- •Глава 2 электрофизические свойства полупроводников
- •2.1. Концентрация носителей заряда в равновесном состоянии полупроводника
- •2.1.1. Общие сведения
- •2.1.2. Метод расчета концентраций
- •2.1.3. Условие электрической нейтральности
- •2.1.4. Концентрация основных и неосновных носителей в примесных полупроводниках
- •2.1.5. Положение уровня Ферми в полупроводниках
- •2.1.6. Распределение носителей заряда по энергии
- •2.2. Неравновесное состояние полупроводника
- •2.2.1. Неравновесная и избыточная концентрации носителей заряда
- •2.2.2. Плотность тока в полупроводнике
- •2.2.3. Уравнение непрерывности
2.1.2. Метод расчета концентраций
Концентрация электронов n в зоне проводимости и концентрация дырок р в валентной зоне могут быть представлены следующими общими выражениями:
;
(2.1)
;
(2.2)
В
еличины
и
– плотности
квантовых состояний, т.е. число квантовых
состояний в единичном интервале энергии
зоны проводимости и валентной зоны в
объеме 1 см3.
Функция
в (2.1) есть вероятность того, что состояние
с энергией
занято электроном. Соответственно
означает
вероятность отсутствия электрона на
уровне в валентной зоне, т.е. вероятность
существования дырки.
Интегрирование
в (2.1) должно производиться по всем
уровням зоны проводимости, начиная с
нижней границы
.
Однако верхний уровень (предел) заменен
бесконечностью, чтобы произвести
аналитическое интегрирование.
Вносимая при этом ошибка незначительна
из-за сильного (экспоненциального)
убывания
с
ростом
.
Пределы
интеграла (2.2) определяются граничным
уровнем («потолком валентной зоны»)
за наименьшее значение энергии принято
=0,
чтобы можно было произвести аналитическое
интегрирование, не внося существенной
ошибки.
При квантово-механическом рассмотрении установлено, что
(2.3)
(2.4)
где
h
– постоянная Планка;
и
– эффективные массы электронов и
дырок, отличающиеся от массы свободного
электрона
в вакууме из-за влияния на величину
ускорения этих частиц собственного
электрического поля кристаллической
решетки.
Графики
функций
и
показаны
на рис. 2.1. Значения
и
в соответствии с (2.3) и (2.4) пропорциональны
корню квадратному из интервала между
рассматриваемым уровнем и границами
зон
и
.
Вероятностная функция f() в (2.1) и (2.2) определяется по формуле
(2.5)
которая
называется функцией
распределения Ферми-Дирака.
В этой функции k
– постоянная
Больцмана, Т – абсолютная температура,
а
– энергия уровня Ферми. Очевидно, что
при
.
Поэтому формально уровнем Ферми
является уровень, вероятность нахождения
электрона на котором равна 0,5 (рис. 2.2).
При Т > 0 К функция имеет плавный, но
быстрый спад приблизительно в интервале
значений энергии ±2kT
около уровня
.
При комнатной температуре (T=300
К) kT=
0,026 эВ, т.е. ±2kT=
±0,052 эВ, что значительно меньше
,
составляющего единицы электронвольта.
Вероятность
при
,
и
при
.
Функцию
распределения
необходимо «привязывать» к зонной
диаграмме полупроводника. Как правило,
для этого надо знать, где находится
уровень Ферми. У обычно используемых
полупроводников
находится в запрещенной зоне: вn-полупроводнике
– на «расстоянии»
>>2kT
от дна зоны проводимости, а в р-полупроводнике
– на расстоянии
>>
2kT от
потолка валентной зоны и в формуле
(2.5) можно пренебречь в знаменателе
единицей, т.е. функция распределения
Ферми-Дирака сводится приближенно к
функции распределения Максвелла-Больцмана:
(2.6)
Полупроводники, для которых справедлива функция распределения Максвелла- Больцмана, называют невырожденными. Для них характерно то, что число частиц значительно меньше числа разрешенных состояний. Однако если в полупроводнике уровень Ферми доказывается в интервале 2kT вблизи границ зон или внутри этих зон, то следует пользоваться только функцией распределения Ферми-Дирака, а состояние полупроводника становится вырожденным. В этом состоянии число частиц сравнимо с числом разрешенных состояний.
Только для невырожденных полупроводников, используя (2.6), можно найти аналитическое решение интегралов (2.1) и (2.2) и получить фундаментальные формулы
(2.7)
(2.8)
Формулы
(2.7) и (2.8) являются универсальными, так
как применимы для расчета концентраций
в любых типах полупроводников: собственном
(типа i)
и примесных (типов п
и р).
Коэффициенты
и
следует
трактовать как эффективное число
состояний, расположенных на границах
зон (уровней
и
,
которые только и входят в формулы).
Значения
и
для кремния и германия составляют
примерно 1019
см-3.
Формулы
(2.7) и (2.8) следует также понимать как
отражение взаимосвязи между
концентрацией (числом носителей) и
уровнем Ферми. Если известно значение
,
то можно вычислить концентрации п
и
р,
соответствующие
этому значению
.
Если же известна концентрация п
(или р), то можно вычислить соответствующее
ей значение
.
Формула для
в
этом случае получается из (2.7) или (2.8),
но значение в результате расчета,
естественно, должно получиться одинаковым:
(2.9)
Одинаковый результат является следствием имеющейся связи между значениями концентраций п и р, т.е. связи между полным числом носителей в зоне проводимости и валентной зоне. Рассмотрим эту связь.
Используя (2.7) и (2.8), найдем произведение концентраций:
![]()
Так
как ширина запрещенной зоны
![]()
(2.10)
Получился
важный результат: произведение
концентраций противоположных по
знаку зарядов не зависит от типа
электропроводности полупроводника
(i-,
n-,
р-типа) и от
уровня Ферми
,
а определяется
только шириной запрещенной зоны
(т.е.
веществом) и температурой.
Применим
(2.10) для собственного (чистого,
беспримесного) полупроводника, в
котором концентрация электронов и дырок
одинакова
.
Получим формулу
(2.11)
которую можно использовать для расчета концентраций носителей в собственном полупроводнике, не зная положения уровня Ферми:
(2.12)
или преобразования формулы (2.10) до вида
(2.13)
Смысл этого соотношения состоит в том, что увеличение концентрации частиц с одним знаком заряда сопровождается уменьшением концентрации частиц с другим знаком. Такая зависимость объясняется тем, что при увеличении, например, концентрации электронов п обязательно пропорционально увеличится и вероятность рекомбинации носителей, в результате чего будет пропорционально убывать концентрация дырок р.
Расчет
по формуле (2.12) дает следующие значения
:
дляGe
– 2,4 1013
см-3;
для Si
– 1,45 1010
см-3
; для GaAs
– 1,79 106
см-3.
Превышение ширины запрещенной зоны
кремния по сравнению с германием
всего в 1,12/0,66=1,7 раза привело к уменьшению
концентрации собственных носителей
приблизительно в 103
раз.
Итак, для нахождения концентрации n и p по формулам (2.7) и (2.8) необходимо знать энергию уровня Ферми. Однако есть возможность обойтись без нее, так как кроме уравнения (2.13) имеется еще одно уравнение для n и p, в которое уровень Ферми в явном виде также не входит. Это второе уравнение получается из условия электрической нейтральности полупроводника, которое мы и рассмотрим.
