхности Т' больше нормальной температуры кипения вещества. Закон сохра­

нения энергии дает

 

F « y CT(cr + L),

(3.42)

где F — (постоянная) плотность потока лазерного излучения, поглощаемая на поверхности; остальные обозначения определены выше. Используется известное из статистической механики соот­ ношение

(1/п) (dn/dt) = v0 exp ( — LM/N0kT'),

(3.43)

где n — плотность атомов на поверхности, v0 — дебаевская часто­ та («НО13 с-1), М — атомный вес, N 0 — число Авогадро и к — постоянная Больцмана. Это равенство, по существу, определяет скорость, с которой атомы покидают поверхность, уходя из потен­ циальной ямы, в которой они находились. Скорость ист испарения поверхности можно выразить через dn/dt. Объединив эти два равенства, получим соотношение между Т и F:

F fa hav[cTf + L] exp ( — LM/N0kT').

(3-44)

Здесь ha — величина, приблизительно равная толщине атомного слоя в веществе. На фиг. 3.20 представлены результаты решения уравнения (3.44) относительно Т' как функции F для нескольких металлов.

На левой стороне фиг. 3.20, т. е. при малых плотностях потока («НО8 Вт/см2), температура испаряющейся поверхности прибли­ зительно равна температуре кипения при нормальном давлении; при больших плотностях нотока (ЗНО8 Вт/см2) эта модель пред­ сказывает значительное превышение температуры поверхности над нормальной температурой кипения. Уравнение (3.43) в неяв­ ном виде определяет зависимость скорости движения фазовой границы от плотности потока. Некоторые результаты расчетов 1’стпоказаны на фиг. 3.21. При низких плотностях потока скорость не сильно отличается от той, которая соответствует нормальной

х) Это не совсем точно. В работе [28] (п более ранней работе [74]) вычислена температура испаряющейся поверхности как функция плотности потока излучения. При низких плотностях потока она может быть меньше темпе­ ратуры кипения при нормальном давлении.— Прим. ред.

Плотность потопа лазерного излучения, Вт/см 2

Фиг, 3,20.

Приведенная температура испаряющейся поверхности (в единицах N 0kT '/LM)

как функция плотности поглощаемого потока для некоторых металлов, рас- ■считаннаяЩз соответствии с обсуждаемой в^тексте моделью [28].

Ф И г. 3 ,2 1 .

Скорость испарения поверхности для некоторых металлов как функция плот­ ности поглощенного потока, рассчитанная в соответствии с обсуждаемой в тексте моделью.

Э Ф Ф Е К Т Ы , В Ы З Ы В А Е М Ы Е П О ГЛ О Щ Е Н И Е М И З Л У Ч Е Н И Я

129

температуре кипения. При очень больших плотностях потока скорость имеет тенденцию к насыщению и ее величина становится меньше той, которая получается в предположении, что испарение происходит при обычной температуре кипения.

На фиг. 3.22 проводится сравнение двух кривых, соответствую­ щих вычисленной скорости испарения поверхности вольфрама

Скорость испарения поверхности вольфрама как функция плотности погло­ щенного потока.

I — кривая,

рассчитанная в предположения, что испарите происходит при нормальной

температуре

кипения; I I — кривая, рассчитанная в предположении, что

поверхность

имеет более высокую температуру, соответствующую модели, описанной в тексте.

для случая испарения при нормальной температуре

кипения

и для рассмотренной выше модели. При плотностях потока ниже 108 Вт/см2 кривые мало различаются, но при более высоких плот­ ностях потока расхождение становится значительным.

Такое описание необходимо при рассмотрении очень больших пиковых мощностей, получаемых от лазеров с модуляцией доброт­ ности. Однако в этой области, как мы увидим, начинают прояв­ ляться другие эффекты. В диапазоне мощностей, в котором жела­ тельно получить максимальное испарение, величина температуры не намного превышает обычную температуру кипения. Более того, уравнение, описывающее кинетику испарения, не является достаточно точным, так что любое отклонение от результатов, выведенных при использовании нормальной температуры кипения, не очень существенно по крайней мере для плотностей потока, меньших 10s Вт/см2.

Испарение лазерами непрерывного действия трудно поддается расчетам вследствие потерь на излучение. Мощные лазеры на ит- трий-алюминиевом гранате, активированном неодимом, излучаю-

9 - 0 2 8

ГЛАВА 3

130

щие сотни ватт, способны испарять металлы в непрерывном режиме. Для больших плотностей потока и не слишком больших времен оценку количества вещества, испаренного под действием сфокусированного излучения лазера непрерывного действия, мож­ но было бы получить, решая уравнение (3.40) для величины vCT.

Резюмируя изложенное, отметим, что в этом разделе мы рас­ смотрели испарение под действием миллисекундных лазерных импульсов с плотностью потока до 10°—107 Вт/см2. Испарение в этом режиме можно расшатривать как происходящее при нор­ мальной температуре кипения металла при постоянном отводе испаренного вещества от поверхности, движущейся в глубь металла. Характерные величины количества вещества, выброшен­ ного под действием импульса сфокусированного лазерного излу­ чения миллисекундной длительности с энергией 10 Дж, составляют от одного до нескольких миллиграммов. Кратер имеет глубину от одного до нескольких миллиметров. При увеличении плотности потока до величин порядка 10°—1010 Вт/см2, характерных для импульсов лазера с модулированной добротностью, возникают уже существенно новые явления.

2. Испарение импульсами лазера с модулированной добротностью

При помощи лазеров с модулированной добротностью' легко получить на поверхности мишени плотности потока, пре­ вышающие 109 Вт/см2. В этом режиме необходимо учитывать явления, отличные от тех, которые были характерны для плот­ ностей потока порядка 10е—107 Вт/см2. Многие авторы подходили к этой проблеме с разных точек зрения [3, 28, 35—39]. В качестве важного отличия по сравнению со случаем испарения милли­ секундным лазерным импульсом следует отметить влияние испа­ ренного вещества или вещества, выброшенного с поверхности под действием лазерного нагрева. В присутствии этого вещества взаимодействие с поверхностью существенно изменяется. Испарен­ ное вещество оказывает большое давление на поверхность, что приводит к изменению условий испарения. Кроме того, оно может поглощать свет и экранировать поверхность от лазерного излуче­ ния. Наконец, поскольку вещество сильно нагревается, оно может передавать поверхности значительный импульс отдачи. Различные предложенные модели дают предсказания, находящиеся в каче­ ственном согласии с экспериментом; однако пока еще не сущест­ вует полного описания всей совокупности происходящих явлений.

В предыдущем разделе предполагалось просто, что испаренный материал выносится без дальнейшего взаимодействия. В данном разделе особое внимание будет уделено материалу мишени и тому,

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ