
- •21 Загальна х-ка процесу розсіювання високоенергетичних електронів у тв. Тілі
- •22 Відбиті та вторинні електрони
- •23 Будова рем
- •24 Основи формування зображення рем, збільшення та глибина фокусу
- •25 Детектори електронів у рем
- •Детектори сцинтилятор-фотопомножувач. Еверхарт та Торнлі
- •26 Методи обробки сигналу у рем
- •27 Поняття про ідеальне зображення. Аберації 3-го порядку Ідеальне, або гаусівське, зображення
- •28 Конструкція пем. Хід променів у колоні мікроскопа із 3-х ступеневим збільшенням Конструкція пем
- •29 Практичні режими роботи пем: дифракційний, мікродифракційний, світлопольний, темнопольний Режими роботи пем
- •30 Фізичні основи принципу роботи та конструкція скануючого тунельного мікроскопу
- •31 Основи термодинаміки і кінетичної теорії газів (рівноважний тиск металевої пари).
- •32 Основи термодинаміки і кінетичної теорії газів (розподіл атомів металевої пари за швидк).
- •33 Випаровування матеріалів для т.Плівок і покриттів: ел.-променеве, іонне, реактивне)
- •34 Методи контролю та вимірювання товщин тонких плівок.
- •35 Чотири стадії росту плівки; механізм конденсації плівок.
- •36 Утворення дефектів у процесі росту плівки і покриття (дислокації).
- •37 Утворення дефектів у процесі росту плівки і покриття (межі зерен).
- •38 Нанокристал. Та аморфні плівкові матеріали.
- •39 Внутрішні макронапруження в конденсатах.
- •40 Процеси старіння в тонких плівках.
- •1 Основні х-ки вакуумної системи. Основне р-ня вакуумної техніки.
- •2 Класифікація вакуумних насосів. Параметри і робочий діапазон дії.
- •5 Конструкція та принцип дії багатоступеневого паромасляного дифузійного насосу.
- •6 Конструкція і принцип роботи іонно-сорбційних, адсорбційних, кріогенних насосів.
- •7 Механ. Молекулярні та турбомолекул. Насоси.
- •8 Принцип роботи обертальних пластинчатих насосів. Робочі рідини для оберт. Насосів.
- •9 Розбірні вакуумні з’єднання. Гнучкі вакуумні з’єднання. Передача руху у вакуум.
- •10 Конструкція і принцип роботи вакуумних уловлювачів.
- •11 Послідовність формування та схема техн.. Процесу дифузійно-планарних імс
- •12 Послідовність формування та схема техн.. Процесу епітаксійно-планарних імс.
- •13 Послідовність формування та схема техн.. Процесу виготовлення V-канальних німс.
- •14 Послідовність формування та схема техн.. Процесу німс з діелектричною ізоляцією
- •15 Впровадження домішки у напівпровідник шляхом термічної дифузії
- •16 Впровадження домішки у напівпровідник шляхом іонної імплантації
- •17 Автоепітаксія кремнію як базовий технологічний процес виготовлення імс.
- •18 Загальна х-ка фотолітографічного процесу.
- •19 Схема технолог. Процесу виготовлення товсто плівкових гімс. Х-ка та трафаретний друк.
- •20 Загальна х-ка етапів та методів зборки імс.
9 Розбірні вакуумні з’єднання. Гнучкі вакуумні з’єднання. Передача руху у вакуум.
В
акуумні
ущільнення
- це пристрої для вакуумно-щільного
з'єднання вузлів та деталей.
В ущільненнях
без прокладки
поверхні, які стискуються, дуже старанно
оброблені (частіше за все притерті одна
до іншої), а мікронерівності на цих
поверхнях заповнені вакуумним мастилом.
Використовуються у скляних вакуумних
системах. В ущільненнях із
пластичною деформацією прокладки
між поверхнями, які з'єднуються,
встановлюється металева прокладка, яка
при стисненні ущільнення з необхідним
зусиллям заповнює мікронерівності
контактуючих площин, деформується
пластично. Поверхні, які стискуються,
мають спеціально вибраний профіль.
Прокладка: мідь, золото, срібло, алюміній,
індій. Герметичні прокладки не бояться
прогрівання
У
щільнювачі
із пружною
деформацією
виготовляють з гуми, полімерних речовин.
а),б)з необмеженим стисненням (деформуються, швидко втрачають еластичність); в),г) з обмеженим стисненням; д),е) – з об‘ємним стисканням.
Гнучкі вакуумні з’єднання.
У вакуумній техніці часто необхідні у використанні гнучкі з’єднання. Вони відносяться в першу чергу до з'єднань високо вакуумних насосів з насосами попереднього вакууму обертального типа, які створюють значні вібрації. Для цієї цілі використовуються товстостінні резинові трубки (вакуумні шланги), вони повинні бути стійкими до дії мінеральних масел, органічних розчинників. Їх одягають на скляні чи металеві трубки, які попередньо розігріті і покриті вакуумним маслом. Однак навіть найкраща вакуумна резина не може використовуватися у високовауумній частині установки. Тому у високовауумній частині установки (вакуум не нижчий за 10-6 мм.рт.ст) застосовують гнучкі з’єднання. виготовлені з синтетичних матеріалів (вони майже не виділяють газ в порівнянні з резиною).
Д
уже
розповсюдженими є металічні з’єднання.
Такі з’єднання здійснюється за допомогою
резинової або якоїсь іншої резинової
манжети (рисунок 9. 1). Якщо використовується
резинова манжета, то необхідно
використовувати спеціальний клей. Також
можуть використовуватися гнучкі
з’єднання із метала у вигляді шлангу
і еластичних сильфонів. Ці шланги із
гофрированого томпака можуть мати
діаметр до 100мм і довжину до декількох
метрів (рисунок 9.2). Кінці цих шлангів
обладнані з’єдну-вальними наконечниками
(для з’єднання з вакуум-ною системою
за допомо-гою фланців чи пайкою).
Прогріваємі гнучкі з’єд-нання –
називаються сильфонами, виготовляються
із томпака, берилієвої бронзи, нержавіючої
сталі. Внутрішня поверхня сильфона може
бути покрита шаром іншого металу для
антикорозії або хімічної стійкості.
Наприклад сильфони із нержавіючої сталі
можуть працювати при температурах від
-60 до +700 С. Сильфони використовуються
для перехідних гнучких ланок вакуумної
системи і для передачі руху у вакуум.
10 Конструкція і принцип роботи вакуумних уловлювачів.
Граничний вакуум форвакуумних механічних і дифузійних насосів обмежується зворотним паровим потоком з них. Пристрій для подавлення зворотного парового потоку з форвакуумних і дифузійних насосів називається уловлювачем.
За принципом роботи: механічні(відбивачі), холодні, сорбційні, електричні (іонні).
У
механічному
уловлювачі
зворотний паровий потік скраплюється
й у вигляді робочої рідини і повертається
у насос.
Основним робочим елементом цього уловлювача є маслозатримуюча набивка.
складається з плоскої та гофрованої мідних стрічок, які накладаються одна на одну і змотані у рулон: створюється ряд довгих і вузьких каналів.
У холодних уловлювачах зворотний паровий потік виморожується на поверхнях, які охолоджуються до
низьких температур. Охолодження здійснюється холодоагентами або агрегатами. рідкий азот (-196°С),
рідкий водень (-252,5°С),
рідкий гелій (-268,98°С)
Р
ідкий
холодоагент Х заливається у резервуар
Р. Для теплоізоляції цей резервуар
підвішується на довгих і тонких трубках.
На робочих поверхнях скраплюються пари.
У процесі роботи товщина шару конденсату
зростає і температура зовнішніх шарів
його підвищується за рахунок радіаційної
передачі тепла зі стінок корпусу і
низької теплопровідності самого шару.
Поступово погіршується, а потім і зовсім
припиняється конденсація парів. Настає
насичення уловлювача, наобхідно
відновлення працездатності.
У сорбційних уловлювачах пара поглинається сорбентами.