
Наноматериалы для радиоэлектронных средств. Ч. 2. Исследование наноматериалов с помощью сканирующего туннельного микроскопа (96
.pdf
|
|
2L |
|
|
|
|
T(E,U) = exp |
− |
бар |
2m(E0 |
− eU / 2 |
− E) . |
(6.5) |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
При вычислении ВАХ по формуле (6.4) важны значения функции Т(E,U) при энергиях Е в интервале между EF и потолком барь-
ера Е0 – eU/2 ≡ А. Поэтому под знаком корня |
А Е в формуле |
||||||||||||||
(6.5) можно выделить малое слагаемое X ≡ E/A и применить при- |
|||||||||||||||
ближенную формулу |
|
|
≈ 1 – (1/2)X. В результате получаем |
||||||||||||
|
|
2Lбар |
|
|
Lбар |
eU / 2 |
|
Lбар |
|
E − EF |
|
|
|||
T(E,U ) ≈ exp − |
|
|
exp |
|
|
|
exp |
|
|
|
, |
(6.6) |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
L0 |
|
|
L0 |
Eбар |
|
|
|
Eбар |
|
|
||
|
|
|
|
L0 |
|
|
|
||||||||
где 1/ L |
2mE |
|
/ . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
бар |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Введенная величина L0 имеет смысл характерной длины затухания волновой функции электрона внутри барьера. При углублении в барьер на это расстояние вероятность найти электрон падает на порядок. Для барьера высотой Eбар = 1 эВ эта длина L0 равна примерно 0,2 нм (рис. 6.6), т. е. сравнима с размером атома. Подставляя выражение (6.6) в формулу (6.4), находим сначала интеграл I(U):
11 |
, нм |
|
|
|
0,1.1 |
|
|
|
|
|
Е |
бар |
, эВ |
|
0,01 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0.010.1 |
1 |
|
10 |
10 |
0,1 |
1 |
|
|
|
|
Рис. 6.6 |
|
|
|
21
∞ |
|
I(U ) = e− 2Lбар / L0 eβ0 eU / 2 ∫ dEe−(β−β0 )( E−E ) , |
(6.7) |
E
где β0 ≡ Lбар / L0 1/ Eбар .
Здесь интеграл от экспоненты равен 1/(β – β0), поэтому для ВАХ (6.4) получаем:
J (U ) = |
C |
|
− 2L |
/ L |
eβ0 |
eU / 2 |
(1 − e−β |
eU |
(6.8) |
|
e |
бар |
0 |
|
). |
||||
β(β − β0 ) |
|
|
|
Для барьеров с высотой Ебар более 1 эВ и шириной Lбар около 1 нм значение β0 много меньше, чем β. Поэтому в формуле (6.8) можно положить β – β0 ≈ β. В формуле (6.8) можно пренебречь экспонентой в скобках по сравнению с 1, если U > kТ/е (примерно 30 мВ при комнатной температуре). В результате получается экспоненциальная ВАХ:
J(U ) |
C |
e |
− 2L |
/ L |
e |
β |
eU / 2 |
. |
(6.9) |
|
бар |
0 |
0 |
|
|||||
2 |
|
|
|
|
В отличие от рассмотренных ранее экспоненциальных ВАХ здесь множитель при напряжении U равен не β, а β0 << β. Поэтому при умеренных напряжениях U ≤ 2/β0 ≈ 0,5 В форма ВАХ больше похожа на прямую, чем на экспоненту:
|
C |
|
2 |
|
|
L |
|
eU |
|
|
J(U ) = |
|
e |
|
бар / 0 1 |
+ |
бар |
|
|
. |
(6.10) |
|
|
|
|
|
||||||
|
2 |
|
|
|
|
L |
|
E |
|
|
|
β |
|
|
|
|
2 0 |
|
бар |
|
Это видно на рис. 5.10 (кривая 3) и на рис. 6.7 (кривые 1–3), построенном в двойном логарифмическом масштабе. Отклонение от прямой становится заметным в двух случаях: 1) при Lбар > 2L0, если напряжение eU «поднять» до высоты барьера Ебар; 2) при eU > > Ебар, если ширину Lбар барьера увеличить больше значения 2L0, например, до 1 нм.
Когда между иглой и подложкой нет промежуточной среды (т. е. в условиях сверхвысокого вакуума), работа выхода Ебар электрона из чистого металла равна 4…5 эВ. Для таких высоких барьеров изменение ширины барьера Lбар на 0,1 нм приводит к изменению тока на порядок.
22

107 |
|
|
|
|
|
|
|
|
J, А/см2 |
|
|
|
|
|
|||
|
6 |
|
|
|
|
|
|
|
106 |
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
105 |
|
|
|
1 |
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
l1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
l2 |
4 |
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
l3 |
|
|
|
|
3 |
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
102 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
100 |
|
|
|
|
|
|
|
1010 |
0 |
3 |
0.01 |
0.1 |
|
1 |
||
|
1 |
3 |
|
|||||
|
|
10 |
2 |
0,1 |
U, В |
|
||
|
10 |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
Рис. 6.7 |
|
|
|
Из формулы (6.10) видно, что отношение Lбар/L0 можно найти, продолжая прямой участок на графике рис. 6.8 (кривая 1) до пересечения с осью Y. Ордината этой точки Y = ln(C/β2) –2Lбар/L0. Здесь неизвестны две величины — Lбар и L0. Чтобы их найти,
107 |
2 |
|
|
|
|
J, А/см |
|
|
|
|
|
66 |
|
|
|
|
|
10 |
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1055 |
|
1 |
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
1044 |
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
1033 |
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
102 |
|
|
|
|
|
100 0 |
0.2 |
0.4 |
0.6 |
0.8 |
|
0 |
0,2 |
0,4 |
0,6 |
0,8 |
U, В |
|
|
Рис. 6.8 |
|
|
|
23

I t |
|
можно |
измерить |
смещение |
∆Y |
|||
( ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
Imax |
|
этой точки Y, когда ширина барье- |
||||||
|
ра Lбар меняется на ∆Lбар. Для это- |
|||||||
|
|
|||||||
0 |
|
го иглу приближают на ∆Lбар |
по |
|||||
Ioc |
t |
нормали к подложке (например, |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Imin |
|
∆Lбар = 0,1 нм при типичном рас- |
||||||
Z(t) |
|
стоянии Lбар = 1 нм) и повторяют |
||||||
|
измерение ВАХ в новом положе- |
|||||||
|
|
|||||||
Zmax |
|
нии (кривая 2 на рис. 6.8). Затем |
||||||
|
|
|||||||
|
|
находят L0 из соотношения | ∆Y | = |
||||||
Z |
|
= 2∆L |
/L |
, т. е. высоту |
барьера |
|||
oc |
t |
|
бар |
0 |
|
|
|
|
|
Ебар |
(см. формулу (6.6) и рис. 6.6). |
||||||
Z |
|
|||||||
min |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
На рис. 6.8 видно, что для |
||||||
|
|
нахождения приращения ∆Y необя- |
||||||
Рис. 6.9 |
|
зательно измерять всю ВАХ цели- |
||||||
|
|
ком. Достаточно измерить прира- |
||||||
|
|
щение |
логарифма |
ln(J) |
тока |
J |
в одной точке U (например, 0,5 В) после перемещения иглы на ∆Lбар, если этот участок ВАХ прямолинеен. Можно перемещать иглу в некотором диапазоне Z от Zmin до Zmax и измерять зависимость тока от координаты Z при постоянном напряжении U.
Процедура получения таких метр-амперных характеристик (МАХ) (рис. 6.9) совершенно аналогична процедуре измерения ВАХ в работе № 5. Участки линейного изменения координаты Z с отключенной ОС (около 10 мс) чередуются с промежутками работы ОС, восстанавливающей заранее заданный ток IОС. Это восстановление IОС может сопровождаться сильными всплесками тока I и координаты Z (не показанными на рис. 6.9). Значение и продолжительность всплесков зависят от состояния нанослоя между иглой и подложкой. Подробнее временные и частотные характеристики тока I рассматриваются в работе № 7. Как и для измерения ВАХ, здесь можно применить усреднение по отдельным точкам или по целым кривым, снимаемым последовательно.
6.2.Расчетная часть
•Найти высоту барьера Ебар, ширину барьера Lбар и погрешности ∆Е, ∆L их измерения, если известны следующие данные:
24
1)экспериментальные ВАХ в логарифмическом масштабе на рис. 6.8 отличаются шириной барьера на ∆Lбар = 0,2 нм;
2)погрешность измерения тока ∆I =10 пА;
3)эффективное поперечное сечение трубки тока между иглой
иподложкой S = 3 ± 0,3 нм.
•Найти высоты барьеров Ебар и погрешности ∆Е для трех разных нанослоев при следующих условиях:
1) экспериментальные ВАХ в логарифмическом масштабе на рис. 6.7 получены при одинаковой ширине барьера Lбар = 1 нм;
2) погрешности измерения тока ∆I и сечения S ± ∆S те же, что в предыдущем задании.
6.3.Экспериментальная часть
•Под руководством преподавателя подготовить иглу, подложку, СТМ, и сблизить иглу с подложкой до нанометрового зазора, как описано в работе № 4.
•Измерить МАХ зазора «игла — подложка». Для этого:
1)в меню параметров измерения МАХ установить диапазон перемещений ∆Z = 0,1 нм, высоту измерения Н = 3 нм над подложкой, время действия ОС ТОС = 10 мс и отключить усреднение;
2)включить режим измерения МАХ. Зарисовать семейства МАХ с экрана ПЭВМ и осциллограммы тока I и перемещения Z с экрана осциллографа;
3)повторить измерения МАХ с другими значениями параметров ∆Z, Н, ТОС;
4)проанализировать измеренные МАХ, затем найти высоту
барьера Ебар, ширину барьера Lбар и погрешности ∆Е, ∆L.
6.4.Контрольные вопросы
1.Каковы характерные значения напряжений и токов при измерении работы выхода?
2.Каков физический смысл величин, входящих в исходную формулу (6.1) ВАХ?
3.Поясните рисунком, как график функции F(Е) зависит от напряжения U и температуры Т.
25
4.Почему при комнатной температуре «хвост» функции F(E,U) (см. рис. 6.4) перестает зависеть от напряжения U, когда U становится больше приблизительно 60 мВ?
5.С помощью каких допущений получается формула ВАХ (6.4) из формулы (6.1)?
6.Покажите на рис. 6.2, как выглядит график туннельной прозрачности Ттун(E, U) при напряжении U = 0,5 В.
7.В чем сходство и различия прозрачностей Т(E, U) при тунне-
лировании и при надбарьерном переносе?
8.Получите формулу (6.6) из формулы (6.5).
9.При каких значениях работы выхода Ебар изменение ширины барьера Lбар на 0,1 нм приводит к изменению тока J на порядок?
10.Как погрешность ∆Lбар определения ширины барьера Lбар связана с погрешностями нахождения ∆ln(J) и ∆L0 по прямолинейным участкам ВАХ?
26

Работа № 7. ИЗМЕРЕНИЕ ШУМОВЫХ И ФРАКТАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК КВАЗИЖИДКИХ НАНОСЛОЕВ
С ПОМОЩЬЮ СТМ
Цель работы — изучение методики измерения шумовых и фрактальных характеристик наноматериалов в виде квазижидких нанослоев и закрепление теоретических знаний о хаотических колебаниях в наноматериалах.
7.1. Теоретическая часть
Свойства материала, нанесенного на поверхности подложки в виде квазижидких нанослоев, отличаются и от свойств «классической» сплошной среды вроде жидкости или твердого тела, и от свойств «квантовой» совокупности отдельных атомов. Эти отличия важны как для диагностики, так и для модификации наноматериалов, погруженных в такие нанослои или контактирующих с ними. Для изучения этих свойств можно измерять зависимость амплитуды шумовых колебаний тока от частоты, а также измерять фрактальные характеристики зависимости тока (рис. 7.1) через нанослой, нанесенный на проводящую подложку. Этот ток зависит от состояния наноматериала.
Для описания состояний системы электронов в наноматериале вводится фазовое пространство — пространство состояний
Электрические (U)
и механические (∑) Наноматериал
I(t), I(ω) напряжения
Рис. 7.1
27

Y |
|
Y |
|
|
|
Y1 |
|
|
Y2 |
|
|
X1 |
X2 X |
X |
|
а |
б |
Рис. 7.2
(рис. 7.2 а). С течением времени точка, изображающая состояние системы, перемещается в пространстве состояний вдоль некоторой траектории (рис. 7.2, б). Размерность этого пространства равна числу степеней свободы системы. Например, для описания классической системы из одной частицы в виде материальной точки существуют три обычные пространственные координаты (X, Y, Z) частицы и три составляющих ее импульса (PX, PY, PZ) — всего шесть независимых величин. В этом случае фазовое пространство шестимерно, и состояние (Ω) есть составной вектор (X, Y, Z; PX, PY, PZ). При добавлении в систему новых частиц каждая из них добавит шесть степеней свободы, поэтому для системы из M частиц фазовое пространство (Ω) имеет 6М измерений.
Поведение сложных систем описывают следующими распределениями вероятностей в фазовом пространстве: 1) многочастичной функцией F(Ω) распределения вероятности находиться около точки Ω этого пространства; 2) распределением W(Ω1, Ω2) скоростей вероятностей перехода между точками Ω1 и Ω2. Функция распределения F(Ω) есть плотность вероятности найти систему в точке Ω. Условие нормировки функции F(Ω) есть запись вероятности достоверного события — найти систему хотя бы в одном из всех возможных состояний Ω:
|
dΩ |
||||
∫ F(Ω) |
h3M |
=1, |
|
|
|
или |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
dΩ |
|
∫ F( X1,Y1, Z1; PX1 , PX1 , PX1 , ..., X |
,Y |
, Z ; PX , PX , PX ) |
h3M |
=1, (7.1) |
|
где dΩ ≡ dX dY dZ dP dP dP ... dX |
|
dY dZ dP dP dP . |
|||
28 |
|
|
|
|
|

Элемент фазового пространства объемом dΩ есть произведение приращений координат dX и импульсов dPX по всем осям для всех частиц. Чтобы М-частичная функция распределения F(Ω) была безразмерной, здесь элемент объема dΩ поделен на h3М, где h — постоянная Планка, имеющая размерность произведения координаты X на импульс РX. Смысл такого деления в том, что по соотношению неопределенности Гейзенберга (∆Х ∆РХ > h) каждая частица не может занимать фазовый объем ∆Ω меньший, чем h3.
Для перехода от многочастичной функции распределения F(Ω) к одночастичной f (P) функции распределения в импульсном Р-пространстве последовательно делаются следующие предположения о свойствах системы: 1) отсутствие корреляций; 2) одинаковость частиц; 3) однородность в пространстве; 4) статистика Ферми — Дирака.
Рассмотрим эти предположения подробнее.
1. Между состояниями частиц нет никаких корреляций. Поэтому М-частичная вероятность разбивается на произведение независимых одночастичных вероятностей:
|
F(Ω) = f (Ω ) f (Ω )... f |
(Ω ); |
|
|
|
||||||
|
dΩ |
dΩ |
|
dΩ |
|
||||||
∫ f1(Ω1) |
h |
3 |
∫ f2 (Ω2 ) |
h |
3 2 |
... ∫ f |
(Ω ) |
h |
3 |
=1. |
(7.2) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2. Частицы считаются одинаковыми. Поэтому все распределения вероятностей одинаковы и условие нормировки F(Ω) превращается в нормировку одночастичной функции f1(Ω1):
1(Ω1) = 2 (Ω2 ) = ... = (Ω );
|
dΩ |
3 |
=1 → ∫ f1(Ω1) |
dΩ |
(7.3) |
||
∫ f1(Ω1) |
h |
3 1 |
|
h |
3 1 =1. |
||
|
|
|
|
|
|
Вместо функции распределения f1(Ω1), описывающей одну конкретную, хотя и произвольную, частицу, вводим другую одночастичную функцию f(Ω1), описывающую любую частицу, независимо от ее выбора из всех М частиц:
f (Ω ) = f (Ω ) + f2 (Ω2 ) +... + f (Ω ) = Mf1(Ω1);
29

|
dΩ |
|
|
|
|
∫ f (Ω ) |
h |
3 |
= M |
|
|
|
|
|
|
|
|
или |
|
|
|
|
|
|
|
|
dVdV |
|
|
∫ f ( X ,Y, Z; PX , PY , PZ ) |
h3 P |
= M. |
(7.4) |
Вероятность наступления хотя бы одного из М событий равна сумме вероятностей этих событий, поэтому в условии нормировки для новой функции f(Ω1) в правой части оказывается не единица, а число частиц М. Здесь dV = dX dY dZ — элемент объема в пространстве координат одной частицы, а dVP = dPX dPY dPZ — элемент объема в пространстве импульсов.
4. Система считается однородной, т. е. распределение вероятности f(X, Y, Z; PX, PY, PZ) не зависит от положения (X, Y, Z):
f ( X ,Y, Z; PX , PY , PZ ) = f (PX , PY , PZ ) ≡ f (P);
V ∫ f (P) dVh3P = M
или
|
dV |
M |
|
|
∫ f (P) |
h3P |
V |
n. |
(7.5) |
Поэтому интегрирование по dV дает объем V всей системы, и
функция f(P) распределения частиц по импульсу оказывается нормированной на концентрацию n = M/V частиц.
5. Для вычисления плотности W потока частиц надо сложить все скорости v, взвешенные с плотностью вероятности f(P):
|
dV |
W = ∫ vf (P) |
h3P → W = nv0 при f (P) = nh3δ(P − P0 ), (7.6) |
где δ(P − P ) ≡ δ(PX − mvX )δ(PY − mvY )δ(PZ − mvZ ).
Здесь показано, как получается привычная формула W = nv0, когда все частицы движутся только с одной скоростью v0. Такое состояние описывается дельтаобразной функцией распределения f(P) частиц по импульсам Р. Коэффициент перед δ(P – P0) на-
30