Маслов
А.А. Технология и конструкции
полупроводниковых приборов. - М.: Энергия,
1970.
Курносов А.И.
Материалы для полупроводниковых
приборов и интегральных схем. - М.: Высш.
шк., 1975.
Конструирование
и технология микросхем /Под ред.
Л.А.Коледова.-М.: Высш.шк., 1984.-232 с.
Коледов
Л.А. Технология и конструкции микросхем,
микропроцессоров и микросборок.-М.:
Радио и связь, 1989.-400 с.
Готра З.Ю. Технология
микроэлектронных устройств.-М.: Радио
и связь, 1991.-528 с.
Основы проектирования
микроэлектронной аппаратуры /Под ред.
Б.Ф.Высоцкого.-М.: Сов.радио, 1987.-352 с.
Штернов А.А.
Физические основы конструирования,
технологии РЭА и микроэлектроники.-М.:
Радио и связь, 1981.-248 с.
Епифанов Г.И., Мома
Ю.А. Физические основы конструирования
и технологии РЭА и ЭВА.-М.: Сов.радио,
1979.-352 с.
Черняев В.Н.
Технология производства интегральных
микросхем и микропроцессоров. – М.:
Радио и связь, 1987. –464 с.