
- •1. Атомно-силовий мікроскоп. Будова та принципи роботи
- •Зовнішній вигляд та комплектація асм (Solver p47-pro )
- •2. Функції та режими роботи асм Solver p47pro
- •2.1. Контактний режим
- •3D поверхня плівки ZnO 3d поверхня плівки Pd
- •Амплітудне зображення плівки Zn
- •2.2 Скануюча тунельна мікроскопія та спектроскопія
- •2.3 Літографія
- •Локальне анодне оксидування плівки Ti
- •3.Nova. Програма управління асм
- •3.1. Вимоги до комп'ютера
- •3.2. Інтерфейс програми управління
- •3.3. Головне меню
- •3.4. Панель основних параметрів
- •3.5. Область основних операцій
- •3.6. Область додаткових операцій
- •4. Модуль обробки зображень
- •4.1. Основні компоненти інтерфейсу програмного модуля Image Analysis
- •4.1.1. Контейнер зображень
- •4.1.2. Головне меню
- •4.1.3. Головна панель інструментів
- •4.1.4. Дерево методів
- •4.2. Аналіз і обробка сзм-даних
- •4.2.1. Група методів Image Analysis
- •4.2.2. Група методів Curve Analysis
- •4.2.3. Група методів Transform 2d
- •4.2.4.Група методів Transform 1d
- •Список використаної літератури:
4.1.3. Головна панель інструментів
Головна панель інструментів містить ряд найбільш часто використовуваних інструментів для роботи з фреймами даних:
Open - відкриває діалогове вікно, для вибору і завантаження необхідного фрейма СЗМ-даних з обраного файлу СЗМ-даних, що має формат *. MDT;
Save All As - відкриває діалогове вікно для збереження всіх елементів даних Контейнери зображень у вигляді окремого файлу СЗМ-даних у форматі *. MDT;
Store All - додає всі елементи даних контейнера зображень у вихідний файл СЗМ-даних;
Exit - вихід з програмного модуля Image Analysis;
Close selected-видаляє активоване елемент з Контейнери зображень;
Close Unselected - видаляє всі невиділені елементи з контейнера зображень;
Duplicate - робить копію активованого елемента даних;
Maximize - перемикає інтерфейс в режим відображення на весь екран активованого елемента даних;
Panels - відкриває меню настройки параметрів контейнера зображень;
Help - запускає довідкову систему програмного модуля Image Analysis.
4.1.4. Дерево методів
Дерево методів розташовується праворуч від контейнера зображень. Дерево методів містить список усіх методів з обробки та аналізу СЗМ-даних, які відповідають активованого елементу Контейнери зображень. Якщо активовано вікно 2D-даних, то дерево містить список методів, призначених для аналізу та обробки 2D-даних . Відповідно, якщо активовано вікно 1D-даних, то дерево містить список методів, призначених для аналізу та обробки 1D-даних.
4.2. Аналіз і обробка сзм-даних
У Головному меню методи обробки і аналізу СЗМ-даних розділені на чотири групи:
Image Analysis - об'єднує методи пов'язані з аналізом 2D-даних;
Curve Analysis - об'єднує методи пов'язані з аналізом 1D-даних;
Transform - об'єднує методи пов'язані з перетвореннями 2D-і 1D-даних;
Filters - об'єднує методи пов'язані з перетвореннями типу «Фільтрації».
4.2.1. Група методів Image Analysis
Меню Image Analysis містить наступний список методів:
- Section Analysis дозволяє отримувати різні перетини 2D-зображення, знаходиться в активованому стані.
-Statistics включає наступні методи: Roughness Analysis, Histogram і Bearing Ratio.
-Fourier Analysis запускається або при виборі Fourier Analysis в випадаючому меню Image Analysis, або з дерева методів за допомогою подвійного клацання на Fourier Analysis ==> FFT Filtering.
-Autocorrelation – автокореляційна функція ACF (r) визначається як усереднене за достатньо великої площі висот рельєфу в двох точках, віддалених одна від одної на фіксованій відстані r
-Average profile дозволяє отримати середній профіль уздовж заданого напряму (або вздовж осі X, або вздовж осі Y) для всього зображення, або для виділеної області. Виділення необхідної області проводиться за допомогою інструменту Select Region.
-Local Equilization є корисним інструментом для аналізу двомірної структури поверхні в тому випадку, коли саме двовимірна структура і являє основний інтерес. Local Equilization дозволяє контрастувати тонку структуру поверхневих об'єктів, тоді, коли рельєф має кілька характерних масштабів, наприклад тонку структуру на тлі великих змін висоти рельєфу з великою характерною довжиною.
-Calibration використовується для перевірки калібрування сканера по осях X, Y і уточнення калібрувальних параметрів.
-Grain Analysis призначений для аналізу зразків типу «плоска горизонтальна поверхя з локально розташованими частками або порами ».