- •М инистерство образования российской федерации
- •Глава 1. Введение в электронную теорию твердого тела 5
- •Глава 2. Теория и практика эмиссионных процессов. 21
- •Глава 3. Электронно-вакуумные приборы с электростатическими полями 69
- •Глава 4. Теория и практика фокусировки и управления электронными пучками в электромагнитных полях 95
- •Глава 5. Электронно-лучевые приборы 133
- •Глава 6. Газоразрядная и плазменная электроника 158
- •Глава 1.
- •1.1.Энергия связи в твердом теле.
- •2.1. Металлическое состояние.
- •3.1. Состояние электрона в кристаллической решетке
- •4.1.Статистика электронов в кристаллической решетке металла.
- •5.1.Энергия Ферми.
- •6.1. Плотность электронных состояний.
- •7.1. Особенности зонной структуры ионных и ковалентных кристаллов.
- •8.1.Особенности положения уровня Ферми в полупроводниках.
- •Глава 2.
- •1.2. Работа выхода электрона из твердых тел.
- •2.2. Термоэлектронная эмиссия
- •1.3. Термоэлектронные катоды.
- •1.1.3. Металлические катоды.
- •2.1.3. Пленочные катоды
- •3.1.3. Оксидные катоды.
- •4.1.3. Способы нагрева катодов.
- •4.2. Закон Лэнгмюра-Богуславского.
- •4.2. Эффект Шоттки.
- •6.2. Автоэлектронная эмиссия.
- •6.2. Взрывная эмиссия.
- •8.2 Автоэмиссионные катоды.
- •7.2. Вторичная электронная эмиссия
- •8.2. Фотоэлектронная эмиссия.
- •10.2 Фотокатоды.
- •1.10.2. Фотокатоды для видимой области спектра.
- •2.10.2 Фотокатоды для ультрафиолетовой области.
- •3.10.2. Фотокатоды для инфракрасной области.
- •11.2 Аноды электронно-вакуумных приборов.
- •12.2 Управление электронным потоком
- •Глава 3.
- •1.3.Рентгеновские трубки.
- •Длина волны характеристических линий и потенциал возбуждения к-серии ряда элементов.
- •1.1.3 Области применения и конструктивные
- •2.1.3. Двухэлектродные трубки для просвечивания.
- •3.1.3. Импульсные рентгеновские трубки.
- •4.1.3. Трубки для диагностики биологических объектов.
- •5.1.3. Трубки для рентгенотерапии.
- •6.1.3. Рентгеновские трубки для радиационной химии
- •7.1.3. Рентгеноструктурный анализ.
- •8.1.3. Рентгеноспектральный анализ
- •9.1.3. Бескристальные спектрометры
- •2.3. Электронно-ионный микроскоп.
- •3.3. Фотоэлектронный умножитель.
- •Глава 4
- •1.4.Силы, действующие на заряженную частицу в электромагнитном поле. Уравнения движения.
- •2.4. Аналогия между движением заряженных частиц в электростатическом поле и распространением световых лучей в прозрачной среде.
- •3.4. Центрированные электронно-оптические системы.
- •4.4. Фокусировка электронных пучков в аксиально-симметричных
- •1.4.4. Катодная линза.
- •2.4.4. Электронные пушки.
- •3.4.4. Автоэмиссионные пушки.
- •4.4.4. Электронный прожектор.
- •5.4.4. Электростатические системы управления электронным лучом.
- •6.4.4. Анализатор скорости заряженных частиц.
- •7.4.4. Осциллографическая трубка.
- •5.4. Фокусировка и управление потоком заряженных частиц в постоянных магнитных полях.
- •1.5.4. Конструкции магнитных линз.
- •2.5. 4. Дефекты электронно-оптических линз.
- •3.5.4. Отклонение заряженных частиц магнитным полем.
- •Глава 5
- •1.5. Кинескопы.
- •2.5 Электронно-оптический преобразователь.
- •3.5. Электронные микроскопы.
- •1.3.5. Принцип работы электронных микроскопов.
- •2.3.5. Просвечивающие электронные микроскопы.
- •3.3.5. Рентгеновские микроанализаторы.
- •4.3.5. Растровые электронные микроскопы.
- •Глава 6.
- •1.6. Слабоионизированные газы.
- •2.6. Ионизация газа, находящегося в термодинамическом равновесии.
- •3.6. Диффузионный ток.
- •4.6. Проводимость
- •5.6. Ударная ионизация
- •6.6. Вольтамперная характеристики газового разряда.
- •1.6.6. Несамостоятельный газовый разряд.
- •2.6.6. Самостоятельный газовый разряд.
- •7.6. Газоразрядные приборы с холодным катодом
- •1.7.6. Дуговые разрядники.
- •2.7.6. Газоразрядные источники света.
- •3.7.6. Лампы тлеющего свечения (лтс).
- •4.7.6. Стабилитрон тлеющего разряда.
- •5.7.6. Многоэлектродные газоразрядные приборы тлеющего разряда.
- •6.7.6. Тиратрон тлеющего разряда.
- •7.7.6. Тиратроны дугового разряда.
- •8.6. Дисплеи с плазменной панелью.
- •1.8.6.Структура ячейки
5.4. Фокусировка и управление потоком заряженных частиц в постоянных магнитных полях.
Вектор силы Лоренца, действующий на заряженную частицу в постоянном магнитном поле, по определению векторного произведения:
Fл=q[v×B], (38.4)
Рис. 19.4. Составляющие начальной скорости
частицы, движущейся в магнитном поле.
перпендикулярен вектору скорости частицы. Поэтому движение частицы влетающей в магнитное поле с вектором скорости (v) под углом ( ) к вектору магнитной индукции (В) распадается на два вида движения: а) равномерное вдоль оси (z), совпадающим с направлением вектора индукции магнитного поля; и б) движения в плоскости перпендикулярной к вектору В (рис. 19.4). Сила Лоренца непрерывно поворачивает, перпендикулярную составляющую скорости не изменяя её величины. В данном случае сила Лоренца играет роль центростремительной силы, а происходящее под её действием движение в плоскости перпендикулярной к вектору индукции магнитного поля описывается уравнением равномерного движения по окружности со скоростью v┴:.
B,
(39.4)
откуда r – радиус кривизны траектории или радиус окружности равен:
.
(40.4)
С
учетом формулы (39.4) период обращения
(Т) и угловая частота (
)
определятся из равенств:
,
(41.4)
.
(42.4)
Сложение равномерного движения частицы вдоль направления магнитного поля со скоростью v║ с равномерным вращением по окружности приводит в результате к траектории движения частицы по винтовой линии. Шаг винтовой линии равен расстоянию, на которое переместится частица в направлении поля за время полного оборота:
l=v║Т=
,
(43.4)
где -угол между направлениями векторов начальной скорости частицы и вектора магнитной индукции (рис.19.4). Направление вращения составляет левовинтовую систему с вектором В для положительного заряда и правовинтовую систему для отрицательного заряда. Если в магнитном поле движется электрон, то с учетом численных констант входящих в уравнение (42.4) получим:
1,7×107В
рад/сек.
(44.4)
В уравнения (41.4 и 42.4) скорость частицы в явном виде не входит. Окружность, по которой движется заряженная частица (уравнение 40.4) под действием силы Лоренца принято называть ларморовой окружностью, а величину - ларморовой частотой, по имени английского физика Лармора, изучавшего движение заряженных частиц в магнитных полях.
Предположим, что электронный пучок с малой угловой расходимостью выходит из точки О под средним углом , к вектору магнитной индукции В. Поскольку траектории электронов винтовые линии, то через интервал времени равный периоду обращения (см. уравнение 41.4) они пересекут силовую линию магнитного поля, проходящую через точку О1 (рис.20.4). Расстояние, на которое они при этом продвинутся вдоль оси, т.е. шаг винтовой линии, определится по формуле (при условии что угол мал).
l=2
(45.4)
Рис. 20.4. Фокусировка заряженных частиц
в продольном магнитном поле.
Таким образом, имеет место фокусировка электронного пучка проходящего под малым углом к силовой линии магнитного поля (параксиального пучка). При увеличении среднего угла ( ) фокусировка ухудшается. Если в плоскости перпендикулярной к магнитному полю поместить объект, каждая точка которого испускает пучок с малой угловой расходимостью, то на расстоянии l сформируется изображение объекта с увеличением, равным единице. Следовательно, фокусирующее действие продольного магнитного поля может быть использовано для получения электронно оптического изображения.
В случае вхождения электронного пучка в магнитное поле, когда вектор скорости электронов перпендикулярен силовым линиям магнитного поля (вектору магнитной индукции В) при малой расходимости пучка (2) пучок электронов вновь сфокусируется после поворота на угол 1800 (рис. 21.4). При этом ширина фокуса пучка (ВС) при радиусе (r) по которому движутся (электроны с заданной скоростью и в данном магнитном поле, при угле раствора пучка 2, определится из равенства:
ВС=АС-АВ=2r-2rcos=4rsin2(
),
(46.4 )
а, ширина фокуса (=ВС) при малом угле определится по формуле:
ВС==r2. (47.4)
Таким образом, если рассматривать пучок электронов, вылетающих из точки А с угловой расходимостью в пределах (2), то окажется, что около точки В этот пучок сходится в области определяемым равенством (47.4).
Поперечная магнитная фокусировка находит широкое применение в технике по разделению частиц по массе и заряду (масспектрометрия и разделение изотопов). Согласно формулам, (40.4 и 47.4) определяющий линейный размер области фокусировки в поперечных электромагнитных полях зависит от отношения массы частицы к её заряду. Поэтому частицы разного сорта (отличные по массе и заряду) будут фокусироваться в различных точках на участке ВС, и их можно улавливать соответствующими приемниками.
Рис.21.4. Фокусировка пучка заряженных частиц в
поперечном однородном магнитном поле.
Применительно к электронным пучкам ни продольная, ни поперечная фокусировки в однородном магнитном поле существенного практического значения не имеют. Наиболее важным оказывается только фокусировка электронных пучков с помощью коротких соленоидов. Такой соленоид создает аксиально-симметричное магнитное поле с отличными от нуля компонентами магнитной индукции. Фокусирующее действие аксиально-симметричного магнитного поля можно пояснить с помощью рис. 21.5, на котором в плоскости, проходящей через ось симметрии z, изображено сечение соленоида, четыре силовые линии магнитного поля - тонкий пунктир и две характерные траектории электронов - жирный пунктир. Электроны влетающие, в поле короткого соленоида, слева направо параллельно оси z показаны стрелками.
Качественно механизм фокусировки в коротком соленоиде (короткой магнитной линзе) можно разъяснить следующим образом. Пусть электроны влетают в поле короткой электромагнитной линзы со скоростью v, двигаясь слева направо (рис. 21.5). Для наглядности примем, что начальное вращение электрона отсутствует и его скорость направлена параллельно оси z. Тогда в первые моменты движения электрона в поле кроткого соленоида, на него будет действовать только сила от составляющей магнитного поля:
F=e(vzBr), (48.4)
которая вызовет вращение электрона по азимуту со скоростью v. Если Br направлено, так как представлено на рис. 21.5, то в области z<0 в верхней части соленоида компонента скорости v направлена к читателю, а в нижней части,
Р
ис.22.4.
Фокусировка электронных пучков
в короткой магнитной катушке.
напротив, - от него т.к. (e<0). Только после появления радиальной составляющей скорости v начнет сказываться фокусирующее действие короткого соленоида (магнитной линзы). В результате взаимодействия v и Вr возникнет движение в радиальном направлении. Составляющая вектора индукции Br магнитного поля вызывает вращательное движение электрона по спирали с переменным радиусом относительно оси z. Радиальная составляющая силы всегда направлена к оси, т.е. действие поля всегда будет фокусирующим, независимо от направления силовых линий и направления начальной скорости электрона. На протяжении всей первой половины линзы знак азимутальной компоненты силы не меняется и вращательная скорость v будет непрерывно нарастать. Одновременно за счет увеличения v и Bz будет нарастать фокусирующая сила Fr. После перехода электрона во вторую половину линзы (z › 0) знак Br и вращательная скорость начнет постепенно уменьшатся. Однако знак фокусирующей силы остается неизменным, потому что знаки v и Bz не изменяются. В результате прохождения электрона через линзу его траектория окажется повернутой на некоторый угол относительно исходной плоскости (r,z) и пересечет ось (z) в том или ином месте, один или даже несколько раз за счет действия фокусирующей силы.
Таким образом, основной особенностью фокусировки в магнитном поле является следующее: а) неизбежный поворот изображения в плоскости перпендикулярной к оси z; и б) аксиальное поле магнитной линзы всегда собирает электронный пучок, т.е. рассеивающих магнитных линз в природе не существует.
Вывод уравнения траектории электрона и вычисление фокусного расстояния магнитной линзы базируется на совместном решении трех уравнений в цилиндрических координатах для параксиальной области и выходит за рамки настоящего курса. В связи с этим ограничимся только конечным результатом для выражения угла поворота траектории, т.е. изображения в плоскости z=z0:
,
(49.4)
и выражения для оптической силы магнитной линзы:
,
f*
=
−f.
(50.4)
Уравнение (50.4) получено интегрированием по оси z от плоскости объекта (z=а) до плоскости изображения (z=b) в приближении тонкой линзы. Подынтегральное выражение в данной формуле всегда положительное, следовательно, всегда положительно и фокусное расстояние. Равенство (50.4), дает подтверждение высказанному ранее замечанию об отсутствии рассеивающих магнитных линз.
