51

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ

ФЕДЕРАЦИИ

Воронежский государственный технический университет

Кафедра технологических и автоматизированных

систем электронного машиностроения

Методические указания

по лабораторным работам по курсу

«Вакуумная техника»

для студентов специальности 210107

«Электронное машиностроение»

очной формы обучения

Воронеж, 2007

Составитель канд. техн. наук Н.В. Беляев.

УДК 621.382

Методические указания по лабораторным работам по курсу «Вакуумная техника» для студентов специальности 210107 «Электронное машиностроение» очной формы обучения / Воронеж. гос. техн. ун-т, сост. Н.В. Беляев, Воронеж, 2004, 52 с.

Издание соответствует требованиям Государственного стандарта высшего профессионального образования по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» специальности 210107 «Электронное машиностроение», дисциплине «Вакуумная техника».

Предназначена для студентов 4 курса.

Рис. 21. Табл. 1. Библиогр. 9 назв.

Рецензент: д-р техн. наук, проф. В.В. Зенин.

Ответственный за выпуск зав. кафедрой, д-р техн. наук, проф. О.Н. Чопоров.

Печатается по разрешению редакционно-издательского совета Воронежского государственного технического университета

© Воронежский государственный

технический университет, 2004.

В В Е Д Е Н И Е

Вакуумная техника нашла широкое применение в современной технологии и научных исследованиях.

Неотъемлемой и важнейшей частью изучения студентами курса “Вакуумная техника” является их знакомство на практике с устройством и работой вакуумного оборудования, экспериментальное изучение технологических процессов и физических явлений в вакууме.

Учебное оборудование установлено на филиале кафедры “Технологических и автоматизированных систем электронного машиностроения“, созданном при Воронежском заводе электронно-лучевых трубок – учебной базе кафедры. Поэтому часть лабораторных работ ориентирована на существующее там производство, что позволит максимально сблизить учебный процесс с производственной практикой.

Методические указания содержат описание лабораторных работ по способам получения, измерения и контроля вакуума.

Перед выполнением каждой из лабораторных работ студенты заранее самостоятельно изучают по данным методическим указаниям основные теоретические положения и содержание предстоящей практической лабораторной работы. Ориентацией при подготовке могут служить контрольные вопросы, имеющиеся в предлагаемых методических указаниях.

В заключение кафедра ТАСЭМ приносит глубокую благодарность всем работникам Воронежского завода электровакуумных приборов, помогавшим в создании учебной лаборатории вакуумной техники.

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №1

Изучение механических форвакуумных насосов с масляным уплотнением Цель работы

Ознакомиться с устройством и работой вакуумных механических насосов с масляным уплотнением. Получить практические навыки работы с ними. Определить зависимость изменения давления от времени с момента включения насоса до достижения предельного давления.