- •Современные технологии формирования спонтанно упорядоченных наноструктур Введение
- •Создание современных баз данных в определенной предметной области, в частности, наноэлектронике, включает в себя несколько основных стадий:
- •1.2.1. Полупроводниковые наноструктуры
- •1.2.1.1. Современные технологии формирования спонтанно упорядоченных наноструктур.
- •1.2.1.2. Концентрационные упругие домены в твердых растворах полупроводников
- •1.2.1.3. Периодически фасетированные поверхности
- •1.2.1.3.1. Гетероэпитаксиалыные структуры на периодически фасетированных подложках
- •1.2.1.4. Упорядоченные массивы трехмерных когерентно напряженных островков
- •1.2.1.4. 1. Равновесное состояние в системе когерентно напряженных трехмерных островков.
- •1.2.1.4.2. Эффекты упорядочения
- •1.2.1.4.3. Размеры и плотность островков: возможности управления
- •1.2.1.5. Формирование массивов вертикально связанных квантовых точек
- •1.2.2. Полупроводниковые сверхрешеточные структуры
- •1.2.2. 1. Композиционные сверхрешетки
- •1.2.2. 1.1. Композиционные сверхрешетки типа I
- •1.2.2. 1.2. Композиционные сверхрешетки типа II
- •1.2.2.1.3. Политипные сверхрешетки
- •1.2.2.2. Легированные сверхрешетки
- •1.2.2.3. Легированные композиционные сверхрешетки
- •1.2.2.4. Классификация полупроводниковых сверхрешеток
- •1.2.3. Магнитные наноструктуры
- •1.2.4. Двумерные многослойные структуры из пленок нанометровой толщины
- •1.2.5. Фотонные нанокристаллы и пористый кремний.
- •1.2.6. Молекулярные наноструктуры
- •1.2.7. Фуллереноподобные материалы
- •1.2.7.1. Углеродные нанотрубки
- •1.2.7.2. Характеристики углеродных нанотрубок и требования для их применения в полупроводниковых приборах
- •1.2. 8. Диагностика наноструктур
- •2. Поиск и исследование источников получения информации для разработки баз данных
- •2.1. Разработка предметного структурного классификатора по нанотехнологиям и наноматериалам.
- •Структурный классификатор по нанотехнологиям и наноматериалам
- •2.2. Поиск источников получения информации для разработки баз данных
- •2.3. Организация поиска информации (на примере работы с реферативными бд)
- •2.4. Разработка структуры информационного наполнения баз данных
- •2.5. Формирование предварительных реестров баз данных
- •Список использованных источников информации
1.2.2. 1.2. Композиционные сверхрешетки типа II
Характерные черты композиционных сверхрешеток типа II определяются взаимным расположением краев зон исходных полупроводников на гетерогранице. Зона проводимости одного из материалов здесь близка к валентной зоне другого. Это вызывает пространственное разделение носителей, локализованных в квантовых ямах. Электроны сосредоточены в квантовых ямах, образованных первым полупроводником, а дырки — в квантовых ямах, образованных вторым полупроводником. Таким образом, в этих многослойных структурах мы имеем дело с «непрямой в реальном пространстве запрещенной зоной» (в отличие от непрямой запрещенной зоны в пространстве импульсов, реализующейся в ряде объемных полупроводников).
До сих пор лишь одну полупроводниковую систему можно с уверенностью считать образующей сверхрешетку типа II. Это система, основанная на тройных соединениях In1-xGaxAs и GaSb1-yAsy, где предельный случай х = 0, у = 0 отвечает сверхрешетке InAs—GaSb [119].
Согласно имеющимся данным по электронному сродству и запрещенной зоне обоих бинарных соединений, край зоны проводимости InAs лежит на 0,14 эВ ниже края валентной зоны GaSb [120]. Для тройных соединений запрещенные зоны частично перекрываются, стремясь в пределе х= 1, у = 1 к полному перекрытию (отвечающему запрещенной зоне GaAs).
Если выбор тройных соединений In1-xGaxAs и GaSb1-yAsy удовлетворяет условию у = 0,918x: + 0,082, то на гетерограницах в сверхрешетке имеется идеальное согласие постоянных решетки [120]. На рис. 6 показаны зависимости энергий краев зон от состава соединений, а также схематические энергетические диаграммы сверхрешеток типа II, выполненных из этих материалов.
Опубликованные экспериментальные результаты [162] привлекли внимание к другой системе, предположительно также образующей сверхрешетки типа II. Это система РbТе—Pb1-xSnxTe. Электронная зонная структура и характер сверхрешеток РbТе—Pb1-xSnxTe еще не достаточно исследованы [163—165], хотя их энергетическая схема, использующая зависимость от х (молярной доли олова) энергий краев зон, отсчитанных от уровня Ферми в легированном In (~ 1%) объемном Pb1-xSnxTe (где уровень Ферми зафиксирован амфотерной примесью In), позволяет предположить [162], что сверхрешетки из этих соединений принадлежат к типу II. Но это явно противоречит данным магнитооптических экспериментов [163, 165], согласно которым сверхрешетки РbТе—Pb1-xSnxTe принадлежат к семейству сверхрешеток типа I.
1.2.2.1.3. Политипные сверхрешетки
Как говорилось выше, политипные сверхрешетки могут быть созданы, если дополнить систему InAs—GaSb третьим веществом — AlSb (рис. 4, в). На рис. 7, а показаны энергии краев зон AlSb по отношению к зонам GaSb и InAs. Минимум зоны проводимости в AlSb расположен в точке X импульсного пространства в отличие от GaSb и InAs, где он находится в точке Г. Тем не менее благодаря относительно широкой запрещенной зоне AlSb (1,6 эВ), перекрывающей запрещенные зоны GaSb и InAs, слои AlSb в сверхрешетках и гетероструктурах служат потенциальными барьерами как для электронов, так и для дырок. Следует отметить, что близость постоянных решеток AlSb (6,136 A), GaSb (6,095 А) и InAs (6,058 А) [133] способствует гетероэпитаксии. Поэтому указанные полупроводники, существенно различные по параметрам зон, состав-ляют уникальную комбинацию среди всего класса соединений типа AIII BV.
Рассматриваемые политипные сверхрешетки конструируются из базовых многопереходных элементов типа ВАС, АВСА, АСВСА и т. д. (рис. 7, б), где А означает AlSb, В —GaSb, а С —InAs.
Гетеропереходы между отдельными составляющими политипной сверхрешетки сами по себе обладают интересными характеристиками [133]. Гетеропереходы GaSb—AlSb, например, имеют очень интересную зонную картину. В соответствии с правилом общего аниона [157, 166] разрыв в валентной зоне ∆ЕV для них должен быть очень малым, в то время как разрыв в зоне проводимости ∆Ес весьма велик. Поэтому квантовые ямы в зоне проводимости сверхрешеток GaSb—AlSb столь глубоки, что энергии квантовых уровней не зависят от точного значения ∆Ес. Кроме того, не слишком малая разность постоянных решетки GaSb и AlSb (∆а0/а0= 0,65% [155]) позволяет изучать влияние напряжений несоответствия на свойства сверхрешетки.
Рис. 7. Энергии краев зон AlSb по отношению к GaSb и InAs (а) и энергетические диаграммы двух типов политипных сверхрешеток (б) [133] Заштрихованные области отвечают запрещенным зонам.
Очевидно, что все характеристики гетеропереходов между отдельными компонентами определяют и свойства политипной сверхрешетки в целом.