Источники / SiCtechnologyPropertiesApplication

130 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣ ȞȓȦȓȠȘȎȣ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ SiC. NH/NC=1:1 (4H); 1:2 (6H); 2:3 (15R). ǿȜȑșȎȟțȜ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȎȚ ȝȜȟșȓȒțȖȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ, ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȡȞȜȐțȓȗ ȎȕȜȠȎ ȟȜȟȠȎȐșȭȬȠ: Ec 0.081, Ec 0.138,

Ec 0.142 ȫǰ(6ǻ) [9]; Ec 0.052 ȖEc 0.092 ȫǰ (4ǻ) [10 11]; Ec 0.03 [12], Ec 0.053 0.056 ȫǰ [13, 14] (3C).

ǰ ȞȎȏȜȠȎȣ [15 17] ȏȩșȖ ȝȞȜȐȓȒȓțȩ ȑȎșȪȐȎțȜȚȎȑțȖȠțȩȓ Ȗȟȟșȓ- ȒȜȐȎțȖȭȑȓȠȓȞȜȟȠȞȡȘȠȡȞ3ǿ-SiC / 6H-SiC ȝȞȖȑȓșȖȓȐȩȣȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȖȜȏțȎȞȡȔȓțȜțȖȕȘȜȓȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȜȏȞȎȕȤȜȐ, ȖȝȜȭȐșȓțȖȓȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜȑȜ ȚȎȑțȓȠȜȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ (ǼǺǿ) Ȑ ȟșȎȏȩȣ ȝȜșȭȣ (_1 T).

ǮțȎșȖȕ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȜȐ ȝȜȘȎȕȎș țȎșȖȥȖȓ ȝȓȞȓȣȜȒȎ ȚȓȠȎșș-ȖȕȜșȭȠȜȞ ȝȞȖ ȕțȎȥȓțȖȖ Nd Na Ȑ ȟșȜȓ 3C-SiC -3¸1017 ȟȚ 3. ǽȞȖNd Na >3¸1017 ȟȚ 3 ȜȏȞȎȕȤȩȒȓȚȜțȟȠȞȖȞȜȐȎșȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȡȬ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȡȬ Ȓșȭ ȑȞȭȕțȩȣ ȚȓȠȎșșȜȐ. ǻȎșȖȥȖȓ ǼǺǿ ȏȩșȜ ȟȐȭȕȎțȜ ȟ țȎșȖȥȖȓȚ ȟșȎȏȜșȜȘȎșȖȕȎȤȖȜțțȩȣ ȝȜȝȞȎȐȜȘ Ș ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ [18].

ǽȜȒȜȏțȩȗ ȝȓȞȓȣȜȒ ȚȓȠȎșș–ȖȕȜșȭȠȜȞ Ȓșȭ 4ǻ-SiC țȎȏșȬȒȎșȟȭ ȝȞȖ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ Nd Na _1019 ȟȚ 3 [19 20], ȏȜșȓȓ ȥȓȚ Ȑ 3 ȞȎȕȎ ȏȜșȪȦȓȗ, ȥȓȚ Ȑ ȖȟȟșȓȒȜȐȎȐȦȖȣȟȭ țȎȚȖ ȜȏȞȎȕȤȎȣ. ȋȠȜ ȟȐȭȕȎțȜ ȟȜ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ ȏȜșȪȦȓȗ ȫțȓȞȑȖȓȗ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȒȜțȜȞțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ ȎȕȜȠȎ Ȑ 4H-SiC, ȝȜ ȟȞȎȐțȓțȖȬ ȟ 3ǿ-SiC.

ǰ[19 20] ȏȩșȜȝȞȜȐȓȒȓțȜȟȞȎȐțȓțȖȓȜȏȞȎȕȤȜȐn-3C-SiC ȟȞȎȕțȩȚ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȚȟȜȐȓȞȦȓțȟȠȐȜȚ(ȟȞȎȕțȜȗȝșȜȠțȜȟȠȪȬȚȓȔȒȐȜȗțȖȘȜȐȩȣ ȑȞȎțȖȤ). ǯȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜȑȜ ȟȜȐȓȞȦȓțȟȠȐȎ(ȞȜȟȠȝșȜȠțȜȟȠȖȒȐȜȗțȖȘȜȐȩȣȑȞȎțȖȤ) ȝȞȖȐȜȒȖșȘ ȡȐȓșȖȥȓțȖȬȝȜȒȐȖȔțȜȟȠȖȖȡȐȓșȖȥȓțȖȬǼǺǿ. ǰȜȕȚȜȔțȜ, ȟȐȭȕȎțȜȟȠȓȚ, ȥȠȜ ȑȞȎțȖȤȩ ȒȐȜȗțȖȘȜȐ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȑȓȠȠȓȞȎȚȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ, ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȖȣ ȞȎȟȟȓȭțȖȓ țȜȟȖȠȓșȓȗ Ȑ ȝșȓțȘȎȣ n-3C-SiC.

ǯȜșȪȦȖțȟȠȐȜȖȟȟșȓȒȜȐȎȠȓșȓȗȝȜșȎȑȎȬȠ, ȥȠȜȎȕȜȠȕȎțȖȚȎȓȠȐ ȞȓȦȓȠȘȓSiC ȚȓȟȠȜȡȑșȓȞȜȒȎ[5, 21]. ǼȒțȎȘȜȟȡȧȓȟȠȐȡȬȠȒȎțțȩȓ, ȥȠȜ, ȝȜ ȘȞȎȗțȓȗ ȚȓȞȓ, Ȑ 3ǿ-SiC, ȜȟȜȏȓțțȜ ȝȞȖ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȣ > 1019 ȟȚ 3, ȎȕȜȠ ȠȎȘȔȓ ȕȎȚȓȧȎȓȠ Ȗ ȘȞȓȚțȖȗ [22]. ǰȜȕȚȜȔțȜ, ȫȠȜ ȝȞȜȠȖȐȜȞȓȥȖȓ ȜȏȨȭȟțȭȓȠȟȭ ȠȓȚ, ȥȠȜ ȝȞȖ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȖ SiC ȎȕȜȠȜȚ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ, ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȚȖ ȒȓȢȓȘȠȎȚȖ SiC ȖșȖ ȢȜțȜȐȩȚȖ ȝȞȖȚȓȟȭȚȖ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȖȚȓȬȠ ȒȞȡȑȜȓ ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȓ Ȑ ȞȓȦȓȠȘȓ, ȥȓȚ ȜȒȖțȜȥțȩȓ ȎȠȜȚȩ ȎȕȜȠȎ. ȀȎȘ Ȑ [23] ȟȜȜȏȧȎșȜȟȪ Ȝȏ ȜȏțȎȞȡȔȓțȖȖ ȝȎȞ Ti-N Ȑ 6H Ȗ 4H-SiC, ȘȜȠȜȞȩȓ ȜȏȞȎȕȜȐȩȐȎșȖ ȒȜțȜȞțȩȗ ȡȞȜȐȓțȪ dzȟ–0.6 ȫǰ.

ǰ ȞȎȏȜȠȓ [24] ȟȜȜȏȧȎșȜȟȪ, ȥȠȜ Ȑ țȎȖȏȜșȓȓ ȥȖȟȠȩȣ ȟșȜȭȣ 4ǻ-SiC ȜȠȟȡȠȟȠȐȜȐȎș ȟȝȓȘȠȞ ȋǽǾ, ȘȜȠȜȞȩȗȜȏȩȥțȜ ȟȐȭȕȩȐȎȓȠȟȭ ȟȡȞȜȐțȭȚȖ ȎȕȜȠȎ. ǽȜ ȚțȓțȖȬ ȎȐȠȜȞȜȐ [25] ȫȠȜ ȠȎȘȔȓ ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ Ȝ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȚ ȐȘșȎȒȓ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȑ ȫșȓȘȠȞȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ ȟșȎȏȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣȟșȜȓȐSiC. DzȞȡȑȜȗȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬȜȏȞȎȕȤȜȐSiC N§ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȟȐȭȕȎțțȜȑȜ ȫȘȟȖȠȜțȎ ȡ țȓȗȠȞȎșȪțȜȑȜ ȒȜțȜȞțȜȑȜ ȡȞȜȐțȭ ȎȕȜȠȎ. ǿȐȭȕȎțțȩȓ ȟ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȓȗ ȒȎțțȜȑȜ ȫȘȟȖȠȜțȎ șȖțȖȖȐȟȝȓȘȠȞȓșȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȖ6ǻ-SiC ȖȚȓȬȠȒșȖțȩȐȜșț(4122 Å, 4142 Å Ȗ 4144 Å) [26, 27]. ǽȜȒȞȜȏțȩȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȋǽǾ ȟȝȓȘȠȞȜȐ ȎȕȜȠȎ Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [28]

8.2.1.2. ǮșȬȚȖțȖȗ

Dzșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ p-ȠȖȝȎ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȜȏȩȥțȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ Al [29 31], ȘȜȠȜȞȩȗ ȜȏȞȎȕȡȓȠ țȎȖȏȜșȓȓ ȚȓșȘȖȓ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȓ ȡȞȜȐțȖ Ȑ țȖȔțȓȗ ȝȜșȜȐȖțȓ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ Ȗ ȜȏșȎȒȎȓȠ țȎȖȏȜșȪȦȓȗ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȪȬ (_1021 ȟȚ 3) [32]. ǰ [30] ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ Al ȜȠ 1018 ȒȜ 1021 ȟȚ 3 ȓȑȜ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ ȜȠ 0.27 ȫǰ ȒȜ 0.1 ȫǰ.

ǯȜșȓȓȝȜȕȒțȖȓȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜșȓȑȖȞȜȐȎțȖȓȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȜȑȜSiC ȎșȬȚȖțȖȓȚȝȞȖȐȜȒȖȠȘȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ, ȝȜȚȓțȪȦȓȗȚȓȞȓ, ȒȐȡȣȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣȡȞȜȐțȓȗ: _EV +0.24 ȫǰȖ_EV +0.1 ȫǰ[33]. DZșȡȏȜ-

ȘȖȗȤȓțȠȞȭȐșȭȓȠȟȭȝȞȓȜȏșȎȒȎȬȧȖȚȝȞȖȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖAl țȖȔȓ, ȥȓȚ 1¸1018 ȟȚ 3, Ȏ ȚȓșȘȖȓ – ȝȞȖ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ Al_1¸1019 ȟȚ 3, Ȗ ȠȜșȪȘȜ

«ȑșȡȏȜȘȖȗ» Al, ȡȥȎȟȠȐȡȓȠ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȖȕșȡȥȎȠȓșȪțȜȗ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ.

ǰ ȞȎȏȜȠȓ [34] ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȡȞȜȐțȓȗ Al (Ev + 0.24 ȫǰ) țȓ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȓȑȜ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȒȜ 5¸1020 ȟȚ 3, ȓȟ-

șȖ ȟȠȓȝȓțȪ ȘȜȚȝȓțȟȎȤȖȖ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ Ș< 0.01. ǰ ȟșȡȥȎȓ Ș> 0.01 ȝȞȜȖȟȣȜȒȖșȜ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȒȜ 0.1 ȫǰ (NAl _5¸1020 ȟȚ 3). ǽȜșȡȥȓțțȩȓ ȒȎțțȩȓ ȎȐȠȜȞȩ ȞȎȏȜȠȩ ȜȏȨȭȟțȭșȖ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȜȐ ȠȓȜȞȖȖ ȝȓȞȘȜșȭȤȖȖ [35]. Ȁ. ȓ. ȕȎ ȟȥȓȠ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭ ȚȓȔȒȡ ȐȟȓȚȖ ȐȖȒȎȚȖ ȝȞȖȚȓȟȖ Ȑ ȘȜȚȝȓțȟȖȞȜȐȎțțȜȚ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȓ ȐȜȕțȖȘȎȓȠ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȗ ȝȜȠȓțȤȖȎș, ȘȜȠȜȞȩȗ ȟțȖȔȎȓȠ ȫțȓȞȑȖȬ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ.

ȋȠȜȜȏȨȭȟțȓțȖȓ, ȜȒțȎȘȜ, țȓȘȜȞȞȓșȖȞȡȓȠȟȜȟșȓȒȡȬȧȖȚȖȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȚȖ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȎȚȖ: (i) Ȑ 6H-SiC (ȠȎȘȔȓ ȘȎȘ Ȗ Ȑ 3C-SiC [36]), ȚȜȔțȜ ȡȐȖȒȓȠȪ șȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȬ ȟȐȭȕȎțțȡȬ ȟ «ȑșȡȏȜȘȖȚ ȎșȬȚȖțȖȓȚ» Ȗ ȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜ ȣȜșșȜȐȟȘȖȓ ȒȎțțȩȓ ȒȎȬȠ ȕțȎȥȓțȖȓ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȏșȖȕȘȖȓ Ș «ȚȓșȘȜȚȡ ȎșȬȚȖțȖȬ» (ȫȠȜ ȜȕțȎȥȎȓȠ, ȥȠȜ

132 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȐȚȎȠȓȞȖȎșȓȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜȝȞȖȟȡȠȟȠȐȡȬȠȒȐȎȤȓțȠȞȎȟȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȫțȓȞȑȖȭȚȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ, Ȏ țȓ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȖȕȚȓțȓțȖȓ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȜȒțȜȑȜ ȤȓțȠȞȎ ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȓȑȜ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ); (ii) Ȑ [36] ȝȞȖ ȖȕȚȓȞȓțȖȖ ȫȢȢȓȘȠȎ ȃȜșșȎ ȏȩșȖ ȝȜșȡȥȓțȩ ȚȓțȪȦȖȓ ȕțȎȥȓțȖȭ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȤȓțȠȞȎ Al, ȥȓȚ Ȑ [37], țȜ ȟȠȓȝȓțȪ ȘȜȚȝȓțȟȎȤȖȖ

Ȑ[36] (_10%) ȏȩșȎ ȚȓțȪȦȓ, ȥȓȚ Ȑ [37] (> 25%); (iii) țȓ ȟȜȜȏȧȎșȜȟȪ Ȝȏ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȒȞȡȑȖȣ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ III ȑȞȡȝȝȩ (Ga, Ɗ) Ȑ SiC, ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ Ȗȣ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ.

ǿțȎȦȓȗȠȜȥȘȖȕȞȓțȖȭ, ȟȘȜȞȓȓȐȟȓȑȜ, ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȒȐȡȣȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣȤȓțȠȞȜȐȐSiC ȭȐșȭȓȠȟȭȣȎȞȎȘȠȓȞțȜȗȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬ ȎșȬȚȖțȖȭ. ǻȓȒȎȐțȜ ȒȐȎ ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟ Al ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ȤȓțȠȞȎ ȏȩșȖ ȜȏțȎȞȡȔȓțȩ Ȑ 4H-SiC [23] Ȗ 3C-SiC [36], ȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜ, ȫȠȎ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȎ Ȓșȭ ȝȜȐȓȒȓțȖȭ ȝȞȖȚȓȟȖ Al ȐȜ Ȑȟȓȣ ȜȟțȜȐțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC. ǺȜȔȓȠ ȏȩȠȪ, ȜȒȖț Ȗȕ ȫȠȖȣ ȤȓțȠȞȜȐ ȟȜȟȠȜȖȠ Ȗȕ ȒȐȡȣ ȎȠȜȚȜȐ Al ȖșȖȘȜȚȝșȓȘȟȎAl ȟȒȞȡȑȜȗȝȞȖȚȓȟȪȬ(ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȚȒȓȢȓȘ-

ȠȜȚ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȞȓȦȓȠȘȖ). ǽȞȖȞȜȒȎ ȒȎțțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ ȠȞȓȏȡȓȠ ȒȎșȪțȓȗȦȖȣȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ. ǺȓȠȜȒȜȚȢȜȠȜȓȚȘȜȟȠȖȐp+-n ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȓȗ ȖȜțȜȐ Al [38], ȏȩșȎ ȠȎȘȔȓ ȜȏțȎȞȡȔȓțȎ

ȝȜșȜȟȎȡȞȜȐțȓȗȐȐȓȞȣțȓȗȝȜșȜȐȖțȓȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗȕȜțȩȐȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȫțȓȞȑȖȗ 0.15 0.5 ȫǰ ȟ ȟȓȥȓțȖȭȚȖ ȕȎȣȐȎȠȎ Tn _10 22 ȟȚ2.

Ǹ țȎȟȠȜȭȧȓȚȡ ȐȞȓȚȓțȖ țȓ ȟȡȧȓȟȠȐȡȓȠ ȥȓȠȘȜ ȜȝȞȓȒȓșȓțțȩȣ ȒȎțțȩȣ Ȝȏ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ Al Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ țȓȫȘȖȐȎșȓțȠțȩȣ ȝȜșȜȔȓțȖȭȣ ȞȓȦȓȠȘȖ SiC, ȣȜȠȭ Ȑ ȞȭȒȓ ȞȎȏȜȠ ȟȜȜȏȧȎșȜȟȪ Ȝ ȞȎȕȒȓșȓțȖȖ ȫțȓȞȑȖȗ [39]. ǰ șȬȏȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȜȏțȎȞȡȔȓțțȎȭ ȞȎȕțȖȤȎ ȫțȓȞȑȖȗ ȖȜțȖȕȎȤȖȖȏȩșȎ_0.03 ȫǰȖ, ȘȎȘȝȞȎȐȖșȜ, ȚȓțȪȦȓȞȎȕȏȞȜȟȎȫțȓȞȑȖȗ, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȎȐȠȜȞȎȚȖ.

ǶȚȝșȎțȠȎȤȖȭ ȖȜțȜȐ ȎșȬȚȖțȖȭ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ Ȓșȭ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȟȖșȪțȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȝȞȜȟșȜȓȘ ȝȞȖ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȖ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș Ȟ-SiC. ǰȜȕȚȜȔțȜ, ȠȎȘȔȓ, ȝȜșȡȥȓțȖȓ Ȟ-n ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȕȎ ȟȥȓȠ ȖȜțțȜȗȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖAl ȐȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓȟșȜȖSiC n-ȠȖȝȎȝȞȜȐȜȒȖ-

ȚȜȟȠȖ [40 41]. Dzșȭ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȞȎȐțȜȚȓȞțȜȑȜ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗȝȞȖȚȓȟȖȐP+ ȫȚȖȠȠȓȞȓ, ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭȚȡșȪȠȖ-ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȭ ȖȜțȜȐ Al ȟ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȫțȓȞȑȖȭȚȖ [42]. ǽȞȓȒȝȞȖțȖȚȎșȖȟȪ, ȣȜȠȭ țȓ ȜȥȓțȪ ȡȟȝȓȦțȩȓ, ȝȜȝȩȠȘȖ ȕȎ ȟȥȓȠ ȟȜȐȚȓȟȠțȜȗ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖ Al Ȗ N

ȐȏȜșȪȦȖȣ ȒȜȕȎȣ, ȝȜșȡȥȖȠȪ ȠȐȓȞȒȩȓ ȞȎȟȠȐȜȞȩ SiC /AlN [ 43].

ǹȓȑȖȞȜȐȎțȖȓ SiC ȎșȬȚȖțȖȓȚ ȏȩșȜ (ȒȜ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȟȐȓȠȜȒȖȜȒȜȐ țȎȜȟțȜȐȓGaN) ȓȒȖțȟȠȐȓțțȩȚ ȚȓȠȜȒȜȚȟȜȕȒȎțȖȭȟȐȓȠȜȒȖȜȒȜȐ ȟȚȎȘȟȖȚȡȚȜȚ ȖȕșȡȥȓțȖȭ Ȑ ȟȖțȓȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȟȝȓȘȠȞȎ. ǰȐȓȒȓțȖȓ ȎșȬȚȖțȖȭ

ȠȎȘȔȓȝȞȖȐȜȒȖȠȘȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬȟȐȭȕȎțțȜȑȜȫȘȟȖȠȜțȎ, țȎșȖȥȖȓȘȜȠȜȞȜȑȜ ȝȞȜȟșȓȔȖȐȎȓȠȟȭ ȐȜ Ȑȟȓȣ ȜȟțȜȐțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC [44].

8.2.1.3. ǯȜȞ

ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȬ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ Ȑ SiC ȏȩșȜ ȝȜȟȐȭȧȓțȜ ȏȜșȪȦȜȓ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȞȎȏȜȠ [45 55]. ǶțȠȓȞȓȟ Ș ȫȠȜȗ ȝȞȖȚȓȟȖ ȜȝȞȓȒȓșȭșȟȭ ȠȓȚ, ȥȠȜ ȏȜȞ ȜȏȞȎȕȡȓȠ Ȑ SiC ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȓ ȡȞȜȐțȖ Ȗ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎț Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ Ȟ-n ȝȓȞȓȣȜȒȜȐ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ ȏȜȞ ȜȏșȎȒȎȓȠ ȐȩȟȜȘȜȗ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȪȬ 1020 ȟȚ 3 Ȗ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȜȒțȜȗ Ȗȕ țȎȖȏȜșȓȓ ȏȩȟȠȞȜ ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ SiC. ǼȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȏȜȞȎȐSiC ȭȐșȭȓȠȟȭțȎșȖȥȖȓȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ (ȏȜșȪȦȎȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ, ȚȎșȩȓ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȓ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȩ ȒȖȢȢȡȕȖȖ) ȖȜȏȨȓȚțȩȣ(țȎȜȏȜȞȜȠ, ȚȓțȪȦȖȓȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȏȜșȪȦȖȓ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȩ ȒȖȢȢȡȕȖȖ) ȜȏșȎȟȠȓȗ [45]. ǽȜȒȜȏțȩȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȏȜȞȎ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȠȜȚȡ, ȥȠȜ Ȑ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȓȑȜ ȒȖȢȢȡȕȖȖ

Ȑn-SiC ȝȜșȡȥȎȬȠȟȭ ȝșȎȐțȩȓ Ȟ-n ȝȓȞȓȣȜȒȩ, ȖȚȓȬȧȖȓ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȝȞȜȠȭȔȓțțȩȓ ȘȜȚȝȓțȟȖȞȜȐȎțțȩȓ ȜȏșȎȟȠȖ. ȋȠȜ ȚȜȔȓȠ ȐȩȕȐȎȠȪ ȝȜȭȐșȓțȖȓ S-ȜȏȞȎȕțȩȣ ȐȜșȪȠȎȚȝȓȞțȩȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȒȖȜȒȜȐ [46]. DzȞȡȑȖȚ țȓȒȜȟȠȎȠȘȜȚ ȏȜȞȎ, ȘȎȘ ȚȓșȘȜȗ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȖ, ȭȐșȭȓȠȟȭ ȓȑȜ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȎȭ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ, ȟȜȑșȎȟțȜ

ȒȎțțȩȣ ȣȜșșȜȐȟȘȖȣ ȖȕȚȓȞȓțȖȗ ȜțȎ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ Ev + 0.35 ȫǰ [47, 48]. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȟȠȓȝȓțȪ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ țȓȕțȎȥȖȠȓșȪțȎ Ȗ, țȓȟȚȜȠȞȭ țȎ ȏȜșȪȦȡȬ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȬ țȓȟȘȜȚȝȓțȟȖȞȜȐȎțțȩȣ ȎȘȤȓȝȠȜȞȜȐ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȖȜțȖȕȜȐȎțțȩȣ ȒȩȞȜȘ ȓȧȓ țȓȕțȎȥȖȠȓșȪțȎ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȎȭ ȖțȔȓȘȤȖȭ ȒȩȞȜȘ Ȗȕ șȓȑȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȏȜȞȜȚ ȫȚȖȠȠȓȞȎ ȚȜȔȓȠ țȎȏșȬȒȎȠȪȟȭ șȖȦȪ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ. ǰȟȮ ȫȠȜ ȝȞȖȐȓșȜ Ș ȠȜȚȡ, ȥȠȜ ȜȟțȜȐțȜȗ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȚȜȗ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȪȬ Ȓșȭ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ SiC ȟșȡȔȖȠ Al. ǼȒțȎȘȜ ȒȖȢȢȡȕȖȭ ȏȜȞȎ țȓ ȝȜȠȓȞȭșȎ ȟȐȜȓȗ ȎȘȠȡȎșȪțȜȟȠȖ Ȓșȭ țȓȘȜȠȜȞȩȣ ȟȝȓȤȖȎșȪțȩȣ ȐȜȝȞȜȟȜȐ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ǼȒțȖȚ Ȗȕ ȠȎȘȖȣ ȝȞȖȚȓțȓțȖȗ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȝȜșȡȥȓțȖȓ ȟȐȓȠȜȒȖȜȒȜȐ ȟ ȚȎȘȟȖȚȡȚȜȚ ȖȕșȡȥȓțȖȭ Ȑ ȔȓșȠȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȟȝȓȘȠȞȎ (6ǻ-SiC). ǯȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȓ ȏȜȞȜȚ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȝȜȭȐșȓțȖȬ șȬȚȖ-

țȓȟȤȓțȤȖȖ ȟ hO= 2.14 ȫǰ [49]. DzȖȢȢȡȕȖȭ ȏȜȞȎ Ȑ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓ n-n+ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȜșȡȥȖȠȪ Ȟ-i-n ȒȖȜȒȩ [50]. ǯȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ Ȑ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȖ ȏȜȞȎ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȡȟȘȜȞȓțȖȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎȕȜȠȎ

Ȑ_60 ȞȎȕ [51]. ǿȜȕȒȎțȖȓ «ȏȜȞțȩȣ ȘȜșȓȤ» țȎ ȝȓȞȖȢȓȞȖȖ ȟȖșȜȐȩȣ SiC ȝȞȖȏȜȞȜȐ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȚȡ ȡȐȓșȖȥȓțȖȬ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ

134 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȝȞȜȏȜȭ [56]. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [52] ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȝȞȖ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȖ ȏȜȞȜȚ Ȑ SiC ȝȜȚȖȚȜ ȚȓșȘȜȑȜ ȏȜȞȎ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ ȏȜșȓȓ ȑșȡȏȜȘȖȗ D-ȤȓțȠȞ (Ev + 0.58 ȫǰ). ǽȜȕȔȓ ȎțȎșȜȑ D-ȤȓțȠȞȎ ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț Ȑ 4ǻ-SiC [54, 55]. ǼȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȝȜȟșȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ Ȑ SiC ȒȐȡȣ ȠȖȝȜȐ ȡȞȜȐțȓȗ țȓ ȭȐșȭȬȧȖȚȖȟȭ ȟ ȞȎȕțȩȚȖ ȕȎȞȭȒȜȐȩȚȖ ȟȜȟȠȜȭțȖȭȚȖ ȜȒțȜȑȜ ȤȓțȠȞȎ, ȜȥȓȐȖȒțȜ ȟȐȭȕȎțȜ ȟȜ ȟșȜȔțȩȚ ȣȎȞȎȘȠȓȞȜȚ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ Ɗ Ȑ SiC. ȀȎȘ Ȑ [57] ȝȞȓȒȝȜșȎȑȎșȜȟȪ, ȥȠȜ ȎȠȜȚȩ ȏȜȞȎ ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȠ Ȑ ȐȖȒȓ ȎȟȟȜȤȖȎȠȜȐ ȟ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȚȖ ȒȓȢȓȘȠȎȚȖ ȞȓȦȓȠȘȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ǽȜȕȒțȓȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ Ȗȕ ȖȚȝșȎțȠȖȞȜȐȎțțȩȣȟșȜȓȐȝȜȒȠȐȓȞȒȖșȜȫȠȡȠȜȥȘȡȕȞȓțȖȭ[53, 58 60]. ǿȜȑșȎȟțȜ [58, 59], B ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȓȠ Ȑ SiC ȝȜ «kick-out» ȚȓȣȎțȖȕȚȡ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬȘȞȓȚțȖȓȐȩȣȚȓȔȒȜȡȕșȖȗ, ȝȜȒȜȏțȜȠȜȚȡ, ȘȎȘȏȜȞȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȓȠȐȘȞȓȚțȖȖ. ȋȠȜ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȓ ȟȜȑșȎȟȡȓȠȟȭ ȟ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȎȚȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ [48] ȜȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȚȓșȘȖȣȤȓțȠȞȜȐȏȜȞȎȖD-ȤȓțȠȞȎ

ȐȜȏȞȎȕȤȎȣ SiC, șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȏȜȞȜȚ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȗ. ǯȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȝȞȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȑ ȜȟțȜȐțȜȚ ȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ D-ȤȓțȠȞȩ, Ȑ ȠȜ ȐȞȓȚȭ ȘȎȘ ȝȞȖ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȖ ȏȜȞȜȚ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȞȜȟȠȎ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ– ȐȜȟțȜȐțȜȚȚȓșȘȖȗȏȜȞ. ǰȤȓșȜȚțȎȚȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȓȠȟȭ ȐȝȜșțȓ ȐȓȞȜȭȠțȩȚ, ȥȠȜ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȎȭ ȐȓȠȐȪ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȎ ȤȓțȠȞȎȚȖ ȚȓșȘȜȑȜ ȏȜȞȎ – Ƞ. ȓ. ȎȠȜȚȎȚȖ ȏȜȞȎ, ȕȎțȖȚȎȬȧȖȚȖ ȡȕșȩ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȞȓȦȓȠȘȖ SiC. ǼȏȨȓȚțȎȭ Ȕȓ ȐȓȠȐȪ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȎ ȘȜȚȝșȓȘȟȎȚȖ ȏȜȞ+ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȗ ȒȓȢȓȘȠ. ȋȠȎ ȠȜȥȘȎ ȕȞȓțȖȭ ȏȩșȎ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȓțȎ ȏȜșȓȓ ȝȜȕȒțȖȚȖ ȞȎȏȜȠȎȚȖ [61, 62].

ǿȜȑșȎȟțȜȝȜȟșȓȒțȖȚȒȎțțȩȚȋǽǾȟȠȞȡȘȠȡȞȓȤȓțȠȞȎȚȓșȘȜȑȜȏȜȞȎ

ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȓȠ ȎȠȜȚ ȏȜȞȎ, ȕȎȚȓȧȎȬȧȖȗ Si (BSi), Ȏ ȑșȡȏȜȘȖȗ ȏȜȞ ȭȐșȭȓȠȟȭȘȜȚȝșȓȘȟȜȚȎȠȜȚȎȏȜȞȎȖȐȎȘȎțȟȖȖȡȑșȓȞȜȒȎ[63 66]. ǼȠȚȓȠȖȚ, ȥȠȜD-ȤȓțȠȞȭȐșȭȓȠȟȭȣȎȞȎȘȠȓȞțȩȚȡȞȜȐțȓȚȒșȭSiC, ȖȏȩșȜȏțȎȞȡȔȓț

ȐȚȎȠȓȞȖȎșȓ, ȐȩȞȎȧȓțțȜȚ ȝȜ ȞȎȕșȖȥțȩȚ ȠȓȣțȜșȜȑȖȭȚ [67, 68].

8.2.1.4.DZȎșșȖȗ

DzȞȡȑȜȗȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗȝȞȖȚȓȟȪȬȐȘȎȞȏȖȒȓȘȞȓȚțȖȭȭȐșȭȓȠȟȭGa, ȜȒțȎȘȜȜȏșȎȒȎȭȚȓțȪȦȓȗȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȪȬȥȓȚAl (_1.2¸1019 ȟȚ 3) [69, 32]

ȖȏȜșȪȦȓȗ ȫțȓȞȑȖȓȗ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ (Ev+0.29 ȫǰ (6ǻ) Ȗ Ev+0.3 ȫǰ (4ǻ)) [69, 70] Ȝț ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ țȓ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȟȭ Ȓșȭ ȟȜȕȒȎțȖȭ Ȟ-n ȟȠȞȡȘȠȡȞ. ǻȓȘȜȠȜȞȩȓȎȐȠȜȞȩțȎȏșȬȒȎșȖȒȐȎȎȘȤȓȝȠȜȞȎȡȞȜȐțȭ(Ev + 0.31

ȖEv + 0.37 ȫǰ), ȟȐȭȕȎțțȩȓ ȟ Ga Ȑ 6H-SiC [71]. Dzșȭ ȝȞȖȚȓȟȖ ȑȎșșȖȭ ȠȎȘȔȓ țȓ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȜȠ ȓȑȜ

ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ. ǰ ȒȞȡȑȖȣ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC Ga ȖȚȓȓȠ ȟȣȜȒțȩȓ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ 3ǿ (Ev + 0.34 ȫǰ) Ȗ 15R (Ev + 0.3 ȫǰ) [6]. ȀȎȘȔȓ ȘȎȘ Ȗ Al, Ga ȭȐșȭȓȠȟȭ ȝȞȖȚȓȟȪȬ ȕȎȚȓȧȓțȖȭ Ȑ ȘȞȓȚțȓȐȜȗ ȝȜȒȞȓȦȓȠȘȓ [9] Ȗ ȜȏȞȎȕȡȓȠ ȟȐȭȕȎțțȩȗ ȫȘȟȖȠȜț [6]

8.2.1.5.ǶțȒȖȭ

ǼȟȐȜȗȟȠȐȎȣȖțȒȖȭȐȘȎȞȏȖȒȓȘȞȓȚțȖȭȖȕȐȓȟȠțȜȟȜȐȟȓȚȚȎșȜ. ǽȜȐȖȒȖȚȜȚȡ, Ȝț ȜȏșȎȒȎȓȠ țȓȐȩȟȜȘȜȗ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȪȬ (~1017 ȟȚ 3) [32]

ȖȝȞȖ ȐȐȓȒȓțȖȖ In Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȞȜȟȠȎ țȓ ȡȒȎȐȎșȜȟȪ ȝȜșȡȥȖȠȪ ȟșȜȓȐ SiC p-ȠȖȝȎ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ.

8.2.2.DzȞȡȑȖȓ ȠȖȝȩ ȝȞȖȚȓȟțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ SiC

8.2.2.1.ǯȓȞȖșșȖȗ

ǽȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ SiC Be§ [72 74] ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜ ȫȠȜ ȎȚȢȜȠȓȞțȎȭ ȝȞȖȚȓȟȪ Ȑ SiC. ǯȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ Ȗȕ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȫȢȢȓȘȠȎ ȃȜșșȎ, ȥȠȜ ȏȓȞȖșșȖȗ ȒȐȡȣȕȎȞȭȒțȩȗ ȎȘȤȓȝȠȜȞ (Ev + 0.42 Ȗ Ev + 0.6 ȫǰ), țȜȝȞȖȐȐȓȒȓțȖȖȐȟȖșȪțȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȗȞ-SiC, ȝȞȜȭȐșȭȓȠȟȓȏȭȘȎȘȒȜțȜȞ. ǰȘȞȖȟȠȎșșȎȣ6H-SiC Be§ n ȖȞȠȖȝȎȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ țȎȏșȬȒȎșȎȟȪ ȢȜȠȜșȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȭ (Ȃǹ) ȟ ȚȎȘȟȖȚȡȚȜȚ Ȑ ȘȞȎȟțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȟȝȓȘȠȞȎ 1.85 2.1 ȫǰ (293 K) [75]. ǿ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓȚ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȑ ȟȝȓȘȠȞȓ Ȃǹ ȜȏȞȎȕȤȜȐ Ȟ-ȠȖȝȎ ȞȎȕȑȜȞȎșȎȟȪ ȝȜșȜȟȎ ȟ ȚȎȘȟȖȚȡȚȜȚ _2.4 ȫǰ. ǰ ȤȓșȜȚ ȏȓȞȖșșȖȗ țȓ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȟȭ ȝȞȖ ȟȜȕȒȎțȖȖ ȝȞȖȏȜȞțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ țȎ ȜȟțȜȐȓ SiC. ǹȖȦȪ Ȑ ȝȜȟșȓȒțȓȓ ȐȞȓȚȭ ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖ ȖȜțȜȐ Be ȚȜȔțȜ ȝȜșȡȥȎȠȪ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓ ȟșȜȖ 6ǻ-SiC Ȟ-ȠȖȝȎ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ Ȗ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎȠȪ țȎȖȣȜȟțȜȐȓȞ-n ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ[76]. ǿȜȑșȎȟțȜțȜȐȩȚȒȎțțȩȚDLTS [77] ȐȐȓȒȓțȖȓ ȏȓȞȖșșȖȭ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȝȜȭȐșȓțȖȬ ȠȞȓȣ ȠȖȝȜȐ ȑșȡȏȜȘȖȣ ȤȓțȠȞȜȐ(Eȟ 0.34; Ec 0.44 ȖEv + 0.66 ȫǰ) Ȑn-6H-SiC ȖȜȒțȜȑȜȤȓțȠȞȎ (Ev +0.41) ȐȞ-6H-SiC [78]. ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓȋǽǾȟȝȓȘȠȞȜȐȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȑȜ ȡȞȜȐțȭ Be ȏȩșȖ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ [79]. ǼȠȚȓȥȎșȜȟȪ ȟȣȜȒȟȠȐȜ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȒȎțțȜȑȜ ȤȓțȠȞȎ Ȗ ȤȓțȠȞȎ ȚȓșȘȜȑȜ ȏȜȞȎ.

8.2.2.2. ǺȎȑțȖȗ

ǽȜȟșȓ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖ ȖȜțȜȐ ȚȎȑțȖȭ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ (DLTS) ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȒȐȡȣ țȜȐȩȣ ȡȞȜȐțȓȗ Ȑn-6ǻ-SiC (Ec 0.49 ȖEc 0.45 ȫǰ) [80]. ǼȠȔȖȑ ȒȜ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ _1600°C ȝȞȖȐȜȒȖș Ș ȡȐȓșȖȥȓțȖȬ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȒȎțțȩȣ ȑșȡȏȜȘȖȣ ȤȓțȠȞȜȐ.

136ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

8.2.2.3. ǿȘȎțȒȖȗ

ǰȞȎȏȜȠȓ [81] ȝȞȖ DLTS -ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȣ SiC Sc§ ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț

ȑșȡȏȜȘȖȗ ȤȓțȠȞ ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ Ev +(0.52...0.55) ȫǰ, Ȓșȭ ȘȜȠȜȞȜȑȜ ȝȜșȜȔȓțȖȓ DLTS-ȝȖȘȎ ȟȖșȪțȜ ȕȎȐȖȟȓșȜ ȜȠ țȎȝȞȭȔȓțțȜȟȠȖ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ dz Ȑ ȟșȜȓ ȜȏȨȓȚțȜȑȜ ȕȎȞȭȒȎ [E=(1 2.6)105 ǰ/ȟȚ]. ǮȐȠȜȞȩ ȞȎȏȜȠȩ [81] ȜȏȨȭȟțȭșȖ ȫȠȜ țȎșȖȥȖȓȚ ȫȢȢȓȘȠȎ ǽȡșȎ-ȂȞȓțȘȓșȭ,

ȎȜȏțȎȞȡȔȓțțȩȗ ȑșȡȏȜȘȖȗ ȤȓțȠȞ ȝȞȖȝȖȟȩȐȎșȖ Sc. ǶȕȐȓȟȠțȜ ȠȎȘȔȓ, ȥȠȜ ȜȏȞȎȕȤȩ SiC Sc§ ȜȏșȎȒȎȬȠ ȢȜȠȜșȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȓȗ ȟ ȚȎȘȟȖȚȡȚȜȚ Ȑ ȔȓșȠȜ-ȕȓșȓțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȟȝȓȘȠȞȎ (ȝȜșȖȠȖȝ 6ǻ) [82] ǽȞȖ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȖ SiC ȟȘȎțȒȖȓȚ ȐȜȕȚȜȔțȜ ȝȜșȡȥȓțȖȓ pin ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȟ ȐȩȟȜȘȜȜȚțȜȗ p-ȜȏșȎȟȠȪȬ [83]. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [84] ȏȩșȖ ȝȞȜȐȓȒȓțȩ ȋǽǾ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐSiC Sc§. ǼȏțȎȞȡȔȓțțȩȗȟȝȓȘȠȞȝȞȖȝȖȟȩȐȎșȟȭȖȕȜșȖȞȜȐȎț-

țȩȚ ȎȠȜȚȎȚ Sc0(S=1/2) țȎ ȚȓȟȠȓ ȡȑșȓȞȜȒȎ, țȜ ȖȚȓȬȧȖȚ ȞȎȕșȖȥțȜȓ ȏșȖȔȎȗȦȓȓ ȜȘȞȡȔȓțȖȓ.

8.2.2.4.ȀȖȠȎț

Ti Ȗ V ȭȐșȭȬȠȟȭ ȜȒțȖȚȖ Ȗȕ țȎȖȏȜșȓȓ ȝȜȒȞȜȏțȜ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțțȩȚȖ ȝȞȖȚȓȟȭȚȖ Ȑ SiC ȟȞȓȒȖ ȝȞȖȚȓȟȓȗ ȒȞȡȑȖȣ ȝȓȞȓȣȜȒțȩȣ ȚȓȠȎșșȜȐ. ǿ ȜȒțȜȗȟȠȜȞȜțȩȫȠȜȜȏȨȭȟțȭȓȠȟȭȠȓȚ, ȥȠȜȒȎțțȩȓȚȓȠȎșșȩȭȐșȭȬȠȟȭ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȩȚȖȢȜțȜȐȩȚȖȝȞȖȚȓȟȭȚȖȐȘȎȞȏȖȒȓȘȞȓȚțȖȭ, ȖȟȒȞȡȑȜȗ ȟȠȜȞȜțȩȖȣȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȚȐșȖȭțȖȓȚțȎȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȓȟȐȜȗȟȠȐȎ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ. DzȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȒȎȐțȜ [85] ȏȩșȜ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȐȐȓȒȓțȖȓ Ti ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȝȜȭȐșȓțȖȬ Ȑ ȟȝȓȘȠȞȓ ȢȜȠȜșȬȚȖțȓȟȤȓț- ȤȖȖ6ǻ-SiC ȡȕȘȖȣșȖțȖȗȐȒȖȎȝȎȕȜțȓȫțȓȞȑȖȗ2.79 2.86 ȫǰ. DzȎțțȩȓ șȖțȖȖ țȎȏșȬȒȎșȖȟȪ Ȑ 6ǻ, 4ǻ, 15R Ȗ 33R-SiC Ȗ Ȗȣ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȜȐȎșȜ ȥȖȟșȡ țȓȫȘȐȖȐȎșȓțȠțȩȣ ȝȜșȜȔȓțȖȗ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȞȓȦȓȠȘȓ ȒȎțțȜȑȜ ȝȜșȖȠȖȝȎ. ǰ ȠȜ Ȕȓ ȐȞȓȚȭ Ȑ ȜȏȞȎȕȤȎȣ SiC Ti§ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ 21R Ȗ 3ǿ ȝȜȒȜȏțȩȗ ȟȝȓȘȠȞ ȜȏțȎȞȡȔȓț țȓ ȏȩș. ǿȐȭȕȪ ȎȠȜȚȜȐ Ti ȟ țȎȏșȬȒȎȓȚȩȚ ȟȝȓȘȠȞȜȚ Ȃǹ ȏȩșȎ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȓțȎ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȎȚȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖ ȒȓȠȓȘȠȖȞȡȓȚȜȑȜ ȚȎȑțȖȠțȜȑȜ ȞȓȕȜțȎțȟȎ (ODMR) Ȑ6ǻ, 4ǻ, 15R Ȗ15R SiC Ti§ [86]. ǼȒțȎȘȜ, ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȫșȓȘȠȞȜțțȜȑȜȟȝȖțȜȐȜȑȜȞȓȕȜțȎțȟȎ[87, 88], ȝȜȘȎȕȎșȖțȎșȖȥȖȓ ȤȓțȠȞȜȐ ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟ Ti ȠȜșȪȘȜ Ȑ 4ǻ-SiC ǮțȎșȜȑȖȥțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȏȩșȖȝȜșȡȥȓțȩ ȝȞȖDLTS ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐSiC ȖȜțțȜ-șȓȑȖ- ȞȜȐȎțțȩȣ ȠȖȠȎțȜȚ [89 92] – Ȑ4H-SiC Ti§ ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ ȒȐȎ DZȄ, ȟȐȭȕȩȐȎȓȚȩȣ ȟ ȠȖȠȎțȜȚ, dzȟ 0.12 Ȗ dzȟ 0.16 ȫǰ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȐȡȬȧȖȣ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȜȚȡ Ȗ ȘȡȏȖȥȓȟȘȜȚȡ ȝȜșȜȔȓțȖȭȚ ȝȞȖȚȓȟȖ Ȑ ȞȓȦȓȠȘȓ.

țȩȣȚȓȠȎșșȜȐȐȞȭȒȓȖȕȜȐȎșȓțȠțȩȣȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȣȟȜȓȒȖțȓțȖȗ țȓȖȕȚȓțțȜ ȝȜ ȜȠțȜȦȓțȖȬ Ș țȓȘȜȠȜȞȜȚȡ ȜȏȧȓȚȡ ȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȜȚȡ ȡȞȜȐțȬ. Ȁ. ȓ., ȒȞȡȑȖȚȖ ȟșȜȐȎȚȖ, ȐȕȎȖȚțȜȓ ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȓ ȡȞȜȐțȓȗ Ti Ȑ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC ȏȡȒȓȠ ȜȟȠȎȐȎȠȪȟȭ ȝȜȟȠȜȭțțȩȚ Ȗ țȓ ȕȎȐȖȟȓȠȪ ȜȠ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȝȜșȖȠȖȝȎ. ǰ ȠȜ Ȕȓ ȐȞȓȚȭ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ țȎȏșȬȒȓțȖȭ ȒȎțțȩȣ ȡȞȜȐțȓȗ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȚȓȠȜȒȖȘȎȚȖ ȏȡȒȓȠ ȜȝȞȓȒȓșȭȠȪȟȭ ȐȓșȖȥȖțȜȗ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ ȒȎțțȜȑȜ ȝȜșȖȠȖȝȎ. ȀȎȘ ȜȟțȜȐțȜȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȓ ȠȖȠȎțȎ, ȜȏțȎȞȡȔȓțțȜȓ Ȑ 4ǻ-SiC ȚȓȠȜȒȜȚ DLTS, țȓ ȏȡȒȓȠ țȎȏșȬȒȎȠȪȟȭ ȫȠȖȚȚȓȠȜȒȜȚȐȒȞȡȑȖȣ(ȏȜșȓȓȡȕȘȜȕȜțțȩȣ) ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC, ȠȎȘ ȘȎȘ ȜțȜ ȜȘȎȕȩȐȎȓȠȟȭ ȡȔȓ ȕȎ ȝȞȓȒȓșȎȚȖ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ (ȟȚ. ȞȖȟ. 8.1). ǼȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȡ ȎȠȜȚȜȐ Ti ȟȐȭȕȎțțȜȑȜ ȫȘȟȖȠȜțȎ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȒȞȡȑȜȑȜ ȡȞȜȐțȭ ȟ ȚȓțȪȦȓȗ (țȎ ȫțȓȞȑȖȬ ȟȐȭȕȖ ȫȘȟȖȠȜțȎ) ȫțȓȞȑȖȓȗ. ǽȜȫȠȜȚȡ Ȃǹ, ȟȐȭȕȎțțȎȭ ȟȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȓȗȒȎțțȜȑȜȫȘȟȖȠȜțȎ, țȎȏșȬȒȎșȎȟȪ ȐȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC c ȚȓțȪȦȓȗȐȓșȖȥȖțȜȗ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ. ǻȎ ȜȟțȜȐȓ ȢȎȘȠȎ ȜȏțȎȞȡȔȓțȖȭ ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟ Ti ȫȘȟȖȠȜțȜȐ Ȑ 4ǻ, 6ǻ Ȗ 15R-SiC Ȗ Ȗȣ ȜȠȟȡȠȟȠȐȖȭ Ȑ ȏȜșȓȓ ȡȕȘȜȕȜțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ 21R Ȗ 3ǿ ȎȐȠȜȞȩ [89] ȜȤȓțȖșȖ ȫțȓȞȑȖȬ ȟȐȭȕȖ %E(Ex) ȒȎțțȜȑȜ ȫȘȟȖȠȜțȎ ȘȎȘ 162 Țȫǰ< %E(Ex)< 252 Țȫǰ.

8.2.2.5. ǰȎțȎȒȖȗ

ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȝȜȐȓȒȓțȖȭ ȐȎțȎȒȖȭ SiC ȟȠȎșȖ ȜȟȜȏȓțțȜ ȎȘȠȡȎșȪțȩȚȖ, ȝȜȟșȓȠȜȑȜȘȎȘȏȩșȜȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜșȓȑȖȞȜȐȎțȖȓV ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȝȜșȡȖȕȜșȖȞȡȬȧȖȣ ȟșȜȓȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ [93, 94]. C ȝȜȚȜȧȪȬ ȐȐȓȒȓțȖȭ ȐȎțȎȒȖȭ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȞȜȟȠȎ ȏȩșȖ ȝȜșȡȥȓțȩ CVD ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓ ȟșȜȖ 6ǻ-SiC c ȡȒȓșȪțȩȚ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖ-

138 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȓȚ 3000 ǼȚ¸cȚ. ǽȜșȡȥȓțțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȜȏȨȭȟțȭșȖȟȪ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ Ȑ SiC V§ ȑșȡȏȜȘȜȑȜ ȒȜțȜȞȎ ȐȏșȖȕȖ ȟȓȞȓȒȖțȩ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ (dzȟ 1.59 ȫǰ), ȘȜȠȜȞȩȗ ȝȓȞȓȘȜȚȝȓțȟȖȞȜȐȎș ȢȜțȜȐȡȬ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȡȬ ȝȞȖȚȓȟȪ (ȏȜȞ). ǿȜȑșȎȟțȜ ȒȎțțȩȚ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȎȐȠȜȞȜȐ, ȐȎțȎȒȖȗ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȎȚȢȜȠȓȞțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȪȬ Ȑ SiC, Ƞ. ȓ. ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȘȎȘȒȜțȜȞțȩȣ, ȠȎȘȖȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ȡȞȜȐțȓȗ [87 97]. ǺȓȠȜȒȜȚ DLTS Ȑ SiC V§ ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț ȓȧȓ ȜȒȖț ȡȞȜȐȓțȪ ȟ ȫțȓȞȑȖȭȚȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ dzȟ (0.65 0.75 ȫǰ) Ȗ dzȟ 0.97 ȫǰ Ȓșȭ 6ǻ Ȗ 4ǻ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ [89, 91, 92, 98]. ǰ[98] ȠȎȘȔȓȐȩȟȘȎȕȩȐȎșȜȟȪ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȓȜ ȟȝȞȎȐȓȒșȖȐȜȟȠȖȝȞȎȐȖșȎHL ȠȎȘȔȓȖȒșȭȝȞȖȚȓȟȖV ȐȘȎȞȏȖȒȓȘȞȓȚțȖȭ. ǿȜȑșȎȟțȜ ȒȎțțȩȚ ȋǽǾ Ȗ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȚ ȫȢȢȓȘȠȎ ȃȜșșȎ DZȁ ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ _1.6 ȫǰ ȜȏȩȥțȜ ȟȐȭȕȩȐȎȓȠȟȭ ȟ ȒȜțȜȞțȩȚ ȡȞȜȐțȓȚ ȐȎțȎȒȖȭ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȚ ȟȜȟȠȜȭțȖȬ V5+/4+. ǰ ȞȭȒȓ ȞȎȏȜȠ DZȁ ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ Ec 1.11 ȫǰ (4H-SiC) ȖEc 0.85 ȫǰ (6H) ȝȞȖȝȖȟȩȐȎșȖ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȚȡ ȡȞȜȐțȬ ȐȎțȎȒȖȭ V4+/3+ [99, 100]. ǰ ȒȞȡȑȖȣ ȞȎȏȜȠȎȣ ȫȠȖ ȡȞȜȐțȖ ȟȐȭȕȩȐȎșȖ ȟ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȐȎȘȎțȟȖȓȗ [101].

8.2.2.6. ȀȎțȠȎș

ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȫȠȜȗ ȝȞȖȚȓȟȖ ȐȎȔțȜ, ȝȜȠȜȚȡ ȥȠȜ ȠȎțȠȎș ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ Ȓșȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȞȜȟȠȜȐȩȣ ȭȥȓȓȘ ȝȞȖ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȜțțȜȗ ȫȝȖȠȎȘȟȖȖ SiC [102]. DLTS ȟȝȓȘȠȞ ȜȏȞȎȕȤȎ 4H-SiC, ȖȚȝșȎțȠȖȞȜȐȎțțȜȑȜƚƨ, ȒȓȚȜțȟȠȞȖȞȡȓȠȜȒȖțȒȜȚȖțȖȞȡȬȧȖȗȝȖȘ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȗșȜȐȡȦȘȓȟȫțȓȞȑȖȓȗEi=Ec 0.67 ȫǰ[103]. ǽȜȟȠȜȭțțȎȭ ȐȞȓȚȓțȖ ȫȚȖȟȟȖȖ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȓșȭ ȒȎțțȜȑȜ DZȁ ȟȖșȪțȜ ȕȎȐȖȟȖȠȜȠțȎȝȞȭȔȓțțȜȟȠȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜȝȜșȭ. ȋȠȜȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ

ȜȒȜțȜȞțȜȚ ȣȎȞȎȘȠȓȞ ȫȠȜȑȜ ȑșȡȏȜȘȜȑȜ ȡȞȜȐțȭ.

8.2.2.7.ȃȞȜȚ

ǼȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȡȞȜȐțȓȗ, ȜȏȞȎȕȡȬȧȖȣȟȭȝȞȖșȓȑȖȞȜȐȎțȖȖSiC ȣȞȜȚȜȚ, ȝȜȘȎ ȓȧȓ țȓ ȟȡȧȓȟȠȐȡȓȠ ȡȟȠȜȭȐȦȓȗȟȭ ȠȜȥȘȖ ȕȞȓțȖȭ. ǰ [80] ȝȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ6ǻ-SiC ȖȜțțȜ-șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȚCr țȎȏșȬȒȎșȜȟȪȒȐȎȡȞȜȐțȭdzȟ 0.38 Ȗdzȟ 0.34 ȫǰ, ȟȖȑțȎșȜȠȘȜȠȜȞȩȣȝȜșțȜȟȠȪȬȖȟȥȓȕȎșȝȜȟșȓ ȜȠȔȖȑȎ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȝȞȖ Ȁ~1600°C. ǰ ȠȜ Ȕȓ ȐȞȓȚȭ Ȑ [91, 92, 98, 104] Ȑ SiC Cr§ ȝȜșȡȥȓțțȩȚ ȎțȎșȜȑȖȥțȩȚ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȚ ȚȓȠȜȒȜȚ, ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ 3 ȡȞȜȐțȭ Ȑ 4ǻ-SiC (dzȟ 0.15, dzȟ 0.18 Ȗ dzȟ 0.74) Ȗ ȜȒȖț ȡȞȜȐȓțȪ Ȑ 6H-SiC (Ec 0.54 ȫǰ). ǽȜșȡȥȓțțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȖțȠȓȞȝȞȓȠȖȞȜȐȎșȖȟȪțȎȜȟțȜȐȓȝȞȎȐȖșȎHL. Ȁ.ȓ. ȡȚȓțȪȦȓțȖȓȦȖȞȖțȩ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗȕȜțȩ(%E_0.22 ȫǰ) ȝȞȖȝȓȞȓȣȜȒȓȜȠ4ǻȘ6ǻ, ȝȞȖȐȜȒȖȠ

Ș ȠȜȚȡ, ȥȠȜ ȒȐȎ ȏȜșȓȓ ȚȓșȘȖȣ ȤȓțȠȞȎ ȜȘȎȕȩȐȎȬȠȟȭ ȕȎ ȝȞȓȒȓșȎȚȖ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ, Ȏ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȏȜșȓȓ ȑșȡȏȜȘȜȑȜ ȡȞȜȐțȭ ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ țȎ ȐȓșȖȥȖțȡ %E. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [105] ȖȕȡȥȎșȖȟȪ ȟȝȓȘȠȞȩ ȖțȢȞȎȘȞȎȟțȜȗ Ȃǹ, ȟȐȭȕȎțțȩȓ ȟ ȝȞȖȚȓȟȪȬ Cr Ȑ 4H Ȗ 6H-SiC.

8.2.2.8.ǺȜșȖȏȒȓț

ǰ[106] Ȑ ȘȜȚȚȓȞȥȓȟȘȖ ȐȩȝȡȟȘȎȓȚȩȣ ȘȜȚȝȎțȖȓȗ CREE ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȭȣ SiC ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț ȤȓțȠȞ, ȟȐȭȕȩȐȎȓȚȩȗ ȟ ȢȜțȜȐȜȗ ȝȞȖȚȓȟȪȬMo. ǯȩșȜȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜƔƶȐ6H-SiC ȕȎțȖȚȎȓȠȐȞȓȦȓȠȘȓ ȚȓȟȠȜȘȞȓȚțȖȭȖȚȜȔȓȠȟȜȟȡȧȓȟȠȐȜȐȎȠȪ ȐȒȐȡȣȕȎȞȭȒȜȐȩȣȟȜȟȠȜȭțȖȭȣ. ǼȒțȜ Ȗȕ ȘȜȠȜȞȩȣ ȜȏȞȎȕȡȓȠ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȗ ȡȞȜȐȓțȪ Ȑ ȚȎȠȓȞȖȎșȓ n-ȠȖȝȎȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȐȏșȖȕȖȟȓȞȓȒȖțȩ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ. ǰȟȐȭȕȖ

ȟȫȠȖȚ ȒȓșȎșȟȭ ȐȩȐȜȒ, ȥȠȜ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ țȎ ȜȟțȜȐȓ Ɣƶ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȚȜȔȓȠ ȝȞȖȐȓȟȠȖ Ș ȒȖȢȢȡȕȖȖ Ɣƶ Ȑ ȜȏȨȓȚ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ, ȘȜȚȝȓțȟȎȤȖȖ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ n-ȠȖȝȎ Ȗ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ ȝȞȖȏȜȞȎ.

8.2.2.9.ǺȎȞȑȎțȓȤ

ǰ[107] țȎȏșȬȒȎșȟȭ ȋǽǾ ȟȝȓȘȠȞ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȟȐȭȕȩȐȎșȟȭ ȟ ȒȐȡȣȕȎȞȭȒțȩȚȒȜțȜȞțȩȚȟȜȟȠȜȭțȖȓȚȝȞȖȚȓȟțȜȑȜȎȠȜȚȎƔn, țȎȣȜȒȭȧȓȑȜȟȭ Ȑ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȜȚ ȝȜșȜȔȓțȖȖ ȞȓȦȓȠȘȖ 6ǻ-SiC. ǯȜșȓȓ ȒȓȠȎșȪțȎȭ ȖțȢȜȞȚȎȤȖȭ Ȝ ȟȐȜȗȟȠȐȎȣ ȝȓȞȓȣȜȒțȩȣ ȚȓȠȎșșȜȐ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ Ȑ ȜȏȕȜȞȓ [108] Ȗ ȟȠȎȠȪȓ [109]. ǺȎȑțȖȠțȩȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ 6ǻ-SiC șȓȑȖȞȜȐȎțțȜȑȜ Mn ȖȕȡȥȎșȖȟȪ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [110].

8.2.2.10.ȄȖțȘ

Dzșȭ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟ ȝȞȖȚȓȟȪȬ Zn DZȁ, Ȑ SiC ȐȐȜȒȖșȟȭ ȞȎȒȖȜȎȘȠȖȐțȩȗȖȕȜȠȜȝ67Ga (ȝȞȓȐȞȎȧȎȬȧȖȗȟȭȐ67Zn, ȝȓȞȖȜȒȝȜșȡȞȎȟȝȎȒȎ 3.25 Ȓțȭ) [111, 112]. ȋȠȎ ȚȓȠȜȒȖȘȎ ȏȩșȎ ȝȜȒȞȜȏțȜ ȜȝȖȟȎțȎ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [113]. ǺȓȠȜȒȜȚ DLTS Ȑ 6H-SiC Zn§ ȏȩș țȎȗȒȓț ȜȒȖț DZȁ, ȟȐȭȕȎțțȩȗ ȟ Zn ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ Ei = Ev + 1.16 ȫǰ. ǿȘȜȞȜȟȠȪ ȫȚȖȟȟȖȖ Ȗȕ ȫȠȜȑȜ ȤȓțȠȞȎ țȓ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ țȎȝȞȭȔȓțțȜȟȠȖ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ, ȥȠȜ ȜȕțȎȥȎȓȠ, ȥȠȜ ȤȓțȠȞ ȖȚȓȓȠ ȒȜțȜȞțȩȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞ.

2.2.11.ǸȎȒȚȖȗ

ǰȟȠȎȠȪȓ [112] ȝȜȒȜȏțȩȓ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȩ ȏȩșȖ ȝȞȜȐȓȒȓțȩ Ȓșȭ ȜȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȤȓțȠȞȎ Cd Ȑ 4H-SiC. ǯȩșȖ ȜȏțȎȞȡȔȓțȩ ȒȐȎ ȟȜȟȠȜȭțȖȭ Cd Ȑ ȝȞȖȚȓȞțȜ ȞȎȐțȩȣ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȣ Ev + 0.9

140 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

Ȗ Ev + 1.19 ȫǰ. Dzșȭ ȜȏȜȖȣ DZȁ ȐșȖȭțȖȓ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ țȎ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȫȚȖȟȟȖȖ ȏȩșȜ ȏȜșȓȓ ȟșȎȏȩȚ, ȥȓȚ ȜȔȖȒȎșȜȟȪ Ȓșȭ (ȒȐȡȣȕȎȞȭȒțȜȑȜ) ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȑȜ ȡȞȜȐțȭ.

8.2.2.12. ȂȜȟȢȜȞ

ǸȎȘ ȫșȓȚȓțȠ 5Ȝȗ ȑȞȡȝȝȩ ȢȜȟȢȜȞ ȒȜșȔȓț ȜȏȞȎȕȜȐȩȐȎȠȪ Ȑ SiC ȒȜțȜȞțȩȓȤȓțȠȞȩ. ǼȒțȎȘȜ, ȝȞȖțȎșȖȥȖȖȚȓșȘȜȑȜȖȖȚȓȬȧȓȑȜȣȜȞȜȦȡȬ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȪ Ȑ SiC ȒȜțȜȞȎ (ȎȕȜȠ) ȖțȠȓȞȓȟ Ș ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȬ ȒȞȡȑȖȣ ȒȜțȜȞțȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ ȏȩș ȜȑȞȎțȖȥȓț. ǿȜȑșȎȟțȜ ȞȎȏȜȠȓ [114] P ȜȏȞȎȕȡȓȠ Ȑ 6ǻ-SiC ȒȐȎ ȒȜțȜȞțȩȣ ȡȞȜȐțȭ – Ȑ 6H-SiC

(dzȟ 0.085 ȫǰ Ȗ dzȟ 0.135 ȫǰ) Ȗ (Ec 0.053 ȫǰ, Ec 0.093 ȫǰ) [115] Ȓșȭ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȣ Ȗ ȘȡȏȖȥȓȟȘȖȣ ȡȕșȜȐ ȞȓȦȓȠȘȖ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ǿ ȝȜȚȜȧȪȬȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖȖȜțȜȐȢȜȟȢȜȞȎȡȒȎșȜȟȪȝȜșȡȥȖȠȪn+ ȟșȜȖ6ǻ-SiC

ȟȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖ ȎȘȠȖȐțȩȣ ȒȜțȜȞȜȐ _3¸1018 ȟȚ 3.

ǰ[115] ȏȩș ȠȎȘȔȓ ȟȒȓșȎț ȐȩȐȜȒ Ȝ ȠȜȚ, ȥȠȜ Ȓșȭ ȝȓȞȓȘȜȚȝȓțȟȎȤȖȖ ȝȜșȡȖȕȜșȖȞȡȬȧȓȗ ȝȜȒșȜȔȘȖ 4H-SiC Ȓșȭ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȘȎțȎșȎ ȝȜșȓȐȜȑȜ ȠȞȎțȕȖȟȠȜȞȎ, ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȭ ȎȕȜȠȎ ȠȎȘȔȓ ȝȞȓȒȝȜȥȠȖȠȓșȪțȓȓ ȠȎȘ ȘȎȘ, Ƙ țȓ ȎȘȠȖȐȖȞȜȐȎț Ȑ ȠȜȗ Ȕȓ ȟȠȓȝȓțȖ, ȘȎȘ ȎȕȜȠ. DzȞȡȑȖȚ ȚȓȠȜȒȜȚ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭSiC ȢȜȟȢȜȞȜȚȭȐșȭȓȠȟȭȭȒȓȞțȜȓțȓȗȠȞȜțțȜȓșȓȑȖȞȜȐȎțȖȓ (ǻȀǹ) [116, 117]. ǻȀǹ ȦȖȞȜȘȜ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȜȟȪ Ȑ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȓ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȟȖșȜȐȩȣ ȝȞȖȏȜȞȜȐ Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȟȐȓȞȣȜȒțȜȞȜȒțȜȗ

ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȒȜțȜȞȜȐ Ȑ n-ȏȎȕȓ. ȋȠȎ ȠȓȣțȜșȜȑȖȭ ȜȟțȜȐȎțȎ țȎ ȕȎȣȐȎȠȓ ȠȓȝșȜȐȩȣ țȓȗȠȞȜțȜȐ 30Si ȝȜȟȞȓȒȟȠȐȜȚ ȞȓȎȘȤȖȖ [30Si (n, H) 31Si] Ȗ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȑȜ B-ȞȎȟȝȎȒȎ Ȗ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȒȜțȜȞȜȐ ȢȜȟȢȜȞȎ (31P).

ǰȟȝȓȘȠȞȎȣȂǹ6H-SiC șȓȑȖȞȜȐȎțțȜȑȜƘ, țȎȏșȬȒȎșȖȟȪțȜȐȩȓșȖțȖȖ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȚȜȔțȜ ȜȠțȓȟȠȖ Ș ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ ȡ țȓȗȠȞȎșȪțȩȣ ȒȜțȜȞȜȐ ȢȜȟȢȜȞȎ ȘȜȚȝșȓȘȟȎ ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȫȘȟȖȠȜțȜȐ [118]. ǰ [119, 120] ȖȕȡȥȎșȖȟȪȟȝȓȘȠȞȩȋǽǾ4H Ȗ6H-SiC ȜȏȞȎȕȤȜȐ, șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ƘȐ ȝȞȜȤȓȟȟȓ CVD ȞȜȟȠȎ.

8.2.2.13.ǸȖȟșȜȞȜȒ

ǽȜȎțȎșȜȑȖȖȟSi, ȚȜȔțȜȏȩșȜȝȞȓȒȝȜșȎȑȎȠȪ, ȥȠȜȐSiC ȏȡȒȓȠȐȩȟȜȘȎȭȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȢȜțȜȐȜȑȜȘȖȟșȜȞȜȒȎ, ȘȜȠȜȞȩȗȚȜȔȓȠȜȘȎȕȩȐȎȠȪ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȓ ȐșȖȭțȖȓ țȎ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȓȚȩȣ ȝȞȖȏȜȞȜȐ. ǼȒțȎȘȜȖȕ-ȕȎțȓȏȜșȪȦȜȑȜȥȖȟșȎȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗȐȩȝȜșțȓțțȩȣțȎ ȫȠȡ ȠȓȚȡ, ȝȜȘȎ ȠȞȡȒțȜ ȜȤȓțȖȠȪ ȝȞȎȐȖșȪțȜȟȠȪ ȫȠȜȑȜ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȭ. ǰ [121] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȜȟȪ ȐșȖȭțȖȓșȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȜȚ țȎȖțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȪ ȑȜșȡȏȜȗ Ȗ ȔȓșȠȜȗ (ȏȜȞțȜȗ) Ȃǹ Ȑ 6ǻ-SiC. ǻȓ ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡ-

ȔȓțȜȘȜȞȞȓșȭȤȖȖȚȓȔȒȡȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗȘȖȟșȜȞȜȒȎȖȖțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȪȬ ȑȜșȡȏȜȗ Ȃǹ, Ȑ ȠȜ Ȕȓ ȐȞȓȚȭ ȏȩș ȟȒȓșȎț ȐȩȐȜȒ, ȥȠȜ, ȘȖȟșȜȞȜȒ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȟȜ-ȎȘȠȖȐȎȠȜȞȜȚ ȔȓșȠȜȗ Ȃǹ. ǰ [122] ȏȩșȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȩ ȜȏȞȎȕȤȩ 4ǻ-SiC ȖȜțțȜ-șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȓȘȖȟșȜȞȜȒȜȚ. ǯȩșȖȜȏțȎȞȡȔȓțȩ ȒȐȎ ȏȜșȓȓ ȚȓșȘȖȣ (dzȟ 0.3 Ȗ dzȟ 0.44 ȫǰ) Ȗ ȠȞȖ ȏȜșȓȓ ȑșȡȏȜȘȖȣ ȤȓțȠȞȎ (dzȟ 0.74; dzȟ 0.9 Ȗ dzȟ 0.95 ȫǰ), ȘȜȠȜȞȩȓ ȎȐȠȜȞȩ ȟȐȭȕȩȐȎșȖ ȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ ȐȘșȬȥȎȬȧȖȣ ȎȠȜȚȩ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ.

8.2.2.14. ǮȞȑȜț

ǶȚȝșȎțȠȎȤȖȭ ȎȞȑȜțȎ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȎ Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȝȜșȡȖȕȜșȖȞȡȬȧȖȣȟșȜȓȐSiC, țȎȝȞȖȚȓȞ, ȒșȭȕȎȦȖȠȩȝȓȞȖȢȓȞȖȖȒȖȜȒȜȐ ȆȜȠȠȘȖ [115, 89]. ǶȚȝșȎțȠȎȤȖȭ Ar ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ Ȑ n-SiC ȝȜșȜȟȩ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȫțȓȞȑȖȗ dzȟ (0.2 0.8) ȫǰ.

2.2.15. ȋȞȏȖȗ

ǶȕȐȓȟȠțȜ, ȥȠȜșȓȑȖȞȜȐȎțȖȓȫȞȏȖȓȚȝȞȖȐȜȒȖȠȘȝȜȭȐșȓțȖȬȐ ȟȝȓȘȠȞȓ Ȃǹ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐ ȡȕȘȜȗ șȖțȖȖ ȟ ȒșȖțȜȗ ȐȜșțȩ _1.54 ȚȘȚ[123]. ǶȟȠȜȥțȖȘȖȕșȡȥȓțȖȭțȎȒȎțțȩȗȜȝȠȖȥȓȟȘȖȗȒȖȎȝȎȕȜțȜȥȓțȪȖțȠȓȞȓȟȓțȟȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȜȗȠȜȥȘȖȕȞȓțȖȭ, Ƞ. Ș. ȜțȟȜȐȝȎȒȎȓȠ ȟȚȖțȖȚȡȚȜȚȝȜȑșȜȧȓțȖȭȘȐȎȞȤȓȐȩȣȜȝȠȖȥȓȟȘȖȣțȖȠȓȗ. ǿȥȖȠȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȒȎțțȎȭ Ȃǹ ȟȐȭȕȎțȎ ȟ ȐțȡȠȞȖȤȓțȠȞȜȐȩȚ ȝȓȞȓȣȜȒȜȚ Ȑ ȎȠȜȚȎȣ Er, ȘȜȠȜȞȩȓȒȜȟȠȎȠȜȥțȜȟșȎȏȜȟȐȭȕȎțȩȟȜȘȞȡȔȎȬȧȓȗȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȜȗ ȚȎȠȞȖȤȓȗ. ǰ[124] ȏȩșȖȖȟȟșȓȒȜȐȎțȩȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȓȜȏȞȎȕȤȩ 4ǻ, 6ǻ, 15R, Ȗ 3ǿ-SiC ȖȜțțȜ-șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȓ ȫȞȏȖȓȚ. ǰ ȐȩȦȓȡȘȎȕȎțțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȟȝȓȘȠȞȎ Ȃǹ ȒȎțțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȏȩșȜ ȕȎȞȓȑȖȟȠȞȖȞȜȐȎțȜ ȝȜȭȐșȓțȖȓ ȡȕȘȜȗ șȖțȖȖ, ȖțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȪ ȘȜȠȜȞȜȗ ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ țȓ ȖȕȚȓțȭșȎȟȪȐȒȖȎȝȎȕȜțȓȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ2 400 K. ǽȞȖ Ȁ> 400 ǸțȎȏșȬȒȎșȜȟȪ ȏȩȟȠȞȜȓ ȑȎȦȓțȖȓ Ȃǹ. ǻȓ ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȩȣ ȜȠșȖȥȖȗȐȟȝȓȘȠȞȓȂǹȜȏȞȎȕȤȜȐȝȜșȖȠȖȝȜȐ4ǻ, 6ǻ, 15R, ȐȠȜȚȥȖȟșȓ

ȖȠȜțȘȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ șȖțȖȗ ȟȐȭȕȎțțȜȗ ȟ țȎșȖȥȖȓȚ țȓȫȘȐȖȐȎșȓțȠțȩȣ ȝȜșȜȔȓțȖȗ Ȑ ȞȓȦȓȠȘȓ SiC. ǸȎȥȓȟȠȐȓțțȜ ȝȜȒȜȏțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȏȩșȖ ȝȜșȡȥȓțȩ ȝȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣ ȟșȜȓȐ SiC ȖȚȝșȎțȠȖȞȜȐȎțțȩȣ Er. ǽȜ-ȐȖȒȖȚȜȚȡ, ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ ȤȓțȠȞȎ Er Ȑ SiC

ȖȓȑȜ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȜȒȜȏțȩ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚ ȫȞȏȖȭ Ȑ ȒȞȡȑȖȣ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖ-

ȘȜȐȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȎȣ. ǻȜȐȩȓ DLTS ȖȕȚȓȞȓțȖȭ 6H-SiC, șȓȑȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȟȠȎȏȖșȪțȩȚ ȖȕȜȠȜȝȜȚ 167Er, ȜȏțȎȞȡȔȖșȖ ȒȜțȜȞțȩȗ ȡȞȜȐȓțȪ

Ei = EV + 0.75 ȫǰ [125].

142 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǽȎȞȎȚȓȠȞȩțȎȖȏȜșȓȓȖȕȡȥȓțțȩȣȒșȭSiC ȝȞȖȚȓȟȓȗȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ Ȑ ȠȎȏșȖȤȓ 1. ǸȎȘ ȐȖȒțȜ Ȗȕ ȠȎȏșȖȤȩ țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȝȜȒȜȏȖȓ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ Ȗ ȟȐȜȗȟȠȐ ȤȓțȠȞȜȐ, ȜȏȞȎȕȡȬȧȖȣȟȭ Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC, ȝȞȖ Ȗȣ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȖ ȜȒțȜȗ Ȗ ȠȜȗ Ȕȓ ȝȞȖȚȓȟȪȬ, ȓȟșȖ ȒȎțțȩȓ DZȄ ȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ Ȑ țȖȔțȓȗ ȝȜșȜȐȖțȓ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ. dzȟșȖ ȒȎțțȎȭ ȝȞȖȚȓȟȪ ȜȏȞȎȕȡȓȠ ȤȓțȠȞȩ Ȑ ȐȓȞȣțȓȗ ȝȜșȜȐȖțȓ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ, ȠȜ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ (Ȗ ȒȎȔȓ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ) ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ ȚȜȔȓȠ ȜȠșȖȥȎȠȪȟȭ. dzȧȓ ȏȜșȓȓ ȭȞȘȜ ȫȠȜ ȟȐȜȗȟȠȐȜ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȜȭȐșȭȓȠȟȭ Ȓșȭ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣ Ȗ ȞȎȒȖȎȤȖȜțțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȑ SiC [126 128]. ǽȜȫȠȜȚȡ, ȝȞȖ ȜȝȖȟȎțȖȖ ȟȐȜȗȟȠȐ ȝȜȟșȓȒțȖȣ, țȎȚ ȝȜȘȎȕȎșȜȟȪ țȎȖȏȜșȓȓ ȤȓșȓȟȜȜȏȞȎȕțȜ ȝȞȖȚȓțȖȠȪ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțțȩȗ Ȑ ȝ. ȝ. 8.2 ȝȜȞȭȒȜȘ ȖȕșȜȔȓțȖȭ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ.

ȀȎȏșȖȤȎ 8.1. ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ Ȗ ȟȐȜȗȟȠȐȎ țȓȘȜȠȜȞȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ 6ǻ Ȗ 4ǻ-SiC

ȝȞȜȒȜșȔȓțȖȓ ȠȎȏșȖȤȩ 8.1.

144 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȝȞȜȒȜșȔȓțȖȓ ȠȎȏșȖȤȩ 8.1.

) ȖȕșȡȥȎȠȓșȪțȩȗ ȝȓȞȓȣȜȒ ȕȜțȎ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ – ȑșȡȏȜȘȖȗ ȎȘȤȓȝȠȜȞ) ȒȜțȜȞțȜ-ȎȘȤȓȝȠȜȞțȎȭ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȭ

8.2.3 ǿȜȏȟȠȐȓțțȩȓ ȒȓȢȓȘȠȩ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ

8.2.3.1.ȄȓțȠȞȩ Ȑ țȖȔțȓȗ ȝȜșȜȐȖțȓ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ

L-ȤȓțȠȞ. ǽȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ 6ǻ-SiC Ȟ-ȝ ȟȠȞȡȘȠȡȞ, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȖȜțțȜȗȖȚȝșȎțȠȎȤȖȓȗAl (ǶǹȟȠȞȡȘȠȡȞȩ) ȏȩșȖȜȏțȎȞȡȔȓțȩDZȄȟȫțȓȞȑȖȓȗ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ dzv+0.24 ȫǰ Ȗ TȞ_10 15 ȟȚ2 (L-ȤȓțȠȞ) [52]. L-ȤȓțȠȞ ȏȩșȠȎȘȔȓȜȏțȎȞȡȔȓțȐȞ-n ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ, ȝȜșȡȥȓțțȩȣȟȡȏșȖȚȎȤȖȜțțȜȗ ȫȝȖȠȎȘȟȖȓȗ (ǿȋ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ) Ȗ țȓȘȜȠȜȞȩȣ Ȟ-n ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣ ȏȓȟȘȜțȠȓȗțȓȞțȜȗ ȔȖȒȘȜȟȠțȜȗ ȫȝȖȠȎȘȟȖȓȗ (ǯǴȋ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ). ǰ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȜțțȩȣȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣȓȑȜȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȐȜȕȞȎȟȠȎșȎȐȏșȖȕȖ ȚȓȠȎșșȡȞȑȖȥȓȟȘȜȗ ȑȞȎțȖȤȩ Ȟ-n ȝȓȞȓȣȜȒȎ, Ȑ ȜȏȞȎȕȤȎȣ ȒȞȡȑȖȣ ȠȖȝȜȐ ȕȎȚȓȠțȩȗ ȝȞȜȢȖșȪ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ L-ȤȓțȠȜȐ ȜȠȟȡȠȟȠȐȜȐȎș.

ǵțȎȥȓțȖȓȫțȓȞȑȖȖȖȜțȖȕȎȤȖȖL-ȤȓțȠȞȎȏȩșȜȏșȖȕȘȜȘȝȜșȡȥȓț- țȩȚ ȒȞȡȑȖȚȖ ȚȓȠȜȒȎȚȖ, ȒȎțțȩȚȖ Ȓșȭ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȝȞȖȚȓȟțȜȑȜȡȞȜȐțȭAl [30]. ǼȒțȎȘȜ, ȓȟșȖȐȟșȡȥȎȓǶǹȞ-n ȟȠȞȡȘȠȡȞțȎșȖȥȖȓ ȎȠȜȚȜȐ Al Ȑ ȏȎȕȜȐȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ Ȗ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓ Ȗȣ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȐȒȎșȖ ȜȠȞ-ȜȏșȎȟȠȖȜȏȨȭȟțȖȚȜ, ȠȜȒșȭȞȓȕȘȖȣǯǴȋȖǿȋȟȠȞȡȘȠȡȞțȎșȖȥȖȓ Al Ȑ n-ȏȎȕȓ Ȑ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȣ _1016 ȟȚ 3 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȓȠȟȭ ȚȎșȜȐȓȞȜȭȠțȩȚ. Dzșȭ ȐȩȭȟțȓțȖȭ ȐȕȎȖȚȜȟȐȭȕȖ ȜȏțȎȞȡȔȓțțȜȑȜ L-ȤȓțȠȞȎ ȟ ȝȞȖȚȓȟțȩȚȖȎȠȜȚȎȚȖAl ȏȩșȜȝȞȜȐȓȒȓțȜȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓǯǴȋȖ ǿȋ

Ȟ-n ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȟ n-ȏȎȕȜȗ, șȓȑȖȞȜȐȎțțȜȗ ȎșȬȚȖțȖȓȚ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȞȜȟȠȎ SiC Al§ [129]. ǰ [130 131] țȎ ȜȟțȜȐȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȒȎțțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȏȩș ȟȒȓșȎț ȐȩȐȜȒ, ȥȠȜ L-ȤȓțȠȞ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȒȓȢȓȘȠțȩȚ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȚ, țȓ ȐȘșȬȥȎȬȧȖȚ țȓȝȜȟȞȓȒȟȠȐȓțțȜ ȎȠȜȚ ƈl Ȗ ȐȜȕțȖȘȎȬȧȖȚ ȘȎȘ ȝȜȟșȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȗ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖ Al, ȠȎȘ Ȗ ȐȟșȓȒȟȠȐȖȓ ȒȞȡȑȖȣ ȝȞȖȥȖț. ǽȜȕȔȓ ȎțȎșȜȑȖ L-ȤȓțȠȞȎ ȏȩșȖ ȜȏțȎȞȡȔȓțȩ Ȑ ȜȏȞȎȕȤȎȣ 4ǻ-SiC ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȓȗ [132] Ȗ 4ǻ Ȗ 6ǻ-SiC , ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚ

CVD [29, 133].

i-ȤȓțȠȞ. ǽȜȚȖȚȜL-ȤȓțȠȞȜȐțȎDLTS ȟȝȓȘȠȞȎȣ6ǻ-SiC Ƕǹ ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț ȑșȡȏȜȘȖȗ ȡȞȜȐȓțȪ Ȑ țȖȔțȓȗ ȝȜșȜȐȖțȓ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ – i-ȤȓțȠȞ. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȚȓȠȜȒȖȘ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȘȎȕȎșȜ, ȥȠȜ DLTS ȝȖȘ i-ȤȓțȠȞȎ ȖȚȓȓȠ ȡȦȖȞȓțțȡȬ ȢȜȞȚȡ Ȗ țȓ ȜȝȖȟȩȐȎȓȠȟȭ ȘșȎȟȟȖȥȓȟȘȖȚ ȡȞȎȐțȓțȖȓȚ DLTS ȟȝȓȘȠȞȎ [52]. ǻȎȏșȬȒȎȐȦȓȓȟȭ ȡȦȖȞȓțȖȓ DLTS ȟȝȓȘȠȞȜȐ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ țȎșȜȔȓțȖȓȚ ȓȚȘȜȟȠțȩȣ ȟȖȑțȎșȜȐ ȜȠ ȒȐȡȣ (ȖșȖ ȏȜșȓȓ) DZȄ ȟ ȫțȓȞȑȖȭȚȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ dz1 Ȗ dz2. ǼȝȞȓȒȓșȓțțȎȭ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ i-ȤȓțȠȞȎ țȎȣȜȒȖșȎȟȪ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȕțȎȥȓțȖȗ dzv + (0.52 0.58) ȫǰ. ǻȎ ȜȟțȜȐȓ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȝșȓțȜȘ 4ǻ-SiC ȏȩșȖ ȝȜșȡȥȓțȩ ȎțȎșȜȑȖȥțȩȓ Ƕǹ – ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ. Ƕȣ DLTS ȟȝȓȘȠȞ ȏȩș ȝȜȒȜȏȓț ȟȝȓȘȠȞȎȚ ȜȏȞȎȕȤȜȐ Ƕǹ – 6ǻ-SiC Ȗ Ȑ țȖȣ ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț ȎțȎșȜȑ i-ȤȓțȠȞȎ ȟ dzv + 0.53 ȫǰ [134, 135]. ǯșȖȕȜȟȠȪ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ i-ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ 6ǻ Ȗ 4ǻ ȡȘȎȕȩȐȎȓȠ țȎ ȟȣȜȒțȡȬ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ ȒȎțțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ Ȓșȭ ȒȎțțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ. ǰ Ƕǹ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ țȎ ȜȟțȜȐȓ 6ǻ Ȗ 4ǻ-SiC ȏȩșȜ ȖȕȚȓȞȓțȜ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ i-ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ ȏȎȕȜȐȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȒȖȜȒȎ [133]. ǽȞȖ ȫȘȟȠȞȎȝȜșȭȤȖȖ ȝȞȜȢȖșȭ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ i-ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ țȎ ȜȟțȜȐȓ 4ǻ-SiC țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ ȣȜȞȜȦȓȓ ȟȜȐȝȎȒȓțȖȓ ȟ țȎȥȎșȜȚ ȝȞȜȢȖșȭ

ȐȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ țȎ ȜȟțȜȐȓ 6ǻ-SiC, ȥȠȜ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȖȠȪ, ȥȠȜ ȣȎȞȎȘȠȓȞ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ i-ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ țȎ ȜȟțȜȐȓ 4ǻ-SiC Ȗ 6ǻ-SiC ȟȜȐȝȎȒȓȠ. ǶȕȟȜȝȜȟȠȎȐșȓțȖȭȝȞȜȢȖșȭȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭi-Ȥȓț-

ȠȞȜȐȖȝȞȜȢȖșȭNd Na, ȝȜșȡȥȓțțȜȑȜȖȕǿ U ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ, ȚȜȔțȜ ȏȩșȜ ȕȎȘșȬȥȖȠȪ, ȥȠȜ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȘȜȚȝȓțȟȖȞȡȬȧȖȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ

ȐȏȎȕȓ ȟȜȐȝȎȒȎȬȠ ȟ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓȚ i-ȤȓțȠȞȜȐ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȘȜȚȝȓțȟȎȤȖȭ ȏȎȕȜȐȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ Ȑ Ƕǹ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȎ ȝȜȐȩ- ȦȓțțȜȗȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗȑșȡȏȜȘȖȣȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣȡȞȜȐțȓȗ(i-ȤȓțȠȞȜȐ) ȐȏșȖȕȖ ȚȓȠȎșșȡȞȑȖȥȓȟȘȜȗ ȑȞȎțȖȤȩ Ȟ-n ȝȓȞȓȣȜȒȎ. ǮȘȤȓȝȠȜȞțȡȬ ȝȞȖȞȜȒȡ i-ȤȓțȠȞȎ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȓȠ Ȗ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓ ȟȓȥȓțȖȗ ȕȎȣȐȎȠȎ

țȜȟȖȠȓșȓȗ (Tp Tn) Ȓșȭ ȫȠȜȑȜ DZȄ. ǰ [59] ȏȩșȜ ȠȎȘȔȓ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜȖȚȝșȎțȠȎȤȖȭAl ȐțȎȖȏȜșȓȓȥȖȟȠȩȓȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓȟșȜȖ4ǻ-SiC

146 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȝȞȖȐȜȒȖșȎȘ ȝȜȭȐșȓțȖȬS-ȜȏȞȎȕțȜȗǰǮȃ, ȘȜȠȜȞȎȭȟȐȭȕȩȐȎșȎȟȪȟȐȩȟȜȘȜȗȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ i-ȤȓțȠȞȜȐ. ǰ[136, 137] ȏȩșȟȒȓșȎț ȐȩȐȜȒȥȠȜ, ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȘȎȘȐȘșȬȥȓțȖȗ3ǿ-SiC ȐȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣȟșȜȭȣ6ǻ-SiC, ȠȎȘ Ȗ ȤȓțȠȞȜȐ ȎȘȠȖȐȎȠȜȞȜȐ Dzȋǹ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȝȜȒ ȐșȖȭțȖȓȚ ȜȒțȖȣ Ȗ Ƞȓȣ Ȕȓ ȚȓȣȎțȖȕȚȜȐ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȒȜșȔțȩ ȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȠȪȟȭ ȞȓșȎȘȟȎȤȖȓȗ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ Ȑ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȚ ȟșȜȓ. Ȁ. ȓ. ȝȜȚȖȚȜ ȝȓȞȓȟȠȞȜȗȘȖ ȞȓȦȓȠȘȖ 6ǻ-SiC ȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ ȐȘșȬȥȓțȖȗ ȘȡȏȖȥȓȟȘȜȗ ȢȎȕȩ, ȐȜȕȚȜȔțȎȠȎȘȔȓȞȓșȎȘȟȎȤȖȭțȎȝȞȭȔȓțȖȗȕȎȟȥȓȠȟșȖȭțȖȭȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐȐ ȏȜșȓȓȡȟȠȜȗȥȖȐȩȓȖȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȐȩȑȜȒțȩȓȘȜȚȝșȓȘȟȩ, ȭȐșȭȬȧȖȓȟȭ ȎȘȠȖȐȎȠȜȞȎȚȖ Dzȋǹ. ǽȜȟȘȜșȪȘȡ ȎȘȠȖȐȎȠȜȞȜȚ Dzȋǹ ȭȐșȭȓȠȟȭ i-ȤȓțȠȞ ȫȠȜ ȒȎȓȠ ȜȟțȜȐȎțȖȓ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȖȠȪ, ȥȠȜ Ȝț ȭȐșȭȓȠȟȭ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȚ, ȟȜȟȠȜȭȧȖȚȑșȎȐțȩȚȜȏȞȎȕȜȚȖȕȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣȒȓȢȓȘȠȜȐ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȞȓȦȓȠȘȖ SiC, ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȘȜȠȜȞȩȣ ȐȜȕȞȎȟȠȎȓȠ ȝȜȟșȓ ȜȏșȡȥȓțȖȭ ȖșȖ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖ. ȋȠȜ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȓ ȣȜȞȜȦȜ ȟȜȑșȎȟȡȓȠȟȭ ȟ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȎȚȖ ȞȎȏȜȠȩ [57], ȑȒȓ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȜȐ ȝȜ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖ Dzȋǹ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ SiC ȖȚȓȬȧȖȣ ȞȎȕșȖȥțȡȬȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȬȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȣȒȓȢȓȘȠȜȐ, ȏȩș ȟȒȓșȎțȐȩȐȜȒȜȠȜȚ, ȥȠȜȐȟȜȟȠȎȐȤȓțȠȞȎ-ȎȘȠȖȐȎȠȜȞȎșȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȖ ȐȣȜȒȖȠ ȡȑșȓȞȜȒțȎȭ ȐȎȘȎțȟȖȭ.

D-ȤȓțȠȞ. ȃȜȠȭ D-ȤȓțȠȞ țȓ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȥȖȟȠȜ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȚ ȒȓȢȓȘȠȜȚ (Ȑ ȓȑȜ ȟȜȟȠȎȐ ȝȜ-ȐȖȒȖȚȜȚȡ ȐȣȜȒȖȠ ȎȠȜȚ ȏȜȞȎ) Ȝț ȭȐșȭȓȠȟȭ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȩȚȢȜțȜȐȩȚȤȓțȠȞȜȚȐ6ǻȖ4ǻ-SiC ȐȩȞȎȧȓțțȩȚȝȜ ȞȎȕșȖȥțȩȚ ȠȓȣțȜșȜȑȖȭȚ [52 54, 57 60, 68]. ǰȝȓȞȐȩȓ ȒȎțțȩȗ ȤȓțȠȞ ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț ȝȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ DLTS ȟȝȓȘȠȞȜȐ Ȑ SiC B§ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ, Ȏ ȠȎȘȔȓ țȎȞȭȒȡ ȟ i-ȤȓțȠȞȎȚȖ ȝȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ǿȋ ȜȏȞȎȕȤȜȐ [52, 60]. ǯșȖȕȜȟȠȪ ȕțȎȥȓțȖȗ dzT Ȗ Tp Ȓșȭ i- Ȗ D-ȤȓțȠȞȜȐ ȝȞȖȐȜȒȖșȎ Ș țȎșȜȔȓțȖȬ Ȗȣ DLTS ȝȖȘȜȐ Ȑ ǿȋ Ȗ Ƕǹ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȚȎȭ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ DZȄ (dzȟȞ) Ȑ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ ȒȎțțȩȣ ȠȖȝȜȐ ȘȜșȓȏȎșȎȟȪȐȝȞȓȒȓșȎȣ0.52<dzi < 0.58 ȫǰ. ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ i- Ȗ D-ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ țȎȝȞȭȔȓțțȜȟȠȖ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȝȜșȓȗ 1 7¸105 ǰ/ȟȚ, țȓ ȜȏțȎȞȡȔȖșȜ ȕȎȚȓȠțȜȗ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȫțȓȞȑȖȗ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȒȎțțȩȣ DZȁ ȜȠ țȎȝȞȭȔȓțțȜȟȠȖ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ [138].

ȃȜȠȭ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ D-ȤȓțȠȞȎ ȏȜșȓȓ ȥȓȚ țȎ 10% ȏȜșȪȦȓ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ i-ȤȓțȠȞȎ, ȟȓȥȓțȖȭ ȕȎȣȐȎȠȎ ȒȩȞȜȘ țȎ țȖȣ ȖȚȓȬȠ ȜȏȞȎȠțȩȓȟȜȜȠțȜȦȓțȖȭ, ȐȟșȓȒȟȠȐȖȓȥȓȑȜȝȜȟȠȜȭțțȩȓȐȞȓȚȓțȖȝȓȞȓȕȎȞȭȒȘȖȒșȭȫȠȖȣȤȓțȠȞȜȐȐȓȟȪȚȎȏșȖȕȘȖȝȞȖȀ~300 K. ǽȞȖȫȠȜȚȏȜșȓȓ ȑșȡȏȜȘȖȗ D-ȤȓțȠȞ ȝȓȞȓȕȎȞȭȔȎȓȠȟȭ ȝȞȖ ȏȜșȓȓ țȖȕȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ, ȝȜȫȠȜȚȡ ȟȡȚȚȎȞțȩȗ DLTS-ȝȖȘ ȐȩȑșȭȒȖȠ ȘȎȘ ȝȖȘ ȜȠ ȜȒȖțȜȥțȜȑȜ

ǾȖȟ. 8.2. ǿȝȓȘȠȞȩ DLTS (a) Ȗ i-DLTS (ȏ) ǿȋ p-n – ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȟ ȏȜșȪȦȖȚ (1) Ȗ ȚȎșȩȚ (2) ȜȠțȜȦȓțȖȓȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȗ i- Ȗ D- ȤȓțȠȞȜȐ. ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ ȟȝȓȘȠȞȜȐ:

t1 = 10, t2 = 30 Țȟ (a) Ȗ t1 = 0.1 Ȗ t2 = 5 Țȟ (ȏ) [138]

ȤȓțȠȞȎ (ȞȖȟ. 8.2). Dzșȭ ȞȎȕȒȓșȓțȖȭ ȟȖȑțȎșȎ ȜȠ ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȓȚȩȣ DZȁ ȏȩș ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎț ȚȓȠȜȒ i-DLTS [139]. DzȎțțȩȗ ȚȓȠȜȒ ȜȏșȎȒȎȓȠ ȏȜșȪȦȜȗ ȞȎȕȞȓȦȎȬȧȓȗ ȟȝȜȟȜȏțȜȟȠȪȬ, ȠȎȘ ȘȎȘ Ȝț ȒȎȓȠ, ȝȜ ȟȡȠȖ, ȝȓȞȐȡȬ ȝȞȜȖȕȐȜȒțȡȬ ȜȠDLTS-ȟȝȓȘȠȞȎ. ǸȞȜȚȓȠȜȑȜ, ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ ȒȞȡȑȖȣȐȞȓȚȓțțȩȣȜȘȜțȝȜȕȐȜșȖșȜȡȗȠȖȐȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȡȬȜȏșȎȟȠȪ, ȑȒȓȕțȎȥȓțȖȭ ȝȜȟȠȜȭțțȩȣȐȞȓȚȓțȖȝȓȞȓȕȎȞȭȒȘȖȒșȭțȎȏșȬȒȎȓȚȩȣDZȁȞȎȕșȖȥȎȬȠȟȭ ȟȖșȪțȓȓ. ǻȎȞȖȟ. 8.2 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓți-DLTS-ȟȝȓȘȠȞǿȋȟȠȞȡȘȠȡȞȩ, Ȑ ȘȜȠȜȞȜȚ ȣȜȞȜȦȜ ȐȖȒțȩ ȟȖȑțȎșȩ ȜȠ ȖȟȣȜȒțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ [138].

ȀȎȘȖȚȜȏȞȎȕȜȚ, ȟȜȑșȎȟțȜ[52, 138] ȐǿȋȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣȟȡȧȓȟȠȐȡȬȠȘȎȘ i- ȠȎȘ Ȗ D-ȤȓțȠȞȩ, ȫțȓȞȑȖȖ, ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȘȜȠȜȞȩȣ Ȑ ȖȟȟșȓȒȜȐȎȐȦȓȚȟȭ ȒȖȎȝȎȕȜțȓȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȗȖȜȏȞȎȠțȩȣțȎȝȞȭȔȓțȖȗțȓȕȎȐȖȟȖȠȜȠțȎȝȞȭȔȓțțȜȟȠȖ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭȐȟșȜȓȜȏȨȓȚțȜȑȜȕȎȞȭȒȎ. ǽȞȖȚȓțȓțȖȓ ȚȓȠȜȒȜȐ ȞȎȕȒȓșȓțȖȭ DLTS ȟȖȑțȎșȜȐ Ș ȖȟȟșȓȒȜȐȎȐȦȖȚȟȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȚ ȝȜȘȎȕȎșȜ, ȥȠȜȐSiC B§ȝȞȓȜȏșȎȒȎȬȠD-ȤȓțȠȞȩ, ȐǶǹȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣi-ȤȓțȠȞȩ DzȜȝȜșțȖȠȓșȪțȎȭȒȖȢȢȡȕȖȭȏȜȞȎȐȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓȋǿ ȟșȜȖȒȜ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ Ȟ-n ȝȓȞȓȣȜȒȎ ȠȎȘȔȓ ȝȞȖȐȜȒȖșȎ Ș ȝȞȓȜȏșȎȒȎțȖȬ D-ȤȓțȠȞȜȐ. ǰ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣȟșȜȭȣ4ǻ-SiC șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣȏȜȞȜȚȐȝȞȜȤȓȟȟȓȞȜȟȠȎ ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț ȎțȎșȜȑ D-ȤȓțȠȞȎ (dzv+0.54 ȫǰ) [55, 89].

DzȞȡȑȖȓ ȒȓȢȓȘȠȩ. ǰ [133] Ȑ Ȟ-6ǻ-SiC ȏȩșȖ ȜȏțȎȞȡȔȓț ȤȓțȠȞ ȐȏșȖȕȖ ȟȓȞȓȒȖțȩ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ (dzv+1.41 ȫǰ), ȘȜȠȜȞȩȗ ȟȐȭȕȩȐȎșȟȭȟȟȜȏȟȠȐȓțțȩȚȒȓȢȓȘȠȜȚ. ǰ[140] ȏȩșȖȖȟȟșȓȒȜȐȎțȩȜȏȞȎȕȤȩ SiC șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȓ Mn, V Ȗ Ȝȏșȡȥȓțțȩȓ țȓȗȠȞȜțȎȚȖ. Ƕȕ ȟȜȝȜȟȠȎȐșȓțȖȭ ȟȝȓȘȠȞȜȐȂǹȖȒȎțțȩȣȋǽǾȏȩșȜȏțȎȞȡȔȓțȑșȡȏȜȘȖȗȎȘȤȓȝȠȜȞ, ȘȜȠȜȞȩȗȟȐȭȕȩȐȎșȟȭȟȝȜȭȐșȓțȖȓȚȘȞȎȟțȜȗȂǹ. ǰ[132] ȝȞȖȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ Ȟ-6ǻ-SiC (ȝȞȜȚȩȦșȓțȜȐȩȝȡȟȘȎȓȚȩȣǿREE Inc. ȢȜȠȜȒȓȠȓȘȠȜȞȜȐ) ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ ȠȞȖ șȜȐȡȦȘȖ (dzv+0.5; dzv+0.56 Ȗ dzv+0.69 ȫǰ), ȝȓȞȐȩȓ ȒȐȓȖȕȘȜȠȜȞȩȣȏșȖȕȘȖȝȜȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȘi- ȖD-ȤȓțȠȞȎȚ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȐȓțțȜ.

148 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǽȞȖȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖn-4ǻ-SiC ȏȩșȜȏțȎȞȡȔȓțȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȗDZȁȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ Ec 1.5 ȫǰ [141]. ǽȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ Ȟ-4ǻ-SiC ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț ȑșȡȏȜȘȖȗȒȜțȜȞdzv+1.49 ȫǰ, ȘȜȠȜȞȩȗȎȐȠȜȞȩȟȐȭȕȩȐȎșȖȟȜȒȖțȜȥțȜȗ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȐȎȘȎțȟȖȓȗ.

ǽȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ȟșȎȏȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ (Nd Na _1014 ȟȚ 3) ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ6ǻ-SiC n- Ȗp-ȠȖȝȎȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣȚȓȠȜȒȜȚ CVD ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț țȎȏȜȞ ȡȞȜȐțȓȗ, ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȘȜȠȜȞȩȣ ȞȜȟșȖ ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȜȠțȜȦȓțȖȭ C/Si [142]. ǰ ȚȎȠȓȞȖȎșȓ Ȟ-ȠȖȝȎ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȝȞȓȜȏșȎȒȎșȖ D-ȤȓțȠȞȩ.

8.2.3.2. DzȓȢȓȘȠȩ Ȑ ȐȓȞȣțȓȗ ȝȜșȜȐȖțȓ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ 6H-SiC

R- ȖS-ȤȓțȠȞȩ. ǽȞȖȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖȒȖȜȒȜȐȆȜȠȠȘȖ(DzȆ) țȎ Ȝȟ- țȜȐȓ6ǻ-SiC ȏȩșȖȜȏțȎȞȡȔȓțȩȒȐȎDZȄS (dzc 0.35 ȫǰ, Tp _10 15 ȟȚ2)

Ȗ R (dzc 1.27 ȫǰ) [143 144]. ǸȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȫȠȖȣ ȡȞȜȐțȓȗ NR Ȗ NS ȐȜ Ȑȟȓȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎȐȦȖȣȟȭ DzȆ ȟȜȐȝȎȒȎșȖ ȟ ȠȜȥțȜȟȠȪȬ 10 20%. ǵțȎȥȓțȖȭ ȐȓșȖȥȖț NR Ȗ NS _1015 cȚ 3 ȏȩșȖ ȏșȖȕȘȖ Ș ȕțȎȥȓțȖȭȚ NR Ȗ NS ȐǶǹȖǿȋȞ-n ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ țȎȜȟțȜȐȓȫȠȖȣȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȚȜȔțȜ ȕȎȘșȬȥȖȠȪ, ȥȠȜ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȟȜȕȒȎțȖȭ Ȟ-n ȝȓȞȓȣȜȒȎ țȓ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖșȜ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȑȜ ȖȕȚȓțȓțȖȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ R- Ȗ S-ȤȓțȠȞȜȐ.

ǰ ǯǴȋ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȫȠȖȣ DZȄ ȠȎȘȔȓ ȟȜȐȝȎȒȎșȖ Ȗ ȏȩșȖ Ȑ ȟȞȓȒțȓȚ țȎ ȝȜȞȭȒȜȘ ȚȓțȪȦȓ, ȥȓȚ Ȑ ǿȋ-ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [144] ȏȩșȜȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜȒȎțțȩȓȤȓțȠȞȩȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭȝȜȟșȓȜȏșȡȥȓțȖȭ ȖȖȜțțȜȗȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖ6H-SiC. ǻȎȜȟțȜȐȎțȖȖȠȜȑȜ, ȥȠȜȒȎțțȩȓȡȞȜȐțȖ ȜȠȔȖȑȎșȖȟȪȝȞȖȞȎȕțȩȣȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣȏȩșȟȒȓșȎțȐȩȐȜȒ, ȥȠȜ, ȜțȖȜȠțȜȟȭȠȟȭȘȒȐȡȚȞȎȕțȩȚȤȓțȠȞȎȚ, ȎțȓȘȜȒțȜȚȡȒȐȡȣȕȎȞȭȒțȜȚȡ. ǺȓȠȎ- ȟȠȎȏȖșȪțȩȗȒȓȢȓȘȠȐ6ǻ-SiC ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȟȭȞȎȕșȖȥțȩȚȖȓȚȘȜȟȠțȩȚȖ ȚȓȠȜȒȎȚȖ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȜȠȔȖȑȜȐ Ȗ ȚȜȒȓșȖȞȜȐȎțȖȭ [145].

ǯșȖȕȘȖȗ ȝȜ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚ Ș S-ȤȓțȠȞȡ ȒȐȜȗțȜȗ ȤȓțȠȞ (dz1 / dz2 ) (Ec 0.34/Ec 0.41) ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț Ȑ ȝȜȒșȜȔȘȎȣ ǹȫșȖ [146] Ȏ ȕȎȠȓȚ Ȗ Ȑ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȭȣ, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚ CVD [147]. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [148] R- Ȗ S-ȤȓțȠȞȩ ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎșȖȟȪ ȘȎȘ ȜȟțȜȐțȩȓ ȤȓțȠȞȩ ȏȓȕȖȕșȡȥȎȠȓșȪțȜȗ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ. ǿȜȑșȎȟțȜ ȞȎȏȜȠȓ [149], ȤȓțȠȞȩ dz1 Ȗ dz2 – ȫȠȜ ȒȐȎ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ȡȞȜȐțȭ ȒȐȡȣ țȓȑȎȠȖȐțȩȣ U-ȤȓțȠȞȜȐ. DzȜțȜȞțȩȓ ȡȞȜȐțȖȫȠȖȣȤȓțȠȞȜȐȖȚȓȬȠȫțȓȞȑȖȖEc 0.28 ȫǰȖdzǸ 0.2 ȫǰ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ǻȎȜȟțȜȐȓȒȎțțȩȣȋǽǾ, ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȫȠȖȣȤȓțȠȞȜȐȏȩșȎ ȜȝȞȓȒȓșȓțȎ ȘȎȘ ȘȜȚȝșȓȘȟȎ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȐȎȘȎțȟȖȗ [150].

Z1/ Z2. ǰ [146] ȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓț ȓȧȓ ȜȒȖț ȒȐȜȗțȜȗ ȝȖȘ Z1/ Z2, dzȟ (0.6 0.7) ȫǰ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȐȝȜȟșȓȒȟȠȐȖȖ ȠȎȘȔȓ ȏȩș țȎȗȒȓț Ȗ Ȑ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȭȣ, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚ CVD [151]. ǾȎțțȓȓ ȚȓȠȜȒȜȚ ȋǽǾ ȏȩșȜ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȜ țȓȟȘȜșȪȘȜ ȑșȡȏȜȘȖȣ ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ 6ǻ-SiC ȝȜȒșȜȔȘȎȣ ǹȫșȖ [152]. ǼȒȖț Ȗȕ ȜȏțȎȞȡȔȓțțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ _600 Țȫǰ ȏȩș ȟȜȝȜȟȠȎȐșȓț ȟ ȒȖȐȎȘȎțȟȖȓȗ VC VSi. ǰ [89] ȏȩșȜ ȟȒȓșȎțȜȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȓȜȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȖȒȎțțȜȑȜȤȓțȠȞȎȜȏțȎȞȡȔȓțțȜȚȡ ȚȓȠȜȒȜȚ DLTS ȤȓțȠȞȡ Z1/ Z2.

4H-SiC. ǻȎȖȏȜșȓȓȚȓșȘȖȗȟȜȏȟȠȐȓțțȩȗȒȓȢȓȘȠdzȟ (0.16 0.18) ȫǰ ȏȩșȜȏțȎȞȡȔȓțȐ4H-SiC ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣȟșȜȭȣ, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣȚȓȠȜȒȜȚ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȖ[153]. ǽȎȞȎȚȓȠȞȩȫȠȜȑȜȤȓțȠȞȎȏȩșȖȜȥȓțȪȏșȖȕȘȖȘȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȞȎȒȖȎȤȖȜțțȩȣȒȓȢȓȘȠȜȐP1/P2 [89]. ǼȏȩȥțȩȚȒșȭ4H-SiC ȭȐșȭȓȠȟȭȢȜțȜȐȩȗȡȞȜȐȓțȪZ1 ȟȫțȓȞȑȖȓȗdzȟ (0.63 0.68) ȫǰ, ȘȜȠȜȞȩȗȏȩș ȜȏțȎȞȡȔȓțȐȚȎȠȓȞȖȎșȎȣȐȩȞȎȧȓțțȩȣȞȎȕșȖȥțȩȚȖȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȚȖ

1ȝȎȒȎȓȠ

ȟȡȚȓțȪȦȓțȖȓȚ ȕțȎȥȓțȖȭ Nd Na Ȑ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȚ ȟșȜȓ. ǼȒțȎȘȜ Ȝț ȐȟȓȓȧȓȝȞȖȟȡȠȟȠȐȡȓȠȐȟșȎȏȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ(Nd_1014 ȟȚ 3) CVD ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȭȣ. ǽȞȖ ȠȜȚ Ȕȓ ȕțȎȥȓțȖȖ Nd Na, ȓȑȜ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ țȖȔȓ Ȑ ȟșȜȭȣ ȟ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪȬ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ. ǻȎȏșȬȒȎșȜȟȪ ȐȜȕ-

ȞȎȟȠȎțȖȓ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ Z1/2 ȒȓȢȓȘȠȎ ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ ȎȕȜȠȎ [154]. ǰ ȝȜșȡȖȕȜșȖȞȡȬȧȓȚ ȜȏȨȓȚțȜȚ 4H-SiC, ȏȩș țȎȗȒȓț ȑșȡȏȜȘȖȗ ȤȓțȠȞ ȟȫțȓȞȑȖȓȗ dzȟ 1.1 ȫǰ, ȘȜȠȜȞȩȗ țȓ ȏȩș ȟȐȭȕȎț

ȟȝȞȖȚȓȟȪȬ ȐȎțȎȒȖȭ [156, 157].ȚȓȠȜȒȎȚȖ[89, 147, 153, 154]. ǿȜȑșȎȟțȜ[153], ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ Z

3ǿ-SiC. ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓ ȢȜțȜȐȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȑ 3ƙ-SiC ȝȞȜȐȜȒȖșȜȟȪ Ȑ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȭȣ ȐȩȞȎȧȓțțȩȣ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȘȞȓȚțȓȐȩȣ ȝȜȒșȜȔȓȘ [158, 159]. ǰ [158] ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ ȒȐȎ ȤȓțȠȞȎ (SC1 Ec 0.34 Ȗ SC2 Ec 0.58 ȫǰ), DLTS ȝȖȘȖ ȘȜȠȜȞȩȣ ȓȒȐȎ ȐȩȒȓșȭșȖȟȪ țȎ ȢȜțȓ ȝȜșȜȟȩ ȟȝșȜȦțȜȗ ȞȓșȎȘȟȎȤȖȖ. ǽȜȒȜȏțȩȓ ȝȜșȜȟȩ ȚȜȑșȖ ȏȩȠȪ ȟȐȭȕȎțȩ ȟ ȏȜșȪȦȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪȬ ȜȏȨȓȚțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ (ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ Ȗ ȒȞ.). ȅȓȞȓȕ 8 șȓȠ ȘȎȥȓȟȠȐȜ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȗ ȝșȓțȘȖ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȡșȡȥȦȖșȜȟȪ, ȥȠȜ Ȗ ȜȠȞȎȕȖșȜȟȪ țȎ ȝȞȖȐȓȒȓțțȜȚ Ȑ [159] DLTS ȟȝȓȘȠȞȓ, ȑȒȓ ȟȖȑțȎșȩ ȜȠ ȜȠȒȓșȪțȩȣ ȡȞȜȐțȓȗ ȡȔȓ ȐȝȜșțȓ ȞȎȕșȖȥȖȚȩ. ǮȐȠȜȞȩ [159] ȜȏțȎȞȡȔȖșȖ ȠȞȖ DZȄ Ȁ1 Ec 0.32 ȫǰ, Ȁ2 Ec 0.52 ȫǰ Ȗ Ȁ3 Ec 0.56 ȫǰ, țȎȖȏȜșȓȓ ȚȓșȘȖȗ Ȗȕ ȘȜȠȜȞȩȣ ȜțȖ ȜȠȜȔȒȓȟȠȐșȭȬȠ ȟ ȞȎțȓȓ ȜȏțȎȞȡȔȓțțȩȚ SC1.

ǰ 3C-SiC ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȭȣ, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȜțțȜȗ ȫȝȖȠȎȘȟȖȖ țȎ 6H-SiC ȝȜȒșȜȔȘȓ, ȏȩș țȎȗȒȓț ȠȜșȪȘȜ