Источники / SiCtechnologyPropertiesApplication

326 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȟȞȓȒțȓȘȐȎȒȞȎȠȖȥțȎȭȦȓȞȜȣȜȐȎȠȜȟȠȪ SiC-SiO2 ȖțȠȓȞȢȓȗȟȎ, ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȗ ȕȎȞȭȒ ȜȘȟȖȒȎ, Ȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȠȜȘȎ ȡȠȓȥȘȖ țȎȏșȬȒȎȬȠȟȭ Ȑ ȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ, ȘȜȑȒȎȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȜȘȖȟșȓțȖȭ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȜȐȎșȎ 700°C

Dzșȭ ȐȩȭȟțȓțȖȭ ȘȖțȓȠȖȘȖ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȟȝȓȤȖȎșȪțȜ ȜȥȖȧȓțțȎȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ (1120) ȟțȎȥȎșȎȜȘȟȖȒȖȞȜȐȎșȎȟȪȝȞȖȘȜȚțȎȠțȜȗȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓȖȕȜȠȜȝȎȚȖ16O2, ȎȕȎȠȓȚ ȝȜȒȐȓȞȑȎșȎȟȪȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȬ18O2 ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 600°ǿ. ǯȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ[86],ȥȠȜȜȏȚȓțțȎȭȞȓȎȘȤȖȭȚȓȔȒȡȝȜȒșȜȔȘȜȗȖȎȠȜȚȎȚȖȘȖȟșȜȞȜȒȎȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠȐ ȟȎȚȜȗȐȓȞȣțȓȗȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ, ȖȐȜȏȜȖȣȟșȡȥȎȭȣȎȠȜȚȩ ȖȕȜȠȜȝȎ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ ȎțȎșȜȑȖȥțȩȚȜȏȞȎȕȜȚȝȞȜțȖȘȎȬȠȐȜ

ȐțȡȠȞȓțțȬȬ ȥȎȟȠȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ, ǾȖȟ. 2.17. ǻȎȖȏȜșȓȓ ȐȓȞȜȭȠțȎȭ ȎȠȜȚțȎȭ ȢȜȞȚȖȞȡȭȟȖșȖȘȎȠȜȝȜȒȜȏțȩȗ ȘȜțȢȖȑȡȞȎȤȖȭ Ȓșȭ (1120) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȟșȜȗ țȓȒȜȜȘȖȟȖ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȜȘȖȟșȓțțȜȗ ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ.

ȞȎȕȒȓșȎ SiO2/6H-SiC. DzȎțțȩȗ ǼȠȘȞȩȠȩȓ, ȥȓȞțȩȓ Ȗ ȟȓȞȩȓ ȘȞȡȑȖ ȜȏȜȕțȎȥȎ- ȞȓȕȡșȪȠȎȠ ȝȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠ, ȥȠȜ ȬȠSi, C Ȗ O ȎȠȜȚȩ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ, ȏȜșȪȦȖȓ ȖȕșȖȦȓȘ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȜȠȘȞȩȠȩȓ ȘȞȡȑȖ – ȎȠȜȚȩ ȎȒȟșȜȭ – Si. ǻȎ ȐȟȠȎȐȘȓ ȜȏȜȕțȎȥȓțȩ ȒȐȎ ȡȑșȜȐȩȣ ȎȒȎȠȜȚȎ Si ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ Ȑ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ Ȝȏ- ȖȚȓȟȠȜțȎȣȜȔȒȓțȖȓȎȏȟȜȞȏȖȞȡȓȚȜȑȜO [86]

ȚȓțțȜȗ ȞȓȎȘȤȖȖ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ

țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȬ ȚȜșȓȘȡș CO, ȘȜȠȜȞȩȓ ȒȓȟȜȞȏȖȞȡȬȠȟȭ ȟ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ [86]. ǯȩșȎ ȠȎȘȔȓ ȜȤȓțȓțȎ ȒȓȢȜȞȚȎȤȖȭ, ȐȩȕȐȎțțȎȭ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȜȘȖȟșȓțȖȓȚ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȞȎȕȒȓșȎ ȜȘȟȖȒ/ȝȜȒșȜȔȘȎ. ǽȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜȚȎȘȟȖȚȎșȪțȎȭȒȓȢȜȞȚȎȤȖȭȟȔȎȠȖȭ 2% ȖțȒȡȤȖȞȡȓȠȟȭ ȠȜșȪȘȜ țȖȔȓ ȜȘȟȖȒțȜȗ ȝșȓțȘȖ, Ȗ ȒȓȢȜȞȚȎȤȖȭ ȝȜȟȠȓȝȓțțȜ ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȑșȡȏȖțȩ ȐțȖȕ ȝȞȖȏșȖȕȖȠȓșȪțȜ ȒȜ 1.5 țȚ Si-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ [85, 86].

ǰ [90] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȎȟȪ ȢȜȠȜșȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȭ (Ȃǹ) ȟșȜȓȐ SiO2, ȝȞȖȑȜȠȜȐșȓțțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚȎțȜȒțȜȑȜȫșȓȘȠȞȜȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝșȓțȜȘ C-SiC. ǯȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȟ ȞȜȟȠȜȚ ȐȞȓȚȓțȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȖȟȣȜȒțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȞȎȟȠȓȠ ȠȜșȧȖțȎ ȜȘȖȟțȜȗ ȝșȓțȘȖ. ǼȒțȎȘȜ ȐȜ Ȑȟȓȣ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȜȘȖȟțȩȣ ȝșȓțȘȎȣ ȘȞȓȚțȖȭ ȟȜȣȞȎțȖșȖȟȪ ȟșȓȒȩ ȡȑșȓȞȜȒȎ, ȞȎȐțȜȚȓȞțȜ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțțȜȑȜ ȝȜ Ȗȣ ȜȏȨȓȚȡ.

ǮȐȠȜȞȩ[90] ȝȞȓȒȝȜșȎȑȎȬȠȒȐȎȐȎȞȖȎțȠȎȜȏȨȭȟțȓțȖȭȚȓȣȎțȖȕȚȎ țȎȏșȬȒȎȓȚȜȗ Ȃǹ. 1) ǽȞȖȑȜȠȜȐșȓțțȩȗ țȎ ȝșȓțȘȓ SiC ȫșȓȘȠȞȜȣȖȚȖȥȓȟȘȖȗ ȜȘȖȟȓș ȟȜȒȓȞȔȖȠ țȓȘȖȓ șȜȘȎșȪțȩȓ ȤȓțȠȞȩ (ȘȜȚȝșȓȘȟȩ), ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȬȧȖȓ ȝȜȭȐșȓțȖȓ Ȑ ȓȑȜ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȓ ȝȞȖȚȓȟțȜȗ ȕȜțȩ, ȜȠȟȠȜȭȧȓȗ ȜȠ ȐȎșȓțȠțȜȗ ȕȜțȩ Țȓțȓȓ ȥȓȚ țȎ 3.7 ȫǰ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȡȞȜȐțȓȗ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ, ȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȬȧȖȣ țȎȏșȬȒȎȓȚȡȬ Ȃǹ. ǯȜșȪȦȎȭ ȦȖȞȖțȎ ȟȝȓȘȠȞȎșȪțȜȗ ȝȜșȜȟȩ Ȃǹ ȟȐȭȕȩȐȎȓȠȟȭ ȘȎȘ ȟ țȎșȖȥȖȓȚ țȓȟȘȜșȪȘȖȣ ȡȞȜȐțȓȗ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ, ȠȎȘ Ȗ ȟ ȚȖȘȞȜȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪȬ ȜȘȖȟșȎ. 2) DzȞȡȑȜȗ ȐȜȕȚȜȔțȩȗ ȐȎȞȖȎțȠ ȜȏȨȭȟțȓțȖȭ ȟȐȭȕȎț ȟ Ȃǹ ȚȎșȩȣ ȘȐȎțȠȜȐȜ-ȞȎȕȚȓȞțȩȣ ȘșȎȟȠȓȞȜȐ SiC, ȘȜȠȜȞȩȓ ȚȜȑȡȠ ȜȟȠȎȠȪȟȭ Ȑ ȜȏȨȓȚȓ ȜȘȖȟșȎ ȝȜȟșȓ ȫșȓȘȠȞȜȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȠȞȎȐșȓțȖȭ.

ǻȎ ȜȟțȜȐȎțȖȖ ȝȞȜȐȓȒȓțțȩȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȎȐȠȜȞȩ [90] ȝȞȖȦșȖ Ș ȐȩȐȜȒȡ Ȝ ȠȜȚ, ȥȠȜ ȡȑșȓȞȜȒ, ȐșȖȭȬȧȖȗ țȎ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȟȝȓȘȠȞȎ Ȃǹ, ȒȜșȔȓț țȎȣȜȒȖȠȪȟȭ Ȑ ȟȜȟȠȎȐȓ șȜȘȎșȪțȩȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ ȟȜ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȚȖ ȒȓȢȓȘȠȎȚȖ ȜȘȖȟșȎ.

ǮȐȠȜȞȩ [91, 92] ȝȜșȎȑȎȬȠ, ȥȠȜ ȐȩȭȐșȓțțȩȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȭ ȝȜ ȟȐȜȓȗ ȝȞȖȞȜȒȓ ȎțȎșȜȑȖȥțȩ ȤȓțȠȞȎȚ Pb Ȑ ȟȖȟȠȓȚȓ SiO2/Si. ǰ ȟȖȟȠȓȚȓ SiO2/Si ȜȟțȜȐțȜȗ ȐȘșȎȒ Ȑ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎSiO2/Si ȐțȜȟȭȠȝȎȞȎȚȎȑțȖȠțȩȓPb-ȤȓțȠȞȩ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȧȖȓ ȟȜȏȜȗ «ȒȓȢȓȘȠȩ ȜȘȖȟșȓțȖȭ» – ȤȓțȠȞȩ ȠȖȝȎ xSiwSi3 ȟ ȜȏȜȞȐȎțțȩȚȖ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȚȖ ȟȐȭȕȭȚȖ. ȋȠȖ ȤȓțȠȞȩ ȖȚȓȬȠ ȎȚȢȜȠȓȞțȡȬ ȝȞȖȞȜȒȡ, Ȏ ȟȐȭȕȎțțȎȭȟțȖȚȖȝșȜȠțȜȟȠȪȟȜȟȠȜȭțȖȗȖȚȓȓȠȒȐȎȝȖȘȎȐȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗȕȜțȓȘȞȓȚțȖȭ, ȝȜȥȠȖȟȖȚȚȓȠȞȖȥțȜȞȎȟȝȜșȜȔȓțțȩȣȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ ȟȓȞȓȒȖțȩ ȕȜțȩ: ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȭ – Ȑ ȐȓȞȣțȓȗ ȝȜșȜȐȖțȓ ȕȜțȩ (ȟ ȚȎȘȟȖȚȡȚȜȚ ȝȞȖ Ev +0.85 ȫǰ), Ȏ ȒȜțȜȞțȩȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȭ – Ȑ țȖȔțȓȗ ȝȜșȜȐȖțȓȕȜțȩ(ȟȚȎȘȟȖȚȡȚȜȚȝȞȖEv+0.25 ȫǰ). ǽȞȖȫȠȜȚȖțȠȓȑȞȎșȪțȎȭ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ Ȗ ȡȦȖȞȓțȖȓ ȝȖȘȎ Ȗȣ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȜȗ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ Ȗ ȡȟșȜȐȖȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC: ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ ȚȖțȖȚȎșȪțȎ țȎ ȣȜȞȜȦȜ ȜȘȖȟșȓțțȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȟ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȓȗ (0001)Si Ȗ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȎ țȎ ȟȐȜȏȜȒțȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȟ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȓȗ (1010) C [91, 93].

328 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȘȎȔȒȩȗ Ȗȕ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ SiC ȖȚȓȓȠ ȞȎȕșȖȥțȡȬȟȘȜȞȜȟȠȪȜȘȖȟșȓțȖȭȝȞȖȜȒȖțȎȘȜȐȩȣȡȟșȜȐȖȭȣȜȘȖȟșȓțȖȭ. Dzșȭ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ SiC, ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȜȘȖȟșȓțȖȭ țȎ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȑȞȎțȖ (0001) ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ ȟ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓȚ ȝȞȜȤȓțȠȎ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȜȟȠȖ ȝȜșȖȠȖȝȎ SiC, Ȑ ȠȜ ȐȞȓȚȭ ȘȎȘ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȞȜȟȠȎ ȜȘȖȟșȎ țȎ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȑȞȎțȖ (0001) țȓ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȝȜșȖȠȖȝȎ. ȀȎȘ Ȕȓ ȘȎȘ Ȗ Ȓșȭ ȒȞȡȑȖȣ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐ, ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȠȖȝȎ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ, ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ, ȦȓȞȜȣȜȐȎȠȜȟȠȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ Ȗ ȘȎȥȓȟȠȐȎ ȘȞȖȟȠȎșșȎ [57, 68, 71].

ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ 3C-, 4H-, 6H- Ȗ 15R-SiC ȝȜșȖȠȖȝȩ ȜȘȖȟșȭȬȠȟȭ ȟ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȟȘȜȞȜȟȠȭȚȖ țȎ Si ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, 3ǿ-SiC ȜȘȖȟșȭȓȠȟȭ ȝȞȖȏșȖȕȖȠȓșȪțȜ țȎ 20% ȏȩȟȠȞȓȓ, ȥȓȚ 4ǻ-SiC. ǼȘȖȟșȓțȖȓ 6ǻ- Ȗ 3ǿ-SiC ȝȜșȖȠȖȝȜȐ țȎ Si Ȗ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȭȣ ȜȠșȖȥȎȓȠȟȭ

ȐȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȟȝȜȟȜȏȎ ȜȘȖȟșȓțȖȭ.

ǰȞȎȏȜȠȓ [63] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȜȟȪ ȐșȖȭțȖȓ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ

6ǻ-SiC țȎȝȞȜȤȓȟȟȜȘȖȟșȓțȖȭ. ǼȏȞȎȕȤȩȖȚȓșȖȟȞȓȕȝȜțȎȝȞȎȐșȓțȖȬ

1120 ȜȠȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖțȎȡȑșȩ15°, 30°, 45° Ȗ90°. ǸȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȒȜțȜȞțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȖ ȐȜȏȞȎȕȤȎȣ ȏȩșȎ 1018–1019 ȟȚ 3. ǰȞȓȚȭ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȐȩȏȖȞȎșȜȟȪ ȠȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȥȠȜȏȩ ȠȜșȧȖțȎ ȝșȓțȘȖ, ȐȩȞȎȧȓțțȜȗ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 1200, 1100 Ȗ 1000°ǿ ȏȩșȎ ȏȜșȓȓ 300 Å. ȋȠȜ ȝȜȕȐȜșȖșȜ ȝȞȜȐȓȟȠȖ ȏȜșȓȓ ȘȎȥȓȟȠȐȓțțȜ ȖȕȚȓȞȓțȖȓ ȐȜșȪȠ-ȢȎȞȎȒțȩȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ (ǰȂȃ) ȜȏȞȎȕȤȜȐ. ǰ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȏȩșȜ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ șȖțȓȗțȎȭ ȟȜȟȠȎȐșȭȬȧȎȭ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ țȎȖȏȜșȓȓ ȞȓȕȘȜ ȖȕȚȓțȭȓȠȟȭ ȝȞȖ ȟȞȓȕȓ țȎ 30° ȜȠ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ {0001} 6H-SiC. ȀȎȘȎȭ ȟȖșȪțȎȭ ȎțȖȕȜȠȞȜȝȖȭ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȟȜȕȒȎȓȠ ȜȝȞȓȒȓșȓțțȩȓ ȠȞȡȒțȜȟȠȖ Ȑ ȡȝȞȎȐșȓțȖȖ ȒșȖțȜȗ «ȝȠȖȥȪȓȑȜ ȘșȬȐȎ»

ȐȠȜȝȜșȜȑȖȖ ǺǼǽ Ƕǿ ȟ ȠȜșȟȠȩȚ ȕȎȧȖȠțȩȚ ȟșȜȓȚ ȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ȋțȓȞȑȖȭ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ șȖțȓȗțȜȗ ȟȜȟȠȎȐșȭȬȧȓȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝșȎȐțȜ ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ ȜȠ ƙ-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ Ș Si-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ. ǼȒțȎ Ȗȕ ȝȞȖȥȖț ȖȕȚȓțȓțȖȭ ȫțȓȞȑȖȖ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜȐȓȞȣțȜȟ-

Ƞȭȣ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȎ ȠȓȚ, ȥȠȜ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȓ ȎȠȜȚȩ, ȟȐȭȕȎțțȩȓ ȟ SiO2, ȞȎȕșȖȥțȩ Ȓșȭ Si- Ȗ C-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ Ȗȕ-ȕȎ ȞȎȕțȖȤȩ Ȑ ȫșȓȘȠȞȜȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜȟȠȖ Si Ȗ ƙ [6].

ǾȎȏȜȥȡȬ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȡ Ȓșȭ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȜȏȩȥțȜ ȐȩȏȖȞȎȬȠȐȒȖȎȝȎȕȜțȓ800–1800°ǿ. ǰȞȎȏȜȠȓ[68] ȐȘȎȥȓȟȠȐȓȞȎȏȜȥȓȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ Ȓșȭ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȘȖțȓȠȖȘȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ 6H-SiC ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȜȏȞȎȕȤȩ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȟ ȝȜșȖȞȜȐȎțțȜȗ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȖșȖ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȟȠȜȞȜțȜȗ (ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȩȓ Cree Research Inc). ǽșȎȟȠȖțȩ

ȖȚȓșȖ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȗ ȟșȜȗ ȠȜșȧȖțȜȗ 3 ȚȘȚ Ȓșȭ ȡȚȓțȪȦȓțȖȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȗ ȜȏȓȟȝȓȥȓțȖȭ ȠȜȥțȜȑȜ ȘȜțȠȞȜșȭ ȝȞȜȤȓȟȟȎ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ. ǶȟȣȜȒțȎȭȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȎșȬȚȖțȖȭ– (1.3¸1015) ȟȚ 3 țȎ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȟȠȜȞȜțȓ ȝșȎȟȠȖțȩ Ȗ (5.5¸1015) ȟȚ 3 țȎ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȟȠȜȞȜțȓ ȝșȎȟȠȖțȩ, ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȎȕȜȠȎ– (8.7¸1015) ȟȚ 3 țȎȘȞȓȚțȖȓȐȜȗȟȠȜȞȜțȓ ȝșȎȟȠȖțȩ Ȗ (5.8¸1015) ȟȚ 3 țȎ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȟȠȜȞȜțȓ ȝșȎȟȠȖțȩ.

Dzșȭ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ: ȟȡȣȜȓ ȜȘȖȟșȓțȖȓ ȝȞȖ 1523 K, ȟȡȣȜȓȜȘȖȟșȓțȖȓȝȞȖ1523 K ȟȒȜȏȎȐșȓțȖȓȚȠȞȖȣșȜȞȫȠȎțȎ, ȐșȎȔțȜȓ ȜȘȖȟșȓțȖȓ Ȑ ȝȖȞȜȑȓțțȜȚ ȝȎȞȓ.

Dzșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȟȞȎȐțȖȚȩȣ ȠȜșȧȖț ȜȘȖȟșȎ, ȝșȎȟȠȖțȩ ȟ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȟȠȜȞȜțȜȗ ȜȘȖȟșȭșȖȟȪ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 50 ȚȖțȡȠ, Ȏ ȟ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȟȠȜȞȜțȜȗ Ȑ ȠȓȥȓțȖȖ 10 ȚȖțȡȠ. ǽȜȟșȓ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝȞȜȐȜȒȖșȟȭ 60-ȠȖ ȚȖțȡȠțȩȗ ȜȠȔȖȑ Ȑ ȟȞȓȒȓ ȎȕȜȠȎ ȝȞȖ ȠȜȗ Ȕȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ. ǼȏȞȎȕȤȩ n- Ȗp-ȠȖȝȎȜȘȖȟșȭșȖȟȪȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜ. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪȠȎȘȔȓȘȞȓȚțȖȓȐȩȓȜȏȞȎȕȤȩȒșȭȘȜțȠȞȜșȭȝȞȜȤȓȟȟȎȜȘȖȟșȓțȖȭ. ȀȜșȧȖțȎȜȘȖȟșȎ ȖȕȚȓȞȭșȎȟȪ țȎ ȫșșȖȝȟȜȚȓȠȞȓ, ȟ ȒșȖțȜȗ ȐȜșțȩ 632.8 țȚ Ȗ ȡȑșȜȚ ȝȎȒȓțȖȭ70° (ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȝȞȓșȜȚșȓțȖȭSiC ȝȞȓȒȝȜșȎȑȎșȟȭ 2.636). ǰȟȓ ȜȘȖȟșȩ ȏȩșȖ ȠȜșȧȖțȜȗ ȜȠ 40 ȒȜ 50 țȚ, ȕȎ ȖȟȘșȬȥȓțȖȓȚ ȜȏȞȎȕȤȜȐ, ȜȘȖȟșȓțțȩȣ ȟ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȏȩșȖ ȝȜșȡȥȓțȩ ȝȞȖ ȐșȎȔțȜȚ ȜȘȖȟșȓțȖȖ. Ƕȣ ȠȜșȧȖțȎ ȟȜȟȠȎȐȖșȎ – 130 țȚ.

ȀȜșȧȖțȩ ȟșȜȓȐ ȜȘȟȖȒȜȐ, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩȐȠȎȏșȖȤȓ 2.1, ȖȕȘȜȠȜȞȜȗȐȖȒțȜȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȓ ȐșȖȭțȖȓȠȖȝȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖțȎȟȘȜȞȜȟȠȪȜȘȖȟșȓțȖȭ. dzȚȘȜȟȠțȩȓȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȖȟȟșȓȒȡȓȚȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ țȎ ȞȖȟ. 2.18–2.21 [68].

ȀȎȏșȖȤȎ 2.1. ǰșȖȭțȖȓ ȠȖȝȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ 6H-SiC Ȗ ȡȟșȜȐȖȗ ȜȘȖȟșȓțȖȭ țȎ ȠȜșȧȖțȡ ȜȘȖȟșȎ [68]

330 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.18. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ C/Cox ȜȠ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ țȎ ȕȎȠȐȜȞȓ Ȓșȭ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȎ țȎ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȑȞȎțȖ SiC n-ȠȖȝȎ ȟ ȜȘȖȟșȎȚȖ, ȝȜșȡȥȓțțȩȚȖ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȚȓȠȜȒȎȚȖ. ǽșȜȧȎȒȪ ȕȎȠȐȜȞȎ

0.00126 ȟȚ2 [68]

ǾȖȟ. 2.19. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ C/Cox ȜȠ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ țȎ ȕȎȠȐȜȞȓ Ȓșȭ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȎ țȎ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȑȞȎțȖ SiC n-ȠȖȝȎ. ǽșȜȧȎȒȪ ȕȎȠȐȜȞȎ

0.00126 ȟȚ2 [68]

ǾȖȟ. 2.20. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ C/Cox ȜȠ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ țȎ ȕȎȠȐȜȞȓ Ȓșȭ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȎ țȎ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȑȞȎțȖ SiC p-ȠȖȝȎ. ǽșȜȧȎȒȪ ȕȎ-

ȠȐȜȞȎ 0.00126 ȟȚ2 [68]

ǾȖȟ. 2.21. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ C/Cox ȜȠ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ țȎ ȕȎȠȐȜȞȓ Ȓșȭ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȎ țȎ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȑȞȎțȖ SiC p-ȠȖȝȎ. ǽșȜȧȎȒȪ ȕȎ-

ȠȐȜȞȎ 0.00126 ȟȚ2 [68]

ǮȐȠȜȞȩ [68] ȝȜșȡȥȖșȖ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ 6ǻ-SiC ȜȠ ȝȎȞȤȖȎșȪțȜȑȜ ȒȎȐșȓțȖȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȗ ȝȎȞȜȐ ȐȜȒȩ. ǼȘȖȟșȓțȖȓ ȝȞȜȐȜȒȖșȜȟȪ Ȑ ȝȖȞȜȑȓțțȜȗ ȟȖȟȠȓȚȓ, Ȑ ȘȜȠȜȞȜȗ O2 Ȗ ƕ2 ȞȓȎȑȖȞȜȐȎșȖ ȐțȡȠȞȖ ȞȓȎȘȤȖȜțțȜȗ ȘȎȚȓȞȩ. Dzșȭ ȖȕȚȓȞȓțȖȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ

ȐȝȞȜȤȓȟȟȓ ȜȘȖȟșȓțȖȭȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȎȟȪ ȠȓȞȚȜȝȎȞȎ. ȀȜșȧȖțȎȜȘȖȟșȎ ȖȕȚȓȞȭșȎȟȪ ȚȓȠȜȒȎȚȖ ȫșșȖȝȟȜȚȓȠȞȖȖ. Dzșȭ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȜȐ ȖȟȝȜșȪ- ȕȜȐȎșȖȟȪȝșȎȟȠȖțȩȟȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȚȟșȜȓȚp-ȠȖȝȎțȎ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ

ȑȞȎțȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ 6ǻ-SiC ȟ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȖ (1.7¸1016) ȟȚ 3. ǰȜ Ȑȟȓȣ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȎȟȪ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎ ȜȘȖȟșȓțȖȭ 1100°ǿ. ǼȘȖȟșȓțȖȓ ȝȜȐȠȜȞȭșȜȟȪ țȎ ȠȜȗ Ȕȓ ȝșȎȟȠȖțȓ ȝȜȟșȓ ȟȠȞȎȐșȖȐȎțȖȭ ȐȩȞȎȧȓțțȜȑȜ ȜȘȖȟșȎ. ǽȞȜȤȓȟȟ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝșȎȟȠȖț ȝȞȜȐȜȒȖșȟȭ ȝȞȖ 1100°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȖ 6 ȥȎȟȜȐ. ǶȕȐȓȟȠțȜ, ȥȠȜ ȒșȭȘȞȓȚțȖȭȟȘȜȞȜȟȠȪ ȜȘȖȟșȓțȖȭȐȜȐșȎȔțȜȚȘȖȟșȜȞȜȒȓ ȐȩȦȓ, ȥȓȚ

ȐȟȡȣȜȚ, ȠȎȘȎȭȔȓȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȪȟȜȏșȬȒȎȓȠȟȭȖȒșȭȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ. Dzșȭ ȠȜȑȜ, ȥȠȜȏȩ ȡȕțȎȠȪ, ȘȎȘ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȖȕȚȓțȭȓȠȟȭ

ȐȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȠȜȑȜ, ȘȎȘȜȗ ȘȖȟșȜȞȜȒ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ, ȐșȎȔțȩȗ ȖșȖ

ȟȡȣȜȗ, ȜȘȖȟșȓțȖȓ ȝȞȜȐȜȒȖșȜȟȪ ȝȞȖ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȟȘȜȞȜȟȠȭȣ ȝȜȠȜȘȎ ƕ2 Ȗ Ɩ2. ǻȎ ȞȖȟ. 2.22 ȝȞȖȐȓȒȓțȎ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȠȜșȧȖțȩ ȜȘȖȟșȎ ȜȠ ȝȎȞȤȖȎșȪțȜȑȜ ȒȎȐșȓțȖȭ ȝȎȞȜȐ ȐȜȒȩ. ǽȎȞȤȖȎșȪțȜȓ ȒȎȐșȓțȖȓ ȐȜȒȩ ȞȎȟȟȥȖȠȩȐȎșȜȟȪ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȡȞȎȐțȓțȖȭ

332 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.22.ȀȜșȧȖțȎȜȘȖȟșȎȝȞȖȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȎȞȤȖȎșȪțȩȣ ȒȎȐșȓțȖȭȣ ȝȎȞȜȐ ȐȜȒȩ. ǰȞȓȚȭ ȜȘȖȟșȓțȖȭ – 5 ȥȎȟȜȐ: 1 – ȠȓȜȞȓȠȖȥȓȟȘȎȭȘȞȖȐȎȭ, 2 –ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȎȭ[71]

ȕȡșȪȠȎȠȩ ȞȎȟȥȓȠȜȐ Ȗ ȠȜșȧȖțȩ ȝȜșȡȥȎȓȚȜȑȜ ȜȘȖȟșȎ Ȓșȭ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȟȘȜȞȜȟȠȓȗȝȜȠȜȘȎȑȎȕȎȝȞȖȐȓȒȓțȩȐȠȎȏșȖȤȓ 2.2. DzșȭȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭȚȎȘȟȖȚȎșȪțȎȭȠȜșȧȖțȎȜȘȖȟșȎțȎȏșȬȒȎȓȠȟȭȝȞȖȝȎȞȤȖȎșȪțȜȚ ȒȎȐșȓțȖȖ ȐȜȒȩ Ȟ= 0.15, Ȑ ȠȜ ȐȞȓȚȭ ȘȎȘ Ȓșȭ ȘȞȓȚțȖȭ – ȝȞȖ Ȟ= 1 (ȐșȎȔțȜȟȠȪ100%). ȀȎȘȖȚȜȏȞȎȕȜȚ, ȚȜȔțȜȝȜșȡȥȖȠȪȠȜșȟȠȩȗȜȘȖȟȓș, ȘȜțȠȞȜșȖȞȡȭȟȘȜȞȜȟȠȪȝȜȠȜȘȎƕ2O ȖƖ2 țȎȘȞȓȚțȖȓȐȜȗȑȞȎțȖ. DzȞȡȑȜȗ ȝȎȞȎȚȓȠȞ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȐșȖȭȓȠ țȎ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȜȘȖȟșȓțȖȭ, ȫȠȜ ȟȡȚȚȎȞțȎȭ

ȀȎȏșȖȤȎ 2.2. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȠȜșȧȖțȩ ȜȘȖȟșȎ ȜȠ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȝȜȠȜȘȎ ȑȎȕȎ [71]

ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȝȜȠȜȘȎ ȑȎȕȎ( ȠȜ ȓȟȠȪ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȝȜȠȜȘȎ, ȟȜȟȠȜȭȧȓȑȜ Ȗȕ ȝȎȞȜȐ ȐȜȒȩ Ȗ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ). Dzșȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐ (1–4) Ȗȕ ȠȎȏșȖȤȩ 2.2 ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȠȜșȧȖțȎ ȜȘȖȟșȎ ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȝȜȠȜȘȎ ȑȎȕȎ. ǼȒțȎȘȜ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȝȜȠȜȘȎ ȑȎȕȎ ȡ ȜȏȞȎȕȤȎ 5 ȚȓțȪȦȓ ȥȓȚ ȡ ȜȏȞȎȕȤȜȐ 1–4, Ȏ ȠȜșȧȖțȎ ȜȘȖȟșȎ ȐȩȦȓ. ǽȜȫȠȜȚȡ, ȚȜȔțȜ ȟȒȓșȎȠȪ ȐȩȐȜȒ, ȥȠȜ ȠȜșȧȖțȎ ȜȘȖȟșȎ țȓ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȑȎȕȜȐȜȑȜ ȝȜȠȜȘȎ [71].

ǸȞȜȚȓȘȖțȓȠȖȥȓȟȘȖȣȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȓȗȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȒȖȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ țȎ SiC, ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȗ ȖțȠȓȞȓȟ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȠ ȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȓ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎ. ǼȒțȖȚ Ȗȕ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȐ ȜȤȓțȘȖ ȘȎȥȓȟȠȐȎ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȝȜȘȞȩȠȖȗ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȖȕȚȓȞȓțȖȓȐȜșȪȠ-ȢȎȞȎȒțȩȣȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȝȜșȡȥȓțțȩȣȒȖȫșȓȘȠȞȖ- ȥȓȟȘȖȣȝșȓțȜȘ. ǰȞȎȏȜȠȓ[69] ȕȎȠȐȜȞȩǺǼǽȟȠȞȡȘȡȠȞȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȜȟȎȔȒȓțȖȓȚ ȝȜșȖȘȞȓȚțȖȭ ȠȜșȧȖțȜȗ 450 țȚ Ȗ șȓȑȖȞȜȐȎșȖȟȪ POCl3. ǮșȬȚȖțȖȗ, ȠȜșȧȖțȜȗ200 țȚȜȟȎȔȒȎșȟȭȫșȓȘȠȞȜțțȩȚțȎȝȩșȓțȖȓȚ. Dzșȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȘȞȡȑșȩȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȜȟȪ ȟȡȣȜȓ ȖșȖ ȐșȎȔțȜȓ ȠȞȎȐșȓțȖȓ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ CF4 Ȑ șȖȠȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȜȚ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȠȜțȘȖȣ ȝșȓțȜȘ ȎșȬȚȖțȖȭ Ȗ ȝȜșȖȘȞȓȚțȖȭ. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȒȖȎȚȓȠȞȩ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ 100, 200, 400 Ȗ 1000 ȚȘȚ. ǼȏȞȎȠțȎȭ ȟȠȜȞȜțȎ ȝȜȘȞȩȐȎșȎȟȪ ȎșȬȚȖțȖȓȚ(ȒșȭȜȏȞȎȕȤȜȐȞ-ȠȖȝȎ) ȖțȖȘȓșȓȚ (Ȓșȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐ n-ȠȖȝȎ). DzȎșȓȓ ȜȏȞȎȕȤȩ ȜȠȔȖȑȎșȖȟȪ Ȑ ȐȎȘȡȡȚțȜȗ ȝȓȥȖ ȝȞȖ 773 K.

ǶȕȚȓȞȓțȖȭ ǰȂȃ ȝȞȜȐȜȒȖșȖȟȪ Ȑ ȠȓȚțȜȠȓ ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ țȎ ȥȎȟȠȜȠȓ 1 ǺDZȤ. ǰ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȖȕȚȓȞȓțȖȗ țȎȝȞȭȔȓțȖȓ ȖȕȚȓțȭșȜȟȪ Ȑ ȠȜȥȘȓ ȞȎȐțȜȐȓȟȖȭ ȜȠ ȖțȐȓȞȟȖȖ/ȜȏȓȒțȓțȖȭ ȒȜ ȜȏȜȑȎȧȓțȖȭ. ǰȓșȖȥȖțȎ ȑȖȟȠȓȞȓȕȖȟȎ ȜȘȎȕȎșȎȟȪ ȚȎșȎ ȝȞȖ ȖȕȚȓțȓțȖȖ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ Ȑ ȜȒțȡ Ȗ ȒȞȡȑȡȬ ȟȠȜȞȜțȡ. DzȎșȓȓ ȖȕȚȓȞȭșȖȟȪ ȓȚȘȜȟȠȖ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ 200 Ȗ 400 ȚȘȚ Ȓșȭ ȜȏȓȟȝȓȥȓțȖȭ ȖȒȓțȠȖȥțȜȑȜ ȐȖȒȎ ȘȞȖȐȩȣ. ȅȠȜȏȩ ȡȒȜȟȠȜȐȓȞȖȠȪȟȭ Ȑ ȠȜȚ, ȥȠȜ ȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜ ȟȜȓȒȖțȓțțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ țȓ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ, ȖȕȚȓȞȭșȖȟȪ ȓȚȘȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȜȐ ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ ȕȎȠȐȜȞȜȐ 100 Ȗ 1000 ȚȘȚ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ ȠȜȘȖ ȡȠȓȥȘȖ Ȑ ȜȘȖȟșȎȣ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȐȓșȖȘȖ, ȜȟȜȏȓțțȜ Ȑ ȜȘȖȟșȎȣ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȐȩȞȎȧȓțȩ țȎ ȝȜȒșȜȔȘȎȣ Ȟ-ȠȖȝȎ.

ǰ ȞȎȏȜȠȓ [69] ǺǼǽ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȩ, Ȓșȭ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ǰȂȃ, ȖȕȑȜȠȜȐșȭșȖȟȪ țȎ ȑȜȚȜȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȭȣ ȐȩȞȎȧȓțțȩȣ țȎ (0001) ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȑȞȎțȖ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȝșȎȟȠȖț 4H- Ȗ 6H-SiC ȝȜșȖȠȖȝȜȐ. ǹȓȑȖȞȜȐȎțțȩȓȏȜȞȜȚȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓ ȟșȜȖp-ȠȖȝȎȖșȓȑȖȞȜ- ȐȎțțȩȓ ȎșȬȚȖțȖȓȚ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓ ȟșȜȖ n-ȠȖȝȎ ȏȩșȖ ȐȩȞȎȧȓțȩ

334 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

țȎ ȟȖșȪțȜ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȝȜȒșȜȔȘȎȣ p- Ȗ n-ȠȖȝȎ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ȀȜșȧȖțȎ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȑȜ ȟșȜȭ – 4 ȚȘȚ. ǸȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ șȓȑȖȞȡȬȧȖȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ (2¸1016) ȟȚ 3 Ȓșȭ p-ȠȖȝȎ Ȗ (2¸1015) ȟȚ 3 Ȓșȭ n-ȠȖȝȎ. ǰ ȒȎțțȜȚ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȓ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȓ ȏȜȞȜȚ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓ ȟșȜȖ Ȓșȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐ Ȟ-ȠȖȝȎ, ȝȜȟȘȜșȪȘȡ Ȗȣ ȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȜȟȠȪ șȡȥȦȓ, ȥȓȚ ȡ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ, șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣȎșȬȚȖțȖȓȚ. ǼȒțȎȘȜțȓȠȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȗȞȎȕțȖȤȩ Ȑ ȟȐȜȗȟȠȐȎȣ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ SiO2/SiC ȜȏȞȎȕȤȜȐ, șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȏȜȞȜȚ ȖșȖ ȎșȬȚȖțȖȓȚ.

ǰ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȫșȓȘȠȞȜȒȎ Ș ȕȎȠȐȜȞȡ ȥȓȞȓȕ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȡȬ ȚȎȟȘȡ ȜȟȎȔȒȎșȟȭ ȎșȬȚȖțȖȗ Ȓșȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ 300 Ȗ 500 ȚȘȚ. ǽȜȟșȓ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȝȞȜȖȕȐȜȒȖșȟȭ ȓȑȜ ȜȠȔȖȑ Ȑ ȢȜȞȚȖȞȡȬȧȓȚ ȑȎȕȓ (N2:H2 = 9:1) ȝȞȖ 400°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȖ 30 ȚȖț.

ǻȎȞȖȟ. 2.23 ȝȜȘȎȕȎțȩǰȂȃȘȞȖȐȩȓȐȡȟșȜȐȖȭȣȜȠȟȡȠȟȠȐȖȭȜȟȐȓȧȓțȖȭ Ȓșȭ ǺǼǽ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȜȐ p-ȠȖȝȎ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȩȣ țȎ 4H-SiC ȒșȭȞȎȕșȖȥțȩȣȝȞȜȤȓȟȟȜȐȜȘȖȟșȓțȖȭ[69]. ǶȕȚȓȞȓțțȩȓȘȞȖȐȩȓȝȜȘȎ- ȕȩȐȎȬȠȑșȡȏȜȘȜȓȜȏȓȒțȓțȖȓȖȕ-ȕȎțȖȕȘȜȗȟȜȏȟȠȐȓțțȜȗȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ țȜȟȖȠȓșȓȗȐȟșȓȒȟȠȐȖȓȦȖȞȜȘȜȗȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗȕȜțȩ. ǻȓȟȚȜȠȞȭțȎ ȠȜ, ȥȠȜ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ ȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜȓ ȟȚȓȧȓțȖȓ ȝșȜȟȘȜȗ ȕȜțȩ (%Vfb), Ȓșȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐ, ȜȘȖȟșȓțțȩȣ Ȑ ȟȡȣȜȚ ȘȖȟșȜȞȜȒȓ, ȐșȎȔțȜȓ ȜȘȖȟșȓțȖȓ ȚȜȔȓȠ ȡȚȓțȪȦȖȠȪ %Vfb.

ǯȜșȪȦȜȓ ȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜȓ ȕțȎȥȓțȖȓ %Vfb Ȑ ǺǼǽ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȎȣ Ȟ-ȠȖȝȎȐȜȟțȜȐțȜȚȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠȐȟșȓȒȟȠȐȖȓȕȎȣȐȎȠȎȒȩȞȜȘȑșȡȏȜȘȖȚȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȚȖ ȟȜȟȠȜȭțȖȭȚȖ ȒȜțȜȞțȜȑȜ ȠȖȝȎ, Ȏ țȓ Ȗȕ-ȕȎ ȢȖȘȟȖȞȜȐȎțțȩȣȕȎȞȭȒȜȐ. ȀȓȚțȓȚȓțȓȓ, ȓȟșȖȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȩȓȢȖȘȟȖȞȜȐȎțțȩȓ ȕȎȞȭȒȩ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȡȬȠ ȡ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȟȚȓȧȓțȖȓ ȐȓșȖȥȖțȩ ȝșȜȟȘȜȗ ȕȜțȩ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȡȚȓțȪȦȓțȜ.

ǾȖȟ. 2.23. ǰȩȟȜȘȜȥȎȟȠȜȠțȩȓ ȐȜșȪȠ-ȢȎȞȎȒțȩȓȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ǺǼǽ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȜȐ țȎ 4H-SiC

Ȟ-ȠȖȝȎ [69]

ǵȎȝȜȟșȓȒțȖȓȑȜȒȩȝȜȭȐȖșȜȟȪȚțȜȑȜȝȡȏșȖȘȎȤȖȗȝȜȝȜșȡȥȓțȖȬ ȖȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȬȝșȓțȜȘțȖȠȞȖȒȜȐȚȓȠȎșșȜȐ. ǻȎSiC ȜȟȜȏȩȗȖțȠȓȞȓȟ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȠ ȝȞȜȐȜȒȭȧȖȓ țȖȠȞȖȒȩ ȚȓȠȎșșȜȐ, ȡ ȘȜȠȜȞȩȣ ȢȖȕȖȥȓȟȘȖȓȖȣȖȚȖȥȓȟȘȖȓȟȐȜȗȟȠȐȎ ȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠȖȣȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȖȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȖȣȟȐȜȗȟȠȐ. ǸȠȎȘȖȚȟȐȜȗȟȠȐȎȚȜȠțȜȟȭȠȟȭȐȩȟȜȘȎȭȠȓȞȚȖȥȓȟȘȎȭ, ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȎȭ Ȗ ȣȖȚȖȥȓȟȘȎȭ ȟȠȜȗȘȜȟȠȪ, ȣȜȞȜȦȎȭ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȎȭ Ȗ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȎȭȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȪ, ȖȐțȓȘȜȠȜȞȩȣȟșȡȥȎȭȣȘȎȠȎșȖȠȖȥȓȟȘȎȭ ȎȘȠȖȐțȜȟȠȪ [94].

ǽȞȜȐȜȒȭȧȖȓ țȖȠȞȖȒȩ ȚȓȠȎșșȜȐ ȖȕȑȜȠȜȐșȭȬȠȟȭ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖȢȖȕȖȥȓȟȘȜȑȜȖȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜȜȟȎȔȒȓțȖȭȖȕȑȎȕȜȐ. ǰȘșȎȟȟȖȥȓȟȘȜȗ țȓȜȞȑȎțȖȥȓȟȘȜȗ ȣȖȚȖȖ ȜțȖ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȞȓȎȘȤȖȖ ȫșȓȚȓțȠȜȐ ȝȞȖ ȐȜȕȞȎȟȠȎȬȧȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ Ȗ/ȖșȖ ȐȩȟȜȘȜȚ ȒȎȐșȓțȖȖ Ȑ ȘȜțȐȓȘȤȖȜțțȜȗ ȝȓȥȖ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ țȎȖȏȜșȓȓ ȘȎȥȓȟȠȐȓțțȩȣ ȝșȓțȜȘ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ ȏȩȟȠȞȜȑȜ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȠȔȖȑȎ.

ǰ ȞȎȏȜȠȓ [94] ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȝșȎȟȠȖțȩ Si (100) ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ 150 ȚȚ, ȟȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȐȩȞȎȧȓțțȩȚ100 țȚȜȘȖȟșȜȚȒșȭȝȞȓȒȡȝȞȓȔȒȓțȖȭȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭȚȓȠȎșș– ȘȞȓȚțȖȗȖȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȟȖșȖȤȖȒȎ. ǿșȜȖȐȎțȎȒȖȭȖțȖȜȏȖȭ, ȠȎȘȔȓȘȎȘȖȟȠȞȡȘȠȡȞȎȐȎțȎȒȖȗ–ȠȖȠȎț, țȎțȜȟȖșȖȟȪ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȑȜ șȡȥȎ ȚȜȧțȜȟȠȪȬ 4 ȘǰȠ Ȑ ȐȩȟȜȘȜȚ ȐȎȘȡȡȚȓ. ǰ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȖȟȝȎȞȓțȖȭ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȓ ȚȖȦȓțȖ (Ti Ȗ V) 99.9% ȥȖȟȠȜȠȩ. ǸȐȎȞȤȓȐȜȓ ȟȠȓȘșȜ ȏȩșȜ ȕȎȘȞȓȝșȓțȜ ȜȘȜșȜ ȝȜȒșȜȔȘȖ țȎ ȞȎȟȟȠȜȭțȖȖ 30 ȟȚ ȜȠ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȚȓȠȎșșȎ Ȓșȭ ȘȜțȠȞȜșȭ Ȝȏȧȓȗ ȠȜșȧȖțȩ Ȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȜȟȎȔȒȓțȖȭ 5 țȚ/ȚȖț. ǺțȜȑȜȟșȜȗțȜȓȝȜȘȞȩȠȖȓTi/V ȟȜȟȠȜȖȠȖȕȞȎȕțȩȣȚȜțȜȟșȜȓȐ ȘȎȔȒȜȑȜ ȚȓȠȎșșȎ (ȠȜșȧȖțȩ: Ti 12.6 țȚ; V 10.0 țȚ), Ȑ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȖ ȟ ȜȠțȜȦȓțȖȓȚ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȖ 1:1. ǺțȜȑȜȟșȜȗțȎȭ ȟȖȟȠȓȚȎ ȏȩșȎ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȎ ȝȜȜȥȓȞȓȒțȩȚ ȖȟȝȎȞȓțȖȓȚ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȣ ȚȓȠȎșșȜȐ.

ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȩ ȟ ȏȩȟȠȞȜȗ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȜȗ ȝȞȜȐȜȒȖșȖȟȪ ȝȞȖ ȎȠȚȜȟȢȓȞțȜȚ ȒȎȐșȓțȖȖ Ȑ ȝȜȠȜȘȓ ȎȕȜȠȎ ȖșȖ ȎȚȚȜțȖȭ (1.5 ș/ȚȖț) ȟ ȥȖȟȠȜȠȜȗ ȑȎȕȎ 99.999%, ȖȟȝȜșȪȕȡȭ SHS 100 ȟȖȟȠȓȚȡ ǯȀǼ, ȖȕȑȜȠȜȐ- șȓțțȡȬStead-a.s.t. [94] ȟȘȐȎȞȤȓȐȜȗȘȎȚȓȞȜȗȒșȭȝȜȒșȜȔȘȖȐțȡȠȞȖ ȑȜȞȭȥȓȗ ȟȠȓțȘȖ ȘȐȎȞȤȓȐȜȑȜ ȞȓȎȘȠȜȞȎ. ȀȎȘȎȭ ȟȖȟȠȓȚȎ ǯȀǼ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ țȎȑȞȓȐȎȠȪ ȠȜțȘȖȓ ȝșȓțȘȖ ȚȓȠȎșșȜȐ țȎ ȢȞȎȑȚȓțȠȎȣ ȝȜȒșȜȔȓȘ (2×2) ȟȚ2, ȞȎȟȝȜșȎȑȎȬȧȖȣȟȭțȎȑȞȎȢȖȠȜȐȜȚȒȓȞȔȎȠȓșȓȖțȎȑȞȓȐȎȠȪ ȟȐȓȞȣȡȖȟțȖȕȡȚȎȠȞȖȤȎȚȖȑȎșȜȑȓțțȩȣșȎȚȝțȎȘȎșȖȐȎțȖȭ, ȒȜȟȠȖȑȎȭ ȟȘȜȞȜȟȠȖ țȎȑȞȓȐȎ ȜȠ 50 ȒȜ 100°ǿ/ȟȓȘ. ǽȜȟșȓ țȎȑȞȓȐȎ, Ȗ Ȑ ȠȓȥȓțȖȖ ȜȣșȎȔȒȓțȖȭ, ȑȎȕȜȐȩȗ ȝȜȠȜȘ ȡȟȠȎțȎȐșȖȐȎșȟȭ 10 ș/ȚȖț. ǼȏȞȎȕȤȩ

336 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȜȏȞȎȏȎȠȩȐȎșȖȟȪ Ȑ ȟȖȟȠȓȚȓ ǯȀǼ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ ȜȠ 400 ȒȜ 1200°ǿȖȐȞȓȚȓțȎȣȜȏȞȎȏȜȠȘȖȜȠ 5 ȒȜ 300 ȟȓȘ, ȟȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȚ ȜȣșȎȔȒȓțȖȓȚȒȜȘȜȚțȎȠțȜȗȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȝȞȖȝȞȓȐȎșȖȞȡȬȧȓȗȑȎȕȜȐȜȗ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ. ȀȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȗ ȘȜțȠȞȜșȪ Ȑ ȠȓȥȓțȖȖ ǯȀǼ ȐȩȝȜșțȭșȟȭ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȝȖȞȜȚȓȠȞȖȖ.

Dzșȭ ȖȕȚȓțȓțȖȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȒȓȢȓȘȠțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ SiO2/SiC ȥȎȟȠȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȓ ȐțȓȦțȖȓ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȭ.

ȀȎȘ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȓ șȎȕȓȞțȜȑȜ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȬȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭȝșȜȠțȜȟȠȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣȟȜȟȠȜȭțȖȗțȎȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ SiC/SiO2 Ȑ ȐȖȒȓ ȚȜțȜȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ ȡȞȜȐțȭ [84]. ǽȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓ ȠȎȘȜȑȜ ȡȞȜȐțȭ ȖȕȚȓțȭȓȠ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜȝȜȠȓțȤȖȎșȎȜȠțȎȝȞȭȔȓțȖȭȟȚȓȧȓțȖȭȟȠȞȡȘȠȡȞȩSiC/SiO2, Ȗ ȓȑȜ ȫȘȞȎțȖȞȡȬȧȓȓ ȒȓȗȟȠȐȖȓ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȟȒȐȖȑȡ șȖȦȪ ȜȠȒȓșȪțȩȣ ȡȥȎȟȠȘȜȐȐȜșȪȠ-ȢȎȞȎȒțȜȗȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖȝȜȟȞȎȐțȓțȖȬȟȖȟȣȜȒțȜȗ. ǮȐȠȜȞȩ [84] ȜȏȨȭȟțȭȬȠ țȎȏșȬȒȎȓȚȩȗ ȫȢȢȓȘȠ ȟȡȧȓȟȠȐȜȐȎțȖȓȚ ȚȜțȜȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȜȑȜȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜȡȞȜȐțȭȐȐȖȒȓșȜȐȡȦȘȖ, ȘȜȠȜȞȎȭ ȜȏȚȓțȖȐȎȓȠȟȭ ȕȎȞȭȒȜȚ ȟ SiC. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȎȭ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ ȟȜȟȠȎȐșȭșȎ Nss = 2.5¸1011 ȫǰ¸ȟȚ 2 [84].

Dzșȭ ȟȠȎȏȖșȖȕȎȤȖȖ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎ țȓȜȏȣȜȒȖȚ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȗ ȜȠȔȖȑ ȝșȓțȜȘ Ȑ ȟȞȓȒȓ ȎȕȜȠȎ ȖșȖ ȎȞȑȜțȎ [71].

ǽȜȟșȓȒȡȬȧȖȗ ȜȠȔȖȑ ȜȏȞȎȕȤȜȐ Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȎȕȜȠ-ȟȜȒȓȞȔȎȧȖȣ ȑȎȕȎȣ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȡșȡȥȦȖȠȪ ȘȎȥȓȟȠȐȜ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ Ȗȕ-ȕȎ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȘȟȖțȖȠȞȖȒȜȐ ȘȞȓȚțȖȭ [78, 82, 95].

ǿȘȜȞȓȗ ȐȟȓȑȜ ȝȞȖ ȎȕȜȠȖȞȜȐȎțȖȖ ȟȐȭȕȪ C-N țȓ ȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭ, Ȏ țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭșȖȏȜȡȒȎșȓțȖȓȡȑșȓȞȜȒȎ, ȐȜȕȚȜȔțȜȕȎȟȥȓȠȡȟȖșȓțȖȭ ȜȘȖȟșȓțȖȭ Ȑ NO, șȖȏȜ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ SixNyCz ȟșȜȭ, ȐȘșȬȥȎȭ ȡȑșȓȞȜȒ Ȑ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȓ.

ǺȓȠȜȒ DZǸǾǿ ȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȓȠ ȜȒțȜȕțȎȥțȡȬ ȢȖȕȖȘȜ-ȣȖȚȖȥȓȟ- ȘȡȬ ȖȒȓțȠȖȢȖȘȎȤȖȬ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȘșȎȟȠȓȞȜȐ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȝȜȟșȓ ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ Ȗ Ȗȣ ȟȖșȪțȜȓ ȖȕȚȓțȓțȖȓ ȝȜȟșȓ ȜȠȔȖȑȎ Ȑ NO [75]. ǻȎ ȜȟțȜȐȎțȖȖ ȟȞȎȐțȓțȖȭ ȒȎțțȩȣ DZǸǾǿ Ȗ ȢȓțȜȚȓțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȗ ȠȞȓȣȟȠȡȝȓțȥȎȠȜȗ ȚȜȒȓșȖ ȏȩșȜ ȐȩȟȘȎȕȎțȜ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȓ, ȥȠȜ ȡȑșȓȞȜȒțȩȓ ȘșȎȟȠȓȞȩ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȢȜȞȚȖȞȡȬȠȟȭ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȠ ȟȜȏȜȗ ȑȞȎȢȖȠȜȝȜȒȜȏțȩȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȖȞȜȐȎțțȩȗ ȡȑșȓȞȜȒ. ǰ ȝȞȜȠȖȐȜȝȜșȜȔțȜȟȠȪ ȎșȚȎȕȜȝȜȒȜȏțȩȚ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȚ ȟ T-ȟȐȭȕȭȚȖ, ȡȑșȓȞȜȒ Ȑ ȐȖȒȓ ȑȞȎȢȖȠȎ ȟȜȒȓȞȔȖȠ Q-ȟȐȭȕȖ, ȝȜȒȜȏțȩȓ ȒȓȢȓȘȠȎȚ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ [75].

ǼȏȞȎȏȜȠȘȎ Ȑ NO Ȗ (NH3) Si-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ (0001) ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȝȜȒșȜȔȘȖ 800°C ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȬ ȜȘȟȖțȖȠȞȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ (Si3N4) [82].

ǰȞȎȏȜȠȓ[70] ȜȘȟȖțȖȠȞȖȒȩȐȩȞȎȧȖȐȎșȖȟȪțȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ6H-SiC ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȡȐșȎȔțȓțțȜȑȜ N2O (ȑȎȕ N2O ȝȞȜȝȡȟȘȎșȟȭ ȥȓȞȓȕ ȒȓȖȜțȖȕȜȐȎțțȡȬ ȐȜȒȡ ȝȞȖ 95°ǿ) ȖșȖ ȟȡȣȜȑȜ N2O, ȟșȓȒȜȚ ȕȎ ȐșȎȔțȩȚ ȜȘȖȟșȓțȖȓȚ. ǵȎȠȓȚ ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȎȟȪ ȑȞȎțȖȤȎ ȞȎȕȒȓșȎ ȜȘȖȟȓș/ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ. ǰ ȞȎȏȜȠȓ ȏȩșȜ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ ȥȠȜ ȑȞȎțȖȤȎ ȞȎȕȒȓșȎ ȜȏȜȖȣ ȐȖȒȜȐ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȡșȡȥȦȎȓȠȟȭ Ȓșȭ p-SiC/ȜȘȖȟȓș, țȜ ȡȣȡȒȦȎȓȠȟȭ Ȓșȭ n-SiC/ȜȘȖȟȓșȝȜȟȞȎȐțȓțȖȬȟȝȞȜȟȠȜȟȡȣȖȚȜȘȖȟșȓțȖȓȚȐN2O. ǶȟȝȜșȪȕȡȓȚȩȗ ȝȞȜȤȓȟȟ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȡșȡȥȦȓț ȡȒȎșȓțȖȓȚ țȓȔȓșȎȠȓșȪțȩȣ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ ȡ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȐȟșȓȒȟȠȐȖȓ ȐșȎȔțȜȗ ȎȠȚȜȟȢȓȞȩ Ȗ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ, ȡȚȓțȪȦȓțȖȓȚ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ ȒȜțȜȞțȜȑȜ ȠȖȝȎ Ȓșȭ ǺǼǽ ȟȠȞȡȘȠȡȞ țȎ Ȟ-6H-SiC. ȅȠȜ ȘȎȟȎȓȠȟȭ ǺǼǽ ȟȠȞȡȘȠȡȞ țȎ n-6H-SiC, ȐțȓȒȞȓțȖȓ ȥȎȟȠȖȤ, ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟ ȐȜȒȜȞȜȒȜȚ, Ȑ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ ȝȞȖ ȐșȎȔțȜȚ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȭ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȑȜ ȠȖȝȎ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȐșȎȔțȜȓ ȜȘȖȟșȓțȖȓ Ȑ N2O ȚȜȔȓȠȏȩȠȪȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȜȒșȭȜȏȓȟȝȓȥȓțȖȭȜȒȖțȎȘȜȐȜȗțȎȒȓȔțȜȟȠȖ Ȓșȭ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ǺǼǽ ȟȠȞȡȘȠȡȞ n- Ȗ p-ȠȖȝȎ.

ǰ [70] Ȓșȭ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȎȟȪ ȘȞȓȚțȖȓȐȎȭ ȟȠȜȞȜțȎ 6H-SiC ȝșȎȟȠȖț n- Ȗ p-ȠȖȝȎ, ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ Cree Research. ǻȎ ȟȖșȪțȜ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȝșȎȟȠȖțȎȣ SiC ȏȩș ȐȩȞȎȧȓț ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȗ ȟșȜȗ ȠȜșȧȖțȜȗ 5 ȚȘȚ. ǰȓșȖȥȖțȎ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȑȜ ȟșȜȭ Ȓșȭ ȜȏȜȖȣȠȖȝȜȐȝȜȒșȜȔȓȘȟȜȟȠȎȐȖșȎ(4¸1015) ȟȚ 3. ǽșȎȟȠȖțȩȝȜȚȓȧȎșȖȟȪ ȐȘȐȎȞȤȓȐȡȬȠȞȡȏȡȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ800°ǿ. ǽȜȟșȓȡȐȓșȖȥȓțȖȭȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȒȜ 1150°ǿ, ȝȞȜȐȜȒȖșȜȟȪ ȜȘȖȟșȓțȖȓ Ȑ ȠȓȥȓțȖȖ 4 ȥȎȟȜȐ Ȑ ȟȡȣȜȗ (DN2OG) ȖșȖȐșȎȔțȜȗ(WN2OG) N2O ȎȠȚȜȟȢȓȞȓȝȞȖȟȘȜȞȜȟȠȖȝȜȠȜȘȎ ȑȎȕȎ 500 Țș/ȚȖț. ȀȞȓȠȖȗ ȜȏȞȎȕȓȤ ȜȘȖȟșȭșȟȭ ȟțȎȥȎșȎ Ȑ ȟȡȣȜȚ N2O Ȑ ȠȓȥȓțȖȖ 2.5 ȥȎȟȜȐ, Ȏ ȕȎȠȓȚ ȐȜ ȐșȎȔțȜȚ N2O Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 1.5 ȥȎȟȜȐ (DWN2OG) ȝȞȖ ȠȜȗ Ȕȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ Ȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȝȜȠȜȘȎ ȑȎȕȎ. ǽȜȟșȓ ȜȣșȎȔȒȓțȖȭȐ N2 ȟȜȟȘȜȞȜȟȠȪȬ 1°ǿ/ȚȖțȒȜ 950°ǿȐȟȓȜȏȞȎȕȤȩȝȜȒȐȓȞȑȎșȖȟȪȜȠȔȖȑȡȐ N2 ȝȞȖȟȘȜȞȜȟȠȖȝȜȠȜȘȎȑȎȕȎ1 ș/ȚȖțȐȠȓȥȓțȖȓ 0.5 ȥȎȟȎ. ǵȎȠȓȚȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȜȟȎȔȒȎșȟȭȎșȬȚȖțȖȗȖȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪȕȎȠȐȜȞțȩȓ ȫșȓȘȠȞȜȒȩȝșȜȧȎȒȪȬ(1.14¸10 3) ȟȚ2. ǵȎȠȓȚȖȕȚȓȞȭșȖȟȪȐȩȟȜȘȜȥȎȟȠȜȠ- țȩȓȐȜșȪȠ-ȢȎȞȎȒțȩȓȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖǺǼǽȟȠȞȡȘȠȡȞȝȞȖȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ, ȎȚȝșȖȠȡȒȎ ȟȖȑțȎșȎ ȟȜȟȠȎȐșȭșȎ 20 Țǰ. ǽȜșȡȥȓțțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ țȎ ȞȖȟ. 2.24 (SiC ǺǼǽ n-ȠȖȝ) Ȗ ȞȖȟ. 2.25 (SiC ǺǼǽ Ȟ-ȠȖȝ) Ȑ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȜȠȟȡȠȟȠȐȖȭ ȜȟȐȓȧȓțȖȭ.

338 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.24.ǰȩȟȜȘȜȥȎȟȠȜȠțȩȓǰȂȃ Ȓșȭ ȠȞȓȣ ȠȖȝȜȐ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȜȐ (WN2OG – ȝȞȖȜȘȖȟșȓțȖȖȐșȎȔțȩȚ N2O, DN2OG – ȝȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖȟȡȣȖȚN2O ȖDWN2OG – ȝȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȟȡȣȖȚ Ȗ ȐșȎȔțȩȚ N2O) SiC ǺǼǽ n-ȠȖȝȎ [70]

ǰȞȎȏȜȠȓ[65] ȝȞȜȐȜȒȖșȖȟȪȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȐȞȓȚȓțțȜȗȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȗȝȞȜȥțȜȟȠȖǺǼǽȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȜȐ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȩȣ țȎ n-ȠȖȝȓ 6H-SiC ȝȜȒșȜȔȘȎȣ. ǼȘȖȟȓș ȠȜșȧȖțȜȗ 25 țȚ ȝȜșȡȥȎșȖ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 1150°ǿ ȐȜ ȐșȎȔțȜȚ ȘȖȟșȜȞȜȒȓ. ǰ ȖȟȟșȓȒȡȓȚȩȣ ȜȏȞȎȕȤȎȣ ȝȞȜȏȜȗ țȎȏșȬȒȎșȟȭ ȝȞȖ 145, 240 Ȗ 305°ǿ. ǼȘȎȕȎșȜȟȪ, ȥȠȜ ȖȟȟșȓȒȡȓȚȩȓ ȜȏȞȎȕȤȩ ȟȠȎȏȖșȪțȩ ȒȜ 150°ǿ. ǿȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎ țȎȞȡȦȎȓȠȟȭ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 250°ǿ. ȋȠȜ ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ Ȝ ȠȜȚ, ȥȠȜ ǺǼǽ SiC ȡȟȠȞȜȗȟȠȐȎ țȓ ȚȜȑȡȠ ȫȘȟȝșȡȎȠȖȞȜȐȎȠȪȟȭ ȝȞȖ ȫȠȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ.

ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȐȩȟȜȘȜȘȎȥȓȟȠȐȓțțȜȑȜ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȠȧȎȠȓșȪțȜ ȜȥȖȧȎȠȪ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ SiC ȜȠ ȕȎȑȞȭȕțȓțȖȗ, ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȠȪ ȘȜțȠȞȜșȪ ȞȓȔȖȚȜȐ ȜȘȖȟșȓțȖȭ.

ǾȖȟ. 2.25.ǰȩȟȜȘȜȥȎȟȠȜȠțȩȓǰȂȃ Ȓșȭ ȠȞȓȣ ȠȖȝȜȐ ȘȜțȒȓțȟȎȠȜȞȜȐ (WN2OG – ȝȞȖȜȘȖȟșȓțȖȖȐșȎȔțȩȚ N2O, DN2OG – ȝȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖȟȡȣȖȚ N2O ȖDWN2OG – ȝȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȟȡȣȖȚ Ȗ ȐșȎȔțȩȚ N2O) SiC ǺǼǽ p-ȠȖȝȎ [70]

2.4. ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȡȟȠȎțȜȐȘȖ, ȖȟȝȜșȪȕȡȓȚȩȓ Ȓșȭ ȢȜȠȜțțȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐ

ǰțȎȟȠȜȭȧȓȓ ȐȞȓȚȭ Ȓșȭ Ȥȓșȓȗ ȚȖȘȞȜȫșȓȘȠȞȜțȖȘȖ ȞȎȕȞȎȏȜȠȎț ȞȭȒ ȡȟȠȎțȜȐȜȘ ȏȩȟȠȞȜȗ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȖȣ ȞȓȎșȖȕȜȐȎȠȪȞȎȕșȖȥțȩȓȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓȝȞȜȤȓȟȟȩ[1, 3, 4, 8, 31, 32, 96, 97, 98]. DzșȭȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȑȜȜȘȖȟșȓțȖȭțȎȖȏȜșȪȦȖȗȖțȠȓȞȓȟ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȠ ȒȖȎȝȎȕȜțȩ ȒșȖț ȐȜșț Ȑ ȐȖȒȖȚȜȗ Ȗ ȡșȪȠȞȎȢȖȜșȓȠȜȐȜȗ (ȁȂ) ȥȎȟȠȖȟȝȓȘȠȞȎȖȕșȡȥȓțȖȭ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȓȗ ȫțȓȞȑȖȖȘȜȐȎșȓțȠțȜȗ ȟȐȭȕȖ ȚțȜȑȖȣ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȟȜȓȒȖțȓțȖȗ. ǼȏșȎȟȠȪ ȁȂ ȟȐȓȠȎ ȝȜȒȞȎȕȒȓșȭȬȠ țȎ ȏșȖȔțȖȗ (400–300 țȚ), ȒȎșȪțȖȗ (300–200 țȚ) Ȗ ȐȎȘȡȡȚțȩȗ(200–120 țȚ) ȡșȪȠȞȎȢȖȜșȓȠ. ǶȕȏȖȞȎȠȓșȪțȜȓȝȜȑșȜȧȓțȖȓ ȟȐȓȠȎ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȚȖ ȟȜȓȒȖțȓțȖȭȚȖ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ Ȗȣ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ. ǰȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȒșȖțȐȜșț200–750 țȚȖȕșȡȥȓțȖȓ ȐȜȕȏȡȔȒȎȓȠȐȎșȓțȠțȩȓȫșȓȘȠȞȜțȩ. ǽȞȖȒșȖțȎȣȐȜșțȚȓțȓȓ200 țȚȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓȖȕșȡȥȓțȖȭȟȚȜșȓȘȡșȜȗȚȜȔȓȠȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȠȪȟȭȖȜțȖȕȎȤȖȓȗ ȖșȖ ȐȜȕȏȡȔȒȓțȖȓȚ ȚȜșȓȘȡșȩ. ȂȜȠȜȣȖȚȖȥȓȟȘȖȗ ȝȞȜȤȓȟȟ ȟȜȟȠȜȖȠ Ȗȕ ȚțȜȔȓȟȠȐȎ ȟȠȎȒȖȗ – ȜȠ ȐȜȕȏȡȔȒȓțȖȭ Ȗ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȚȜșȓȘȡșȩ

ȖȞȎȒȖȘȎșȜȐ ȒȜ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȘȜțȓȥțȩȣ ȟȠȎȏȖșȪțȩȣ ȟȜȓȒȖțȓțȖȗ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȝȞȖ ȐȩȏȜȞȓ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȁȂ ȖȕșȡȥȓțȖȭ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȞȡȘȜȐȜȒȟȠȐȜȐȎȠȪȟȭ ȡȟșȜȐȖȓȚ, ȝȞȖ ȘȜȠȜȞȜȚ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȒȜșȔțȎ ȏȩȠȪ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜȗ Ȓșȭ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȓțȖȭ ȐȜȕȏȡȔȒȓțȖȭ Ȗ ȞȎȕȞȩȐȎ ȘȜȐȎșȓțȠțȩȣ ȟȐȭȕȓȗ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȟȜȓȒȖțȓțȖȗ.

ǰȜȕȒȓȗȟȠȐȖȓ ȁȂ ȖȕșȡȥȓțȖȭ țȎ ȝȞȜȤȓȟȟ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȖȚȓȓȠ ȟșȜȔțȩȗȣȎȞȎȘȠȓȞ. ǰȑȎȕȜȐȜȗȟȞȓȒȓȜțȜȐȩȕȩȐȎȓȠȐȜȕȏȡȔȒȓțȖȓȖȖȜțȖȕȎȤȖȬ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ, Ȑ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȗ ȝșȓțȘȓ ȝȜȭȐșȓțȖȓ ȖȕȏȩȠȜȥțȩȣ

ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ, ȐȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȓ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȓ ȐȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȐțȡȠȞȓțțȓȑȜ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ ȝȜȞȭȒȘȎ 104–107 ǰ/ȟȚ, ȘȜȠȜȞȜȓ ȚȜȔȓȠ ȐșȖȭȠȪ țȎ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȚȖȑȞȎȤȖȖ ȖȜțȜȐ Ȗ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ ȐȜȏȨȓȚȓȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ, ȖȕȚȓțȭȠȪȫșȓȘȠȞȜțțȡȬȟȠȞȡȘȠȡȞȡȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ Ȗ ȐȩȕȩȐȎȠȪ ȖȕȑȖȏ ȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȣ ȕȜț Ȑ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ [1, 98].

ǰȘȎȥȓȟȠȐȓ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȝȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ ȝșȎȕȚȡ ȐȜȒȜȞȜȒȎ, ȐȜȕȏȡȔȒȓțțȡȬ ǰȅ ȝȜșȓȚ, ȫȘȟȖȚȓȞțȩȓ șȎȕȓȞȩ, ȫȘȟȖȚȓȞțȩȓ șȎȚȝȩ, ȁȂ șȎȚȝȩ. Ƕȕ ȝȓȞȓȥȖȟșȓțțȩȣȖȟȠȜȥțȖȘȜȐȁȂ ȖȕșȡȥȓțȖȭȝȓȞȐȩȓȠȞȖȝȜȕȐȜșȭȬȠȝȜșȡȥȎȠȪ ȐȎȘȡȡȚțȩȗȡșȪȠȞȎȢȖȜșȓȠ, ȜȏșȎȒȎȬȧȖȗȐȩȟȜȘȜȗȫțȓȞȑȖȓȗȘȐȎțȠȜȐ

340 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.26. ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȎȭ ȡȟȠȎțȜȐȘȎ Ȓșȭ ȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȜȘȟȖȒȖȞȜȐȎțȖȭ ȘȞȓȚțȖȭ: 1 – ȖȟȠȜȥțȖȘ ȝȖȠȎțȖȭ, 2 – ȐȩȣȜȒ Ș țȎȟȜȟȎȚ, 3 – ȐțȡȠȞȓțțȖȗ ȫșȓȘȠȞȜȒ, 4 – ȕȎȕȓȚșȓțțȩȗ ȐțȓȦțȖȗ ȫșȓȘȠȞȜȒ, 5 – ȖȕșȡȥȓțȖȓ ȟ ȒșȖțȜȗ ȐȜșțȩ 172 țȚ, 6 – ȖȕȚȓȞȖȠȓșȪ ȒȎȐșȓțȖȭ, 7 – ȝȜȒșȜȔȘȎ, 8 – țȎȑȞȓȐȎȠȓșȪ, 9 – ȐȣȜȒ Ȓșȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ [44]

Ȗ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ ȐȩȟȜȘȜȗ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȟȠȪȬ. ȋȠȜ ȒȎȓȠ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ ȡȐȓșȖȥȖȠȪ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȏȜșȓȓ ȥȓȚ Ȑ ȒȐȎ ȞȎȕȎ ȝȜ ȟȞȎȐțȓțȖȬ

ȟȜȏȩȥțȩȚ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȜȘȖȟșȓțȖȓȚ. ǻȎ ȞȖȟ. 2.26. ȝȜȘȎȕȎțȎ ȟȣȓȚȎ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜȗ ȡȟȠȎțȜȐȘȖ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȖȟȠȜȥțȖȘȎȖȕșȡȥȓțȖȭȫȘȟȖȚȓȞțȜȗșȎȚȝȩ [44]. ǰȫȠȜȗȡȟȠȎțȜȐȘȓȖȟȠȜȥțȖȘ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȖȕȜșȖȞȜȐȎț ȜȠ ȞȎȏȜȥȓȗ ȘȎȚȓȞȩ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖȚ ȜȘțȜȚ.

Dzșȭ ȢȜȠȜțțȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ SiC ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȡȟȠȎțȜȐȘȖ ȏȩȟȠȞȜȗ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȎȭ ȝȓȥȪ,

ȟȒȜȏȎȐșȓțțȩȚ ȡȕșȜȚ ȁȂ ȟȠȖȚȡșȭȤȖȖ [96, 97, 99, 100].

ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȡȟȠȎțȜȐȜȘ ǯȀǼ Ȑ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȖțȠȓȑȞȎșȪțȩȣ ȟȣȓȚȒȎȓȠȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ ȡȝȞȎȐșȭȠȪ ȟȘȜȞȜȟȠȪȬ țȎȑȞȓȐȎȖ ȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȪȬ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȝȜ ȒȖȎȚȓȠȞȡ ȝșȎȟȠȖțȩ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȑșȎȐțȜȗ ȜȠșȖȥȖȠȓșȪțȜȗ ȥȓȞȠȜȗ ȟȜȕȒȎțțȩȣ ȡȟȠȎțȜȐȜȘ

ȭȐșȭȓȠȟȭ ȚȖȘȞȜȝȞȜȤȓȟȟȜȞțȜȓ ȡȝȞȎȐșȓțȖȓ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȓȓ ȟ ȐȩȟȜȘȜȗ ȠȜȥțȜȟȠȪȬ ȡȝȞȎȐșȭȠȪ ȟȘȜȞȜȟȠȪȬ ȝȜȒȨȓȚȎ Ȗ ȐȩȒȓȞȔȘȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȡȥȖȠȩȐȎȬȧȓȓ țȓșȖțȓȗțȩȓ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖȓ Ȗ ȠȓȝșȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȓ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ.

ǾȎȕȞȎȏȜȠȎțțȩȓ ȡȟȠȎțȜȐȘȖ ȝȜȟȠȞȜȓțȩ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȏșȜȥțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ, ȫȠȜ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ țȎȞȎȧȖȐȎȠȪ ȖșȖ ȡȚȓțȪȦȎȠȪ ȚȜȧțȜȟȠȪ ȖȕșȡȥȎȠȓșȓȗ, ȜȟțȜȐȜȗ ȘȜȠȜȞȩȣ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȘȐȎȞȤȓȐȩȓ ȑȎșȜȑȓțțȩȓ șȎȚȝȩ ǸDZ-220-1500 (ǸDZ-220-2000) ȖșȖ ǸDZ-220-1000 (ǶȀǼ-10Ǻǰ). ǺȖȘȞȜ-

ȝȞȜȤȓȟȟȜȞ ȟȜȕȒȎȓȠ ȑȖȏȘȜȟȠȪ Ȑ ȡȝȞȎȐșȓțȖȖ ȞȓȔȖȚȎȚȖ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ, Ȏ ȝȜȟȠȞȜȓțțȎȭțȎȓȑȜȏȎȕȓȚȖȘȞȜ-ȋǰǺȝȜȕȐȜșȭȓȠȐȩȐȜȒȖȠȪȖțȢȜȞȚȎ- ȤȖȬ Ȝ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ țȎ ȚȜțȖȠȜȞ, ȥȠȜ ȒȎȓȠ țȎȑșȭȒțȜȓ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȖȓ ȜȝȓȞȎȠȜȞȡ Ȝ ȕȎȒȎțțȜȗ Ȗ ȠȓȘȡȧȓȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȝȞȜȤȓȟȟȎ. ǿȣȓȚȎȠȖȥȓȟȘȖ ȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȭ ȒȎțțȜȗ ȡȟȠȎțȜȐȘȖ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ țȎ ȞȖȟ. 2.27. ǼȟțȜȐȜȗ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐȎ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȞȓȎȘȤȖȜțțȎȭ ȘȎȚȓȞȎ, ȐȩȝȜșțȓțțȎȭ Ȗȕ țȓȞȔȎȐȓȬȧȓȗ ȟȠȎșȖ. ǸȎȚȓȞȎ ȖȚȓȓȠ ȟȖȟȠȓȚȡ ȐȜȒȜȜȣșȎȔȒȓțȖȭ, ȟȖȟȠȓȚȡ ȜȠȘȎȥȘȖ ȐȎȘȡȡȚȎ Ȗ ȝȜȒȎȥȖ ȑȎȕȜȐ. ǺȖȘȞȜȝȞȜȤȓȟȟȜȞțȜȓ ȡȝȞȎȐșȓțȖȓ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȞȓȤȖȕȖȜțțȜ ȡȝȞȎȐșȭȠȪ ȝȞȜȤȓȟȟȜȚ țȎȑȞȓȐȎ,

ǾȖȟ. 2.27. ȁȟȠȎțȜȐȘȎ ȒșȭȜȘȖȟșȓțȖȭȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭȝȞȖȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ ȖțȢȞȎȘȞȎȟțȜȑȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțȖȭ: 1 – ȐȜȒȜȜȣșȎȔȒȎȓȚȎȭȐȎȘȡȡȚțȎȭȞȓȎȘȤȖȜțțȎȭ ȘȎȚȓȞȎ, 2 – șȎȚȝȩ ȖțȢȞȎȘȞȎȟțȜȑȜ ȖȕșȡȥȓțȖȭ, 3 – ȜȏȞȎȕȓȤ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ, 4 – ȞȓȑȡșȭȠȜȞȞȎȟȣȜȒȎȑȎȕȎ, 5 – ȐȓțȠȖșȪȝȜȒȎȥȖȘȖȟșȜȞȜȒȎ, 6 – ȠȓȞȚȜȝȎȞțȩȗ ȡȟȖșȖȠȓșȪ, 7 – ȎțȎșȜȑȜ-ȤȖȢȞȜȐȜȗ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎȠȓșȪ, 8 – ȏșȜȘ ȡȝȞȎȐșȓțȖȭ șȎȚȝȎȚȖ, 9 – ȤȖȢȞȜ-ȎțȎșȜȑȜȐȩȗ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎȠȓșȪ, 10 – ȚȖȘȞȜȝȞȜȤȓȟȟȜȞ, 11 – ȝȡșȪȠ ȡȝȞȎȐșȓțȖȭ, 12 – ȡȟȠȞȜȗȟȠȐȜ ȖțȒȖȘȎȤȖȖ [78]

342 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.28. ȁȟȠȎțȜȐȘȎ Ȓșȭ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ c ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȡșȪȠȞȎȢȖȜșȓȠȜȐȜȑȜ ȖȕșȡȥȓțȖȭ: 1 – țȎȑȞȓȐȎȠȓșȪ, 2 – ȘȐȎȞȤȓȐȎȭ ȠȞȡȏȎ, 3 – ȡșȪȠȞȎȢȖȜșȓȠȜȐȎȭ șȎȚȝȎ, 4 – ȏșȜȘ ȝȖȠȎțȖȭ Ȓșȭ ȡșȪȠȞȎȢȖȜșȓȠȜȐȜȗ șȎȚȝȩ, 5 – ȘȐȎȞȤȓȐȎȭșȜȒȜȥȘȎȟȜȏȞȎȕȤȎȚȖȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ, 6 – ȞȓȑȡșȭȠȜȞ ȞȎȟȣȜȒȎ ȑȎȕȎ, 7 – ȐȓțȠȖșȪ ȝȜȒȎȥȖ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ [78]

ȐȩȒȓȞȔȘȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȗ ȜȣșȎȔȒȓțȖȓȚ. ǶȕȚȓȞȓțȖȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȓȠȟȭ ȠȓȞȚȜȝȎȞțȩȚ ȒȎȠȥȖȘȜȚ ȟ ȚȎșȜȗ ȖțȓȞȤȖȜțțȜȟȠȪȬ. ǼȠșȖȥȖȠȓșȪțȜȗ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬ ȡȟȠȎțȜȐȘȖ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȚȎșȩȗ ȞȎȟȣȜȒ ȑȎȕȜȐ, ȝȜȟȘȜșȪȘȡȜȏȨȓȚȘȎȚȓȞȩȟȜȟȠȎȐșȭȓȠȐȟȓȑȜ2 șȖȠȞȎ. DzȓȞȔȎȠȓșȖ ȐȩȝȜșțȓțȩ Ȑ ȐȖȒȓ ȖȑȜșȜȥȓȘ Ȗ ȝȜȕȐȜșȭȬȠ ȝȞȜȐȜȒȖȠȪ ȜȏȞȎȏȜȠȘȡ ȘȎȘ Ȥȓșȩȣ ȝșȎȟȠȖț ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ ȒȜ 100 ȚȚ, ȠȎȘ Ȗ ȜȠȒȓșȪțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ Ȥȓșȭȣ ȫȘȜțȜȚȖȖ – țȎ ȫȠȎȝȎȣ ȜȠȞȎȏȜȠȘȖ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȞȓȔȖȚȜȐ.

ǸȞȜȚȓȡȟȠȎțȜȐȜȘȟȑȜȞȖȕȜțȠȎșȪțȩȚ ȞȓȎȘȠȜȞȜȚȏȩșȖȞȎȕȞȎȏȜȠȎțȩ ȠȎȘȔȓ ȡȟȠȎțȜȐȘȖ ǶȀǼ-18Ǻǰ, ȂǶȀǼ-18Ǻ, Ȑ ȘȜȠȜȞȩȣ ȝșȎȟȠȖțȩ ȐȜ ȐȞȓȚȭ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖ Ȑ ȞȓȎȘȠȜȞȓ ȞȎȕȚȓȧȎșȖȟȪ ȐȓȞȠȖȘȎșȪțȜ. ȋȠȜ ȝȜȕȐȜșȖșȜ ȖȕȏȓȔȎȠȪ ȒȓȢȜȞȚȎȤȖȖ ȝșȎȟȠȖțȩ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȚ țȎȑȞȓȐȓ ȝȜȒșȜȔȓȘ ȏȜșȪȦȜȑȜ ȒȖȎȚȓȠȞȎ. ǼȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬ ȡȟȠȎțȜȐȜȘ ȂǶȀǼ-18Ǻ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȒȐȡȟȠȜȞȜțțȓȓ ȜȏșȡȥȓțȖȓ ȝșȎȟȠȖț. ǿ țȓȞȎȏȜȥȓȗ ȟȠȜȞȜțȩ ȝȜȒȜȑȞȓȐ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȓȠȟȭ ȑȎșȜȑȓțțȩȚȖ șȎȚȝȎȚȖ, ȟ ȞȎȏȜȥȓȗ ȟȠȜȞȜțȩ ȝșȎȟȠȖțȎ ȜȏșȡȥȎȓȠȟȭ ȁȂ ȖȕșȡȥȓțȖȓȚ. ȁȟȠȎțȜȐȘȎ ȖȚȓȓȠ ȒȐȎ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȝȖȠȎțȖȭ Ȗ ȡȝȞȎȐșȓțȖȭ ȞȓȔȖȚȎȚȖ ȜȏșȡȥȓțȖȭ ǶǸ Ȗ ȁȂ ȖȕșȡȥȓțȖȓȚ.

ȁȟȠȎțȜȐȘȎ ȜȘȟȖȒȖȞȜȐȎțȖȭ țȎ ȏȎȕȓ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȗ ȝȓȥȖ ȖȚȓȓȠ ȏȜșȪȦȖȗ ȞȎȟȣȜȒ ȑȎȕȎ, ȜȒțȎȘȜ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȠȪ ȑȞȡȝȝȜȐȡȬ ȜȏȞȎȏȜȠȘȡȝșȎȟȠȖț ȐȝȜȠȜȘȓȑȎȕȎȜȘȖȟșȖȠȓșȭ, ȝȜȟȠȡȝȎȬȧȓȑȜ Ȗȕ ȜȕȜțȎȠȜȞȎ (ȟȚ. ȞȖȟ. 2.28).

Dzșȭ ȐȐȓȒȓțȖȭ ȁȂ ȟȠȖȚȡșȭȤȖȖ Ș ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȗ ȝȓȥȖ ȝȜȒȘșȬȥȎșȜȟȪ ȟȝȓȤȖȎșȪțȜ ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțțȜȓ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐȜ ȜȕȜțȖȞȜȐȎțȖȭ.

DzȎțțȜȓ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐȜ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȓȠ Ȗȕ ȟȓȏȭ ȘȐȎȞȤȓȐȡȬ ȠȞȡȏȡ ȟȜ ȐȟȠȞȜȓțțȜȗ șȎȚȝȜȗ ȁȂ ȖȕșȡȥȓțȖȭ (DzǾȆ-400). ȅȓȞȓȕ ȒȎțțȜȓ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐȜ ȜȕȜțȖȞȜȐȎțȖȭ ȝȞȜȝȡȟȘȎȓȠȟȭ ȘȖȟșȜȞȜȒ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȒȎșȓȓ ȝȜȟȠȡȝȎȓȠ

ȐȒȖȢȢȡȕȖȜțțȡȬ ȝȓȥȪ.

2.5.ȃȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȝșȓțȜȘ SiO2 țȎ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ,

ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȚȓȠȜȒȎȚȖ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ

ǼȒțȖȚ Ȗȕ ȐȎȔțȓȗȦȖȣ ȫșȓȚȓțȠȜȐ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȝȞȖȏȜȞȜȐ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ȜȘȟȖȒțȩȣ ȟșȜȓȐ, ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȘȜȠȜȞȩȣ ȒȎșȓȘȜ țȓ ȜȒțȜȕțȎȥțȩ Ȗ ȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠ ȚțȜȑȖȣ ȢȎȘȠȜȞȜȐ, ȜȟȜȏȓțțȜ ȜȠ ȟȝȜȟȜȏȎ Ȗȣ ȝȜșȡȥȓțȖȭ [29–55].

Dzșȭ ȟȞȎȐțȖȠȓșȪțȜȑȜ ȎțȎșȖȕȎ ȟȐȜȗȟȠȐ ȝșȓțȜȘ SiO2, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȏȩȟȠȞȩȚȖȜȏȩȥțȩȚȚȓȠȜȒȎȚȖȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜȜȘȖȟșȓțȖȭ, ȏȩșȖȝȜȒȑȜȠȜȐșȓțȩȜȏȞȎȕȤȩ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓȚȓȠȜȒȜȚǯȀǼȐȎȠȚȜȟȢȓȞȓȟȡȣȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ1273 K ȐȠȓȥȓțȖȓ60 Ȗ180 ȟȖȚȓȠȜȒȜȚȜȏȩȥțȜȑȜ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȐȝȎȞȎȣ ȐȜȒȩ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 1373 K ȐȠȓȥȓțȖȓ30 Ȗ180 ȚȖț. ǻȎȐȟȓȣȜȏȞȎȕȤȎȣȖȟȟșȓȒȜȐȎșȎȟȪȚȜȞȢȜșȜȑȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ țȎ ȎȠȜȚțȜ-ȟȖșȜȐȜȚ ȚȖȘȞȜȟȘȜȝȓ NanoScope IIIa (DJ), ȖȕȚȓȞȭșȖȟȪȟȝȓȘȠȞȩȝȞȜȝȡȟȘȎțȖȭȖȢȜȠȜșȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȖ. ǿȝȓȘȠȞȩ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ Ȗ ȢȜȠȜșȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȖ (Ȃǹ) ȞȓȑȖȟȠȞȖȞȜȐȎșȖȟȪ țȎ ȡȟȠȎțȜȐȘȓ ǿDzǹ-2 ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ. ǰ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ țȓȝȞȓȞȩȐțȜȑȜ ȟȝȓȘȠȞȎ ȝȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ȟȝȓȘȠȞȜȐ ȝȞȜȝȡȟȘȎțȖȭ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȎȟȪ ȟȝȓȘȠȞȎșȪțȎȭ șȎȚȝȎǿǶǾȆ-200, ȒșȭȐȜȕȏȡȔȒȓțȖȭ ȟȝȓȘȠȞȜȐȂǹȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȜȟȪȖȕșȡȥȓțȖȓȎȕȜȠțȜȑȜșȎȕȓȞȎM= 337 țȚ. ǰȟȓ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖȓ ȖȕȚȓȞȓțȖȭ ȝȞȜȐȜȒȖșȖȟȪ ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȒșȖț ȐȜșț 400–800 țȚ. ȀȜșȧȖțȎ ȜȘȟȖȒțȜȗ ȝșȓțȘȖ ȖȕȚȓȞȭșȎȟȪ ȚȓȠȜȒȜȚ ȚțȜȑȜșȡȥȓȐȜȗ ȚȜțȜȣȞȜȚȎȠȖȥȓȟȘȜȗ ȫșșȖȝȟȜȚȓȠȞȖȖțȎșȎȕȓȞțȜȚȫșșȖȝȟȜȚȓȠȞȓǹȋȂ-3ǺǿHe-Nd șȎȕȓȞȜȚ țȎ M= 632.8 țȚ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȡȑșȜȐ ȝȎȒȓțȖȭ 50–80°C.

ǾȎȟȟȥȖȠȎțțȩȓ ȝȜ ȒȎțțȩȚ ȫșșȖȝȟȜȚȓȠȞȖȖ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȝșȓțȜȘ SiO2 țȎ SiC, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȚȓȠȜȒȎȚȖ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭȝȞȖȐȓȒȓțȩȐȠȎȏșȖȤȓ 2.3. ǶȕȠȎȏșȖȤȩȐȖȒțȜ, ȥȠȜȝȜșȡȥȓțțȩȗ ȝȜȘȎȕȎȠȓșȪ ȝȞȓșȜȚșȓțȖȭ SiC nSiC ȣȜȞȜȦȜ ȟȜȑșȎȟȡȓȠȟȭ ȟ ȜȔȖȒȎȓȚȩȚ ȡȟȞȓȒțȓțțȩȚ (ȏȓȕ ȡȥȓȠȎ ȎțȖȕȜȠȞȜȝȖȖ) ȕțȎȥȓțȖȓȚ [83, 84], Ȏ ȝȜȘȎȕȎȠȓșȪ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ kSiC ȐȓȟȪȚȎ ȚȎș.

ǽșȓțȘȎȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȘȖȟșȎSiOx țȎSiC ȖȚȓȓȠnSiO x1.41–1.51, ȥȠȜ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȡȠȐȓȞȔȒȎȠȪ, ȥȠȜ ȓȓ ȟȜȟȠȎȐ ȏșȖȕȜȘ Ș SiO2. xȂȜȞȚȎ ȕȎȐȖ-

344 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȀȎȏșȖȤȎ 2.3. ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ ȝșȓțȜȘ SiO2 țȎ SiC, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȚȓȠȜȒȎȚȖ ǯȀǼ Ȗ ȜȏȩȥțȜȑȜ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ

ȕȒȓȟȪ n – ȝȜȘȎȕȎȠȓșȪ ȝȞȓșȜȚșȓțȖȭ SiO2(SiC), k – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ SiO2(SiC), x – ȠȜșȧȖțȎ ȝșȓțȘȖ SiO2, kSiCa – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ, ȞȎȟȟȥȖȠȎțțȩȗ ȝȜ ȟȝȓȘȠȞȎȚ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ Ȓșȭ M= 630 țȚ, DZ – ȝȜșȡȦȖȞȖțȎ ȝȜșȜȟȩ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ

ȟȖȚȜȟȠȓȗ ȝȜșȭȞȖȕȎȤȖȜțțȩȣ ȡȑșȜȐ \(M) Ȗ ' M ȡȘȎȕȩȐȎȓȠ țȎ ȏȜșȪȦȡȬ ȠȜșȧȖțȡ SiOx, ȘȜȠȜȞȎȭ Ȑ ȫȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȏȩșȎ ȞȎȐțȜȗ x100 țȚ. ǵȎȚȓȠȖȚ, ȥȠȜ ȟȠȜșȪ ȏȜșȪȦȎȭ ȠȜșȧȖțȎ ȜȘȖȟțȜȗ ȝșȓțȘȖ ȝȜșȡȥȓțȎ țȎ ȜȏȞȎȠțȜȗ ȟȠȜȞȜțȓ ȠȜȑȜ Ȕȓ ȜȏȞȎȕȤȎ Ɋ3. ȀȎȘȜȓ ȞȎȕșȖȥȖȓ ȜȘȖȟțȩȣ ȝșȓțȜȘ ȐȜȕȚȜȔțȜ Ȑ ȟșȡȥȎȓ ȝȜșȭȞțȩȣ ȑȞȎțȓȗ SiC Ȗ ȠȞȓȏȡȓȠ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȜȑȜ ȖȕȡȥȓțȖȭ.

ǿșȓȒȡȓȠȜȠȚȓȠȖȠȪ, ȥȠȜȟȝȓȘȠȞȝȜȑșȜȧȓțȖȭȐȜȏșȎȟȠȖ400–800 țȚ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩSiO2/SiC ȭȐșȭȓȠȟȭȟȐȜȓȑȜȞȜȒȎȖțȠȓȑȞȎșȪțȜȗȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȜȗ ȟȖȟȠȓȚȩ, ȠȜ ȓȟȠȪ ȞȓȕȡșȪȠȖȞȡȬȧȖȗ ȟȝȓȘȠȞ ȜȏȡȟșȜȐșȓț ȘȎȘ ȝȜȑșȜȧȓțȖȓȚ Ȑ ȜȏȨȓȚȓ SiC ȠȎȘ Ȗ ȝȜȑșȜȧȓțȖȓȚ Ȑ ȝșȓțȘȓ ȜȘȖȟșȎ Ȗ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ SiO2-SiC. ǼȟțȜȐțȜȗ ȐȘșȎȒ Ȑ ȟȡȚȚȎȞțȩȗ ȟȝȓȘȠȞ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭȠȎȘȜȗȟșȜȔțȜȗȟȖȟȠȓȚȩ ȒȎȓȠȫșȓȚȓțȠȟțȎȖȏȜșȓȓȟȖșȪțȩȚȝȜȑșȜȧȓțȖȓȚȐȒȎțțȜȗȟȝȓȘȠȞȎșȪțȜȗȜȏșȎȟȠȖ. ǰȒȎțțȜȚȟșȡȥȎȓ ȠȎȘȖȚ ȫșȓȚȓțȠȜȚ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȟȜȏȟȠȐȓțțȜ ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ.

ȃȎȞȎȘȠȓȞțȜȗ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬ ȟȝȓȘȠȞȎ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȦȖȞȜȘȎȭ ȝȜșȜȟȎ Ȑ ȜȏșȎȟȠȖ630 țȚ, ȘȜȠȜȞȡȬȐșȖȠȓȞȎȠȡȞȓȟȐȭȕȩȐȎȬȠȟȜȟțȜȐțȩȚȟȜȟȠȜȭțȖȓȚ ȒȜțȜȞțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ, ȜȏȡȟșȜȐșȓțțȩȣ țȎșȖȥȖȓȚ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȖȚȓȟȖ ȎȕȜȠȎ [50, 101–102].

DzȎțțȩȓ Ȓșȭ ȝȜșȡȦȖȞȖțȩ DZ ȝȜșȜȟȩ ȜȝȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ ȟ ȚȎȘȟȖȚȡȚȜȚ 630 țȚ ȜȏȞȎȕȤȜȐ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȏȓȕȞȎȕȚȓȞțȩȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ kSiCa , ȞȎȟȟȥȖȠȎțțȩȗ ȝȜ ȟȝȓȘȠȞȎȚ ȝȞȜȝȡȟȘȎțȖȭ Ȓșȭ M= 630 țȚ ȝȞȖȐȓȒȓțȩ Ȑ ȠȎȏșȖȤȓ 2.3.

ǸȎȘ ȐȖȒțȜ Ȗȕ ȠȎȏșȖȤȩ 2.3 țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȜȥȓțȪ ȣȜȞȜȦȎȭ ȘȜȞȞȓșȭȤȖȭȒșȭȕțȎȥȓțȖȭȏȓȕȞȎȕȚȓȞțȜȑȜȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȝȜȑșȜȧȓțȖȭSiC, ȜȝȞȓȒȓșȓțțȜȑȜ ȝȜ ȟȝȓȘȠȞȎȚ ȜȝȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȝȡȟȘȎțȖȭ Ȗ ȚȓȠȜȒȜȚ ȚțȜȑȜșȡȥȓȐȜȗ ȚȜțȜȣȞȜȚȎȠȖȥȓȟȘȜȗ ȫșșȖȝȟȜȚȓȠȞȖȖ.

Ƕȕ ȠȎȏșȖȤȩ 2.3 ȠȎȘȔȓ ȟșȓȒȡȓȠ, ȥȠȜ ȞȎȟȟȥȖȠȎțțȩȓ Ȗȕ ȫșșȖȝȟȜȚȓȠȞȖȥȓȟȖȣȖȕȚȓȞȓțȖȗȖǼȔȓȟȝȓȘȠȞȜȚȓȠȞȖȖȠȜșȧȖțȩSiO2 ȣȜȞȜȦȜ ȟȜȐȝȎȒȎȬȠ ȚȓȔȒȡ ȟȜȏȜȗ, ȘȎȘ Ȓșȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐ, Ȑ ȘȜȠȜȞȩȣ ȝșȓțȘȖ SiO2 ȝȜșȡȥȓțȩ ȜȏȩȥțȩȚ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȜȘȖȟșȓțȖȓȚ Ȑ ȝȎȞȎȣ ȐȜȒȩ (ȜȏȞȎȕȤȩ 1 Ȗ 3), ȠȎȘ Ȗ Ȓșȭ ȜȏȞȎȕȤȎ B, ȝȜșȡȥȓțțȜȑȜ ȚȓȠȜȒȜȚ ǯȀǼ.

Ƕȕ ȞȖȟ. 2.29a (ȜȏȞȎȕȓȤ Ɋ3) Ȗ ȞȖȟ. 2.29ȏ (ȜȏȞȎȕȓȤ Ɋ1), țȎ ȘȜȠȜȞȩȣ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȩȝȞȜȢȖșȖȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭȘȜȚȝȜțȓțȠȜȐȐȟȠȞȡȘȠȡȞȓSiO2-SiC ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȑȞȎțȖȤȎ ȞȎȕȒȓșȎ ȚȓȔȒȡ SiO2 Ȗ SiC ȞȎȕȚȩȠȎ. ǿȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȖȗ ȟȜȟȠȎȐ ȜȘȖȟțȜȗ ȝșȓțȘȖ (ȜȏȞȎȕȓȤ Ɋ1, ȞȖȟ. 2.29ȏ) xx1.7 ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȓȠ ȒȎțțȩȚ, ȝȜșȡȥȓțțȩȚ Ȗȕ ȫșșȖȝȟȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȖȕȚȓȞȓțȖȗ. ǶȚȓȓȠȚȓȟȠȜȠȎȘȔȓȟȓȑȞȓȑȎȤȖȭȡȑșȓȞȜȒȎȐȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚ ȟșȜȓSiO2, ȜȏȡȟșȜȐșȓțțȎȭȟȝȓȤȖȢȖȘȜȗȜȘȖȟșȓțȖȭȒȐȡȣȘȜȚȝȜțȓțȠțȩȣ ȟȖȟȠȓȚ. ǽȜ-ȐȖȒȖȚȜȚȡ, ȟ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓȚ ȫȠȜȗ ȢȎȕȩ (ȡȑșȓȞȜȒ) ȟȐȭȕȎțȜ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȐȜșțȜȜȏȞȎȕțȜȗ (ȚȜȒȡșȖȞȜȐȎțțȜȗ) ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȜȘȖȟșȎ ȝȞȖ ȟȜȣȞȎțȓțȖȖ ȓȑȜ ȟȜȟȠȎȐȎ. ǸȞȜȚȓ ȫȠȜȑȜ, țȎȏșȬȒȎȓȚȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ ȜȘȖȟșȎȚȜȔȓȠȏȩȠȪȜȏȡȟșȜȐșȓțȎȐȎȞȪȖȞȜȐȎțȖȓȚȝșȜȠțȜȟȠȖȜȘȖȟțȜȗ ȢȎȕȩȝȞȖȓȓȞȜȟȠȓ. ǽȞȖȫȠȜȚȓȓȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȖȗȟȜȟȠȎȐ, ȘȎȘȐȖȒțȜ Ȗȕ ȞȖȟ. 2.29, ȟȜȣȞȎțȭȓȠȟȭ.