Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Атомно-силовая микроскопия (120

..pdf
Скачиваний:
5
Добавлен:
15.11.2022
Размер:
1.11 Mб
Скачать

. .

. . , . .

-

! " . .

-. . . «! " " " " »

#$% &'( . . .

2012

1

( 621.385.833(075.8)22.338

26

+ " $ : . . , #. . $

. .

26 - : /. / / . . - , . . . — .: #$ - &'( . . . , 2012. — 38, [2] . : .

#$9 ;$ - . + 9 / - .% $ - . !- $ $9 , / " - / /$" $ -2000 « ».

, / <= " % «-> », 9 , "$<- = / $/ , -"$ "$.

( 621.385.833(075.8)22.338

&'( . . . , 2012

2

- — $$/ 9 $- > , % . ? <- = $ (Scanning Probe Microscopy — S+ ).

?/= @ %$ - / $ ( = @ > $ ( )> , 10 ) <=$ ( ), / = % $ - %< /$" $. ?/ %9 $ % -/$" . = $ - %< ( ) %<.

A $ = S+ 9 $- % ( % ) / %> :

<= % (Scanning Tunneling Microscopy — STM). % @ $< , 9 @ = $ %< /$" - < / %> 9 (0,01…10 A) <$<= $ $ % , $= ; " /$" . B - $ <= % — -<= $ — &. &. +-( C ) 1986 . / 9 / ;

- (Atomic Force Microscopy — AFM). ! %$ @ < 9 $ $ /$" . B 9 " % / , /$ / % / %> (--% ) , $<= 9 -

3

%< /$" $. A ; " $ % ; /$" . - -/ $/ 1986 . &. , . @ . &- / ;

• <= / 9 % (Scanning Nearfield Optic Microscopy — SNOM). B - <= / 9 % -( ), 9 <= " %>, $ / %> . " - $ ; , 9 / " - . ! 9 %< /$" $ ;$ 9 $< ,9 , %$ % ; .

%, <= $$< % $/ 9 -/$" %< 9 "- $ , ; % < , / / < - < $ $ . ! @$/ 9 < / % -/$, = < ; " < ;$, , % / .

<= $ / %$, . A > ; " <= $ $ - > . <= $ 9 % $/$ (- = , @ , / .) /$ =-9 /I - . 9 %$% % 9 , , @ , , . ! @ <= $ >= .

4

1. ! " #- $% # & '

+ / - ( ) - %$ $, $<= " -9 /$" -$ , <= / < %, 9 = " , $ ( . 1.1).

! $% $ $ -/$" % 9< $ % ; - . A @ , , " % . = /$" % /$, / % /$" — $ 9 . ? = $ < %- > < % ; .

A $ , $ % ; %$ 9 $, @ % /$" .

. 1.2 $% 9 $ -F R 9 $ /$" .

! $ " <, $ -/$" $ / %> . ! / 9 $ /$" / , $ % < / <9 ( A- -A % ). 9 /$% , $ /$"

5

/$ % , @ / - % , < @ - . ! % > %> 9 @ @ " % $/ 9 . > <9 , 0,2 .

& . 1.1. $/ 9 :

1 — $; 2 — %; 3 — ; 4 — % /$"

& . 1.2. B % 9 $ -F R 9 $ /$"

6

$ $ /$" / %> -$ / /$" . ! $ %, $ /$" , 9 %. , , $ $ -$, , 9 $ = , < % /$" " $/$" - - . ' = / 9 $% >-( % ) $% $% $> <= < / % . ! $ /$" -$ / $ %-<= 9 9 . ;; 9 9$ /$" . A @ @- % F(R) 9 % $, /-, 9 R 9$ $ /$" $ $ -/ 9 $ . A -$.

J $ $ //$" % $ ; $. -9 % %$ -$ / %> $ / %> = / .

/$" 9 $ / %> -9 $ $ /$" . ?/$" 9 %< ; % / " /$" ., $ / < $ /- %< /$< / . -% @ , 9$ $% $% F(R).

A /= $ 9 $ %< /$" < % <, %- < ( 9 = < /$" ) <= . ! @ - % $ $ /$" /

7

9 , $ -< . $ < - 9 /$" / %> - , 9 .

! $/ 9 % ; /$" $" $ / . A = = / %> - " $ / / $. /.

& . 1.3. ? :

— " $ / (1 —$; 2 — ; ); — ; (1 4 — " ;- ; 5 — $)

? < ( . 1.3) < < /$, / $ $ ; %, 9 $ " ; % / ; . A $"--% ; < "-; . ?: ; "$ / % <= 9 ;- " % <=

8

9 $ $ /$" . ?- 9 $ = $ " ; $$% KI $ " ; , "- % $ / . + @ $ / $ 9 % , 9 % 9 $ -$ /$" , 9 % < -% ; (Z-) .

$ % ; /$"$ %. ! @ KI %- $ / $ (? ) , $ / ? 9 ( . 1.4). L ? 9 / % 9 KI = = const, / $ = /$" Z- 9 % $ / : KZ = const.

& . 1.4. / $ :

1 — ; ; 2 — % ; 3 — $; 4 — /$"; 5 — ; ? — / $; KI — ; U — / ? ( 9 , %$ <= /$" Z-)

9

! /$" 9 KZ = const $ = < % , @ - = /$" Z- $< % %<% ; Z = f(X, Y). A %- % $ $> <= $

% 9 $ - $ 10–6...10–12 , " % /

; . A = $ " -, $<= % $>/$" .

2. & ( #! & "! " #- $) # & '

+ 9 ; " % ;/$" =%< ; " <: — - ; — 9 $ - .

! < 9 / 9 $ - % / %> : ( / " , /- % ) . L $/ 9- < 9 / , $ //$" ,9 $< , — .

! < 9 / 9 9 -$% / %> : / . ! 9 / - , $<= 9 $, /-9 — 9 ( . 2.1). A -/ 9 $< .

A = / %> -9 / .

! / 9 / - / <= $ 9 9 $ -9 $ /$" .

10

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]