35. Микроклимат и производственная гигиена.

К климатическим параметрам производственных помещений относят температуру и влажность. Их совокупность определяет микроклимат.

Производственная гигиена – это комплекс технологических и организационно-технических мероприятий, направленных на обеспечение чистоты воздушной среды производственных помещений, имеющий целью повышение качества изделий.

С точки зрения производственной гигиены воздушная среда характеризуется запыленностью, которая определяется числом частиц диаметром ≥0,5мкм в одном литре воздуха. Воздух, подаваемый в производственное помещение, фильтруется. Давление внутри здания должно быть больше, чем атмосферное, чтобыуменьшить самопроизвольное проникновение наружного воздуха, мнуя фильтр и вентилятор.окружающая среда.

По , влажности и запыленности устанавливается 3 класса помещений, которые называются чистыми комнатами или гермозонами.

Влажность,%	45+5
Запыленность,Nчаст./лвод.	4	35	350	1000	3500

Гермозоны имеют 1-рабочие помещения, где размещается технологическое оборудование и выполняются операции, а также боксы- локальные рабочие объемы, в которых достигается самая высокая степень обеспыленности. Достоинство боксов является возможность создание в них технологической среды.

Гермозоны имеют также гардеробные помещения для подготовки персонала к работе; переходные обдувочные шлюзы; помещения для обработки приточного воздуха.

Технологическая среда это прежде всего технологические газы и технологическая вода.

Технологические газы: защитные (азот, гелий, аргон) применяются для исключения окисления, коррозии на операциях с высокой температурой ( пайка, сварка, герметизация); газы- реагенты это диффузанты, окислители, травители и т.д.

В производстве ИМС в большом количестве используется вода..

При отмывке от травителей, проявителей и пр., для растворения и как реагент используется вода. Воду предварительно очищают (дистилизация) затем окончательно очищают с помощью ионно-обменных смол путем связывания катионов и анионов диссоциированных в воде солей . В результате в воду поступают ионы водорода Н⁺ и ОН^- (деионизация).

36. Сущность метода осаждения пленок термическим вакуумным испарением. Упрощенная схема подколпачного устройства.

Тонкими называют пленки толщиной от 0,1 до 2,0 мкм. Высокая точность по толщине и химическая чистота таких пленок может быть достигнута только при выращивании их из атомарного потока. Создать такой поток можно только в вакууме, например, испаряя материал при высокой температуре в направлении к подложке. Это метод термического вакуумного испарения (ТВИ). Создать направленный поток атомов можно также распыляя нужный материал – мишень путем бомбардировки его ионами инертных газов, это метод ионно-плазменного распыления (И-ПР).