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502 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȒȓșȓțțȜȑȜ ȠȖȝȎ ȝȞȖȚȓȟȪȬ ȞȎȟȠȐȜȞȓțțȜȗ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȓ. ȃȖȚȖȥȓȟȘȜȓ ȠȞȎȐșȓțȖȓ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȜȟȪ ȠȎȘ Ȕȓ Ȓșȭ ȜȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȝȞȖȞȜȒȩ ȒȓȢȓȘȠȎ, ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȘȜȠȜȞȜȑȜ ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȖȟȪ EBIC-ȚȓȠȜȒȜȚ, Ȑ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȥȓȑȜ ȏȩșȜ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȗ ȝȞȜȏȜȗ ȒȖȜȒȜȐțȎȏșȬȒȎșȟȭȖȚȓțțȜȐȚȓȟȠȎȣȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȭȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȩȣ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ.

5.1. ȂȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ p-i-n ȒȖȜȒțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ Ȗ ȝȜșȡȥȓțȖȓ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠȜȐ

ǾȎȟȟȚȜȠȞȖȚ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȩ, ȝȞȜȐȓȒȓțțȩȓ Ȑ [2] țȎ ȝȜȒșȜȔȘȎȣ 4H-SiC ȟȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪȬȑȞȎțȖȞȎȕȜȞȖȓțȠȖȞȜȐȎțțȜȗȝȜȒȡȑșȜȚ 4° Ș țȎȝȞȎȐșȓțȖȬ 1120§. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ Cree-ȘȜȚȝȎțȖȖ ȟ ȐȩȞȎȧȓțțȩȚȖ țȎ țȖȣ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȚȖ ȟșȜȭȚȖ n-ȠȖȝȎ ȠȜșȧȖțȜȗ 12 ȚȘȚ Ȗ ȟ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ șȓȑȖȞȡȬȧȓȗ ȝȞȖȚȓȟȖ 5¸1015 ȟȚ 3. ǶȟȟșȓȒȡȓȚȩȗ p-i-n ȒȖȜȒ ȏȩș ȝȜșȡȥȓț ȟȓșȓȘ- ȠȖȐțȜȗȒȖȢȢȡȕȖȓȗȎșȬȚȖțȖȭȖȏȜȞȎȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ1800–2000°ǿ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȎȞȑȜțȎ ȥȓȞȓȕ ȑȞȎȢȖȠȜȐȡȬ ȚȎȟȘȡ ȟ ȜȠȘȞȩȠȩȚȖ ȜȘțȎȚȖ ȒȖȎȚȓȠȞȎȚȖ ȜȠ 200 ȒȜ 1000 ȚȘȚ. Dzșȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȒȖȜȒȜȐȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȟȭȟȠȎțȒȎȞȠțȩȗȝȞȜȤȓȟȟȢȜȠȜșȖȠȜȑȞȎȢȖȖ. Ǹ p-Ȝȏ- șȎȟȠȖSiC ȜȚȖȥȓȟȘȖȓTi/Al ȘȜțȠȎȘȠȩ ȠȜșȧȖțȜȗ 150 țȚ, ȟȜȕȒȎȐȎșȖȟȪ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȩȚ ȜȟȎȔȒȓțȖȓȚ ȟ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȚ ȜȠȔȖȑȜȚ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓȎȕȜȠȎȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ1000°ǿȝȞȜȒȜșȔȖȠȓșȪțȜȟȠȪȬ 5 ȚȖțȡȠ. ǼȚȖȥȓȟȘȖȗ ȘȜțȠȎȘȠ Ș ȜȏȞȎȠțȜȗ ȟȠȜȞȜțȓ ȝȜȒșȜȔȘȖ n+-ȠȖȝȎ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȟȭ ȜȟȎȔȒȓțȖȓȚ Ȗ ȜȠȔȖȑȜȚ ȟșȜȭ țȖȘȓșȭ.

ǰȜșȪȠȎȚȝȓȞțȩȓȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ(ǰǮȃ) p-i-n ȒȖȜȒȜȐȖȕȚȓȞȭșȖȟȪ țȎȡȟȠȎțȜȐȘȓ Keithley-2410, ȎEBIC ȘȜțȠȞȎȟȠ – ȟȝȜȚȜȧȪȬȟȘȎțȖȞȡȬȧȓȑȜ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȑȜ ȚȖȘȞȜȟȘȜȝȎ JOEL-35CF ȝȞȖ ȡȟȘȜȞȭȬȧȓȚ țȎȝȞȭȔȓțȖȖ 25 Șǰ. ǰȜ ȐȞȓȚȭ ȖȕȚȓȞȓțȖȗ ȜȏȞȎȠțȜȓ ȟȚȓȧȓțȖȓ țȎ p-n-ȝȓȞȓȣȜȒȓ ȖȕȚȓțȭșȜșȟȪ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ 0–30 ǰ. ǻȎȏșȬȒȎȓȚȩȓ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ EBIC ȒȓȢȓȘȠȩ ȖȒȓțȠȖȢȖȤȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȚ ȠȞȎȐșȓțȖȓȚ ȝȜȒșȜȔȓȘ Ȑ ȞȎȟȝșȎȐȓ KOH ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 600°ǿ. ǺȓȕȎȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȖȜțțȩȚ ȠȞȎȐșȓțȖȓȚ.

5.2. ȃȎȞȎȘȠȓȞ ȘȜțȠȞȎȟȠȜȐ Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȝȜȠȓțȤȖȎșȎ ȟȚȓȧȓțȖȭ țȎ p-i-n ȒȖȜȒȓ

EBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓ(ȘȜțȠȞȎȟȠ) p-i-n ȒȖȜȒȎȝȞȖțȡșȓȐȜȚȜȏȞȎȠțȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ țȎ p-n ȝȓȞȓȣȜȒȓ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȜ țȎ ȞȖȟ. 5.1Ȏ. ǰțȡȠȞȓț-

503

țȖȗ ȘȞȡȑ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȓȠ Ti/Al ȘȜțȠȎȘȠ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȗ țȎ p-ȜȏșȎȟȠȖ. ȀȓȚțȩȗ țȎ EBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȖ ȡȥȎȟȠȜȘ ȭȐșȭȓȠȟȭțȓȝȜȘȞȩȠȜȗȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȝșȓțȘȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪȬ p-ȜȏșȎȟȠȖ.

ǽȞȖ țȡșȓȐȜȚ ȜȏȞȎȠțȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ EBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓ ȝȜȘȎȕȩȐȎȓȠ ȒȓȢȓȘȠȩ Ȑ ȐȖȒȓ ȠȓȚțȩȣ Ȗ ȟȐȓȠșȩȣ ȝȭȠȓțȐ ȜȏșȎȟȠȖp-n ȝȓȞȓȣȜȒȎ (ȟȚ ȞȖȟ. 5.1Ȏ). ǿȠȓȝȓțȪ ȘȜțȠȞȎȟȠțȜȟȠȖ EBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȭ, ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȚȓȣȎțȖȕȚȎ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ ȖșȖ ȑȓțȓȞȎȤȖȖ ȒȓȢȓȘȠȜȚ ȟȐȜȏȜȒțȩȣ țȜȟȖȠȓșȓȗȕȎȞȭȒȎ. ȍȞȘȖȓȝȭȠțȎ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȠ ȜȏșȎȟȠȭȚ, ȑȒȓ EBIC ȠȜȘ ȏȜșȪȦȓ Ȗȕ-ȕȎ ȫȚȖȟȟȖȖ țȜȟȖȠȓșȓȗ, Ȑ ȠȜ ȐȞȓȚȭ ȘȎȘ ȠȓȚțȩȓ ȝȭȠțȎ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȠ ȚȓțȪȦȓȚȡ ȠȜȘȡ ȐȐȖȒȡ

ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ țȎ ȒȓȢȓȘȠȓ. ǶȕȚȓțȓțȖȓ ȭȞȘȜȟȠȖ ȘȜțȠȞȎȟȠȎ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓȚ ȚȓȔȒȡ ȐȞȓȚȓțȓȚ ȔȖȕțȖ țȜȟȖȠȓșȓȗ Ȑ ȜȏșȎȟȠȖ ȒȓȢȓȘȠȎ Ud Ȗ ȐȞȓȚȓțȓȚ ȔȖȕțȖ țȜȟȖȠȓșȓȗ Ȑ ȜȘȞȡȔȎȬȧȓȚ ȒȓȢȓȘȠ ȜȏȨȓȚȓ ȟ ȖȒȓȎșȪțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ U. ȀȓȚțȩȗ ȘȜțȠȞȎȟȠ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȓȠ ȏȜșȪȦȓȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ țȎ ȒȓȢȓȘȠȓ Ud < U, Ȏ ȭȞȘȖȗ ȘȜțȠȞȎȟȠ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȓȠ ȚȓțȪȦȓȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ Ud > U [3]. ǰ [2] ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȝȞȖ ȏȜșȪȦȜȚ ȡȟȖșȓțȖȖ EBIC-ȟȖȑțȎșȎ, ȘȜȠȜȞȜȓ ȡșȡȥȦȎȓȠ ȞȎȕȞȓȦȓțȖȓ, ȘȜțȠȞȎȟȠ ȖȚȓȓȠ ȭȞȘȖȗ ȘȞȡȑ ȑȎșȜ ȟ ȠȓȚțȜȗ ȠȜȥȘȜȗ Ȑ ȟȓȞȓȒȖțȓ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȭ. ȋȠȜȠ ȠȖȝ ȘȜțȠȞȎȟȠȎ ȜȏȨȭȟțȭșȟȭ țȎșȖȥȖȓȚ ȜȏșȎȟȠȖ ȜȏȓȒțȓțțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȭȚȖ ȐȟșȓȒȟȠȐȖȓ ȫȢȢȓȘȠȎ ȑȓȠȠȓȞȖȞȜȐȎțȖȭ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ ȜȘȞȓȟȠțȜȟȠȖ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ.

ǻȎ ȞȖȟ. 5.1ȏ ȝȞȖȐȓȒȓțȜ EBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓ ȠȜȑȜ Ȕȓ p-i-n ȒȖȜȒȎ ȝȞȖ ȜȏȞȎȠțȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ 20 ǰ. ǰȖȒțȜ, ȥȠȜ ȠȜȘȜȐȩȗ ȘȜțȠȞȎȟȠ țȎȏșȬȒȎȓȚȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȖȕȚȓțȖșȟȭ. ǽȜșȡȥȓțțȩȓ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȭȠȜȘȜȐȩȣȘȜțȠȞȎȟȠȜȐȜȒțȖȣȖȠȓȣȔȓȒȓȢȓȘȠȜȐȝȞȖțȡșȓȐȜȚ

504 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 5.2. ȀȖȝȖȥțȎȭșȖțȖȭEBIC ȟȘȎțȖȞȜȐȎțȖȭ Ǯ Ȗ B ȠȖȝȜȐ ȒȓȢȓȘȠȜȐ [1]

ȜȏȞȎȠțȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ Ȗ ȟȚȓȧȓțȖȖ 20 ǰ ȝȜȕȐȜșȖșȖ ȡȟȠȎțȜȐȖȠȪ ȠȞȖ ȠȖȝȎ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖ ȎȘȠȖȐțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ, ȜȏȜȕțȎȥȓțțȩȣ ȘȎȘ A, B Ȗ ǿ (ȞȖȟ. 5.1). ǽȞȖ țȡșȓȐȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ ȒȓȢȓȘȠ A ȖȚȓȓȠ ȭȞȘȜȓ EBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓ, ȐȠȜȐȞȓȚȭȘȎȘȝȞȖȟȚȓȧȓțȖȖ 20 ǰȫȠȜȠȠȖȝȒȓȢȓȘȠȎ țȎ EBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȖ ȖȟȥȓȕȎȓȠ. DzȓȢȓȘȠ ǰ țȎ ȫȠȜȚ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȖ ȚȓțȭȓȠ ȟȐȜȗ ȘȜțȠȞȎȟȠ Ȗȕ ȭȞȘȜȑȜ ȝȞȖ țȡșȓȐȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ țȎ ȥȓȞțȩȗ ȝȞȖ țȎȝȞȭȔȓțȖȖ 20 ǰ. DzȓȢȓȘȠ ȠȖȝȎ ǿ, țȎȜȏȜȞȜȠ, ȚȓțȭȓȠ ȘȜțȠȞȎȟȠ ȜȠ ȥȓȞțȜȑȜ ȝȞȖ țȡșȓȐȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ țȎ ȭȞȘȖȗ ȝȞȖ ȟȚȓȧȓțȖȖ

20 ǰ.

Dzșȭ ȠȜȑȜ ȥȠȜȏȩ ȐȩȭȟțȖȠȪ ȣȎȞȎȘȠȓȞ ȖȕȚȓțȓțȖȭ ȘȜțȠȞȎȟȠȎ Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȟȚȓȧȓțȖȭ șȖțȖȭ ȟȘȎțȖȞȜȐȎțȖȭ EBIC ȠȜȘȎ ȝȞȜȣȜȒȖșȎ ȥȓȞȓȕ ȘȎȔȒȩȗ ȖȕȡȥȎȓȚȩȗ ȒȓȢȓȘȠ. ȀȖȝȖȥțȎȭ șȖțȖȭ EBIC ȟȘȎțȖȞȜȐȎțȖȭ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȠȖȝȎ Ǯ Ȗ B ȝȜȘȎȕȎțȎ țȎ ȞȖȟ. 5.2 [1]. ǽȞȖ ȫȠȜȚ, ȝȞȜȢȖșȪ ȠȜȘȜȐȜȑȜ ȘȜțȠȞȎȟȠȎ ȒȓȢȓȘȠȎ ȞȎȟȟȥȖȠȩȐȎșȟȭ ȝȜ ȢȜȞȚȡșȓ:

ȑȒȓ Id = I0 ȝȞȖ Y ; Id(Y) – ȝȖȘȜȐȜȓ ȕțȎȥȓțȖȓ EBIC-ȠȜȘȎ Ȑ ȠȜȥȘȓ ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȭȒȓȢȓȘȠȎ; Y – ȞȎȟȟȠȜȭțȖȓȚȓȔȒȡșȖțȖȓȗȟȘȎțȖȞȜȐȎțȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȑȜșȡȥȎȖȤȓțȠȞȜȚȒȓȢȓȘȠȎ(Y= 0); I0 – ȢȜțȜȐȩȗEBIC ȟȖȑțȎș. ǶțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȪȟȥȖȠȎȓȠȟȭȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜȗC(Y) ȐȟșȡȥȎȓȠȓȚțȜȑȜ ȘȜțȠȞȎȟȠȎȖȝȜșȜȔȖȠȓșȪțȜȗȝȞȖȭȞȘȜȚȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȖȘȜțȠȞȎȟȠȎ. ǸȎȘ ȡȔȓȡȝȜȚȖțȎșȜȟȪ, ȒȓȢȓȘȠȩ ȠȖȝȎ A ȖȠȖȝȎ B ȖȚȓȬȠȭȞȘȖȗȘȞȡȑȑȎșȜ ȟ ȠȓȚțȜȗ ȐțȡȠȞȓțțȓȗ ȠȜȥȘȜȗ, ȘȜȠȜȞȎȭ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȜȏțȎȞȡȔȓțȎ ȝȞȖ ȣȜȞȜȦȓȚ ȞȎȕȞȓȦȓțȖȖ EBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȭ ȒȓȢȓȘȠȎ.

ǾȖȟ. 5.3. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȚȎȘȟȖ-

ȚȎșȪțȜȑȜ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠȎ C(Y) ȜȠ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȟȚȓȧȓțȖȭ Ȓșȭ șȖțȖȖ ȟȘȎțȖȞȜȐȎțȖȭ Ȑ ȜȏșȎȟȠȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ǯ, B Ȗ C Ȗ ǰǮȃ ȒȖȜȒȎ, ȝȞȖȐȓȒȓțțȜȑȜ țȎ ȞȖȟ. 5.1 [1]

ǽȞȖȚȓțȪȦȓȚȞȎȕȞȓȦȓțȖȖȟȖȑțȎșȜȠȠȓȚțȜȗȠȜȥȘȖȐțȡȠȞȖȝȭȠțȎ ȞȎȕȚȩȐȎȓȠȟȭ, ȖȖȕȚȓȞȓțțȩȗȝȞȜȢȖșȪȠȜȘȜȐȜȑȜȟȖȑțȎșȎȜȝȞȓȒȓșȭșȟȭ ȑșȎȐțȩȚ ȜȏȞȎȕȜȚ ȝȜ ȭȞȘȜȚȡ ȑȎșȜ Ȑ ȤȓțȠȞȎșȪțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȒȓȢȓȘȠȎ. ǻȎ ȞȖȟ. 5.3 ȝȜȘȎȕȎț ȣȜȒȠȜȘȜȐȜȑȜȟȖȑțȎșȎ ȐȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȐȓșȖȥȖțȩ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȟȚȓȧȓțȖȭ țȎ ȞȎȕțȩȣ ȡȥȎȟȠȘȎȣ ȜȏȞȎȠțȜȗ ȐȓȠȐȖ ǰǮȃ. ǻȎ ȞȖȟ. 5.3 ȠȎȘȔȓ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ ǰǮȃ p-i-n ȒȖȜȒȎ, ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓ ȘȜȠȜȞȜȑȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ țȎ ȞȖȟ. 5.1

Ƕȕ ȞȖȟ. 5.3 ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȝȜȭȐșȓțȖȓ ȠȓȚțȜȑȜ ȘȜțȠȞȎȟȠȎ țȎ ȒȓȢȓȘȠȓ B Ȗ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȭȞȘȜȑȜ ȘȜțȠȞȎȟȠȎ țȎ ȒȓȢȓȘȠȓ ǿ ȘȜȞȞȓșȖȞȡȬȠ ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚȠȜȘȜȐȡȠȓȥȘȖ. ǵȎȚȓȠțȜ, ȥȠȜȭȞȘȜȟȠȪȘȜțȠȞȎȟȠȎȒȓȢȓȘȠȎ ǿ ȝȜȟȠȓȝȓțțȜ ȞȎȟȠȓȠ ȝȜ ȚȓȞȓ ȡȐȓșȖȥȓțȖȭ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȟȚȓȧȓțȖȭ ȜȠ 7.5 ȒȜ 22 ǰ. DzȎșȪțȓȗȦȓȓȡȐȓșȖȥȓțȖȓȜȏȞȎȠțȜȑȜȟȚȓȧȓțȖȭȝȞȖȐȜȒȖȠȘȡȚȓțȪȦȓțȖȬȖțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȖ ȘȜțȠȞȎȟȠȎȖȟȖȑțȎșȜȠȒȓȢȓȘȠȎ C ȟȠȎțȜȐȖȠȟȭ țȓȞȎȕșȖȥȖȚȩȚ ȜȠ ȢȜțȜȐȜȑȜ ȠȜȘȎ.

Dzșȭ ȠȜȑȜ ȥȠȜȏȩ ȖȒȓțȠȖȢȖȤȖȞȜȐȎȠȪ ȠȖȝ ȒȓȢȓȘȠȜȐ, țȎȏșȬȒȎȓȚȩȣ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ EBIC ȚȓȠȜȒȎ, ȜȏȞȎȕȤȩ ȠȞȎȐȖșȖȟȪ Ȑ ȞȎȟȝșȎȐȓ KOH. ǶȕȜȏȞȎȔȓțȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȞȖȏȜȞȎ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȝȜȟșȓ ȠȞȎȐșȓțȖȭȟȝȜȚȜȧȪȬȟȘȎțȖȞȡȬȧȓȑȜ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȑȜ ȚȖȘ-

ȞȜȟȘȜȝȎ Scanning Electron Microscope (SEM), ȝȜȘȎȕȎțȩ țȎ ȞȖȟ. 5.4. ǿȞȎȐțȓțȖȓEBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȗȟțȭȠȩȣȝȞȖȜȠ-

506 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 5.5. SEǺ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȭ ȠȞȓȣ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȖȝȜȐ ȭȚȜȘ ȠȞȎȐșȓțȖȭ: Ȏ – ȠȖȝ Ǯ ȐȖțȠȜȐȎȭ, ȏ – ȠȖȝ ǰ ȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȎȭ Ȗ Ȑ – ȠȖȝ ǿ ȘȞȎȓȐȎȭ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ [1]

ȟȡȠȟȠȐȖȖ ȜȏȞȎȠțȜȑȜȟȚȓȧȓțȖȭȟȘȎȞȠȜȗȭȚȜȘȠȞȎȐșȓțȖȭȒȓȚȜțȟȠȞȖȞȡȓȠ ȎȏȟȜșȬȠțȜȓ ȟȜȐȝȎȒȓțȖȓ ȚȓȔȒȡ ȜȏțȎȞȡȔȓțțȩȚȖ ȒȓȢȓȘȠȎȚȖ.

ǽȜ ȘȜțȢȖȑȡȞȎȤȖȖ ȭȚȜȘ ȠȞȎȐșȓțȖȭ ȏȩșȖ ȖȒȓțȠȖȢȖȤȖȞȜȐȎțȩ ȠȞȖ ȠȖȝȎ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȣ ȠȞȓȚ ȠȖȝȎȚȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ țȎ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠȎȣ. ǶȕȜȏȞȎȔȓțȖȭ ȭȚȜȘ ȠȞȎȐșȓțȖȭ ȐȩȟȜȘȜȑȜ ȞȎȕȞȓȦȓțȖȭ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȟȘȎțȖȞȡȬȧȓȑȜ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȑȜ ȚȖȘȞȜȟȘȜȝȎ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩțȎ ȞȖȟ. 5.5. DZȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȓ ȭȚȘȖȠȞȎȐșȓțȖȭ ȟ ȠȓȚțȩȚ ȝȭȠțȜȚ Ȑ ȤȓțȠȞȓ, ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȓ ȘȜȠȜȞȩȣ ȟȜȐȝȎȒȎȓȠ ȟ ȒȓȢȓȘȠȜȚ ȠȖȝȎ Ǯ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȠ ȐȖțȠȜȐȩȚ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȭȚ. ǯȜșȪȦȖȓ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȓ ȭȚȘȖ ȠȞȎȐșȓțȖȭ ȟ ȠȓȚțȩȚ ȜȠȐȓȞȟȠȖȓȚ Ȑ ȤȓțȠȞȓȘȜȞȞȓșȖȞȡȬȧȖȓȝȜȚȓȟȠȡc ȒȓȢȓȘȠȜȚȠȖȝȎǰ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȠ ȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȩȚȖȒȖȟșȜȘȎȤȖȭȚȖ. DZȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȓ ȭȚȘȖȠȞȎȐșȓțȖȭ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȓ ȒȓȢȓȘȠȡ ǿ ȠȖȝȎ, ȭȐșȭȬȠȟȭ ȘȞȎȓȐȩȚȖ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȭȚȖ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȏȩșȖ țȎȟșȓȒȜȐȎțȩ ȝȞȖ ȞȜȟȠȓ Ȗȕ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ ȏȎȕȜȐȜȗ ȝșȜȟȘȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ.

Dzșȭ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȓțȖȭ ȐȩȐȜȒȎ Ȝ țȎȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ȝȞȖ ȞȜȟȠȓ ȘȞȖȟȠȎșșȜȚȒȖȟșȜȘȎȤȖȖȝȜȒșȜȔȘȖȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȗȟșȜȗȡȒȎșȭșȟȭȝȜșȖȞȜȐ-

507

ȘȜȗ, ȝȜȟșȓ ȥȓȑȜ ȒȓȢȓȘȠȩ Ȑ ȝȜȒșȜȔȘȓ ȐȩȭȐșȭșȖȟȪ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȚ ȠȞȎȐșȓțȖȓȚ. ǺȓȟȠȜȝȜșȜȔȓțȖȓ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȜȏțȎȞȡȔȓțțȜȗ Ȑ ȏȎȕȜȐȜȗ ȝșȜȟȘȜȟȠȖ ȟȘȜșȪȔȓțȖȭ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȟȜȐȝȎȒȎȓȠ ȟ ȠȜȥȘȜȗ ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȭ ȘȞȎȓȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ Ȑ ȡȒȎșȓțțȜȚ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȚ ȟșȜȓ (ȞȖȟ. 5.6). ǰ ȠȎȏșȖȤȓ 5.1 ȜȏȜȏȧȓțȩ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȝȜ ȣȎȞȎȘȠȓȞȡ ȖȕȚȓțȓțȖȭ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠȜȐ ȐȩȭȐșȓțțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȝȞȖ ȖȕȚȓțȓțȖȖ ȐȓșȖȥȖțȩ ȝȜȠȓțȤȖȎșȎ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȟȚȓȧȓțȖȭ.

ǽȜșȡȥȓțțȩȓȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȝȜȕȐȜșȭȬȠ ȕȎȘșȬȥȖȠȪ, ȥȠȜ ȣȎȞȎȘȠȓȞ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȗ ȎȘȠȖȐțȜȟȠȖ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ Ȑ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȣ

SiC p-n ȝȓȞȓȣȜȒȎȣ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȕȎȣȐȎȠȜȚ Ȗ ȞȓȫȚȖȟȟȖȓȗ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȕȎȞȭȒȎ ȜȏȞȎȠțȜ Ȑ ȞȓȦȓȠȘȡ ȝȜȒ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȓȚ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ. ǽȞȜȤȓȟȟ ȞȓȫȚȖȟȟȖȖ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȕȎȞȭȒȎ Ȑ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎȣ ȖȕȐȓȟȠȓț Ȗ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȣȜȞȜȦȜ Ȗȕȡȥȓț. ǽȜȫȠȜȚȡ ȫȢȢȓȘȠ ȞȓȫȚȖȟȟȖȖ țȜȟȖȠȓșȓȗ Ȑ p-n ȝȓȞȓȣȜȒȎȣ SiC ȒȖȜȒȜȐ ȝȞȖ ȜȏȞȎȠțȩȣ ȐȘșȬȥȓțȖȭȣ ȚȜȔțȜȏȩșȜȜȔȖȒȎȠȪ, ȠȎȘȘȎȘȜȏȓȒțȓțțȩȗȟșȜȗSiC ȒȖȜȒȎȝȞȖȚȎșȩȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȜȚ. ǼȒțȎȘȜ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȣȎȞȎȘȠȓȞȎ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠȎ ȜȠ ȠȖȝȎ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ Ȑ p-n ȝȓȞȓȣȜȒȎȣ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȣ SiC ȒȖȜȒȜȐ ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ Ȝ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȚ ȐșȖȭțȖȖ țȎ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȒȓȢȓȘȠȜȐ țȎșȖȥȖȓ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȓ. ǻȎ ȫȠȜ ȡȘȎȕȩȐȎȓȠ Ȗ ȠȜȠ ȢȎȘȠ, ȥȠȜ ȝȞȓȒȦȓȟȠȐȡȬȧȖȓ

ȀȎȏșȖȤȎ 5.1. ǻȎȏșȬȒȎȓȚȩȗ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠ Ȓșȭ ȖȒȓțȠȖȢȖȘȎȤȖȖ ȒȓȢȓȘȠȎ [1]

ȃȎȞȎȘȠȓȞțȩȓ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȖ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠȜȐ

508 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

EBIC ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȑ SiC ȒȖȜȒȎȣ ȆȜȠȠȘȖ țȓ ȐȩȭȐȖșȖ ȐȖȒȖȚȜȑȜȐșȖȭțȖȭȠȖȝȎȒȓȢȓȘȠȎțȎȓȑȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȡȬȎȘȠȖȐțȜȟȠȪ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȚȜȔțȜ ȕȎȘșȬȥȖȠȪ, ȥȠȜ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓ ȘȎȔȒȜȑȜ ȐȖȒȎ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȟ ȝȞȖȚȓȟȪȬ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ ȜȠȔȖȑȎ, ȜȘȎȕȩȐȎȓȠȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȓȐșȖȭțȖȓțȎȣȎȞȎȘȠȓȞȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȟȐȜȗȟȠȐ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ SiC. ǰ ȒȓȗȟȠȐȖȠȓșȪțȜȟȠȖ ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȓȟȐȜȗȟȠȐȎȒȖȟșȜȘȎȤȖȗȐȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȎȣ Ȑ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȗ ȟȠȓȝȓțȖ ȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭ ȟ ȠȜȥȓȥțȩȚȖ ȒȓȢȓȘȠȎȚȖ [4–6].

ǰȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȟ ȝȞȖȚȓȟȭȚȖ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȝȜșȓȚ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ ȐȜȘȞȡȑ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ Ȗ ȝȞȖȞȜȒȜȗ ȟȎȚȜȑȜ ȒȓȢȓȘȠȎ. ǰ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȠȎȘȜȑȜ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭ ȟȜȕȒȎȓȠȟȭ ȝȞȜȟȠȞȎțȟȠȐȓțțȎȭ țȓȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȪ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ ȜȘȞȓȟȠțȜȟȠȖ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ Ȗ, ȓȟȠȓȟȠȐȓțțȜ, țȓȜȒțȜȞȜȒțȜȓ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣȟȐȜȗȟȠȐȚȎȠȓȞȖȎșȎȐȜȘȞȡȑȞȎȕșȖȥțȜȑȜȠȖȝȎȒȓȢȓȘȠȜȐ, ȠȎȘȔȓ ȘȎȘȖȐȒȖȟșȜȘȎȤȖȜțțȜȚȭȒȞȓ. ǽȜȫȠȜȚȡȟȎȚȎȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ ȒȓȢȓȘȠȎ ȜȘȎȕȩȐȎȓȠ ȟȖșȪțȜȓ ȐșȖȭțȖȓ țȎ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠ.

ȁȐȓșȖȥȓțȖȓEBIC ȠȜȘȎȐȖțȠȜȐȜȗȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ(ȒȓȢȓȘȠ ǮțȎ ȞȖȟ. 5.1) ȜȠțȜȟȖȠȟȭȘȜȏȓȒțȓțțȜȗȝȞȖȚȓȟȪȬȜȏșȎȟȠȖȐȜȘȞȡȑȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ, ȘȜȠȜȞȎȭ ȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭȐȟșȓȒȟȠȐȖȓȫȢȢȓȘȠȎȑȓȠȠȓȞȖȞȜȐȎțȖȭȝȞȖȚȓȟȓȗȝȞȖȐȩȟȜ- ȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȚȜȠȔȖȑȓ(1800–2100°ǿ). ȋȠȜȠ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȝȞȜȭȐșȭȓȠȟȭ ȏȜșȓȓ ȭȞȘȖȚ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓȚ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠȎ Ȑ ȜȏȓȒțȓțțȜȗ ȕȜțȓ, ȠȎȘ ȘȎȘȐȞȓȚȭȔȖȕțȖțȜȟȖȠȓșȓȗȐȜȏȓȒțȓțțȜȗȕȜțȓȐȩȦȓ, ȥȓȚȐȞȓȚȭȔȖȕțȖ ȐȞȓȑȡșȭȞțȜȗȞȓȦȓȠȘȓȖ, ȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜ, ȚȓțȪȦȓȟȘȜȞȜȟȠȪȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ. ǽȞȖțȡșȓȐȜȚȜȏȞȎȠțȜȚȟȚȓȧȓțȖȖȢȜțȜȐȩȗȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȜțțȩȗ ȠȜȘ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ ȚȎș, ȝȜȫȠȜȚȡ EBIC ȟȖȑțȎș ȜȥȓțȪ ȥȡȐȟȠȐȖȠȓșȓț ȒȎȔȓ Ș șȓȑȘȖȚ ȢșȡȘȠȡȎȤȖȭȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ șȓȑȖȞȡȬȧȓȗ ȝȞȖȚȓȟȖ ȐȜȕȚȜȔțȩȚ ȐȜȘȞȡȑ ȐȖțȠȜȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ. ǽȞȖ ȜȏȞȎȠțȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ țȜȟȖȠȓșȖ ȑșȎȐțȩȚ ȜȏȞȎȕȜȚ ȘȜșșȓȘȠȖȐȖȕȖȞȡȬȠȟȭ Ȑ ȞȎȟȦȖȞȭȬȧȓȗȟȭ ȜȏșȎȟȠȖ ȝȞȜȟȠȞȎțȟȠȐȓțțȜȑȜ ȕȎȞȭȒȎ p-n ȝȓȞȓȣȜȒȎ ȏșȎȑȜȒȎȞȭ ȡȐȓșȖȥȓțȖȬ șȜȘȎșȖȕȜȐȎțțȜȑȜ Ȑ ȝȓȞȓȣȜȒȓ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ ȫȢȢȓȘȠ ȐșȖȭțȖȭ țȓȜȒțȜȞȜȒțȜȑȜ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȝȞȖȚȓȟȖ ȐȜȘȞȡȑ ȐȖțȠȜȐȜȗȒȖȟșȜȘȎȤȖȖțȎȞȓȕȡșȪȠȖȞȡȬȧȖȗEBIC ȠȜȘȟȠȎțȜȐȖȠȟȭȚȓțȓȓ ȕȎȚȓȠțȩȚ Ȗ, ȝȜȫȠȜȚȡ, ȭȞȘȖȗ ȘȜțȠȞȎȟȠ ȐȜȘȞȡȑ ȐȖțȠȜȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȖȟȥȓȕȎȓȠ ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȜȏȞȎȠțȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ (ȞȖȟ. 5.1ȏ).

ǿȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȎȭȒȖȟșȜȘȎȤȖȭȭȐșȭȓȠȟȭȒȖȟșȜȘȎȤȖȓȗȟȝȜșȩȚȭȒȞȜȚ ȝȞȖ ȐȓȘȠȜȞȓ ǯȬȞȑȓȞȟȎ Ȑ ȒȐȎ Ȗ ȏȜșȓȓ ȞȎȕȎ ȏȜșȪȦȓ ȟ – ȘȜțȟȠȎțȠȩ ȞȓȦȓȠȘȖ SiC. ǽȜȫȠȜȚȡ, ȚȜȔțȜ ȜȔȖȒȎȠȪ, ȥȠȜ, ȜȏȓȒțȓțțȎȭ ȝȞȖȚȓȟȪȬ

ȜȏșȎȟȠȪȏȡȒȓȠȢȜȞȚȖȞȜȐȎȠȪȟȭ, ȐȜȘȞȡȑȝȜșȜȑȜȭȒȞȎȠȜȥțȜȠȎȘȔȓ, ȘȎȘ Ȗ ȐȜȘȞȡȑ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȟ ȕȎȘȞȩȠȩȚ ȭȒȞȜȚ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȭȞȘȖȗ ȘȜțȠȞȎȟȠ ȝȞȖ țȡșȓȐȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ ȐȜȘȞȡȑ ȟȡȝȓȞȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȠȎȘȔȓ ȚȜȔȓȠ ȜȏȨȭȟțȭȠȪȟȭ ȫȢȢȓȘȠȜȚ ȑȓȠȠȓȞȖȞȜȐȎțȖȭ (ȒȓȢȓȘȠ ǰ țȎ ȞȖȟ. 5.1Ȏ). ǽȞȖ ȜȏȞȎȠțȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȭ ȖȕȏȩȠȜȥțȩȣ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȕȎȞȭȒȎȟȠȎțȜȐȖȠȟȭ ȒȜȚȖțȖȞȡȬȧȓȗȐȜȠȘȞȩȠȜȗȝȜȞȓ, ȘȜȠȜȞȎȭȚȜȔȓȠ ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȠȪȟȭ ȘȎȘȐțȡȠȞȓțțȭȭȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪȟȏȜșȪȦȖȚȘȜșȖȥȓȟȠȐȜȚȜȏȜȞȐȎțțȩȣȟȐȭȕȓȗȐȚȜțȜșȖȠțȜȚȚȎȠȓȞȖȎșȓ. ǾȓȕȡșȪȠȎȠ ȝȞȜȭȐșȭȓȠȟȭ Ȑ ȖȕȚȓțȓțȖȖ ȭȞȘȜȑȜ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠȎ țȎ ȠȓȚțȩȗ ȘȜțȠȞȎȟȠ.

ǼȒțȜȞȜȒțȩȗ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠ (ȒȓȢȓȘȠ ǿ țȎ ȞȖȟ. 5.1Ȏ) țȎ ȘȞȎȓȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȡȘȎȕȩȐȎȓȠ țȎ ȠȜ, ȥȠȜ ȜȏȓȒțȓțțȎȭ ȝȞȖȚȓȟȪȬ ȕȜțȎ țȓ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ țȎ ȘȞȎȓȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ. Ǹ ȠȎȘȜȚȡ ȕȎȘșȬȥȓțȖȬ ȚȜȔțȜ ȝȞȖȗȠȖ, ȟȞȎȐțȖȐȎȭ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȩȓ ȞȎȕȚȓȞȩ ȞȎȒȖȡȟȜȐ ȕȎȣȐȎȠȎ ȝȞȖȚȓȟțȩȣ ȎȠȜȚȜȐ ȐȖțȠȜȐȜȗ Ȗ ȘȞȎȓȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȭȚȖI= RS/RG !3.3 (ȑȒȓRS – «ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȗȞȎȒȖȡȟȕȎȣȐȎȠȎ» Ȓșȭ ȐȖțȠȜȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ Ȗ RG – Ȓșȭ ȘȞȎȓȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ) [7]. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȝȞȜȠȭȔȓțțȜȟȠȪȜȏȓȒțȓțțȜȗȜȏșȎȟȠȖ, ȘȜȠȜȞȎȭȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭ ȐȜȘȞȡȑȘȞȎȓȐȜȗȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ, ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȚȓțȪȦȓ, ȥȓȚȐȜȘȞȓȟȠțȜȟȠȖ ȐȖțȠȜȐȜȗȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ. ǽȞȖȜȏȞȎȠțȜȚȟȚȓȧȓțȖȖȖțȠȓțȟȖȐțȩȗȭȞȘȖȗ ȘȜțȠȞȎȟȠ ȚȜȔȓȠ ȜȏȨȭȟțȭȠȪȟȭ ȞȓȫȚȖȟȟȖȓȗ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ, ȟ șȜȐȡȦȓȘ ȜȏȜȞȐȎțțȩȣ ȟȐȭȕȓȗ ȭȒȞȎ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ, ȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȗ ȝȜșȓȚ șȜȘȎșȖȕȜȐȎțțȜȚ Ȑ p-n ȝȓȞȓȣȜȒȓ. ǸȞȜȚȓ ȫȠȜȑȜ, țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȜȠȚȓȠȖȠȪ, ȥȠȜ EBIC ȘȜțȠȞȎȟȠ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȎȠȜȚȎȞțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ Ȑ ȝȞȓȒȓșȎȣ ȞȎȒȖȡȟȎ DZȡȘȎ, ȑȒȓ Ȑ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȝșȎȟȠȖȥȓȟȘȜȗ ȒȓȢȜȞȚȎȤȖȖȞȓȦȓȠȘȎȚȎȠȓȞȖȎșȎȟȖșȪțȜȞȎȕȞȡȦȓțȎ. ǰȓșȖȥȖțȡȞȎȒȖȡȟȎDZȡȘȎ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȟ ȕȎȘȞȩȠȩȚ ȭȒȞȜȚ ȚȜȔțȜ ȜȤȓțȖȠȪ ȝȜ ȢȜȞȚȡșȓ [9]

ȁȟșȜȐȖȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȠȓȞȚȜȒȖțȎȚȖȥȓȟȘȖ ȡȟȠȜȗȥȖȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȟ ȝȜșȩȚ ȖșȖ ȕȎȘȞȩȠȩȚ ȭȒȞȜȚ Ȓșȭ ȐȖțȠȜȐȜȗ ȖșȖ ȘȞȎȓȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȜȠșȖȥȎȬȠȟȭ [8]. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȚȜȔțȜ ȜȔȖȒȎȠȪ, ȥȠȜ ȖȚȓȭ ȞȎȕșȖȥțȡȬ ȐȓșȖȥȖțȡ ȞȎȒȖȡȟȎ DZȡȘȎ ȐȖțȠȜȐȩȓ Ȗ ȘȞȎȓȐȩȓ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖȐȠȎȘȜȗȔȓȟȠȓȝȓțȖȏȡȒȡȠȜȠșȖȥȎȬȠȟȭȖȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȜțțȜȗ ȎȘȠȖȐțȜȟȠȪȬ.

DzȓȠȎșȪțȜȓ ȖȕȡȥȓțȖȓ ȜȏȞȎȠțȜȗ ȐȓȠȐȖ ǰǮȃ ȝȜȘȎȕȎșȜ, ȥȠȜ p-i-n ȒȖȜȒȩ, ȟȜȒȓȞȔȎȧȖȓ ȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȩȓ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ, ȖȚȓȬȠ ȏȜșȪȦȖȗ ȠȜȘ ȡȠȓȥȘȖ Ȗ ȚȎșȜȓ ȝȞȜȏȖȐțȜȓ țȎȝȞȭȔȓțȖȓ. ǻȎ ȞȖȟ. 5.7 ȝȞȓȒȟȠȎȐ-

510 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 5.7. ǼȏȞȎȠțȎȭ ȐȓȠȐȪ ǰǮȃ p-i-n ȒȖȜȒȎ: 1 – ȝȞȖ țȎșȖȥȖȖ Ȗ 2 – ȜȠȟȡȠȟȠȐȖȖ ȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ [1]

șȓțȩ ȠȖȝȖȥțȩȓ ȜȏȞȎȠțȩȓ ȐȓȠȐȖ ǰǮȃ p-i-n ȒȖȜȒȜȐ, ȟȜȒȓȞȔȎȧȖȣ ȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȡȬ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȬ.

ǰȖȒțȜ, ȥȠȜǰǮȃȒȖȜȒȎȟȜȒȓȞȔȎȧȓȑȜȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȡȬȒȖȟșȜȘȎȤȖȬ ȖȚȓȓȠȣȎȞȎȘȠȓȞțȩȗȖȕȑȖȏȝȞȖȜȏȞȎȠțȜȚȟȚȓȧȓțȖȖ20 ǰ. ȋȠȜȚȜȔțȜ ȜȏȨȭȟțȖȠȪ ȞȓȫȚȖȟȟȖȓȗ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ ȟ șȜȐȡȦȓȘ Ȗ ȒȞȓȗȢȜȚ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȐȒȜșȪ ȜȠȘȞȩȠȜȑȜ ȭȒȞȎ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ.

ǾȖȟ. 5.8. EBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓp-i-n ȒȖȜȒȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȟȜȐȟȘȞȩȠȜȗȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȜȗȒȖȟșȜȘȎȤȖȓȗ: ȐȜȠȟȡȠȟȠȐȖȖȟȚȓȧȓțȖȭ(Ȏ), ȝȞȖȜȏȞȎȠțȜȚȟȚȓȧȓțȖȖ 20 ǰ (ȏ); ȝȞȜȏȜȗ p-i-n ȒȖȜȒȎ Ȑ ȜȏșȎȟȠȖ ȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȓȗ (Ȑ) [1]

CȜȝȜȟȠȎȐșȭȭEBIC ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓȝȞȖțȡșȓȐȜȚȟȚȓȧȓțȖȖ(ȞȖȟ. 5.8Ȏ) ȟȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓȚȝȜșȡȥȓțțȩȚȝȞȖȜȏȞȎȠțȜȚȟȚȓȧȓțȖȖ 20 ǰ(ȞȖȟ. 5.8ȏ) ȝȜȕȐȜșȖșȜ ȖȒȓțȠȖȢȖȤȖȞȜȐȎȠȪ ȚȓȟȠȜ ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȭ ȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ Ȗ ȝȜȘȎȕȎȠȪ, ȥȠȜ ȖȚȓțțȜ ȟȡȝȓȞȐȖțȠȜȐȩȓ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȜȝȞȓȒȓșȭȬȠ ȝȞȜȏȜȗ p-i-n ȒȖȜȒȜȐ (ȞȖȟ. 5.8Ȑ).

5.3. DzȓȑȞȎȒȎȤȖȭ ǰǮȃ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȣ SiC p-i-n ȒȖȜȒȜȐ

DZșȎȐțȩȚȝȞȓȝȭȠȟȠȐȖȓȚ ȐțȓȒȞȓțȖȭ ȟȖșȜȐȩȣSiC ȒȖȜȒȜȐȟp-n ȝȓȞȓȣȜȒȎȚȖ, ȭȐșȭȓȠȟȭȒȓȑȞȎȒȎȤȖȭȝȞȭȚȜȗȐȓȠȐȖǰǮȃȝȞȖȏȜȞȎ, ȘȜȠȜȞȎȭ țȎȏșȬȒȎșȎȟȪ ȐSiC p-i-n ȒȖȜȒȎȣȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȖȜțțȜȗȖȚȝșȎțȠȎȤȖȓȗ

ȖȫȝȖȠȎȘȟȖȓȗ. ǺțȜȑȜȥȖȟșȓțțȩȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜȒȞȓȗȢ țȎȝȞȭȔȓțȖȭȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȓȠȟȭȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚȐȎȘȠȖȐțȜȗȕȜțȓȝȞȖȏȜȞȎ ȒȓȢȓȘȠȜȐ, ȑșȎȐțȩȚȖȖȕȘȜȠȜȞȩȣȭȐșȭȬȠȟȭ ȒȓȢȓȘȠȩ ȡȝȎȘȜȐȘȖ(Dzȁ). DzȓȢȓȘȠȩ ȡȝȎȘȜȐȘȖ ȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ ȐȏșȖȕȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȫȚȖȠȠȓȞțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖȖȕȎȠȓȚ, ȒȐȖȑȎȭȟȪ ȐȒȜșȪȏȎȕȜȐȜȗȝșȜȟȘȜȟȠȖ ȟȘȜșȪȔȓțȖȭ SiC

ȖȡȐȓșȖȥȖȐȎȭȟȪ Ȑ ȞȎȕȚȓȞȓ, ȝȞȜțȖȘȎȬȠ ȥȓȞȓȕ p-n ȝȓȞȓȣȜȒ ȐȑșȡȏȪ ȒȖȜȒțȜȗ p-i-n ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ [10].

ǰȞȎȏȜȠȓ [11] ȝȞȜȐȜȒȖșȜȟȪ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ ȝȞȭȚȜȗ ȐȓȠȐȖ ǰǮȃ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȜȐ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȟȓșȓȘȠȖȐțȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȓȗ, ȘȎȘ ȎșȪȠȓȞțȎȠȖȐțȜȑȜ ȚȓȠȜȒȎ, ȚȓȠȜȒȎȚ ȖȜțțȜȗ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖ

ȖȫȝȖȠȎȘȟȖȖ. ǻȎ n+-4H-SiC ȝȜȒșȜȔȘȎȣ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ ȢȖȞȚȩ Cree, ȞȎȕȞȓȕȎțțȩȣțȎȜȏȞȎȕȤȩȞȎȕȚȓȞȜȚ8× 8 ȚȚCVD ȚȓȠȜȒȜȚȢȜȞȚȖȞȜ-

ȐȎșȟȭȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȗ ȟșȜȗn ȠȖȝȎȠȜșȧȖțȜȗ12–15 ȚȘȚȟȡȞȜȐțȓȚ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ 5¸1021 Ț 3. ǵȎȠȓȚ, ȚȓȠȜȒȜȚ ȟȓșȓȘȠȖȐțȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎșȬȚȖțȖȭȖȏȜȞȎȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȟȭp-i-n ȒȖȜȒ[11]. DzȖȢȢȡȕȖȭȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ2000°ǿȐȎȠȚȜȟȢȓȞȓȎȞȑȜțȎȟȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȑȞȎȢȖȠȜȐȜȗ ȚȎȟȘȖ ȟ ȜȠȘȞȩȠȩȚȖ ȜȘțȎȚȖ ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ 200–1000 ȚȘȚ. ǸȜțȠȓȗțȓȞ Ȗȕ ȟȝȓȤȖȎșȪțȜȑȜ ȐȩȟȜȘȜȝșȜȠțȜȑȜ ȑȞȎȢȖȠȎ, ȕȎȑȞȡȔȎșȟȭ

ȝȜȞȜȦȘȜȚ SiC ȟ ȒȜȏȎȐȘȜȗ ȫșȓȚȓțȠȎȞțȜȑȜ ȏȜȞȎ Ȗ Al4ƙ, Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗȝȞȖȚȓȟȖ. DzșȭȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭp-i-n ȟȠȞȡȘȠȡȞȩȟȕȎȘȞȩȠȩȚȖ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȚȖ ȘȜțȠȎȘȠȎȚȖ ȝȎșȪȥȖȘȜȐȜȑȜ ȠȖȝȎ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȎȟȪ ȟȠȎțȒȎȞȠțȎȭȢȜȠȜșȖȠȜȑȞȎȢȖȭ. ǯȩșȜȖȟȟșȓȒȜȐȎțȜȏȜșȓȓȒȐȓțȎȒȤȎȠȖ ȖțȒȖȐȖȒȡȎșȪțȩȣ p-i-n ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȠȎȘȜȑȜ ȠȖȝȎ.

ǽȞȭȚȎȭ ȐȓȠȐȪ ǰǮȃ Ȗ ȒȞȓȗȢ ȝȞȭȚȜȑȜ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ (Vf) ȝȞȖ ȝȜȟȠȜȭțțȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȠȜȘȎ 100 Ǯ/ȟȚ2 ȖȕȚȓȞȭșȖȟȪ țȎ ȡȟȠȎțȜȐȘȓ Keithley-2410 Ȗ ȕȜțȒȜȐȩȚ ȚȓȠȜȒȜȚ ȝȞȖ ȖȕȚȓțȓțȖȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȜȏȞȎȕȤȎ Ȑ ȝȞȓȒȓșȎȣ 20–150°ǿ. ǻȎ ȞȖȟ. 5.9 ȝȜȘȎȕȎțȎ ȝȞȭȚȎȭ ȐȓȠȐȪ

ǾȖȟ. 5.9. ǽȞȭȚȎȭ ȐȓȠȐȪ ǰǮȃ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ p-i-n ȒȖȜȒȎ ȒȜ Ȗ ȝȜȟșȓ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ [12]

ǰǮȃ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ p-i-n ȒȖȜȒȎ, ȖȕȚȓȞȓțțȎȭ ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȒȜ Ȗ ȝȜȟșȓ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ [12].

ǽȞȖ ȝȜȟȠȜȭțțȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȝȞȜȠȓȘȎȬȧȓȑȜ ȥȓȞȓȕ ȝȞȖȏȜȞ ȠȜȘȎ 100 Ǯ/ȟȚ2 ȝȎȒȓțȖȓ ȝȞȭȚȜȑȜ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ ȜȠ 3.6 ȒȜ 12 ǰ ȕȎ 45, 25 Ȗ 15 ȚȖțȡȠ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȝȞȖȏȜȞȎ 75, 100 Ȗ 125°ǿ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ǮțȎșȖȕ ǰǮȃ ȝȜȘȎȕȎș, ȥȠȜ ȒȞȓȗȢ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ Ȑ ȖȟȟșȓȒȡȓȚȩȣ ȒȖȜȒȎȣ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ Ȗȕ-ȕȎ ȡȐȓșȖȥȓțȖȭ ȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ RS ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ. ǽȞȖ ȐȩȟȜȘȜȚ ȡȞȜȐțȓ ȖțȔȓȘȤȖȖ, ȘȜȑȒȎ ȜȠțȜȦȓțȖȓ ȦȖȞȖțȩ ȜȏȓȒțȓțțȜȑȜ ȟșȜȭ (i-ȟșȜȭ)

Ș ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȗ ȒșȖțȓ țȜȟȖȠȓșȓȗ W/LA 1 ȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȖȒȓȎșȪțȜȑȜ p-i-n ȒȖȜȒȎ ȚȎșȜ Ȗ, ȑșȎȐțȩȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȪȬ ȐȩȟȜȘȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȜȏșȎȟȠȓȗ Ȗ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȚ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ.

DzȓȑȞȎȒȎȤȖȭ p-i-n ȒȖȜȒȜȐ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȩȣ ȖȜțțȜȗ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȓȗ Ȗ ȚȓȠȜȒȜȚ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȑȜ ȞȜȟȠȎ, ȟȐȭȕȎțȎ ȟ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȓȚ Ȗ ȒȐȖȔȓțȖȓȚ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȡȝȎȘȜȐȘȖ șȜȘȎșȖȕȜȐȎțțȩȣ Ȑ ȜȏȓȒțȓțțȜȗ n ȜȏșȎȟȠȖp-i-n ȒȖȜȒȎ. ǰȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȣp-i-n ȒȖȜȒȎȣȒȞȓȗȢȝȞȭȚȜȑȜțȎȝȞȭȔȓțȖȭȠȎȘȔȓȖțȖȤȖȖȞȡȓȠȟȭȒȓȗȟȠȐȖȓȚȒȓȢȓȘȠȜȐȡȝȎȘȜȐȘȖ. ǽȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ ȝȞȭȚȜȗ ȐȓȠȐȖ ǰǮȃ ȥȓȞȓȕ ȘȎȔȒȩȓ 2.5 ȚȖțȡȠȩ ȖȕȚȓȞȭșȖȟȪ ȠȎȘȔȓ ȟȝȓȘȠȞȩ ȫșȓȘȠȞȜșȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȖ (ȋǹ). ȋșȓȘȠȞȜșȬȚȖțȓȟȤȓțȠțȜȓ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓ p-i-n ȒȖȜȒȎ ȟ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȚȖ ȝȎșȪȤȓȐȖȒțȩȚȖ ȘȜțȠȎȘȠȎȚȖ, ȟțȭȠȜȓțȎȞȎȕșȖȥțȩȣ ȟȠȎȒȖȭȣ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ ȝȜȘȎȕȎțȜ țȎ ȞȖȟ. 5.10.

ǻȎ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȭȣ ȚȜȔțȜ ȐȖȒȓȠȪ, ȥȠȜ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȝșȜȧȎȒȖ șȬȚȖțȓȟȤȖȞȡȬȧȓȗȜȏșȎȟȠȖȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȓȠȟȭȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȩȚȒȐȖȔȓțȖȓȚȒȓȢȓȘȠȜȐȡȝȎȘȜȐȘȖ. ǽȞȭȚȜȓțȎȝȞȭȔȓțȖȓȝȓȞȓȟȠȎȓȠ«ȒȞȓȗȢȜȐȎȠȪ»

ǾȖȟ. 5.10. ȋșȓȘȠȞȜșȬȚȖțȓȟȤȓțȠțȩȓ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȭ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ p-i-n ȒȖȜȒȎ ȝȞȖ ȞȎȕșȖȥțȜȚ ȐȞȓȚȓțȖ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ [12]

(30 ȚȖț ȝȞȖ 75°ǿ), ȘȜȑȒȎ țȎȥȖțȎȭ ȒȐȖȔȓțȖȓ ȜȠ ȘȞȎȭ ȘȜțȠȎȘȠȎ, ȒȓȢȓȘȠȩ ȡȝȎȘȜȐȘȖ ȝȜșțȜȟȠȪȬ ȝȜȘȞȩȐȎȬȠ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȡȬ ȜȏșȎȟȠȪ ȚȓȔȒȡ ȟȜȟȓȒțȖȚȖ ȝȎșȪȤȎȚȖ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȜȑȜ ȫșȓȘȠȞȜȒȎ.

ǾȓȕȡșȪȠȎȠȜȚȡȐȓșȖȥȓțȖȭȝșȜȧȎȒȖȒȓȢȓȘȠȜȐȡȝȎȘȜȐȘȖȭȐșȭȓȠȟȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ țȜȐȩȣ șȜȐȡȦȓȘ Ȑ ȐȖȒȓ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȣ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ȡȞȜȐțȓȗ țȎ 0.2–0.3 ȫǰ țȖȔȓ ȕȜțȩ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ SiC. DzȓȗȟȠȐȡȭ ȘȎȘ ȞȎȟȟȓȖȐȎȬȧȖȓ ȤȓțȠȞȩ, șȜȐȡȦȘȖ ȡȚȓțȪȦȎȬȠ ȐȞȓȚȭ ȔȖȕțȖ țȜȟȖȠȓșȓȗ (U_1/Nt, ȑȒȓ Nt – ȝșȜȠțȜȟȠȪ șȜȐȡȦȓȘ), ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ, ȏȡȒȓȠ ȡȚȓțȪȦȎȠȪȟȭ Ȗ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȎȭ ȒșȖțȎ ȎȚȏȖȝȜșȭȞțȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ (LA _ U ). ǽȞȖȫȠȜȚȝȎȒȎȓȠȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȟȠȪȖțȔȓȘȤȖȖȥȓȞȓȕȜȏȎ p+–n Ȗ n+–n ȝȓȞȓȣȜȒȎ, Ȏ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȥȓȟȘȜȓ ȜȠțȜȦȓțȖȓ p-i-n ȒȖȜȒȎȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ, ȠȎȘȥȠȜȚȜȔȓȠȜȘȎȕȎȠȪȟȭȏȜșȪȦȓ ȓȒȖțȖȤȩW/LA > 1. ǰȫȠȜȚȟșȡȥȎȓȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȜȏȓȒțȓțțȜȑȜi-ȟșȜȭ p-i-n ȒȖȜȒȎ ȟȠȎțȜȐȖȠȟȭ ȑșȎȐțȩȚ ȢȎȘȠȜȞȜȚ, ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȖȚ ȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȒȓȑȞȎȒȖȞȡȬȧȓȑȜ ȒȖȜȒȎ. ǶȟȝȜșȪȕȡȭ ȐȞȓȚȓțțȩȓ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȝȎȒȓțȖȭ ȝȞȭȚȜȑȜ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ, ȖȕȚȓȞȓțțȩȓ ȝȞȖ ȞȎȕțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ (ȞȖȟ. 5.11), ȏȩșȎ ȜȝȞȓȒȓșȓțȎ ȫțȓȞȑȖȭ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȜțțȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ, ȟȐȭȕȎțțȎȭ ȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȡȝȎȘȜȐȘȖ Ȑ ȏȎȕȜȐȜȗ ȝșȜȟȘȜȟȠȖ ȟȘȜșȪȔȓțȖȭ.

ǽȞȖțȖȚȎȭ ȐȜ ȐțȖȚȎțȖȓ, ȥȠȜ Vf RZ ! gd 1 , ȖȕȚȓțȓțȖȓ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȒȖȜȒȎ gd(t), ȐȩȕȐȎțțȜȓ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȤȓțȠȞȜȐ ȕȎȣȐȎȠȎ, ȚȜȔțȜ ȜȝȞȓȒȓșȖȠȪ ȝȜ ȢȜȞȚȡșȓ:

ǾȖȟ. 5.11. DzȞȓȗȢ ȝȞȭȚȜȑȜ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ p-i-n ȒȖȜȒȎ ȝȞȖ ȞȎȕșȖȥțȜȗȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓȖȝșȜȠțȜȟȠȖ ȝȞȭȚȜȑȜ ȠȜȘȎ 1000 Ǯ/ȟȚ2 [12]

ȑȒȓY=Nt/Nd; Nt, Nd – ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȒȜțȜȞȜȐȖȤȓțȠȞȜȐȕȎȣȐȎȠȎȐ i-ȟșȜȓ, gd0 – țȎȥȎșȪțȎȭ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȪ ȒȖȜȒȎ, Ud – ȣȎȞȎȘȠȓȞțȜȓ ȐȞȓȚȭ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ. ǺȜȔțȜ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȖȠȪ, ȥȠȜ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȤȓțȠȞȜȐ ȕȎȣȐȎȠȎ dNt/dt ȜȏȞȎȠțȜȝȞȜȝȜȞȤȖȜțȎșȪțȎ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȜȚȡ ȐȞȓȚȓțȖȝȞȜȤȓȟȟȎȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖUd. ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜȓȕțȎȥȓțȖȓȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖg(t) ȚȜȔȓȠȏȩȠȪȝȜșȡȥȓțȜȒȖȢȢȓȞȓțȤȖȞȜȐȎțȖȓȚǰǮȃȒȓȑȞȎȒȖȞȡȬȧȓȑȜȒȖȜȒȎg=dI/dV, ȎȣȎȞȎȘȠȓȞțȜȓȐȞȓȚȭȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖȒșȭ ȘȎȔȒȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȒȖȢȢȓȞȓțȤȖȞȜȐȎțȖȓȚ ȘȞȖȐȜȗ g(t) ȟ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȚȡȚțȜȔȓțȖȓȚțȎȐȞȓȚȭt. ȂȡțȘȤȖȭt¸dg(t)/dt, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȎȭ țȎ(ȞȖȟ. 5.12) ȘȎȘȢȡțȘȤȖȭ ȐȞȓȚȓțȖ, ȖȚȓȓȠȚȎȘȟȖȚȡȚȐ ȠȜȥȘȓ t= Ud. ǽȞȖțȖȚȎȭȐȜȐțȖȚȎțȖȓ, ȥȠȜUd(T) ȫȘȟȝȜțȓțȤȖȎșȪțȜȕȎȐȖȟȖȠȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, Ȗ ȖȟȝȜșȪȕȡȭ ȕțȎȥȓțȖȭ Ud Ȓșȭ ȘȎȔȒȜȗ ȢȖȘȟȖȞȜȐȎțțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȚȜȔțȜȝȜȟȠȞȜȖȠȪȑȞȎȢȖȘln(1/Ud)=f(1/T), ȝȜȘȎȕȎțțȩȗ

ǾȖȟ. 5.12. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȢȡțȘ-

ȤȖȖ t¸dg(t)/dt ȜȠ ȐȞȓȚȓțȖ ȝȞȖ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ [12]

ǾȖȟ. 5.13. ǿȝȓȘȠȞȩ ȋǹ ȝȞȖ ȝȞȭȚȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ p-i-n ȒȖȜȒȎ Ȓșȭ ȞȎȕțȩȣ ȕțȎȥȓțȖȗ ȐȞȓȚȓțȖ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 75°ǿ [12]

țȎ ȐȟȠȎȐȘȓ ȞȖȟȡțȘȎ 5.12. ǾȎȟȟȥȖȠȎțțȎȭ ȝȜ ȫȠȜȚȡ ȑȞȎȢȖȘȡ ȫțȓȞȑȖȭ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ, ȎȟȟȜȤȖȖȞȜȐȎțțȎȭ ȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ ȤȓțȠȞȜȐ ȕȎȣȐȎȠȎ, ȜȘȎȕȎșȎȟȪ ȞȎȐțȜȗ 0.34 ȫǰ, Ȏ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȎȭ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȤȓțȠȞȜȐ ȕȎȣȐȎȠȎ ȟȜȟȠȎȐȖșȎ ȐȓșȖȥȖțȡ ȝȜȞȭȒȘȎ 4.8¸1021 Ț 3. ǽȜ țȎȗȒȓțțȜȚȡ ȕțȎȥȓțȖȬȐȓșȖȥȖțȩ, ȝșȜȠțȜȟȠȖȤȓțȠȞȜȐȕȎȣȐȎȠȎȜȘȎȕȎșȜȟȪȐȜȕȚȜȔțȩȚȜȤȓțȖȠȪȐȞȓȚȭȔȖȕțȖ_3¸10 9 ȟȖȫȢȢȓȘȠȖȐțȡȬȒȖȢȢȡȕȖȜțțȡȬ ȒșȖțȡ ȖțȔȓȘȠȖȞȜȐȎțțȩȣ țȜȟȖȠȓșȓȗ _2¸10 6 Ț Ȑ ȜȏȓȒțȓțțȜȚ ȟșȜȓ p-i-n ȒȖȜȒȎ ȝȜȟșȓ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ.

ǿȝȓȘȠȞȩȫșȓȘȠȞȜșȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȖȒȖȜȒȎȝȞȖȝȞȭȚȜȚȟȚȓȧȓțȖȖ ȖȕȚȓȞȭșȖȟȪȥȓȞȓȕȘȎȔȒȩȓ2.5 ȚȖțȡȠȩȒȜȝȜșțȜȗȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖȒȖȜȒȎ ȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ75°ǿ, ȝȜȘȎȕȎțȩțȎȞȖȟ. 5.13. ǶȟȣȜȒțȩȗȟȝȓȘȠȞȋǹ ȖȚȓș ȐȖȒ ȘȞȖȐȜȗ ȟ ȝȖȘȜȚ Ȑ ȜȏșȎȟȠȖ M= 486 țȚ Ȗ ȏȩș ȜȏȡȟșȜȐșȓț ȝȎȞțȜȗȒȜțȜȞțȜ-ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȓȗ. ǽȜȚȓȞȓȡȐȓșȖȥȓțȖȭ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ țȎ ȒȖȜȒȓ Vf ȝȞȖ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ Ȑ ȟȝȓȘȠȞȓ ȋǹ ȝȜȭȐȖșȟȭ ȝȖȘ ȟ M= 427 țȚ Ȗ ȝȜșȡȦȖȞȖțȜȗ 24 țȚ.

ǿȞȎȐțȓțȖȓ ȐȞȓȚȓțȖ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȭ țȜȐȜȑȜ ȝȖȘȎ șȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȖ ȟ ȒșȖțȜȗ ȐȜșțȩ 427 țȚ Ȗ ȒȖțȎȚȖȘȖ ȖȕȚȓțȓțȖȭ ȓȑȜ ȖțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȖ ȟ ȒȖțȎȚȖȘȜȗ ȞȜȟȠȎ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ Vf (ȞȖȟ. 5.14), ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȓȠ ȝȜșțȡȬ ȘȜȞȞȓșȭȤȖȬ ȚȓȔȒȡ ȝȜȭȐșȓțȖȓȚ ȝȖȘȎ Ȗ ȒȐȖȔȓțȖȓȚ Dzȁ, ȜȏȡȟșȎȐșȖȐȎȬȧȓȑȜ țȎȥȎșȜ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ ȒȖȜȒȎ.

Ǯ. ǸȜțȟȠȎțȠȖțȜȐ Ȑ [13] ȟȜȜȏȧȎș Ȝ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȖ ȝȞȖ ȝȞȭȚȜȚ ȟȚȓȧȓțȖȖ țȓȜȏȞȎȠȖȚȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ Ȑ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȎșȬȚȖțȖȓȚ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ 4H-SiC p-n ȒȖȜȒȎȣ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȖȕșȡȥȎșȖ țȎ ȐȜșțȓ M= 427 țȚ. ǻȎȏșȬȒȎȓȚȎȭ ȫȚȖȟȟȖȭ ȟȐȓȠȎ (light emission) Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȫȠȖȣ ȒșȖț ȐȜșț Ȑ [13] ȟȐȭȕȩȐȎșȎȟȪ ȟ ȐțȡȠȞȓțțȖȚȖ ȠȜȥȓȥțȩȚȖȒȓȢȓȘȠȎȚȖ, ȘȜȠȜȞȩȓȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭȐȝȞȜȤȓȟȟȓȝȓȞȓȝȜșȕȎțȖȭ

516 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 5.14. ǻȎȝȞȭȔȓțȖȓ ȝȞȭȚȜȑȜ ȟȚȓȧȓțȖȭ Ȗ ȖțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȪ ȋǹ ȒȐȡȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȩȣ ȝȖȘȜȐ ȋǹ Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȜȠȐȞȓȚȓțȖȞȎȏȜȠȩ ȒȖȜȒȎ ȝȞȖ Ȁ=105°ǿ Ȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȠȜȘȎ 100 Ǯ/ȟȚ2 [12]

ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ. ǽȞȖ ȖȕȡȥȓțȖȖ șȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȖ țȎ Dzȁ Ȑ 4H-SiC [14], ȟȓȚȓȗȟȠȐȜ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȩȣ șȖțȖȗ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ Ȑ ȜȏșȎȟȠȖ ȟȝȓȘȠȞȎ ȒșȖț ȐȜșț ȞȎȟȝȜșȜȔȓțțȩȣ ȚȓȔȒȡ (410 Ȗ 430) țȚ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȖȕȚȓȞȭșȖȟȪ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 2 K țȎ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖ țȎȑȞȡȔȓțțȜȚ ȒȖȜȒȓ. ǽȞȖ ȝȜȐȩȦȓțȖȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ șȖțȖȖ ȟșȖȐȎșȖȟȪ Ȑ ȜȒȖț ȦȖȞȜȘȖȗ ȝȖȘ Ȑ ȜȘȞȓȟȠțȜȟȠȖ ȒșȖțȩ ȐȜșțȩ M= 425 țȚ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȚȜȑ țȎȏșȬȒȎȠȪȟȭ ȐȝșȜȠȪ ȒȜ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ. ǿ ȝȜȚȜȧȪȬ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖȣ ȢȖșȪȠȞȜȐ ȟȐȓȥȓțȖȓ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȡȝȎȘȜȐȘȖ Ȑ p-n ȒȖȜȒȎȣ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȒșȖț ȐȜșț 450± 20 țȚ (_2.8 ȫǰ) [14], ȥȠȜ ȣȜȞȜȦȜ ȘȜȞȞȓșȖȞȡȬȠȟ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȚȖȟȝȓȘȠȞȎȚȖ, ȝȜșȡȥȓțțȩȚȖȐ ȞȎȏȜȠȓ [12]. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [14] ȠȎȘȔȓ ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜ țȎ șȖȒȖȞȡȬȧȓȗ ȥȎȟȠȖȥțȜȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȒȓȢȓȘȠȎ ȡȝȎȘȜȐȘȖ ȖȚȓȓȠȟȭ ȒȐȎ ȤȓțȠȞȎ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ. ǼȒȖț ȤȓțȠȞ ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ ȖȕșȡȥȓțȖȭ 1.8 ȫǰ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȖȕșȡȥȎȠȓșȪțȩȚ ȤȓțȠȞȜȚ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ Ȗ ȐȠȜȞȜȗ, ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ ȖȕșȡȥȓțȖȭ 2.23 ȫǰ – țȓȖȕșȡȥȎȠȓșȪțȩȗ ȤȓțȠȞ.

ȃȜȠȭ ȫțȓȞȑȖȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ Dzȁ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ ȟȞȎȐțȖȠȓșȪțȜ țȓȏȜșȪȦȎȭ (2.5 ȚDzȔ/Ț2) ȠȞȓȏȡȬȠȟȭ ȏȜșȪȦȖȓ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ (_14 ǺǽȎ), Ȓșȭ ȠȜȑȜ ȥȠȜȏȩ ȞȎȟȧȓȝȖȠȪ ȥȎȟȠȖȥțȩȓ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ ȐȩȕȩȐȎȬȧȖȓ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ Dzȁ Ȑ ȏȎȕȜȐȜȗ ȝșȜȟȘȜȟȠȖ ȟȘȜșȪȔȓțȖȭ SiC [15].

ǺȜȔțȜ ȐȩȒȓșȖȠȪ ȠȞȖ ȠȖȝȎ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ, ȟȝȜȟȜȏțȩȣ ȐȩȕȐȎȠȪ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ Ȗ ȒȐȖȔȓțȖȓ Dzȁ:

x ȜȟȠȎȠȜȥțȩȓțȎȝȞȭȔȓțȖȭȐȝȜȒșȜȔȘȓ, ȐȜȕțȖȘȎȬȧȖȓȐȜȐȞȓȚȭ ȞȜȟȠȎ ȘȞȖȟȠȎșșȎ;

x țȎȝȞȭȔȓțȖȭ țȓȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȭ, ȐȜȕțȖȘȎȬȧȖȓ Ȗȕ-ȕȎ ȞȎȕșȖȥȖȭ ȎȠȜȚțȩȣȞȎȒȖȡȟȜȐȚȎȠȓȞȖȎșȎȞȎȟȠȐȜȞȖȠȓșȭȖȝȞȖȚȓȟțȜȑȜȎȠȜȚȎȝȞȖ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȖ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ

x șȜȘȎșȪțȜȓ ȒȎȐșȓțȖȓ ȠȓȝșȜȐȩȣ ȘȜșȓȏȎțȖȗ ȎȠȜȚȜȐ ȞȓȦȓȠȘȖ, ȘȜȠȜȞȜȓ ȐȜȕȏȡȔȒȎȓȠȟȭ ȐȩȟȐȜȏȜȒȖȐȦȓȗȟȭ ȫțȓȞȑȖȓȗ Ȑ ȜȘȞȓȟȠțȜȟȠȖ ȤȓțȠȞȜȐ țȓȖȕșȡȥȎȠȓșȪțȜȗ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ.

ǻȎȝȞȭȔȓțȖȭ țȓȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȭ, ȐȜȕțȖȘȎȬȧȖȓ ȝȞȖ ȐțȓȒȞȓțȖȖ șȓȑȖȞȡȬȧȓȗ ȝȞȖȚȓȟȖ ȐȜ ȐȞȓȚȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ p-n ȝȓȞȓȣȜȒȜȐ ȚȜȑȡȠ ȖȑȞȎȠȪ ȑșȎȐțȡȬ ȞȜșȪ țȎ țȎȥȎșȪțȜȗ ȟȠȎȒȖȖ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ ȝȞȖȕȎȞȜȔȒȓțȖȖDzȁȐȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ. ǺȎȘȟȖȚȎșȪțȜȓțȎȝȞȭȔȓțȖȓțȓȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȭȐȫȚȖȠȠȓȞțȜȗp+ ȜȏșȎȟȠȖ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȜȤȓțȓțȜ ȝȜ ȢȜȞȚȡșȓ [16]:

ȑȒȓCZ –ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭșȓȑȖȞȡȬȧȓȗȝȞȖȚȓȟȖțȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȟȠȞȡȘȠȡȞȩ; E – ȚȜȒȡșȪȌțȑȎ; O – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠǽȡȎȟȟȜțȎ; C=[(Rn/Rm)3 1]/n0 – ȝȎȞȎȚȓȠȞțȓȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȭ, Rn, Rm – ȞȎȒȖȡȟȎȠȜȚȎȝȞȖȚȓȟȖȖȞȎȒȖȡȟȎȠȜȚȎ ȞȓȦȓȠȘȖ ȞȎȟȠȐȜȞȖȠȓșȭ, n0 – ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȎȠȜȚȜȐ Ȑ ȞȓȦȓȠȘȓ. ǿȒȐȖȑȜȐȩȓ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ, ȐȩȕȩȐȎȬȧȖȓ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ Ȑ ȏȎȕȜȐȜȗ ȝșȜȟȘȜȟȠȖȟȘȜșȪȔȓțȖȭȚȜȔțȜțȎȗȠȖȝȜȝȞȎȐȖșȎȚȠȞȎțȟȢȜȞȚȎȤȖȖȠȓțȕȜȞȜȐ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ U = F¸T¸ F (ȑȒȓ F – ȚȎȠȞȖȤȎ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ Ȗ F – ȠȞȎțȟȝȎȞȖȞȜȐȎțțȎȭ ȚȎȠȞȖȤȎ):

ȑȒȓ B – ȡȑȜș ȜȠȘșȜțȓțȖȭ ȚȓȔȒȡ țȜȞȚȎșȪȬ Ș ȏȎȕȜȐȜȗ ȝșȜȟȘȜȟȠȖ ȟȘȜșȪȔȓțȖȭ Ȗ țȜȞȚȎșȪȬ Ș ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝșȎȟȠȖțȩ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ (ȐȖȤȖțȎșȪțȩȗ ȡȑȜș).

Ƕȕ ȢȜȞȚȡș (5.4) Ȗ (5.5) ȟșȓȒȡȓȠ, ȥȠȜ ȘȜȑȒȎ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ Al (Al ȕȎțȖȚȎȓȠ ȚȓȟȠȎ Ȑ Si ȝȜȒȞȓȦȓȠȘȓ) ȝȞȓȐȩȦȎȓȠ 5¸1024 Ț 3, țȎȝȞȭȔȓțȖȓ ȟȒȐȖȑȎ ȟȠȎțȜȐȖȠȟȭ ȏȜșȪȦȓ .6¸106 ǽȎ. ǰ ȜȏșȎȟȠȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ (.2000 K) ȘȞȖȠȖȥȓȟȘȜȓțȎȝȞȭȔȓțȖȓ, UC ȝȞȖȘȜȠȜȞȜȚȖțȖȤȖȖȞȡȓȠȟȭ ȝșȎȟȠȖȥȓȟȘȎȭ ȒȓȢȜȞȚȎȤȖȭȐSiC ȞȎȐțȜ106 ǽȎ. ȀȎȘȖȚȜȏȞȎȕȜȚ, ȟȒȐȖȑȜȐȜȓ țȎȝȞȭȔȓțȖȓ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ ȜȠȔȖȑȎ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȩ, ȥȠȜȏȩ ȖțȖȤȖȖȞȜȐȎȠȪ ȝȞȜȤȓȟȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ Ȑ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȚȟșȜȓ. ǼȏȞȎȕȜȐȎțțȩȓȐȜȐȞȓȚȭȒȖȢȢȡȕȖȖȒȖȟșȜȘȎȤȖȖ, ȚȜȑȡȠ ȟșȡȔȖȠȪ Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȕȎȞȜȒȩȦȓȐȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ Ȓșȭ ȒȎșȪțȓȗȦȓȑȜ ȞȎȕȐȖȠȖȭ Dzȁ ȝȜȒ ȒȓȗȟȠȐȖȓȚ ȐȜȕțȖȘȎȬȧȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ.

ǵȒȓȟȪ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȜȠȚȓȠȖȠȪ, ȥȠȜ ȞȓșȎȘȟȎȤȖȭ ȜȟȠȎȠȜȥțȩȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ 4H-SiC, ȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȓȠȟȭ ȞȎȟȦȖȞȓțȖȓȚ Dzȁ