26

МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ

Запорізький національний технічний університет

МЕТОДИЧНІ ВКАЗІВКИ

до виконання курсового проекту

з дисципліни "Технологічні основи електроніки"

для студентів спеціальності 8.050801

“Мікро- та наноелектроніка”

денної й заочної форм навчання

2009

Методичні вказівки до виконання курсового проекту з дисципліни "Технологічні основи електроніки” для студентів спеціальності 8.050801 "Мікро- та наноелектроніка" денної й заочної форм навчання / Укл.: В.М.Матюшин.- Запоріжжя: ЗНТУ, 2009 - 27 c.

Укладач: В.М.Матюшин, доцент, к.ф.-м.н.

Рецензент: О.В.Томашевський, доцент, к.т.н.

Відповідальний за випуск: Г.В.Сніжной, доцент, к.ф.-м.н.

Затверджено

на засіданні кафедри

МіНЕ

Протокол № 5

Від 6 лютого 2009 р.

1 Мета і задачі курсового проекту

Мета курсового проекту - поглибити і розширити теоретичні знання, сформувати і розвинути у студентів практичні навички розробки технологічних процесів виготовлення напівпровідникових приладів й інтегрованих схем (ІС).

Внаслідок виконання курсового проекту студенти повинні знати:

• постановку задач технології виробництва напівпровідникових приладів й ІС;

• математичний апарат, що застосовується при розробці і конструюванні технологічного процесу напівпровідникових приладів й ІС;

• технологічні властивості Ge, Si, GaAs та інших напівпровідників;

• матеріали, що застосовуються для легування напівпровідників;

• властивості допоміжних матеріалів;

• методи і технологічні схеми виготовлення напівпровідникових приладів, монолітних і гібридних ІС (МІС і ГІС);

• основні технологічні процеси, їх фізичні основи і методи розрахунку;

• принципи дії технологічного обладнання;

• методи підвищення стабільності і надійності структур напівпровідникових приладів.

Студенти повинні уміти:

• аналізувати технологічні процеси і розробляти технологічну документацію;

• виконувати розрахунок параметрів напівпровідникових приладів й ІС з використанням ЕОМ;

• розробити схему виготовлення напівпровідникових і мікроелектронних приладів, інтегрованих схем;

• провести розрахунки з обґрунтування найважливіших технологічних операцій;

• оцінювати отримані результати;

• правильно оформляти пояснювальну записку і графічну частину роботи.

2 Об'єм і зміст курсового проекту

Курсовий проект повинен складатися з пояснювальної записки обсягом 35-40 аркушів формату А4 і графічної частини обсягом два аркуша формату А1.

Курсовий проект з дисципліни "Технологічні основи електроніки" повинен містити:

• аналіз і вибір технологічної схеми виготовлення напівпровідникового приладу або ІС;

• розробку і опис технологічної схеми виготовлення напівпровідникової структури;

• розрахунок параметрів основних технологічних процесів.

Пояснювальна записка курсового проекту включає в себе наступні основні розділи:

• матеріали, що застосовуються у виробництві напівпровідникових приладів й ІС;

• обробка поверхні напівпровідників;

• планарна технологія виготовлення напівпровідникових приладів й ІС;

• конструкції активних областей напівпровідникових приладів і елементів ІС;

• пасивні елементи ІС, ізоляція, з'єднання елементів ІС;

• конструкції корпусів напівпровідникових приладів й ІС;

• складальні операції.

У графічну частину курсового проекту входять: 1) схематичне зображення печі, в якій проводять дифузію, 2) розподіл домішки в кристалі, 3) ВАХ, 4) топологія і структура розрахованого напівпровідникового приладу, 5) блок-схема технологічного процесу.

3 Вказівки з оформлення і захисту курсового проекту

Пояснювальну записку і графічну частину курсового проекту оформляють у відповідності з СТП 15-96 [16]. На захист представляється закінчена пояснювальна записка до курсового проекту, графічна частина, підписана студентом і керівником проекту.

Курсовий проект студенти захищають за графіком, затвердженим кафедрою, перед комісією, що складається з 2-3 викладачів.

Захист проекту повинен складатися з короткої доповіді виконаного проекту (3-5 хв) і відповідей на запитання.

При оцінці курсового проекту враховують якість проекту і результати його захисту. При цьому звертають увагу на повноту, якість і самостійність виконання поставленої задачі, ретельність оформлення пояснювальної записки і креслень, складність завдання, наявність елементів наукових досліджень, дотримання термінів і якість захисту.

При захисті курсового проекту студенти повинні звертати особливу увагу на знання суті, переваг і недоліків методів, що використовуються, і технологічних схем виготовлення напівпровідникових приладів, ІС і ГІС, на основні технологічні процеси та їх фізичні основи і методи розрахунку, принцип дії технологічного обладнання, методи підвищення стабільності і надійності структур напівпровідникових приладів, уміння провести аналіз отриманих результатів. Завдання на типовий розрахунок викладач видає індивідуально кожному студенту.

Зразки оформлення титульного листа пояснювальної записки і бланка завдань на курсовий проект наведені в додатку А і Б.