Источники / SiCtechnologyPropertiesApplication

306 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.7. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȑ ȠȜȥȘȓ D (ȟȝșȜȦțȎȭ ȘȞȖȐȎȭ) Ȗ ȞȎȕțȜȟȠȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ ȚȓȔȒȡ ȠȜȥȘȎȚȖ B Ȗ D (ȝȡțȘȠȖȞ) ȜȠ ȐȞȓȚȓțȖȝȞȖȜȏșȡȥȓțȖȖșȖȤȓȐȜȗȟȠȜȞȜțȩ (Ȏ) Ȗ ȜȏȞȎȠțȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ (ȏ) ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ Mo-SiƖ2-Si Ȑ ȞȓȔȖȚȓ ȡȝȞȎȐșȓțȖȭȝȞȖȝșȜȠțȜȟȠȖȚȜȧțȜȟȠȖ ȖȕșȡȥȓțȖȭ: 1 – 40; 2 – 50; 3 – 70 ǰȠ/ȟȚ2 (ȕȎȝȜșțȓțȖȓȟȠȞȡȘ-

ȠȡȞȩ Ɣƶ – 30%) [27]

ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ. ǾȓȔȖȚȩ Ȗ ȡȟșȜȐȖȭ ȜȏșȡȥȓțȖȭ ȏȩșȖ ȜȒȖțȎȘȜȐȩȚȖ Ȓșȭ ȜȏȓȖȣȟȠȜȞȜțȝșȎȟȠȖț: țȎȑȞȓȐȜȟȡȧȓȟȠȐșȭșȟȭȐȞȓȔȖȚȓȡȝȞȎȐșȓțȖȭ ȝȜȠȓȞȚȜȤȖȘșȜȑȞȎȚȚȓȒȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ1200 K, ȝșȜȠțȜȟȠȪȚȜȧțȜȟȠȖ ȖȕșȡȥȓțȖȭ 40–70 ǰȠ/ȟȚ2, ȕȎȝȜșțȓțȖȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȚȜșȖȏȒȓțȜȚ 30%. ȂȜȞȚȎ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȓȗ ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ Ȝ ȟșȜȔțȜȟȠȖ ȝȞȜȤȓȟȟȎ țȎȑȞȓȐȎ, ȟȐȭȕȎțțȜȑȜ ȟ țȓșȖțȓȗțȩȚȖ ȠȓȝșȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȚȖ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȎȚȖȟȖȟȠȓȚȩMo-SiƖ2-Si. ǾȓȕȘȜȓȐȜȕȞȎȟȠȎțȖȓȞȎȕțȜȟȠȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ ȚȓȔȒȡ ȠȜȥȘȎȚȖ B Ȗ D ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 700 K ȟȐȭȕȎțȜ ȟ țȎȥȎșȜȚ ȖțȠȓțȟȖȐțȜȑȜ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ ȟȐȓȠȎ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȚȖ țȜȟȖȠȓșȭȚȖ ȕȎȞȭȒȎ. ǾȎȕțȜȟȠȪ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ %Ȁ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȎ, ȘȜȑȒȎ ȖțȠȓȑȞȎșȪțȩȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ Ǯt ȚȎȘȟȖȚȎșȓț.

ǮțȎșȖȕȝȜșȡȥȓțțȩȣȒȎțțȩȣȝȜȕȐȜșȭȓȠȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȠȪȒȐȓȞȎȕțȜȐȖȒțȜȟȠȖ ȞȎȕțȜȟȠȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ – ȟȠȎȤȖȜțȎȞțȡȬ %Ȁst, ȖȒȖțȎȚȖȥȓȟȘȡȬ%Tdin. ǺȎȘȟȖȚȡȚ%Ȁst, ȕȎȐȖȟȖȠȜȠȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȗȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȝȞȖ ȘȜȠȜȞȜȗ ȏȜșȓȓ ȟȖșȪțȜ ȝȞȜȭȐșȭȓȠȟȭ ȖȕșȡȥȎȠȓșȪțȎȭ ȟȝȜȟȜȏțȜȟȠȪ țȎȑȞȓȠȜȑȜȚȎȠȓȞȖȎșȎ. ǺȎȘȟȖȚȡȚ%Ȁdin ȕȎȐȖȟȖȠȜȠ ȟȘȜȞȜȟȠȖțȎȑȞȓȐȎ, ȘȜȠȜȞȎȭ, Ȑ ȟȐȜȬ ȜȥȓȞȓȒȪ, ȭȐșȭȓȠȟȭ ȢȡțȘȤȖȓȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȚȜȧțȜȟȠȖ

ǾȖȟ. 2.8.ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ%ȀstȜȠ ȠȓȚ- ȝȓȞȎȠȡȞȩȀȟȠȞȡȘȠȡȞȩMo-SiƖ2-Si ȝȞȖ ȜȏșȡȥȓțȖȖ ȟ șȖȤȓȐȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ Ȗ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȟȠȓȝȓțȖ ȕȎȝȜșțȓțȖȭȚȜșȖȏȒȓțȜȚ: 1 – 30; 2 – 70; 3 – 95% [27]

ȖȕșȡȥȓțȖȭ. ǻȎ ȞȖȟ. 2.8–2.9 ȝȜȘȎȕȎțȩ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ %Tst ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȗ %Tdin ȜȠ ȟȘȜȞȜȟȠȖ țȎȑȞȓȐȎ șȖȤȓȐȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ

Mo-SiO2-Si ȐȞȓȔȖȚȓȡȝȞȎȐșȓțȖȭ. ǽȜȐȓȒȓțȖȓ%Ȁst Ȗ%Ȁdin ȝȞȖȜȏșȡȥȓțȖȖ ȜȏȞȎȠțȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ ȖȚȓȓȠ Ƞȓ Ȕȓ ȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖ (țȎ ȞȖȟȡțȘȓ

țȓ ȝȜȘȎȕȎțȜ), țȜ %Tdin ȖȚȓȓȠ ȚȓțȪȦȡȬ ȐȓșȖȥȖțȡ ȝȜ ȟȞȎȐțȓțȖȬ ȟ ȎțȎșȜȑȖȥțȩȚȕțȎȥȓțȖȓȚȒșȭȥȖȟȠȜȑȜȘȞȓȚțȖȭȐȜȏșȎȟȠȖA2. ǰșȖȭțȖȓȕȎȝȜșțȓțȖȭȚȓȠȎșșȜȚȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȓȚȜȗȟȠȞȡȘȠȡȞȩțȎȞȎȕțȜȟȠȪ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ țȓȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ.

ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, țȎșȖȥȖȓ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖȣ țȓȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȓȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ Mo-SiƖ2-Si ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȚȡ ȞȎȕȏȞȜȟȡ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝșȎȟȠȖțȩ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȟȘȜȞȜȟȠȖ Ȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ țȎȑȞȓȐȎ. Dzșȭ ȡȚȓțȪȦȓțȖȭ ȞȎȕțȜȟȠȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ ȚȓȔȒȡ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖ țȓȜȒțȜȞȜȒțȩȚȖ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȚȖ ȤȓșȓȟȜȜȏȞȎȕțȜ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȠȪ țȎȑȞȓȐ ȟ ȜȏȞȎȠțȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ ȝșȎȟȠȖț.

ǾȖȟ. 2.9. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ %Ȁdin ȜȠ ȟȘȜȞȜȟȠȖțȎȑȞȓȐȎv ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ Mo-SiƖ2-Si ȝȞȖȜȏșȡȥȓțȖȖȟșȖȤȓȐȜȗ ȟȠȜ ȞȜțȩ Ȗ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȟȠȓȝȓțȖ ȕȎȝȜșțȓțȖȭ ȚȜșȖȏȒȓțȜȚ: 1 – 30; 2 – 70; 3 – 95% [27]

308 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.10. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȑ ȠȜȥȘȓ D ȜȠ ȐȞȓȚȓțȖ, ȝȞȖȜȏșȡȥȓțȖȖșȖȤȓȐȜȗȟȠȜȞȜțȩ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩSiO2-Si ȟȕȎȝȜșțȓțȖȓȚ 30%, Ȑ ȚȭȑȘȜȚ ȞȓȔȖȚȓ, Ȓșȭ ȞȎȕșȖȥțȜȗȝșȜȠțȜȟȠȖȚȜȧțȜȟȠȖȖȕ-

șȡȥȓțȖȭ, Ǿ, ǰȠ/ȟȚ2: 1 – 40; 2 – 50; 3 – 60 [9, 10, 19, 26, 27]

ǻȎ ȞȖȟ. 2.10, 2.11 ȝȜȘȎȕȎțȎ ȒȖțȎȚȖȘȎ țȎȑȞȓȐȎ ȟȠȞȡȘȠȡȞ SiO2-Si, ȞȎȟȟȥȖȠȎțțȎȭ ȝȜ ȚȓȠȜȒȖȘȓ, ȝȞȓȒșȜȔȓțțȜȗ Ȑ [9, 10, 19, 26, 27]. Ƕȕ ȞȖȟ. 2.10, 2.11 ȐȖȒțȜ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȓ ȐșȖȭțȖȓ ȕȎȝȜșțȓțȖȭ SiO2 țȎ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȥȠȜ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȡȥȖȠȩȐȎȠȪ ȝȞȖ ȐȩȏȜȞȓ ȞȓȔȖȚȜȐ ǯȀǼ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ.

ǾȖȟ. 2.11. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪȞȎȕțȜȟȠȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ ȚȓȔȒȡ ȠȜȥȘȎȚȖ D Ȗ B ȜȠ ȐȞȓȚȓțȖȝȞȖȜȏșȡȥȓțȖȖșȖȤȓȐȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ SiO2-Si ȟȕȎȝȜșțȓțȖȓȚ 30%, ȐȚȭȑȘȜȚȞȓȔȖȚȓ, ȒșȭȞȎȕșȖȥțȜȗȝșȜȠțȜȟȠȖ ȚȜȧțȜȟȠȖ ȖȕșȡȥȓțȖȭ, Ǿ ǰȠ/ȟȚ2: 1 – 40; 2 – 50; 3 – 60 [9, 10, 19, 26, 27]

2.2. ȀȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȖ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȠȜțȘȖȣ ȝșȓțȜȘ SiO2 ȝȞȖ ȏȩȟȠȞȜȗ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȓ

ǰȩȟȜȘȜȘȎȥȓȟȠȐȓțțȩȗ ȡșȪȠȞȎȠȜțȘȖȗ ȒȖȜȘȟȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ țȓȐȜȕȚȜȔțȜ ȝȜșȡȥȖȠȪ ȏȓȕ ȠȧȎȠȓșȪțȜȑȜ ȘȜțȠȞȜșȭ ȥȖȟȠȜȠȩ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜȝȞȜȤȓȟȟȎ, ȑȒȓȜȟȜȏȡȬȞȜșȪȕȎțȖȚȎȓȠȜȥȖȟȠȘȎȝȜȒșȜȔȘȖ[28–32]. ǻȎȖȏȜșȪȦȓȓ ȞȎȟȝȞȜȟȠȞȎțȓțȖȓ ȝȜșȡȥȖșȎ ȝȞȓȒȜȘȖȟșȖȠȓșȪțȎȭ ȜȥȖȟȠȘȎ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ țȓȟȘȜșȪȘȖȣ ȚȖțȡȠ Ȑ ȞȎȟȠȐȜȞȎȣ NH4OH, HCl, N2SO4 țȎ ȜȟțȜȐȓȝȓȞȓȘȖȟȖȐȜȒȜȞȜȒȎ(ƕ2O2) [29, 32] ȟȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȗȜȏȞȎȏȜȠȘȜȗ (ȜȘȜșȜ 30 ȟ) Ȑ 1–2%-țȜȚ ȞȎȟȠȐȜȞȓ HF [27, 33, 34] Ȓșȭ ȡȒȎșȓțȖȭ

ȝȞȖȞȜȒțȜȑȜȜȘȖȟșȎ. ǽȞȖȫȠȜȚȐȟȓȫȠȎȝȩȜȏȞȎȏȜȠȘȖȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȬȠȟȭ ȝȞȜȚȩȐȎțȖȓȚ ȝȜȒșȜȔȓȘ Ȑ ȒȓȖȜțȖȕȜȐȎțțȜȗ ȐȜȒȓ.

ǼȝȓȞȎȤȖȬ ȜȥȖȟȠȘȖ Ȗ ȡȒȎșȓțȖȭ ȝȞȖȞȜȒțȜȑȜ ȜȘȖȟșȎ ȚȜȔțȜ ȜȟȡȧȓȟȠȐȖȠȪȐȎȠȚȜȟȢȓȞȓƕƙl ȖșȖCF4 țȓȝȜȟȞȓȒȟȠȐȓțțȜȝȓȞȓȒȜȘȖȟșȓțȖȓȚ[35]. DZȎȕȜȐȜȓȠȞȎȐșȓțȖȓȜȏȩȥțȜȝȞȖȚȓțȭȓȠȟȭȐȠȓȣȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȝȞȜȤȓȟȟȎȣ, Ȑ ȘȜȠȜȞȩȣ ȜȟȜȏȓțțȜ ȐȎȔțȡȬ ȞȜșȪ ȖȑȞȎȓȠ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜȟșȜȭ(ȝȞȖȝȜșȡȥȓțȖȖȠȜțȘȜȑȜȝȜȒȕȎȠȐȜȞțȜȑȜȜȘȖȟșȎ Ȑ ǺDzǽ-ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ). ȋȠȜȠ ȝȞȜȤȓȟȟ ȜȏȩȥțȜ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȓȠȟȭ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ 800–1000°ǿ Ȗ ȜȝȖȟȩȐȎȓȠȟȭ ȞȓȎȘȤȖȓȗ

Si(ȠȐ.)+ 2ƕƙl(ȑȎȕ)= SiCl2(ȑȎȕ)+ ƕ2(ȑȎȕ).

ǰȞȎȏȜȠȓ[36] ȝȞȓȒȜȘȖȟșȖȠȓșȪțȎȭȜȥȖȟȠȘȎȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪȐ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ 1% ƕƙl/ƈr ȖșȖ ƕ2 ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ 700–900°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 20–60 ȟ.

ǰȜȏȧȓȚ ȟșȡȥȎȓ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ Ƞȓȣ ȖșȖ Ȗțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȐ ȜȥȖȟȠȘȖ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ Ȗ ȠȜșȧȖțȜȗ țȎȞȡȦȓțțȜȑȜ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ ȟșȜȭ ȝȜȒșȜȔȘȖ, Ȗ ȡȟșȜȐȖȭȚȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ, ȐȩȏȜȞ ȘȜȠȜȞȩȣ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜȗȠȜșȧȖțȜȗȖȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖȢȜȞȚȖȞȡȓȚȜȑȜȜȘȖȟșȎ. ȀȜțȘȖȓ ȝșȓțȘȖ (10–20 țȚ) Ȗ ȜȘȖȟșȩ ȟ ȚȖțȖȚȎșȪțȩȚ ȕȎȞȭȒȜȚ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ

Si-SiO2 ȜȏȩȥțȜȝȜșȡȥȎȬȠȐȟȡȣȜȚȘȖȟșȜȞȜȒȓ. ǰȩȏȜȞȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȜȘȖȟșȓțȖȭ ȐșȖȭȓȠ țȎ ȘȎȥȓȟȠȐȜ ȝȜșȡȥȎȓȚȩȣ ȜȘȖȟșȜȐ, Ȑ ȥȎȟȠțȜȟȠȖ, țȎ Ȗȣ

ȢȎȕȜȐȩȗ ȟȜȟȠȎȐ. Dzșȭ ȝșȓțȜȘ SiO2 ȠȜșȧȖțȜȗ 5 țȚ, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ țȖȔȓ 1000°ǿ, ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȝȜȘȎȕȎșȖ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȡȬ

țȓȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȪȑȞȎțȖȤȩȞȎȕȒȓșȎSi-SiO2, ȟȜȟȠȜȭȧȡȬȖȕ ȎȚȜȞȢțȜȗȖ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗȢȎȕ, ȥȠȜȝȞȖȐȜȒȖȠȘȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȬȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȣ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ [36, 37]. ǰ ȠȜ Ȕȓ ȐȞȓȚȭ Ȓșȭ ȝșȓțȜȘ, Ȑȩ-

ȞȎȧȓțțȩȣ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȐȩȦȓ 1000°ǿ, ȑȞȎțȖȤȎ ȞȎȕȒȓșȎ Si-SiO2 ȜȒțȜȞȜȒțȎ Ȑ ȝȞȓȒȓșȎȣ ȒȐȡȣ ȎȠȜȚțȩȣ ȟșȜȓȐ.

ǰȏȜșȪȦȖțȟȠȐȓ ȟșȡȥȎȓȐ Ȓșȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȝșȓțȜȘ ȒȖȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȟȜ ȟȠȎȏȖșȪțȩȚȖ ȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȚȖ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȖ Ȗȟ- ȝȜșȪȕȡȬȠȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȗȒȖȎȝȎȕȜț1000–1200°ǿ[30, 38]. ǽȞȖ ȒȎșȪțȓȗȦȓȚ ȝȜȐȩȦȓțȖȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ țȎȥȎșȪțȎȭ ȟȠȎȒȖȭ ȞȜȟȠȎ ȝșȓțȘȖ 5–7 țȚȝȞȜȠȓȘȎȓȠȏȩȟȠȞȜ, ȥȠȜțȓȝȜȕȐȜșȭȓȠȠȜȥțȜȘȜțȠȞȜșȖȞȜȐȎȠȪ ȝȞȜȤȓȟȟȜȘȖȟșȓțȖȭ. ǽȞȖȚȓțȓțȖȓțȖȕȘȖȣȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ(Țȓțȓȓ 1000°ǿ) ȒșȭȝȜșȡȥȓțȖȭȜȘȖȟșȜȐȚȓȠȜȒȜȚǯȀǼȜȑȞȎțȖȥȓțȜ țȓȟȠȜșȪȘȜȘȎȥȓȟȠȐȜȚ ȝșȓțȜȘ, ȟȘȜșȪȘȜ Ȗȣ ȚȓȒșȓțțȩȚ ȞȜȟȠȜȚ (ȞȖȟ. 2.12, ȘȞȖȐȎȭ 2).

ȋȠȜȑȜ ȡȒȎȓȠȟȭ ȖȕȏȓȔȎȠȪ, ȖȟȝȜșȪȕȡȭ ȎȠȚȜȟȢȓȞȡ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ Ȗȕ ȟȚȓȟȖȟȡȣȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎ(96–97%) ȖȜȕȜțȎ(3–4%) [38], ȥȠȜȝȜȕȐȜșȭ-

310 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.12. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȠȜșȧȖțȩ ȜȘȖȟșȎ ȜȠ ȐȞȓȚȓțȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝȞȖ 900°ǿ: 1 – ȜȏȩȥțȜȓ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȓ ȜȘȖȟșȓțȖȓ Ȑ ȟȡȣȜȚ O2; 2 – ȜȘȖȟșȓțȖȓ ȚȓȠȜȒȜȚ ǯȀǼ

ȐO2; 3 – ȜȘȖȟșȓțȖȓ ȚȓȠȜȒȜȚ ǯȀǼ Ȑ O2+O3; 4 — ȥȓȞȓȒȜȐȎțȖȓ ȫȠȎȝȜȐ ȜȘȖȟșȓțȖȭ Ȑ O2 Ȗ ȜȠȔȖȑȎ

Ȑƈr ȝȞȖ 1150°ǿ

ȓȠȟțȖȕȖȠȪȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȡȜȘȖȟșȓțȖȭȒȜ600–900°ǿȕȎȟȥȓȠȡȐȓșȖȥȓțȖȭ ȟȘȜȞȜȟȠȖȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȒȖȜȘȟȖȒȎȘȞȓȚțȖȭȝȜȟȞȎȐțȓțȖȬȟȜȏȩȥțȩȚ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚȜȘȖȟșȓțȖȓȚȒȜ300% (ȞȖȟ. 2.12, ȘȞȖȐȎȭ3). ǽȞȖȚȓțȓțȖȓ ȐȚȓȟȠȜ ȜȕȜțȎ ȒȞȡȑȖȣ ȑȎȕȜȐ (N2, ƕƙl, ƕ2 Ȗ ȒȞ.) țȓȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ ȐșȖȭȓȠ țȎ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȜȘȖȟșȓțȖȭ, țȜ ȡȚȓțȪȦȎȓȠ țȓȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȪ Ȗ ȡșȡȥȦȎȓȠ ȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȓ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȠȜțȘȖȣ ȝșȓțȜȘ [39].

ǼȒțȖȚȖȕȟȝȜȟȜȏȜȐȟȠȎȏȖșȖȕȎȤȖȖȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȝȜșȡȥȓțțȩȣȜȘȖȟșȜȐȭȐșȭȓȠȟȭȜȠȔȖȑ, ȐșȖȭȬȧȖȗțȎȖȕȚȓțȓțȖȓȢȖȘȟȖȞȜȐȎțțȜȑȜȕȎȞȭȒȎ

ȐȜȘȖȟșȓȖȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣțȎȝȞȭȔȓțȖȗțȎȑȞȎțȖȤȓSi-SiO2 [37, 39, 40]. ǻȓȕȎȐȖȟȖȚȜȜȠȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȜȘȖȟșȓțȖȭ, țȎȖȏȜșȪȦȓȓȟțȖȔȓțȖȓȢȖȘȟȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȕȎȞȭȒȎ țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȐȩȦȓ 1000°ǿ

ȐȐȎȘȡȡȚȓ, Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȑȎȕȎȣ (N2, H2, ƈr Ȗ ȒȞ.), Ȏ ȠȎȘȔȓ Ȑ Ȗȣ ȟȚȓȟȭȣ. ǺȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓțȎȝȞȭȔȓțȖȭ, ȟȜȑșȎȟțȜ[37], ȞȓșȎȘȟȖȞȡȬȠȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȐȩȦȓ 1100°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 10–15 ȟ. ǻȎȝȞȖȚȓȞ, Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ [30, 41–45] ȝȞȜȤȓȟȟ ȜȠȔȖȑȎ ȠȜțȘȖȣ ȝșȓțȜȘ (_15 țȚ) ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭșȟȭ ȕȎ 10–30 ȟ ȝȞȖ 1000–1200°ǿ, ȥȠȜ ȝȜȕȐȜșȖșȜ ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎȠȪ ȜȘȖȟșȩ ȝȜ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȚ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚ țȓ ȡȟȠȡȝȎȬȧȖȓ ȝșȓțȘȎȚ, ȝȜșȡȥȓțțȩȚ ȜȏȩȥțȩȚ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȟȝȜȟȜȏȜȚ. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [42] ȜȘȖȟșȓțȖȓ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȟȡȣȜȚ ȘȖȟșȜȞȜȒȓ ȥȓȞȓȒȜȐȎșȜȟȪ ȟ ȜȠȔȖȑȜȚ Ȑ ȎȞȑȜțȓ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 900°ǿ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ țȎȏșȬȒȎșȎȟȪ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȠȜșȧȖțȩ ȜȘȖȟșȎ ȜȠ ȐȞȓȚȓțȖ ȜȠȔȖȑȎ ȚȓȔȒȡ ȤȖȘșȎȚȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ. ǽȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȜȥȓțȪ ȏȩȟȠȞȩȗ ȞȜȟȠ ȜȘȖȟșȎ (ȞȖȟ. 2.12, ȘȞȖȐȎȭ 4) ȟȐȭȕȎț ȟ ȞȓșȎȘȟȎȤȖȓȗ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ Ȗ, ȐȜȕȚȜȔțȜ, ȟ ȖȕȚȓțȓțȖȓȚ ȕȎȞȭȒȜȐȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ, ȐșȖȭȬȧȖȣ țȎ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȞȜȟȠȎ ȝșȓțȘȖ.

ǶȕȐȓȟȠțȜ, ȥȠȜ ȠȜțȘȖȗ ȜȘȖȟȓș Ȑ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȜȏȩȥțȜȑȜ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȞȎȟȠȓȠ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ ȏȩȟȠȞȓȓ, ȥȓȚ ȝȞȓȒȟȘȎȕȩȐȎȓȠ

șȖțȓȗțȜ-ȝȎȞȎȏȜșȖȥȓȟȘȎȭ ȚȜȒȓșȪ ȜȘȖȟșȓțȖȭ DzȖșȎ-DZȞȜȡȐȎ [46], ȝȜȫȠȜȚȡ Ȓșȭ ȠȓȜȞȓȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȏȜȟțȜȐȎțȖȭ ȘȖțȓȠȖȘȖ ȞȜȟȠȎ ȜȘȖȟșȜȐ ȏȩș ȞȎȕȞȎȏȜȠȎț ȞȭȒ ȚȜȒȓșȓȗ, ȜȟțȜȐȎțțȩȣ țȎ ȜȏȨȓȚțȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȕȎȞȭȔȓțțȩȣ ȥȎȟȠȖȤ ȖșȖ țȓȗȠȞȎșȪțȩȣ ȝȎȞ, țȎ ȫȢȢȓȘȠȎȣ ȠȡțțȓșȖȞȜȐȎțȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ, ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȟșȜȭ ȝȞȜȟȠȞȎțȟȠȐȓțțȜȑȜ ȕȎȞȭȒȎ, ȑȓțȓȞȎȤȖȖ ȡȝȞȡȑȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ, țȎ ȖȕȚȓțȓțȖȖ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȜȘȖȟșȎ

ȖȒȞ. [43, 44, 47–49]. ǼȒțȎȘȜ țȖ ȜȒȖț Ȗȕ ȡȘȎȕȎțțȩȣ ȚȓȣȎțȖȕȚȜȐ țȓ ȚȜȔȓȠ ȝȜșțȜȟȠȪȬ ȜȏȨȭȟțȖȠȪ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȒȎțțȩȓ.

ǰșȖȭțȖȓ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȜȘȖȟșȎ țȎ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȞȜȟȠȎ ȝșȓțȜȘ ȚȜȔțȜ ȜȏțȎȞȡȔȖȠȪ, ȟȞȎȐțȖȐ ȘȞȖȐȩȓ ȞȜȟȠȎ ȜȘȖȟșȎ Ȗȕ ȞȎȏȜȠ ȝȜ ȜȘȖȟșȓțȖȬ ȘȞȓȚțȖȭ ȚȓȠȜȒȜȚ ǯȀǼ [29, 30, 34] Ȗ ȜȏȩȥțȜȚȡ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȚȡ ȜȘȖȟșȓțȖȬ [33, 45]. ǰ ȟșȡȥȎȓ țȎȑȞȓȐȎ ȝȜȒșȜȔȘȖ țȓȘȜȑȓȞȓțȠțȩȚȖ ȖȟȠȜȥțȖȘȎȚȖ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȝșȓțȘȎ ȒȖȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȠȜșȧȖțȜȗ 10–20 țȚ ȞȎȟȠȓȠ Ȑ 5–10 ȞȎȕ ȏȩȟȠȞȓȓ, ȥȓȚ ȝȞȖ ȜȏȩȥțȜȚ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȚ ȜȘȖȟșȓțȖȖ. ǽȞȓȒȝȜșȎȑȎȬȠ, ȥȠȜ ȟȡȧȓȟȠȐȡȓȠ țȓȟȘȜșȪȘȜ ȝȡȠȓȗ, ȝȜȘȜȠȜȞȩȚȚȜȔȓȠȝȞȜȣȜȒȖȠȪȞȓȎȘȤȖȭȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȜȘȖȟșȎ. ǰ ȟșȡȥȎȓ ǯȀǼ, ȐȓȞȜȭȠțȜ, țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȠȪ ȒȐȎ țȓȕȎȐȖȟȖȚȩȣ Ȗ ȝȎȞȎșșȓșȪțȜ ȖȒȡȧȖȣ ȝȞȜȤȓȟȟȎ: ȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȓ Ȗ ȠȓȞȚȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȓ ȜȘȖȟșȓțȖȓ.

ȂȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȎȭ ȞȓȎȘȤȖȭ Ȑ ȡȟșȜȐȖȭȣ ǯȀǼ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȟșȜȔțȜȗ, Ȗ ȓȓ ȣȜȒ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȚȜȧțȜȟȠȖ Ȗ ȒȖȎȝȎȕȜțȎ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȝȞȖȚȓțȭȓȚȩȣ ȖȟȠȜȥțȖȘȜȐ, Ƞ. Ș. ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȓ ȖȕșȡȥȓțȖȭ țȎ ȠȐȓȞȒȩȓ ȠȓșȎ Ȗ ȑȎȕȩ ȝȜȞȜȔȒȎȓȠ Ȑ țȖȣ ȢȖȕȖȘȜ-ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȓ ȝȞȜȤȓȟȟȩ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȜȝȞȓȒȓșȭȬȠȟȭ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ ȜȏșȡȥȎȓȚȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ

ȖȫțȓȞȑȖȓȗ ȢȜȠȜțȜȐ [44, 48]. ǰ ȟșȡȥȎȓ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȘȞȓȚțȖȭ ȚȓȠȜ-

ȒȜȚ ǯȀǼȟȖȟȠȓȚȎO2-SiO2-Si, ȝȜșȡȥȖȐȦȎȭȫțȓȞȑȖȬȖȕȐțȓ, ȟȠȞȓȚȖȠȟȭ Ș ȞȓșȎȘȟȎȤȖȖ, ȘȜȠȜȞȎȭ, ȐȓȞȜȭȠțȜ, ȖȒȓȠ ȥȓȞȓȕ ȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜȟȠȪ ȞȓȎȘȤȖȗ, ȐșȖȭȬȧȖȣ țȎ ȒȖțȎȚȖȘȡ ȞȜȟȠȎ ȜȘȖȟșȎ.

ǰȜȕȚȜȔțȩȚȫȢȢȓȘȠȜȚȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȑȜȜȘȖȟșȓțȖȭȭȐșȭȓȠȟȭȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȭȜȘȖȟșȖȠȓșȭȐȑȎȕȜȐȜȗȢȎȕȓȝȜȒȒȓȗȟȠȐȖȓȚȢȜȠȜțȜȐ ȟȫțȓȞȑȖȓȗȐȩȦȓ5 ȫǰȟȝȜȭȐșȓțȖȓȚȎȠȜȚȎȞțȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎ, ȘȜȠȜȞȩȗ, ȞȓȎȑȖȞȡȭȟȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȚȘȖȟșȜȞȜȒȜȚ, ȜȏȞȎȕȡȓȠȜȕȜț. ǺȜșȓȘȡșȩȜȕȜțȎ, ȎȒȟȜȞȏȖȞȡȭȟȪ țȎ ȑȜȞȭȥȓȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ, ȒȖȟȟȜȤȖȖȞȡȬȠ țȎ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȗ Ȗ ȎȠȜȚȎȞțȩȗ ȘȖȟșȜȞȜȒ. ǽȜȟșȓȒțȖȗ, ȐȟșȓȒȟȠȐȖȓ

ȚȓțȪȦȖȣȞȎȕȚȓȞȜȐ, ȏȩȟȠȞȓȓȒȜȟȠȖȑȎȓȠȑȞȎțȖȤȩ Si-SiO2, ȖȫȢȢȓȘȠȖȐțȓȓ ȐȟȠȞȎȖȐȎȓȠȟȭ Ȑ ȞȓȦȓȠȘȡ ȜȘȖȟșȎ, ȥȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȡȐȓșȖȥȓțȖȬ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ ȒȖȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ [38]. ǰ ȟȝȓȘȠȞȓ ȦȖȞȜȘȜ ȝȞȖȚȓțȭȓȚȩȣ Ȓșȭ ǯȀǼ ȑȎșȜȑȓțțȩȣ ȖșȖ ȘȟȓțȜțȜȐȩȣ șȎȚȝ ȒȜșȭ ȢȜȠȜțȜȐ

312 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȟȫțȓȞȑȖȓȗ ȟȐȩȦȓ 5 ȫǰ ȚȎșȎ, ȝȜȫȠȜȚȡ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȎȠȜȚȎȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ ȚȜȔțȜ ȝȞȓțȓȏȞȓȥȪ. ǻȎȝȞȜȠȖȐ, ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȫȘȟȖȚȓȞțȩȣ ȖȟȠȜȥțȖȘȜȐ ȟȜ ȟȝȓȘȠȞȜȚ ȖȕșȡȥȓțȖȭ, ȟȚȓȧȓțțȩȚ Ȑ ȘȜȞȜȠȘȜȐȜșțȜȐȡȬ ȜȏșȎȟȠȪ, ȝȞȖȐȓșȜ Ș ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȚȡ ȝȜȐȩȦȓțȖȬ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȎȠȜȚȎȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȗ ȜȕȜțȎ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ, ȐșȖȭțȖȓ ȘȜȠȜȞȩȣ țȎ ȝȞȜȤȓȟȟ ȞȜȟȠȎ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎ ȝȜȘȎȕȎțȜ Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ [38, 44]. ǽȞȖ ȒȜșȓ ȜȕȜțȎ 3–4% Ȑ ȟȞȓȒȓ ȟȡȣȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ ȜȘȖȟșȎ țȎ 300, 250 Ȗ50% ȒșȭȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ600, 800 Ȗ950°ǿ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ, ȝȜ ȟȞȎȐțȓțȖȬ ȟ ȜȏȩȥțȩȚ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȜȘȖȟșȓțȖȓȚ.

ǽȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȡȟȘȜȞȓțȖȓ ȞȜȟȠȎ ȜȘȖȟșȎ ȟȐȭȕȎțȜ ȟ țȎșȖ-

ȥȖȓȚ ȎȠȜȚȎȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ Si_SiO2, ȜȏȞȎȕȡȬȧȓȑȜȟȭ ȝȞȖ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ ȎȒȟȜȞȏȖȞȜȐȎȐȦȖȣȟȭ ȚȜșȓȘȡș ȜȕȜțȎ țȎ ȑȜȞȭȥȓȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ Ȑ ȜȏșȎȟȠȖ țȖȕȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ, ȘȜȑȒȎȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȗȘȖȟșȜȞȜȒȟșȎȏȜȞȓȎȑȖȞȡȓȠȟȘȞȓȚțȖȓȚ(ȫțȓȞȑȖȭ

ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ ȞȓȎȘȤȖȖ Ea= 1.7 ȫǰ [33, 37]), ȎȠȜȚȎȞțȩȗ ȘȖȟșȜȞȜȒ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜ ȡȥȎȟȠȐȡȓȠ Ȑ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȖ ȜȘȖȟșȎ (Ea= 0.22 ȫǰ [38]), Ȏ ȝȞȖ ȝȜȐȩȦȓțȖȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩțȎȥȖțȎȓȠȝȞȓȜȏșȎȒȎȠȪȞȓȎȘȤȖȭȜȏȩȥțȜȑȜ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜȜȘȖȟșȓțȖȭ. ǽȞȖȝȞȖȚȓțȓțȖȖȒȞȡȑȖȣȑȎȕȜȐȐȘȎȥȓȟȠȐȓ ȒȜȏȎȐȜȘ Ș ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȠȎȘȔȓ ȡȥȖȠȩȐȎȠȪ ȭȐșȓțȖȭ Ȗȣ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ, Ȑ țȓȘȜȠȜȞȩȣ ȟșȡȥȎȭȣ ȝȞȜȠȓȘȎȬȧȖȣ ȏȜșȓȓ ȖțȠȓțȟȖȐțȜ [44].

ǽȜȠȜȘ ȟȐȓȠȎ, ȝȞȜȗȒȭ ȥȓȞȓȕ ȎȠȚȜȟȢȓȞȡ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ, ȒȜȟȠȖȑȎȓȠ

ȟȖȟȠȓȚȩ Si-SiO2, ȑȒȓ ȥȎȟȠȪ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȝȜȑșȜȧȎȓȠȟȭ, ȝȞȖȐȜȒȭ Ș țȎȑȞȓȐȡ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȝȜȒșȜȔȘȖ [3, 39]. ǰ ȜȏȧȓȚ ȟșȡȥȎȓ, ȝȜȑșȜȧȓțȖȓ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȟȠȓȝȓțȖ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ ȝȜȒșȜȔȘȖ Ȗ ȫțȓȞȑȖȖ ȢȜȠȜțȜȐ Ȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭ ȟșȓȒȡȬȧȖȚȖ ȜȟțȜȐțȩȚȖ ȐȖȒȎȚȖ – țȎ ȟȐȜȏȜȒțȩȣ țȜȟȖȠȓșȭȣ, ȟȜȏȟȠȐȓțțȜȓ, țȎ ȖȜțȖȕȖȞȜȐȎțțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȭȣ [50].

ǽȞȓȜȏșȎȒȎțȖȓ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȐȖȒȜȐ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ Ȓșȭ ȝȜȒșȜȔȓȘ

ȟȞȎȕșȖȥțȜȗȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȪȬțȎȒșȖțȎȣȐȜșț1.3 Ȗ1.55 ȚȘȚȐȜȏșȎȟȠȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ 400–900°ǿ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [51]. Dzșȭ țȖȕȘȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȝșȎȟȠȖț Ȑ ȫȠȜȚ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ țȎ ȒșȖțȓ ȐȜșțȩ 1.55 ȚȘȚ ȝȞȓȜȏșȎȒȎșȜ ȝȜȑșȜȧȓțȖȓ țȎ ȟȐȜȏȜȒțȩȣ țȜȟȖȠȓșȭȣ ȕȎȞȭȒȎ, Ȏ ȝȞȖ 1.3 ȚȘȚ – ȟȜȏȟȠȐȓțțȜȓ. ȋȠȜ, ȐȓȞȜȭȠțȜ, ȜȘȎȕȩȐȎȓȠ ȐșȖȭțȖȓ țȎ ȣȎȞȎȘȠȓȞ ȖȒȡȧȖȣ Ȑ ȘȞȓȚțȖȖ ȢȜȠȜȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ Ȗ, ȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜ, țȎ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ȒȖȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ,

ȥȠȜ țȎȖȏȜșȓȓ ȭȞȘȜ țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȝȞȖ ȜȏșȡȥȓțȖȖ ȟȖȟȠȓȚȩ Si-SiO2 ȘȜȞȜȠȘȜȐȜșțȜȐȩȚ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖȚ ȖȕșȡȥȓțȖȓȚ [44, 45, 52]. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [44]

ȡȥȎȟȠȜȘ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖ ȜȘȖȟșȭȓȚȜȑȜ ȜȏȞȎȕȤȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȜȟȐȓȧȎșȟȭ șȎȕȓȞȜȚ ȟ ȝȓȞȓȟȠȞȎȖȐȎȓȚȜȗ ȒșȖțȜȗ ȐȜșțȩ 514 Ȗ 488 țȚ, ȝȞȖ ȫȠȜȚ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ ȜȘȟȖȒȎ țȎ 20% (514 țȚ) Ȗ țȎ 25% (488 țȚ). ǶȕȚȓțȓțȖȓ ȚȜȧțȜȟȠȖ ȖȕșȡȥȓțȖȭ șȎȕȓȞȎ ȠȎȘȔȓ ȡȟȘȜȞȭșȜ ȞȜȟȠ ȜȘȖȟșȎ. ǯȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȡȞȜȐțȭ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ ȝȜȒșȜȔȘȖ, ȘȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, Ȓșȭ ȝșȎȟȠȖț p-ȠȖȝȎ ȫȠȜȠ ȫȢȢȓȘȠ ȚȎȘȟȖȚȎșȓț, Ȏ Ȓșȭ n-ȠȖȝȎ ȚȖțȖȚȎșȓț.

ǽȞȖ ȜȏșȡȥȓțȖȖ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ ȠȎȘȔȓ ȖȕȚȓțȓțȖȓ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ “ȜȘȖȟȓș–ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒ- țȖȘ” Ȗ țȎȘȜȝșȓțȖȓ ȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜȑȜ ȕȎȞȭȒȎ Ȑ ȝșȓțȘȓ ȒȖȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ – ȘȎȘ ȝȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠȟȭ, ȕȎ ȟȥȓȠ țȎȒȏȎȞȪȓȞțȜȗ ȖțȔȓȘȤȖȖ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȗȕ Si-SiO2 [52]. ǰ ȫȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȕȎȞȭȔȓțțȩȣ ȎȠȜȚȎȞțȩȣ ȖșȖ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȣ ȥȎȟȠȖȤ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȑ ȝșȓțȘȓ ȜȘȖȟșȎ ȖȒȓȠȕȎȟȥȓȠȝȓȞȓȣȜȒȎȫșȓȘȠȞȜțȜȐȖȕȕȜțȩȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ (ǵǽ) ȘȞȓȚțȖȭȐǵǽ SiO2 ȖȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȗȞȓȎȘȤȖȖȟȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȚȘȖȟșȜȞȜȒȜȚ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȫșȓȘȠȞȜțȎȚ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȝȞȓȜȒȜșȓȠȪ ȏȎȞȪȓȞ ȐȩȟȜȠȜȗ ȝȜȞȭȒȘȎ 3.15 ȫǰ [45, 50] (ȞȖȟ. 2.13). ǻȜ țȎȖȏȜșȓȓ ȐȓȞȜȭȠțȜȗ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȫȚȖȟȟȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȑ ȝȓȞȓȣȜȒțȩȗ ȟșȜȗ SiOx, țȎȣȜȒȭȧȖȗȟȭ ȚȓȔȒȡ Si Ȗ SiO2 Ȗ ȟȐȭȕȎțțȩȗ ȟ ȝȓȞȓȟȠȞȜȗȘȜȗ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ SiO2. ȀȜșȧȖțȎ SiOx șȓȔȖȠ Ȑ ȝȞȓȒȓșȎȣ ȜȠ țȓȟȘȜșȪȘȖȣ ȎțȑȟȠȞȓȚ ȒȜ 30 ƒ Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȝȞȓȒȩȟȠȜȞȖȖ Ȗ ȠȜșȧȖțȩ ȜȘȖȟșȎ [37].

ǰȓșȖȥȖțȎ ȏȎȞȪȓȞȎ ȚȓȔȒȡ ǵǽ Si Ȗ ǵǽ SiOx Țȓțȓȓ 1 ȫǰ, ȝȜȫȠȜȚȡ ȢȜȠȜȫȚȖȟȟȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȗȕ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȜȏșȎȟȠȪ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȑȜ ȟșȜȭ ȏȡȒȓȠ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȗ. ǰ ȫȠȖȣ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȟșȜȗ SiOx ȏȡȒȓȠ țȎȟȩȧȓț ȟȐȜȏȜȒțȩȚȖ țȜȟȖȠȓșȭȚȖ ȕȎȞȭȒȜȐ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ ȕȎȣȐȎȥȓțȩ

ǾȖȟ. 2.13. ǵȜțțȎȭ ȒȖȎȑȞȎȚȚȎ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ SiO2-Si: E0 – ȡȞȜȐȓțȪ ȐȎȘȡȡȚȎ; EC O – ȡȞȜȐȓțȪ ȕȜțȩ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȎ; EC Si – ȡȞȜȐȓțȪ ȕȜțȩ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȘȞȓȚțȖȭ; EVSi – ȡȞȜȐȓțȪ ȐȎșȓț-

ȠțȜȗ ȕȜțȩ ȘȞȓȚțȖȭ; EVэф – ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȗȐȎșȓțȠțȩȗȡȞȜȐȓțȪ; EVO – ȡȞȜȐȓțȪ ȐȎșȓțȠțȜȗ ȕȜțȩ ȜȘȖȟșȎ; SiOx – ȜȘȖȟȓșȟȝȓȞȓȚȓțțȩȚ ȟȜȟȠȎȐȜȚ [50]

314 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

țȎ ȝȜșȜȔȖȠȓșȪțȜ ȕȎȞȭȔȓțțȩȓ șȜȐȡȦȘȖ Ȗ ȐȟȠȡȝȎȠȪ Ȑ ȞȓȎȘȤȖȬ ȟ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȚ ȘȖȟșȜȞȜȒȜȚ, ȡȥȖȠȩȐȎȭ ȫțȓȞȑȖȖ ȟȞȜȒȟȠȐȎ Ș ȫșȓȘȠȞȜțȡ (dzȓ) 1.46 Ȗ 0.4 ȫǰ Ȓșȭ Ɩ Ȗ Ɩ2, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ, ȝȜ ȟșȓȒȡȬȧȓȗ

ȟȣȓȚȓ [38, 43, 45]:

O2 + e = O-2 (Ee = 0.4 эВ),

O-2 + e = O + O- + e(Ee .1.5 эВ), O-2 + hO = O + O-(hO > 1.5 эВ),

O + e = O-(Ee > 1.46 эВ).

DzȐȖȔȓțȖȓ ȕȎȞȭȔȓțțȩȣ ȥȎȟȠȖȤ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ Ș ȚȓȔȢȎȕțȜȗ ȑȞȎ- țȖȤȓSi-SiOx ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ ȑȞȎȒȖȓțȠȜȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȖȒȞȓȗȢȜȚȝȜȒ ȒȓȗȟȠȐȖȓȚ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ ȜȏȨȓȚțȜȑȜ ȕȎȞȭȒȎ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȘȎȘ Ȗ Ȑ ȟșȡȥȎȓ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȑ ȑȎȕȜȐȜȗ ȢȎȕȓ, Ș ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ Si-SiO2 ȝȜȒȣȜȒȖȠ ȎȠȜȚȎȞțȩȗ ȘȖȟșȜȞȜȒ Ȗ ȐȟȠȡȝȎȓȠȐȞȓȎȘȤȖȬȟȘȞȓȚțȖȓȚȟȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚȒȖȜȘȟȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ. ȋȠȎȞȓȎȘȤȖȭȝȞȜȠȓȘȎȓȠȐȜȏșȎȟȠȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȖȔȓ800–850°ǿȏȜșȓȓ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜ, ȥȓȚ ȟȠȎțȒȎȞȠțȎȭ ȞȓȎȘȤȖȭ [43, 45].

ǽȞȖ ȎțȎșȖȕȓ ȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțȖȩȣ ȞȓȎȘȤȖȗ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȡȥȖȠȩȐȎȠȪ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȬ Ȗ ȑșȡȏȖțȡ ȝȞȜțȖȘțȜȐȓțȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȑ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎȠȜȚȎȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ș ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ Si-SiO2.

ǼȘȖȟȓș, ȞȎȟȠȡȧȖȗțȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȘȞȓȚțȖȭ, ȠȎȘȔȓȐșȖȭȓȠțȎ ȝȜȑșȜȧȓțȖȓȖȕșȡȥȓțȖȭȝȜȒșȜȔȘȜȗ. ǻȎșȖȥȖȓȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȗȝșȓțȘȖ ȟȝȜȟȜȏȟȠȐȡȓȠ ȖȕȚȓțȓțȖȬ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ ȖȕșȡȥȓțȖȭ Ȑ ȝȜȒșȜȔȘȓțȎ 10–30% ȏșȎȑȜȒȎȞȭȝȞȜȟȐȓȠșȭȬȧȓȚȡȫȢȢȓȘȠȡțȎȑȞȎ- țȖȤȓȞȎȕȒȓșȎSi-SiO2. ȋȠȜȠȞȓȏȡȓȠȡȥȓȠȎȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȝȞȓșȜȚșȓțȖȭ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȒȖȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ, ȠȜșȧȖțȩ ȝșȓțȘȖ Ȗ ȒșȖțȩ ȐȜșțȩ ȖȕșȡȥȓțȖȭ[28]. ǽȜȑșȜȧȓțȖȓȖȕșȡȥȓțȖȭȒȖȜȘȟȖȒȜȚȘȞȓȚțȖȭȐȜȏșȎȟȠȖ ȒșȖțȐȜșț200–6000 țȚțȓȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ. ǼțȜȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭțȎșȖȥȖȓȚ ȝȞȖȚȓȟțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȓ SiO2 Ȗ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 0.01% ȜȠ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭȘȞȓȚțȖȭ. ǰȝȞȜȤȓȟȟȓȜȘȖȟșȓțȖȭȝȜȑșȜȧȓțȖȓȖȕșȡȥȓțȖȭ ȝșȓțȘȜȗ ȐȜȕȞȎȟȠȎȓȠ ȕȎ ȟȥȓȠ țȎșȖȥȖȭ Ȑ țȓȗ ȚȜșȓȘȡș ȖșȖ ȎȠȜȚȜȐ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ, ȎȠȎȘȔȓȟȐȜȏȜȒțȩȣȫșȓȘȠȞȜțȜȐ, ȝȞȖȦȓȒȦȖȣȖȕȘȞȓȚțȖȭ. ǿȜȏȟȠȐȓțțȩȚ ȝȜȑșȜȧȓțȖȓȚ ȒȖȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȚȜȔțȜ ȝȞȓțȓȏȞȓȥȪ, ȠȎȘ ȘȎȘ ȜțȜ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȓȠ ȫțȓȞȑȖȖ ȟȐȭȕȖ Si-Ɩ, ȞȎȐțȜȗ – 9 ȫǰ [50].

ȀȎȘȖȚȜȏȞȎȕȜȚ, ȝȜșȡȥȓțȖȓȘȎȥȓȟȠȐȓțțȜȑȜȝȜȒȕȎȠȐȜȞțȜȑȜȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎȚȓȠȜȒȜȚǯȀǼȟȐȭȕȎțȜ ȟȘȜțȠȞȜșȓȚȐȟȓȣȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȫȠȎ-

ȝȜȐȜȘȖȟșȓțȖȭȖȜȝȠȖȚȎșȪțȩȚȐȩȏȜȞȜȚȜȏȜȞȡȒȜȐȎțȖȭ – ȖȟȠȜȥțȖȘȜȐ ȖȕșȡȥȓțȖȭ. ǰȎȞȪȖȞȡȭ Ȗȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ, ȚȜȔțȜ ȖȕȚȓțȭȠȪ ȝȞȜȣȜȔȒȓțȖȓ ȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȩȣ ȞȓȎȘȤȖȗ, ȒȜȏȖȐȎȭȟȪ țȡȔțȜȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ Ȗ ȝȞȖȓȚșȓȚȩȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȢȜȞȚȖȞȡȓȚȜȑȜ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎ [53]. ǰȜȕȚȜȔțȜȟȠȪȟțȖȔȓțȖȭȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȜȘȖȟșȓțȖȭȒȓșȎȓȠȚȓȠȜȒǯȀǼ ȝȓȞȟȝȓȘȠȖȐțȩȚȒșȭȝȞȖȚȓțȓțȖȭȐțȖȕȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȗȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȟȜȐȞȓȚȓțțȩȣ ǿǯǶǿ.

Dzșȭ ȝȜȐȩȦȓțȖȭ ȏȩȟȠȞȜȒȓȗȟȠȐȖȭ ǸǺǼǽ ǿǯǶǿ țȓȜȏȣȜȒȖȚ ȝȜȒȕȎȠȐȜȞțȩȗ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘ ȠȜșȧȖțȜȗ 5–10 țȚ. ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜ ȚȜȔțȜ ȝȜșȡȥȎȠȪ ȡșȪȠȞȎȠȜțȘȖȓ ȜȘȖȟșȩ ȣȜȞȜȦȓȑȜ ȘȎȥȓȟȠȐȎ. ǼȒțȎȘȜ ȝȜȐȠȜȞȭȓȚȜȟȠȪ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȜȐ țȓ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȐȩȟȜȘȎ. ȋȠȜ ȟȐȭȕȎțȜȟȜȠȟȡȠȟȠȐȖȓȚȜȏȧȓȗȠȓȜȞȓȠȖȥȓȟȘȜȗȏȎȕȩ, ȜȏȨȭȟțȭȬȧȓȗ ȚȓȣȎțȖȕȚȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭȠȜțȘȜȑȜȜȘȖȟșȎ, ȖȢȎȘȠȜȞȜȐ, ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȡȬȧȖȣ țȎ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȞȜȟȠȎ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎ.

ǯȎȕȜȐȎȭ ȚȜȒȓșȪ ȜȏȩȥțȜȑȜ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ, ȝȞȓȒșȜȔȓțțȎȭ DzȖșȜȚ Ȗ DZȞȜȡȐȜȚ [46] ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȡȟȝȓȦțȜ ȜȝȖȟȩȐȎȓȠ ȞȜȟȠ ȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȠȜșȧȖțȜȗ 30–2000 țȚ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȝȎȞȤȖȎșȪțȩȣ ȒȎȐșȓțȖȗ 0.1–1.0¸105 ǽȎ Ȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ 973–1473 K Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ, ȟȜȟȠȜȭȧȓȗ Ȗȕ ȟȡȣȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ ȖșȖ ȝȎȞȜȐ ȐȜȒȩ. ǼȒțȎȘȜ ȞȜȟȠȝșȓțȜȘȠȜșȧȖțȜȗȚȓțȓȓ30 țȚȚȜȒȓșȪDzȖșȎ-DZȞȜȡȐȎȜȝȖȟȩȐȎȓȠ țȓȘȜȞȞȓȘȠțȜ. ǼȟțȜȐțȜȓ ȜȠșȖȥȖȓ ȝȞȓȒșȎȑȎȓȚȜȗ ȚȜȒȓșȖ ȜȠ ȚȜȒȓșȖ DzȖșȎ-DZȞȜȡȐȎ ȕȎȘșȬȥȎȬȠȟȭ Ȑ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȖ o ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎȐȞȎȟȠȡȧȓȚȜȘȖȟșȓȕȎȟȥȓȠȫșȓȘȠȞȜțȜȐ, ȖȒȡȧȖȣ Ȗȕ ȘȞȓȚțȖȭ, Ȏ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ ǶǸ-țȎȑȞȓȐȎȠȓșȓȗ Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ țȎȑȞȓȐȎ ȝȜȕȐȜșȖșȜ ȡȥȓȟȠȪ ȞȜșȪ ȘȎȘ ȠȓȞȚȜȠȎȘ Ȗ Ȝ ȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȗ ȞȓȎȘȤȖȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ. ǿȝȓȘȠȞȎșȪțȎȭ ȜȏșȎȟȠȪ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȑȎșȜȑȓțțȩȣ șȎȚȝ 0.3 (2.5 ȫǰ) – 5 (0.3 ȫǰ) ȚȘȚ. ǺȎȘȟȖȚȡȚ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȝȞȖȣȜȒȖȠȟȭ țȎ ȒșȖțȡ ȐȜșțȩ 1.1 ȚȘȚ ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ ȢȜȠȜțȎ 1.2 ȫǰ. ǽȜȟȘȜșȪȘȡ ȦȖȞȖțȎ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ ȘȞȓȚțȖȭ ȞȎȐțȎ 1.12 ȫǰ, ȠȜ ȘȞȓȚțȖȓȐȎȭ ȝȜȒșȜȔȘȎ ȏȡȒȓȠ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜ ȝȜȑșȜȧȎȠȪ ȢȜȠȜțȩ ȫȠȖȣ ȫțȓȞȑȖȗ țȎ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣ țȜȟȖȠȓșȭȣ ȕȎȞȭȒȎ. ǰ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚ ȟșȜȓȘȞȓȚțȖȭ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȓ ȜȏșȎȘȜȖȐȜȕțȖȘȎȓȠ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȓ ȝȜșȓ, ȟȐȭȕȎțțȜȓ ȟ ȫȢȢȓȘȠȜȚ ȢȜȠȜ-ȋDzǿ. ǻȎ țȎȥȎșȪțȜȚ ȫȠȎȝȓ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȗ ȏȎȞȪȓȞ ȚȓȔȒȡ ȘȞȓȚțȖȓȚ Ȗ ȞȎȟȠȡȧȖȚ ȜȘȖȟșȜȚȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ1–2 ȫǰ, ȥȠȜȟȝȜȟȜȏȟȠȐȡȓȠȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȚȡȝȓȞȓțȜȟȡ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȗȕ ȕȜțȩ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȕȜțȡ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȒȖȜȘȟȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ. ǰȒȎșȪțȓȗȦȓȚ, ȟȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚȠȜșȧȖțȩȜȘȖȟșȎ, ȏȎȞȪȓȞ ȞȎȟȠȓȠ ȒȜ 3 ȫǰ Ȗ ȝȜȠȜȘ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ ȜȟșȎȏȓȐȎȓȠ [43, 54].

316 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ.2.14.ǿȣȓȚȎȠȖȥȓȟȘȜȓȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȖȓ ȞȓȎȘȤȖȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ [38]

ǿȣȓȚȎȠȖȥțȜȞȓȎȘȤȖȭȜȘȖȟșȓțȖȭȘȞȓȚțȖȭȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎțȎȞȖȟ. 2.14. ǰ ȝȞȜȟȠȓȗȦȓȚ ȟșȡȥȎȓ ȘȖțȓȠȖȘȎ ȞȜȟȠȎ ȜȘȖȟșȎ ȜȝȖȟȩȐȎȓȠȟȭ ȠȞȓȚȭ ȝȜȠȜȘȎȚȖ: ȝȜȠȜȘ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ Ȗȕ ȑȎȕȜȐȜȗ ȢȎȕȩ Ș ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ; ȝȜȠȜȘ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ Ș ǺȂDZ Si–SiO2; ȝȜȠȜȘ, ȟȐȭȕȎțțȩȗ ȟ ȞȓȎȘȤȖȓȗ ȜȘȖȟșȓțȖȭ. ǽȞȖ ǯȀǼ ȫșȓȘȠȞȜțȩ, ȝȓȞȓȦȓȒȦȖȓ Ȑ ȜȘȟȖȒ Ȗ ȜȝȖȟȩȐȎȓȚȩȓ ȝȜȠȜȘȜȚ Fȓ, ȡȥȎȟȠȐȡȬȠ Ȑ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ ȥȎȟȠȖ ȝȜȠȜȘȎ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ. ǸȎȘ ȟșȓȒȡȓȠ Ȗȕ ȞȎȏȜȠȩ [43], ȒȎȔȓ ȝȞȖ ȝȞȜȟȠȜȚ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȚ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 1173 K ȟȡȧȓȟȠȐȡȬȠ ȫșȓȘȠȞȜțȩ, ȝȓȞȓȦȓȒȦȖȓ Ȑ ȜȘȖȟȓș. ǽȞȖ ȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȚ ȝȞȜȤȓȟȟȓ Ȗȣ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȞȓȕȘȜ ȐȜȕȞȎȟȠȎȓȠ.

DZșȡȏȖțȎ ȝȞȜțȖȘțȜȐȓțȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȑ ȜȘȖȟȓș ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȒșȖțȜȗȟȐȜȏȜȒțȜȑȜȝȞȜȏȓȑȎȣ0 (ȞȖȟ. 2.14). ǾȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓȫșȓȘȠȞȜțȜȐ ȝȜȫțȓȞȑȖȭȚȐȜȘȖȟșȓȝȜȒȜȏțȜȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȬȢȜȠȜțȜȐȐȟȝȓȘȠȞȓȖȟȠȜȥțȖȘȎȖȕșȡȥȓțȖȭ. ǿșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜ, ȚȜȔțȜȜȤȓțȖȠȪȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȬ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ, ȜȏșȎȒȎȬȧȖȣ ȫțȓȞȑȖȓȗ, ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜȗ Ȓșȭ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ

ȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎ: O2 + e = O-2 (0,4 ȫǰ). ǵȎȠȓȚȚȓȠȎȟȠȎȏȖșȪ-

ȑȒȓh – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȝȓȞȓțȜȟȎ ȖȕȑȎȕȜȐȜȗȢȎȕȩ; ǿ – ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ țȎ ȐțȓȦțȓȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȎ; ǿ0 – ȞȎȐțȜȐȓȟțȎȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ Ȑ ȜȘȖȟșȓ.

2. F2 – ȝȜȠȜȘȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎȥȓȞȓȕȜȘȖȟȓșȒȜȑȞȎțȖȤȩ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ:

ȑȒȓD0 – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȒȖȢȢȡȕȖȖȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎ; C0a – ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ ȡ ȑȞȎțȖȤȩ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ.

3. F31, F32 – ȝȜȠȜȘȖ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȗ ȝȞȜȒȡȘȠȜȐ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ:

ȑȒȓ C1 = nC0a , C2 = C0a(1 n) – ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎȖȝȞȜȒȡȘȠȜȐȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖțȓȝȜȟȞȓȒȟȠȐȓțțȜȝȜȟșȓȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ, ȝȞȖ ȡȟșȜȐȖȖ, ȥȠȜ C0a = C1 C2 ; C1a , C2a ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȚȜșȓȘȡș ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȗ ȝȞȜȒȡȘȠȜȐ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ țȎ ǺȂDZ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȒȜșȔțȩ ȟȜȏșȬȒȎȠȪȟȭ ȑȞȎțȖȥțȩȓ ȡȟșȜȐȖȭ:

ȑȒȓ ȝ – ȘȜțȟȠȎțȠȎ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ (ȐȓȞȜȭȠțȜȟȠȪ). ǽȞȖ n= 1 ȜȘȖȟșȓțȖȓ ȘȞȓȚțȖȭȟȐȜȒȖȠȟȭȘȜȏȩȥțȜȗȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗȞȓȎȘȤȖȖ, ȝȞȖȝ= 0 – Ș ȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȗ. dzȟșȖ 0< ȝ< 1, ȠȜ ȖȚȓȓȠ ȚȓȟȠȜ ȟȚȓȦȎțțȩȗ ȠȖȝ ȜȘȖȟșȓțȖȭ. ǿȡȚȚȎȞțȩȗ ȝȜȠȜȘ:

ǽȞȖ ȜȝȖȟȎțȖȖ ȝȜȠȜȘȎ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȜȒȡȘȠȜȐ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ F32 ȝȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ șȖȚȖȠȖȞȡȬȧȖȚ ȢȎȘȠȜȞȜȚ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȟȘȜȞȜȟȠȪ

318 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȒȖȢȢȡȕȖȖȎȠȜȚȎȞțȜțȓȗȠȞȎșȪțȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎ, ȘȜȠȜȞȎȭȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡ-

ȑȒȓ N1 – ȥȖȟșȜ ȚȜșȓȘȡș ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ ȐȣȜȒȭȧȖȣ Ȑ ȓȒȖțȖȥțȩȗ ȜȏȨȓȚ ȜȘȖȟșȎ, Ȗ F –ȝȜȠȜȘ, ȡȒȜȐșȓȠȐȜȞȭȬȧȖȗ ȡȟșȜȐȖȬ ȟȠȎȤȖȜțȎȞțȜȟȠȖ

F= F1 = F2 = F3 = F4.

ǼȒțȜȗȖȕȟșȜȔțȜȟȠȓȗ, ȐȜȕțȖȘȎȬȧȖȣȝȞȖȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖȚȜȒȓșȖ, ȭȐșȭȓȠȟȭ țȎȣȜȔȒȓțȖȓ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ ǿ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȎ. ǰ ȟșȡȥȎȓ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ, ȕȎȘȜț DZȓțȞȖ ȚȜȔțȜ ȕȎȝȖȟȎȠȪ Ȑ ȐȖȒȓ

ȑȒȓ K1, Ǿ – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȝȞȜȝȜȞȤȖȜțȎșȪțȜȟȠȖ Ȗ ȒȎȐșȓțȖȓ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ; Ƞ – ȜȠțȜȦȓțȖȓȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȗȚȎȟȟȩȐȓȧȓȟȠȐȎ Ȑ ȑȎȕȜȐȜȗȢȎȕȓȘȟȞȓȒțȓȗȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȗȚȎȟȟȓȝȞȜȒȡȘȠȜȐȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ Ȑ ȜȘȖȟșȓ. ǺȜȔțȜ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȖȠȪ, ȥȠȜ m_n. ǽȞȖ Ƞ= 1 ȐȩȞȎȔȓțȖȓ (2.17) ȐȩȞȜȔȒȎȓȠȟȭ Ȑ Ȝȏȩȥțȩȗ ȕȎȘȜț DZȓțȞȖ.

5.Fe – ȝȜȠȜȘ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȑ ȜȘȖȟȓș. ǸȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ

ȐSiO2 ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓȚnȜȣ=(nf +nt)¸G [43], ȑȒȓG – ȢȡțȘȤȖȭ, ȡȥȖȠȩȐȎȬȧȎȭ ȡȟșȜȐȖȭ ȜȘȖȟșȓțȖȭ Ȗ ȟȜȟȠȜȭțȖȓ ǺȂDZ; nf, nt ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȢȜȠȜ- Ȗ ȠȓȞȚȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȩȣ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȑ ȕȜțȓ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȘȞȓȚțȖȭ.

ǰ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȒȜșȔțȩ țȎȏșȬȒȎȠȪȟȭ ȠȞȖ ȟȠȎȒȖȖ ȞȜȟȠȎ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȎ:

1)ȥȞȓȕȐȩȥȎȗțȜ ȠȜțȘȖȗ ȟșȜȗ ȜȘȖȟșȎ, ȘȜȑȒȎ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȭ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ ȖȒȓȠ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȞȎȟȠȡȧȓȑȜ ȒȖȜȘȟȖȒȎ

ȘȞȓȚțȖȭ: ȣ= ȣ0; 2) ȜȘȖȟȓș ȟȞȓȒțȓȗ ȠȜșȧȖțȩ: ȣ> ȣ0;

3) ȜȥȓțȪ ȠȜșȟȠȩȗ ȟșȜȗ ȜȘȖȟșȎ, ȘȜȑȒȎ ȣ ȣ0, ȐȓșȖȥȖțȜȗ ȣ0 ȚȜȔțȜ ȝȞȓțȓȏȞȓȥȪ, ȒȜȝȡȟȠȖȐ, ȥȠȜ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȭ ȜȘȖȟșȖȠȓșȭ ȖȒȓȠ țȎ ǺȂDZ Si-SiO2.

Dzșȭ ȝȓȞȐȜȑȜ ȟșȡȥȎȭ ȚȜȒȓșȪ ȚȜȔțȜ ȡȝȞȜȟȠȖȠȪ, ȝȜșȎȑȎȭ, ȥȠȜ țȎ țȎȥȎșȪțȜȚ ȫȠȎȝȓ ȜȘȖȟșȓțȖȭ șȖȚȖȠȖȞȡȬȧȓȗ ȟȠȎȒȖȓȗ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȞȓȎȘȤȖȖ țȎ ǺȂDZ, ȠȜȑȒȎ

șȖȞȜȐȎțțȜȗȞȓȎȘȤȖȗ. ǶȕȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ ȘȞȖȐȩȣȞȜȟȠȎȜȘȖȟșȎ

ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ǯȀǼ, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ [43, 54], Ȗ ȠȓȞȚȖ-

54], ȠȜȑȒȎȐȓȞȜȭȠțȜȟȠȪ ȝx1. ǽȞȖȞȜȟȠȓȜȘȖȟșȎ, ȟȜȑșȎȟțȜȞȎȏȜȠȓ[55],

ȝȜȠȓțȤȖȎșȪțȩȗ ȏȎȞȪȓȞdzȞ țȎǺȂDZȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ ȖȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȑ ȜȘȟȖȒȓ ȝȎȒȎȓȠ. ǶȟȝȜșȪȕȡȭ ȫȠȖ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȭ, ȚȜȔțȜ ȝȞȓȒȟȠȎȐȖȠȪ ȑȞȎȢȖȘ ȞȜȟȠȎ ȒȖȜȘȟȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ

1173 K (ȞȖȟ. 2.15).

ǽȞȖ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ ȏȜșȓȓ ȘȜȞȜȠȘȜȐȜșțȜȐȩȣ ȖȟȠȜȥțȖȘȜȐ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȚȜȒȓșȪ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȡȟșȜȔțȓțȎ, ȓȟșȖ ȡȥȓȟȠȪ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȬ

320 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.15. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȠȜșȧȖțȩ ȜȘȖȟșȎ x ȜȠ ȐȞȓȚȓțȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ t ȝȞȖ 1173 K: 1, 4 – ȞȎȟȥȓȠ ȝȜ ȠȓȜȞȖȖ DzȖșȎ-DZȞȜȡȐȎ [46]; 2, 2a – ȞȎȟȥȓȠ ȝȜ ȡȞȎȐțȓțȖȬ (2.19)

ȟȡȥȓȠȜȚ ȞȜȟȠȎ dzȞ ȝȞȖ xx4 țȚ Ȗ

xx15 țȚ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ; 3 – ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠ [48]

ȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȑ ȜȏȨȓȚȓ ȑȎȕȜȐȜȗ ȢȎȕȩ. ǽȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓ ȎȠȜȚȎȞțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȑ ȜȘȖȟșȖȠȓșȪțȜȗ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ Ȑ ȜȏȨȓȚȓ 3–4% ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝȞȖȚȓȞțȜ țȎ 10% [38].

ȀȎȘȖȚȜȏȞȎȕȜȚ, ȝȞȖȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ ǯȀǼȜȏȩȥțȎȭ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȎȭ ȞȓȎȘȤȖȭ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȘȞȓȚțȖȭ ȜȟșȜȔțȓțȎ ȢȜȠȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȗ ȟȜȟȠȎȐșȭȬȧȓȗ, ȥȠȜȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȡȟșȜȔțȭȓȠ ȞȎȟȥȓȠ ȚȜȒȓșȖ. ǰȓȞȜȭȠțȜȟȠȪȝȞȜȠȓȘȎțȖȭȠȜȗȖșȖȖțȜȗȞȓȎȘȤȖȖȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭȐȓșȖȥȖțȜȗn, ȘȜȠȜȞȎȭ ȟȖșȪțȜ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȡȟșȜȐȖȗ ȜȘȖȟșȓțȖȭ, ȠȖȝȎ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȚȩȣ șȎȚȝ Ȗ ȝȜȒșȜȔȘȖ, ȝȜȫȠȜȚȡ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȞȜȟȠȎ ȜȘȖȟșȎ ȚȜȔȓȠ ȐȎȞȪȖȞȜȐȎȠȪȟȭ Ȑ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȣ ȝȞȓȒȓșȎȣ. ǼȒțȎȘȜ, ȝȞȖ ȝȞȜȥȖȣ ȞȎȐțȩȣ ȡȟșȜȐȖȭȣ, ȠȜțȘȖȗ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘ ȞȎȟȠȓȠ ȏȩȟȠȞȓȓ ȝȞȖ ǯȀǼ, ȥȓȚ Ȑ ȟșȡȥȎȓ ȜȏȩȥțȜȑȜ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ.

2.3. ǽȜșȡȥȓțȖȓ ȠȜțȘȖȣ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȝșȓțȜȘ SiO2 țȎ SiC ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȚȓȠȜȒȜȚ

ǶȕȐȓȟȠțȜ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȚțȜȑȜ ȟȝȜȟȜȏȜȐ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȝșȓțȜȘ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐ [29, 30, 33–46, 49, 51–56]. ǰȠȓȣțȜșȜȑȖȖȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭȝȞȖȏȜȞȜȐțȎȏȎȕȓSiC ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ țȓȟȘȜșȪȘȜ ȞȎȕțȜȐȖȒțȜȟȠȓȗ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȝșȓțȜȘ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ǻȎȖȏȜșȓȓ ȥȎȟȠȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȜȘȖȟșȓțȖȓ SiC, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȝȜșȡȥȓțȖȓ țȖȠȞȖȒțȩȣ ȝșȓțȜȘ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC. ȀȓȞȚȖȥȓȟȘȜȓ ȜȘȖȟșȓțȖȓ SiC ȜȏȩȥțȜ ȝȞȜȐȜȒȖȠȟȭ Ȑ ȟȞȓȒȓ ȟȡȣȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ, ȡȐșȎȔțȓțțȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȗ Ȑ ȝȎȞȎȣ ȐȜȒȩ [55, 57–72].

ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȝȞȜȤȓȟȟ ȜȘȖȟșȓțȖȭ SiC, ȠȎȘ Ȕȓ ȘȎȘ Ȗ ȘȞȓȚțȖȭ, ȜȝȖȟȩȐȎȓȠȟȭ ȚȜȒȓșȪȬ DzȖșȎ-DZȞȜȡȐȎ [46]. ȀȜșȧȖțȎȜȘȖȟșȎȭȐșȭȓȠȟȭȢȡțȘȤȖȓȗȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȖȐȞȓȚȓțȖȜȘȖȟ-

șȓțȖȭ. ǯȩșȜȜȝȞȓȒȓșȓțȜ, ȥȠȜȝȞȖȜȘȖȟșȓțȖȖȐȜȐșȎȔțȜȚȘȖȟșȜȞȜȒȓ ȫțȓȞȑȖȭ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ șȖțȓȗțȜȗ ȟȜȟȠȎȐșȭȬȧȓȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȒșȭȑȞȎțȖ (0001) 6H-SiC ȞȎȐțȎ26 ȘȘȎș¸ȚȜșȪ 1, ȎȝȎȞȎȏȜșȖȥȓȟȘȜȗ – 48 ȘȘȎș¸ȚȜșȪ 1. ǽȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖ Ȑ ȟȡȣȜȚ ȘȖȟșȜȞȜȒȓ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ980–1245°ǿȫțȓȞȑȖȭȎȘȠȖȐȎȤȖȖdzȎ ȝȞȜȤȓȟȟȎȜȘȖȟșȓțȖȭ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 85 Ȗ 47 ȘȘȎș¸ȚȜșȪ 1 ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ [60].

ǼȟțȜȐțȜȗ ȝȞȜȏșȓȚȜȗ ȝȞȖ ȜȘȟȖȒȖȞȜȐȎțȖȖ SiC ȭȐșȭȓȠȟȭ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ ȜȘȖȟșȓ, ȐȣȜȒȭȧȓȚ Ȑ ȟȜȟȠȎȐ ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȚȓȠȎșș–ȜȘȖ- ȟȓș–ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘ. ȋȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȟȐȜȗȟȠȐ ȝșȓțȘȖ. ǽȜ ȫȠȜȗ ȝȞȖȥȖțȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓ ȚȓȣȎțȖȕȚȎ ȜȘȖȟșȓțȖȭ Ȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȐȩȞȎȧȓțțȜȑȜ ȜȘȖȟșȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȖȑȞȎȓȠ ȐȎȔțȡȬ ȞȜșȪ Ȓșȭ ȝȜțȖȚȎțȖȭ Ȗ ȘȜțȠȞȜșȭ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȩȣ țȎ SiC [57–73].

ǰ [74] ȏȩșȜ ȐȩȟȘȎȕȎțȜ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȓ Ȝ ȠȜȚ, ȥȠȜ ȟȡȧȓȟȠȐȡȬȠ ȒȐȎ ȑșȎȐțȩȣ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ

ȐȝșȓțȘȎȣ SiO2 țȎ 4H-SiC, Ȏ ȖȚȓțțȜ – ȡȑșȓȞȜȒȖȟȠȩȓ ȕȎȑȞȭȕțȓțȖȭ

ȐȜȘȖȟțȜȗ ȝșȓțȘȓ ȖșȖ Ȑ ȖțȠȓȞȢȓȗȟȓ Ȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȓ ȒȓȢȓȘȠȩ ȟȜ ȟȠȜ-

ȞȜțȩ ȝșȓțȘȖ SiO2 țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȝșȓțȘȎ/ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ. ǿȜȑșȎȟțȜ [74], ȡȑșȓȞȜȒȖȟȠȩȓ ȕȎȑȞȭȕțȓțȖȭ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȖȟȠȜȥțȖȘȜȚ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ Ȑ țȖȔȎȗȦȓȗ ȥȎȟȠȖ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ SiC, Ȑ ȠȜ ȐȞȓȚȭ ȘȎȘ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȓ ȒȓȢȓȘȠȩ Ȑ ȜȘȟȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȬȠ ȒȓȢȓȘȠțȩȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȓ Ȑ ȐȓȞȣțȓȗ ȥȎȟȠȖ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ SiC [74].

ǽȜ ȒȎțțȩȚ [75–79] ȐȩȟȜȘȎȭ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȒȓȢȓȘȠȜȐ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȎ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ, ȟȜȒȓȞȔȎȧȖȚȟȭ Ȑ ȟȜȓȒȖțȓțȖȭȣ

(ȠȖȝȎ Si4C2O2) ȖșȖ ȡȑșȓȞȜȒțȩȚȖ ȘșȎȟȠȓȞȎȚȖ Ȗ/ȖșȖ ȟȡȏȜȘȟȖȒȎȚȖ (țȎșȖȥȖȓȚțȓȒȜȜȘȖȟșȓțțȜȑȜȘȞȓȚțȖȭ) țȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȞȎȕȒȓșȎ[79].

ǯȩșȜ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ [75], ȥȠȜ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȖȕȏȩȠȜȥțȜȑȜ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȞȎȕȒȓșȎ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ țȖȔȓ 1015 ȟȚ 2. ǻȎ ȜȟțȜȐȓ ȒȎțțȩȣ ȟȝȓȘȠȞȜȟȘȜȝȖȖ ȝȜȠȓȞȪ ȫțȓȞȑȖȖ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ,

ȥȠȜ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ SiO2/4H-SiC (0001) ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȏȜșȪȦȓ ȥȓȚ Ȑ ȜȘȟȖȒȓ ȖșȖ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȥȎȟȠȖ SiC. ǿȡȧȓȟȠȐȜȐȎțȖȓȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟȡȑșȓȞȜȒȜȚȒȓȢȓȘȠȜȐțȎȑȞȎțȖȤȓȞȎȕȒȓ-

șȎ SiO2/SiC ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȬȠȠȎȘȔȓȒȎțțȩȓȫșȓȘȠȞȜțțȜȑȜȝȎȞȎȚȎȑțȖȠțȜȑȜ ȞȓȕȜțȎțȟȎ, Ȏ țȎșȖȥȖȓ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȘșȎȟȠȓȞȜȐ țȎ C-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȏȩșȜ ȕȎȞȓȑȖȟȠȞȖȞȜȐȎțȜ ȝȞȖ ȝȜȚȜȧȖ ȑȖȑȎțȠȟȘȜȑȜ ȘȜȚȏȖțȎȤȖȜțțȜȑȜ ȞȎȟȟȓȭțȖȭ (DZǸǾǿ) [75].

ȁȑșȓȞȜȒ-ȡȑșȓȞȜȒțȩȓ ȟȐȭȕȖ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȚȜȑȡȠ ȒȓȗȟȠȐȜȐȎȠȪȘȎȘșȜȐȡȦȘȖ, ȟȐȭȕȎțțȩȓțȎȒȓȢȓȘȠȎȣȐȖțȠȓȞȢȓȗȟȓSiO2/4H-SiC.

322 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǰ [80] ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ C-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪȬ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȑ ȖțȠȓȞȢȓȗȟȓ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȚ ȜȘȖȟșȓțȖȖ, ȝȞȖ ȫȠȜȚ ȚȓȠȜȒȜȚ DZǸǾǿ ȏȩșȜ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȡȑșȓȞȜȒțȩȣȘșȎȟȠȓȞȜȐțȎC-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖSiC țȎȚțȜȑȜ ȐȩȦȓ, ȥȓȚ țȎ Si-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC, Ȗ ȝȞȖȞȜȒȎ ȫȠȖȣ ȘșȎȟȠȓȞȜȐ ȟȘȜȞȓȓ ȐȟȓȑȜ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȑȞȎȢȖȠȜȝȜȒȜȏțȜȗ [75, 76]. ȁȑșȓȞȜȒțȩȓ ȘșȎȟȠȓȞȩ ȐțȜȟȭȠ ȐȘșȎȒ Ȑ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ ȎȘȠȖȐțȩȣ ȖțȠȓȞȢȓȗȟțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ (Dit) Ȗȕ-ȕȎ Ȗȣ ȑȞȎȢȖȠȜȝȜȒȜȏțȜȗ Ȗ ȝȜȫȠȜȚȡ ȝȜșȡȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȝȞȖȞȜȒȩ [80]. ǾȓȕȘȜȓ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ Dit, ȝȞȜȖȟȣȜȒȭȧȓȓ Ȑ ȕȜțȓ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ EC, ȜȟȜȏȓțțȜ Ȓșȭ ȝȜșȖȠȖȝȎ 4H-SiC, ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ ȠȎȘ țȎȕȩȐȎȓȚȩȚȖșȜȐȡȦȘȎȚȖȐȏșȖȕȖȑȞȎțȖȤȩȞȎȕȒȓșȎ[81]. Ƕȣ ȚȖȘȞȜȟȘȜȝȖȥȓȟȘȜȓ ȝȞȜȖȟȣȜȔȒȓțȖȓ ȝȜȘȎ ȓȧȓ țȓȭȟțȜ. ǮȐȠȜȞȩ [80] ȝȞȓȒȝȜșȎȑȎȬȠ, ȥȠȜȜțȖȜȏȡȟșȜȐșȓțȩțȓȒȜȟȠȎȠȘȜȚȘȖȟșȜȞȜȒȎ. ȋȠȖ ȟȜȟȠȜȭțȖȭ ȒȓȗȟȠȐȡȬȠ ȘȎȘ ȝȞȖȑȞȎțȖȥțȩȓ șȜȐȡȦȘȖ Ȓșȭ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȗ ȝȞȖȐȜȒȭȠ Ș ȠȜȘȎȚȡȠȓȥȘȖȐǺǼǽ-ȝȞȖȏȜȞȎȣ[80]. ǽȞȖȫȠȜȚȐ[81] ȏȩșȜȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ Ȓșȭ ǺǼǽ-ȟȠȞȡȘȠȡȞ Ȟ-ȠȖȝȎ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ Ȑ ȖțȠȓȞȢȓȗȟȓ ȏȜșȪȦȓ, ȥȓȚ Ȓșȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞ n-ȠȖȝȎ.

ǯȜșȓȓȒȓȠȎșȪțȜȓȖȕȡȥȓțȖȓSi ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ(0001) ȝȜȘȎȕȎșȜȜȠȟȡȠȟȠȐȖȓȡȑșȓȞȜȒțȩȣȘșȎȟȠȓȞȜȐ, ȖșȖȡȑșȓȞȜȒȎ, ȟȜȒȓȞȔȎȧȓȑȜȟȭȐȝȜȏȜȥțȩȣ ȝȞȜȒȡȘȠȎȣ, ȜȏțȎȞȡȔȖȐȎȓȚȩȣ ȝȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ȢȜȠȜȫȚȖȟȟȖȖ ȜȏȞȎȕȤȜȐ SiO2/4H-SiC, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣ ex situ ȖșȖ in situ [82]. ǿȜȑșȎȟțȜ [82] ȜȟțȜȐțȜȗ ȝȞȖȥȖțȜȗ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȭ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ SiO2/SiC ȭȐșȭȓȠȟȭ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓ ȟȡȏȜȘȟȖȒȎ Si2O, ȝȜȚȖȚȜ ȝȜșțȜȟȠȪȬ ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȜȑȜ SiO2 ȜȘȟȖȒȎ. ǿ ȒȞȡȑȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ, Ȑ ȜȏȞȎȕȤȎȣ SiO2/SiC, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣ in situ Ȑ O2, ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȘșȎȟȠȓȞȜȐ, ȖșȖ ȡȑșȓȞȜȒȎ, ȟȜȒȓȞȔȎȧȓȑȜȟȭ Ȑ ȝȜȏȜȥțȩȣ ȝȞȜȒȡȘȠȎȣ țȎ C-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ (0001) , Ȏ ȠȎȘȔȓ țȎ țȓȝȜșȭȞțȩȣ (1010) Ȗ (1120) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȭȣ. ǻȎ ȜȟțȜȐȎțȖȖ ȝȞȜȐȓȒȓțțȩȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȏȩșȜ ȟȒȓșȎțȜ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȓ, ȥȠȜ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȜȓ ȝȎȞȤȖȎșȪțȜȓ ȒȎȐșȓțȖȓ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ ȚȜȔȓȠ ȝȞȖȐȜȒȖȠȪ Ș ȡȚȓțȪȦȓțȖȬ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȎȡȑșȓȞȜȒȎ, ȟȜȒȓȞȔȎȧȓȑȜȟȭțȎȑȞȎțȖȤȓȞȎȕȒȓșȎ. ǰ[82] ȜȠȚȓ- ȥȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ Ȓșȭ Ȑȟȓȣ ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȓȚȩȣ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ (0001) , (1010) Ȗ (1120) țȎ țȎȥȎșȪțȜȗ ȟȠȎȒȖȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȜ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ SiO2/SiC ȟȡȏȜȘȟȖȒȎ SiO.

ǿȜȑșȎȟțȜ [83] Ȓșȭ Si ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ 4H-SiC Ȑ țȎȥȎșȪțȜȗ ȟȠȎȒȖȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȜ țȎșȖȥȖȓ ȒȐȡȣ ȟȡȏȜȘȟȖȒȜȐ ȘȞȓȚțȖȭ, ȜȠȐȓȥȎȬȧȖȣ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȟȠȓȝȓțȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ: Si2O Ȗ SiO2. ǽȞȖ ȫȠȜȚ țȎ țȎȥȎșȪțȩȣ ȟȠȎȒȖȭȣ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȐȘșȎȒȜȚ Si2O ȟȡȏȜȘȟȖȒȎ țȓșȪȕȭ

ȝȞȓțȓȏȞȓȥȪ ȝȞȖ ȜȤȓțȘȎȣ ȠȜșȧȖțȩ ȜȘȟȖȒțȜȗ ȝșȓțȘȖ. ȁȐȓșȖȥȓțȖȓ ȐȞȓȚȓțȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ Ȗ ȝȜȐȩȦȓțȖȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȒȜ 800°C ȝȞȖȐȜȒȭȠ Ș ȡȐȓșȖȥȓțȖȬ ȒȜșȖ SiO2. ǽȞȖ ȒșȖȠȓșȪțȜȚ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȝȞȖ 800°C țȖȘȎȘȖȣ ȡȑșȓȞȜȒȜȟȜȒȓȞȔȎȧȖȣ ȝȜȏȜȥțȩȣ ȝȞȜȒȡȘȠȜȐ ȖșȖ ȑȞȎȢȖȠȜȝȜȒȜȏțȜȑȜ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ ȜȘȖȟțȜȗ ȝșȓțȘȓ, țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȖșȖ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ țȓ ȜȏțȎȞȡȔȖȐȎȓȠȟȭ [82].

DzșȭțȓȝȜșȭȞțȩȣȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ (1010) Ȗ (1120) ȝȜȟșȓțȎȥȎșȪțȜȑȜȜȘȖȟșȓțȖȭțȎȑȞȎțȖȤȓȞȎȕȒȓșȎSiO2/SiC țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓ țȓȒȜȜȘȖȟșȓțțȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ (Si2O, SiO), Ȑ ȠȜ ȐȞȓȚȭ ȘȎȘ Ȓșȭ ȝȜșȭȞțȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ (0001) țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȠȜșȪȘȜ ȜȒȖț ȟȡȏȜȘȟȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ

Si2O3 ȖșȖ Si2O5 [76].

Dzșȭ C-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ țȎ țȎȥȎșȪțȩȣ ȟȠȎȒȖȭȣ ȜȘȖȟșȓțȖȭ țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȝȞȓȜȏșȎȒȎțȖȓ ȟȡȏȜȘȟȖȒȎ SiO. ǼȒțȎȘȜ ȝȞȖ ȡȐȓșȖȥȓțȖȖ ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ țȎȥȖțȎȓȠ ȝȞȓȜȏșȎȒȎȠȪ SiO2 ȘȜȚȝȜțȓțȠȎ, ȠȎȘ Ȕȓ ȘȎȘ Ȗ Ȓșȭ Si ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ [82].

ǿȜȑșȎȟțȜ [78, 84] Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ SiC/SiO2 țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ țȎșȖȥȖȓ țȓȟȐȭȕȎțțȜȑȜ ȡȑșȓȞȜȒȎ.

ǰ[85] ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜȝȞȖȜȘȖȟșȓțȖȖ6H-SiC (0001) -(2×2) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭȝȞȖ1000qǿȑȞȎțȖȤȎȞȎȕȒȓșȎȟȜȒȓȞȔȖȠSi2O3 ȖSi2O5 ȎȒȟȜȞȏȤȖȜțțȩȓȟșȜȖ(ȎȒȟșȜȖ). ǽȞȖȝȜȐȩȦȓțȖȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ țȎȥȖțȎȓȠ ȝȞȓȜȏșȎȒȎȠȪ Si2O5.

ǰȖȒȖȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȒȓȢȓȘȠȜȐțȎȑȞȎțȖȤȓSiC/SiO2 ȠȎȘȔȓȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠ ȠȜȑȜ ȘȎȘȎȭ ȖȚȓțțȜ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȜȒȐȓȞȑȎșȎȟȪ ȜȘȖȟșȓțȖȬ [72]. ȀȎȘ, C-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ (ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ (0001) ) ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȜȗ ȟȘȜȞȜȟȠȪȬ ȜȘȖȟșȓțȖȭ, ȥȓȚ Si-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ (ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ (0001)) – ȝȞȖȚȓȞțȜ Ȑ 10 ȞȎȕ ȏȩȟȠȞȓȓ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȜȚ ȒȎȐșȓțȖȖ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ (_100 ȀȜȞȞ). ǼȒțȎȘȜ ȟ ȒȞȡȑȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ C-ȝȜ- ȐȓȞȣțȜȟȠȪȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭȏȜșȓȓȐȩȟȜȘȜȗȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗȡȞȜȐțȓȗ, ȜȏȞȎȕȜȐȎțțȩȣ șȜȐȡȦȘȎȚȖ [72].

ǼȘȖȟșȓțȖȓ SiC ȟȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȖȕȜȠȜȝȜȐ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ 16O2 Ȗ 18O2 ȝȜȕȐȜșȖșȜȝȞȓȒșȜȔȖȠȪȚȓȣȎțȖȕȚȜȘȖȟșȓțȖȭSiC ȐȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȜȠ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȚȜȗȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ[85, 86]. ǽȜȐȓȞȣțȜȟȠȪSiC ȟțȎȥȎșȎȜȘȟȖȒȖȞȜȐȎșȎȟȪȖȕȜȠȜȝȎȚȖ16O2 ȎȕȎȠȓȚȝȜȒȐȓȞȑȎșȎȟȪȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȬ 18O2. ǿ ȡȥȓȠȜȚȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȓȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȜȐ ȎȒȟȜȞȏȤȖȖ/ȒȓȟȜȞȏȤȖȖȘȖȟșȜȞȜȒȎ ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ Ȑ [8] ȏȩșȖ ȐȩȒȓșȓțȩ ȥȓȠȩȞȓ ȝȞȜȤȓȟȟȎ, ȝȞȜȖȟȣȜȒȭȧȖȓ ȝȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ Ȓșȭ ȝȜșȭȞțȜȗ C–ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ: (1) ȎȒȟȜȞȏȤȖȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ țȎ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȗ

324 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.16. ǿȣȓȚȎȠȖȥȓȟȘȜȓ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓ ȐȜȕȚȜȔțȩȣ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȎȒȟȜȞȏȤȖȖ Ȗ ȒȓȟȜȞȏȤȖȖ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ [85]

ȎȒȟșȜȗ; (2) ȎȒȟȜȞȏȤȖȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ ȜȏȞȎȠțȜȗ ȟȐȭȕȪȬ ȎȒȟșȜȭ Si; (3) ȒȓȟȜȞȏȤȖȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȗȕ ȟȖșȖȘȎȠțȜȑȜ ȎȒȟșȜȭ Ȗ (4) ȝȓȞȓȣȜȒ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȗȕ ȟȖșȖȘȎȠțȜȑȜ ȎȒȟșȜȭ Ȑ ȜȏȞȎȠțȡȬ ȟȐȭȕȪ ȎȒȟșȜȭ Si. ȋȠȖ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȟȣȓȚȎȠȖȥțȜȖȕȜȏȞȎȔȓțȩțȎȞȖȟ. 2.16. ǰȝȓȞȐȜȗȟȠȎȒȖȖȜȘȖȟșȓțȖȭ O2 ȚȜșȓȘȡșȎȎȒȟȜȞȏȖȞȡȓȠȟȭțȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪSiC ȖȒȖȟȟȜȤȖȖȞȡȓȠțȎȜȠȒȓșȪțȩȓȎȠȜȚȩ, ȝȜȟșȓȥȓȑȜȜȏȞȎȕȜȐȎȐȦȖȓȟȭȎȠȜȚȩȘȖȟșȜȞȜȒȎȝȓȞȓȑȞȡȝȝȖȞȜȐȩȐȎȬȠȟȭ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ [87]. ǽȜȒȐȖȔțȩȓ ȎȠȜȚȩ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ șȓȑȘȜ ȎȒȟȜȞȏȖȞȡȬȠȟȭ țȎ ȐȓȞȣțȓȗ ȑȞȎțȖȤȓ Si ȎȒȟșȜȭ. ǼȏȞȎȧȓțțȎȭ ȟȐȭȕȪ (back bond) Ȑ Si ȎȒȟșȜȓ ȠȎȘȔȓ șȓȑȘȜ ȜȘȖȟșȭȓȠȟȭ Ȑ țȎȥȎșȪțȜȗ ȟȠȎȒȖȖ, ȘȜȑȒȎȜțțȓȜȘȖȟșȓțȝȜșțȜȟȠȪȬ, ȣȜȠȭȝȜȠȓțȤȖȎșȪțȩȗȏȎȞȪȓȞ ȒșȭȜȘȖȟșȓțȖȭȜȏȞȎȠțȜȗȟȐȭȕȖȭȐșȭȓȠȟȭțȓȚțȜȑȜȏȜșȪȦȖȚ, ȥȓȚȒșȭ ȐțȓȒȞȓțȖȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȑ Si-Si ȟȐȭȕȪ Ȑ Si ȎȒȟșȜȓ. ǼȒțȎȘȜ ȝȜȠȓțȤȖȎșȪțȩȗȏȎȞȪȓȞȒșȭȜȘȖȟșȓțȖȭȜȏȞȎȠțȜȗȟȐȭȕȖȟȠȎțȜȐȖȠȟȭȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ ȏȜșȪȦȖȚ, ȓȟșȖ ȎȠȜȚȩ Si Ȑ ȎȒȟșȜȓ ȝȜȥȠȖ ȜȘȖȟșȓțȩ. ǰ ȟșȡȥȎȓ, ȘȜȑȒȎ ȎȠȜȚȘȖȟșȜȞȜȒȎȎȒȟȜȞȏȖȞȡȓȠȟȭȜȏȞȎȠțȜȗȟȐȭȕȪȬ, ȜȒȖțȖșȖȒȐȎȟȜȟȓȒțȖȣȎȠȜȚȎȘȖȟșȜȞȜȒȎȐȟȖșȖȘȎȠțȜȚȎȒȟșȜȓȡȒȎșȭȬȠȟȭȟȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ Ȗ/ȖșȖȜȒȖțȎȠȜȚȘȖȟșȜȞȜȒȎȐȟȠȞȎȖȐȎȓȠȟȭȐȜȏȞȎȧȓțțȡȬȟȐȭȕȪȕȎ ȟȥȓȠ ȝȓȞȓȒȎȥȖ ȘȖțȓȠȖȥȓȟȘȜȗ ȫțȓȞȑȖȖȜȠȎȒȟȜȞȏȖȞȡȓȚȜȑȜ ȎȠȜȚȎȘȖȟșȜȞȜȒȎ. ȀȎȘȎȭ ȚȜȒȓșȪ ȝȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠ ȟȡȧȓȟȠȐȜȐȎțȖȓ țȎȚțȜȑȜ ȏȜșȪȦȓȗ ȫțȓȞȑȖȖ ȟȐȭȕȖ Ȓșȭ ȚȜȟȠȖȘȜȐȜȑȜ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ Ȑ ȟȐȭȕȖ Si-O-C [87], ȥȓȚ ȫȠȜțȡȔțȜȒșȭȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȟȖșȖȘȎȠțȜȑȜȎȒȟșȜȭ. ǰȜȕȚȜȔȓțȖȒȞȡȑȜȗ ȝȞȜȤȓȟȟ, ȘȜȑȒȎ ȎȠȜȚ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ ȎȒȟȜȞȏȖȞȡȓȠȟȭ țȎ Si ȟșȜȗ, ȟȜȟȓȒțȖȗ ȎȠȜȚ O ȚȜȔȓȠ ȡșȓȠȡȥȖȠȪȟȭ Ȗȕ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȖșȖ ȐȟȠȞȜȖȠȪȟȭ Ȑ ȜȏȞȎȠțȡȬ ȟȐȭȕȪ Si ȎȒȟșȜȭ, ȝȜșȡȥȎȭ ȘȖțȓȠȖȥȓȟȘȡȬ ȫțȓȞȑȖȬ ȎȒȟȜȞȏȖȞȡȓȚȜȑȜ ȎȠȜȚȎ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ. ǰȓȞȜȭȠțȜȟȠȪ ȐȠȜȞȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȒȜșȔțȎ ȏȩȠȪ ȜȥȓțȪ ȚȎșȜȗ, ȝȜȠȜȚȡ ȥȠȜ ȟȎȚȩȗ ȐȓȞȣțȖȗ Si ȎȒȟșȜȗ ȜȘȖȟșȓț ȝȜȥȠȖ ȝȜșțȜȟȠȪȬ. ǼȘȖȟșȓțȖȓSi ȎȒȟșȜȭȝȞȖȐȜȒȖȠȘȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȬSi2O3 ȟȖșȖȘȎȠțȜȑȜ ȟșȜȭ ȡȔȓ ȝȞȖ 500°C, ȝȞȖȥȓȚ ȟȖșȖȘȎȠțȩȗ ȟșȜȗ ȜȟȠȎȓȠȟȭ ȟȠȎȏȖșȪțȩȚ ȐȝșȜȠȪ ȒȜ 1000°C [85, 88].

ǼȏȧȎȭ ȟȡȚȚȎ ȎȠȜȚȜȐ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ, ȎȒȟȜȞȏȖȞȡȓȚȩȣ țȎ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȗ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȗ ȟșȜȗ ȖȚȓȓȠ ȝȜȟȠȜȭțțȜȓ ȕțȎȥȓțȖȓ Ȓșȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȜȠ 500°C ȒȜ 1000°C. ǻȎȝȞȜȠȖȐ, ȜȏȧȎȭ ȟȡȚȚȎ ȎȠȜȚȜȐ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ, ȐȟȠȞȎȖȐȎȬȧȖȣȟȭ Ȑ ȜȏȞȎȧȓțțȡȬ ȟȐȭȕȪ ȎȒȟșȜȭ Si, ȟțȎȥȎșȎ ȏȩȟȠȞȜ ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ ȝȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȝȞȖ 900°C Ȑ 18O2 Ȗ ȕȎȠȓȚ ȝȜȟȠȓȝȓțțȜ ȐȜȕȞȎȟȠȎȓȠ ȝȞȖ ȡȐȓșȖȥȓțȖȖ ȐȞȓȚȓțȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ. ǾȓȕȘȜȓ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȎ ȎȠȜȚȜȐ 16O, țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȎȒȟșȜȗ Si – ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ SiC Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝȞȖ 900°C Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 5 ȚȖțȡȠ ȜȝȖȟȩȐȎȓȠȟȭ ȚȓȣȎțȖȕȚȎȚȖ ȜȘȖȟșȓțȖȭ (2)

Ȗ(4) [85].

ǰ[86] ȐȓȟȪȚȎ ȝȜȒȞȜȏțȜ ȏȩșȖ ȞȎȟȟȚȜȠȞȓțȩ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ Ȓșȭ țȓȝȜșȭȞțȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ 6H–SiC (1120) . ǸȎȘȡȔȓȜȠȚȓȥȎșȜȟȪ, ȖȒȓȎșȪțȎȭ6H–SiC (1120) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ țȓȝȜșȭȞțȎ Ȗ ȟȜȒȓȞȔȖȠ ȎȠȜȚȩ Si Ȗ C Ȑ ȜȒțȜȗ ȎȠȜȚțȜȗ ȝșȜȟȘȜȟȠȖ ȟ ȕȖȑȕȎȑȜȜȏȞȎȕțȩȚȖ ȝȎȞȎșșȓșȪțȩȚȖ ȤȓȝȜȥȘȎȚȖ ȦȓȟȠȖȘȞȎȠțȜȗ ȝȓȞȖȜȒȖȥțȜȟȠȖ.

ǽȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ 6H–SiC (1120) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȜȘȟȖȒ/ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ țȎ ȝȜȒșȜȔȘȓ ȠȎȘ Ȕȓ ȘȎȘ Ȗ Ȑ ȟșȡȥȎȓ ȝȜșȭȞțȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ ȒȜȏȎȐȜȥțȩȗ Si ȟșȜȗ [86].

ǼȘȟȖȒȖȞȜȐȎțȖȓ ȟȝȓȤȖȎșȪțȜ ȜȥȖȧȓțțȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ 6H–SiC (1120) ȝȞȜȐȜȒȖșȜȟȪ ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ, ȝȞȖ 500, 600, 700 Ȗ 800°ǿ [86].

DzșȭȜȏȞȎȕȤȜȐ, ȜȘȖȟșȓțțȩȣȝȞȖȘȜȚțȎȠțȜȗȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ, țȎȏșȬ-

ȒȎȓȠȟȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ țȓȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȟșȜȭ SiO2.

ǻȎ ȜȟțȜȐȎțȖȖ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ ȒȎțțȩȣ Ȑ [86] ȏȩșȎ ȝȞȓȒșȜȔȓțȎ țȎȖȏȜșȓȓ ȐȓȞȜȭȠțȎȭ ȎȠȜȚțȎȭ ȘȜțȢȖȑȡȞȎȤȖȭ 6H–SiC (1120) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȜȘȖȟșȓțțȜȗ ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ, ȞȖȟ. 2.17. ǮȒȟȜȞȏȖȞȡȓȚȩȗ ȎȠȜȚ(ȎȒȎȠȜȚ) ȘȖȟșȜȞȜȒȎ ȞȎȟȝȜșȎȑȎȓȠȟȭ ȐȘȎȥȓȟȠȐȓ ȚȜȟȠȖȘȎȚȓȔȒȡȒȐȡȚȭȡȑșȜȐȩȚȖȎȠȜȚȎȚȖȕȖȑȕȎȑȜȜȏȞȎȕțȜȗSi ȤȓȝȜȥȘȖ, Ȗ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȗ ȎȠȜȚ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ ȐȟȠȞȎȖȐȎȓȠȟȭ Ȑ ȜȏȞȎȠțȡȬ ȟȐȭȕȪ ȜȒțȜȑȜ Ȗȕ ȐȩȦȓȡȝȜȚȭțȡȠȩȣ ȡȑșȜȐȩȣ ȎȒȎȠȜȚȜȐ, ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟȜ ȐȠȜȞȩȚ ȟșȜȓȚ ȎȠȜȚȜȐ Si (ȞȖȟ. 2.17).

ǽȞȖ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȚ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ 500, 600, 700

Ȗ800°C țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȡșȪȠȞȎ-

ȠȜțȘȖȣ SiO2 ȟșȜȓȐ ȟ ȠȜșȧȖțȎȚȖ ȝȜȞȭȒȘȎ 100–120 țȚ [89]. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȎȐȠȜȞȎȚȖ [89] ȜȠȚȓȥȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ țȎȖșȡȥȦȖȓ ȕțȎȥȓțȖȭ ȠȎȘȖȣ ȝȜȘȎȕȎȠȓșȓȗ ȘȎȘ ȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȎȭ ȝȜȟȠȜȭțțȎȭ, ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȝșȓțȘȖ,