Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Лекции по дисциплине Биомедицинские нанотехноло...doc
Скачиваний:
0
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
9.4 Mб
Скачать

4.3. Проектирование элементов мст в сапр CoventorWare

Система автоматизированного проектирования CoventorWare позволяет выполнять проектирование микроэлектромеханических систем двумя способа­ми: снизу вверх и сверху вниз.

При проектировании сверху вниз вначале вырабатывается общая концеп­ция будущего устройства и создается его структурная схема на основе поведен­ческих моделей подсистем, входящих в состав устройства. Затем производится уточнение решения для реализации используемых подсистем, выполняется их оптимизация, после чего по их итогам проводится итерационный цикл уточне­ния параметров всей системы в целом. Далее выполняется электромагнитное и электромеханическое моделирование разработанной микроэлектромеханиче­ской системы, и проект микросистемы передается на производство для техно­логической проработки. В этом случае среднее время проектирования элемен­тов микрооптикоэлектромеханических систем (МОЭМС) составляет около од­ной недели.

Путь проектирования снизу вверх является более полным и позволяет со­здавать модели подсистем разрабатываемой микросистемы, не имеющихся в библиотеках поведенческих моделей пакета CoventorWare. При данном способе проектирования, вначале задается спецификация устройства самого низшего уровня, производится прорисовка его топологии, электромагнитное и электро­механическое моделирование. Итерационный цикл оптимизации таких устройств может длиться от нескольких часов до нескольких дней. Далее опти­мизированные устройства группируются в более сложные интегрированные микросистемы, которые также анализируются и оптимизируются. После чего, проект МОЭМС передается на производство. При таком подходе проектирова­ния микросистем среднее время составляет около трех месяцев.

Пакет CoventorWare состоит из четырех основных программ, обеспечива­ющих разработчика всем необходимым инструментарием для проектирования микросистем: Architect, Designer, Analyser, System Builder.

4.3.1. Программа Architect

Программа Architect обеспечивает разработку проектов микроэлектроме­ханических и микрожидкостных устройств на основе поведенческих моделей, т.е. по пути проектирования сверху вниз.

На рис.4.10 представлен маршрут проектирования микросистем, исполь­зуемый программой Architect в САПР CoventorWare.

Первый модуль программы Architect позволяет разрабатывать структур­ные и принципиальные схемы на основе поведенческих моделей электромеха­нических, оптических, сверхвысокочастотных и жидкостных устройств, а также типовых радиоэлементов.

Второй модуль выполняет моделирование созданных микросистем и циф­ровых схем управления с помощью Spice-подобных программ.

Рис.4.10. Маршрут проектирования микросистем, используемый программой Architect в САПР CoventorWare

Третий модуль программы Architect производит генерацию послойного описания топологии разработанной микросистемы с использованием полно­стью параметризированных топологических моделей, которое затем может быть передано в форматах GDSII, CIF в программу Designer, также входящую в состав пакета CoventorWare.