Библиографический список

1. Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов/ Л.П.Павлов — М.: Высш. шк., 1987. 240 с.

Содержание

Лабораторная работа № 1………………………… ….1

Лабораторная работа № 2…………………………….19

Лабораторная работа № 3…………………………….35

Библиографический список…………………………..45

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к лабораторным работам № 1—3

по дисциплине «Технические устройства контроля

технологических процессов в оборудовании электронной промышленности»

для студентов специальности 210107

«Электронное машиностроение»

очной формы обучения

Составители:

Акулинин Станислав Алексеевич

Минаков Сергей Алексеевич

В авторской редакции

Компьютерный набор С.А. Минакова

Подписано в печать 16.04.2010.

Уч.-изд. л. 2,7. «С»

ГОУВПО «Воронежский государственный

технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14