1.2.1 Технические характеристики установки 01ни – 7 - 015

Масса установки не более 2862 кг.

Кинематическая производительность установки не менее 100 пластин в час при диаметре пластин (76-100)мм и толщине пленки алюминия 1 мкм.

Кинематическая производительность установки при толщине пленки алюминия 1 мкм - есть количество изготовленных на установке в течение 1 ч изделий (кремниевых пластин), т.е. с нанесенной пленкой алюминия толщиной не менее 1 мкм, без учета потерь времени на включение, запуск, тренировку, отключение, ремонт установки и т.д.

Токи, потребляемые установкой по фазам, не более 70А. Расход холодной воды с давлением (3-4 10⁵ Па (3-4)кгс/см² при работе установки не более 2 м³/ч (5,6 10^-4 м³/с), при разнице температур воды на входе и выходе не более 10°С.

Установка обеспечивает откачку рабочей камеры до давления не выше 1,ЗЗ 10^-2Па (1 10^-4 мм рт. ст.) за время не более 30 мин, откачку рабочей камеры до давления не выше 6,7 10^-5 Па (5 10^-7 мм. рт. ст.) за время не более 120 мин, при этом суммарное натекание и газовыделение в рабочей камере при открытых затворах шлюзов не более 1,33 10^-5 м³ Па (1 10^-4 мм. рт. ст.) (КР) и измерение давления рабочей камеры в диапазоне (3,9 10³-1,3 10⁵) Па (30-1 10^-7 мм. рт. ст. ) с погрешностью вакуумметров 13BT3-003 и ВМБ-8 соответственно.

Примечание:

I) Давление в камере и шлюзах - абсолютное.

2)Знаком (КР) отмечены параметры, которые являются критериями работоспособности установки.

Установка обеспечивает откачку шлюза загрузки до давления не выше 1,33 Па (1 10^-2 мм. рт. ст.) за время не более 2 мин и измерение давления в шлюзе загрузки в диапазоне (3,9 10³ - 6,7) Па [(30 – 5 10^-2) мм. рт.ст.] с погрешностью вакуумметра 13BT3-003, а в диапазоне давлений (6,7-2,6 10^-1) Па [(5 10^-2 – 2 10^-3 мм рт. ст.] индикацию давления в шлюзе загрузки.

Установка обеспечивает регулирование скорости конвейера в диапазоне от 120 до 400 мм/мин, поддержание ее с нестабильностью (отклонением от среднего значения) не более +5% и отображение скорости конвейера на дисплее.

Отклонение скорости, отображаемой на дисплее, не превышает +10% от действительного значения скорости конвейера.

Примечание.

Действительные значения параметров, определяют по показаниям образцовых (встроенных) средств измерения.

Установка обеспечивает регулирование тока нагревателя пластин в диапазоне от 2 до 4 А, поддержание его с нестабильностью (отклонением от среднего значения) не более +5% и отображение тока нагревателя пластин на дисплее.

Отклонение тока нагревателя, отображаемого на дисплее, не превышает ±10% от показаний амперметра, измеряющего ток нагревателя.

Установка обеспечивает регулирование давления в зоне осаждения в диапазоне (КР) (1,33 10^-1 – 1,33) Па [(1 10^-3 – 1 10^-2) мм pт.cт.] поддержание его на уровне (6,7 10^-1 -1,33) Па [(5 10^-3 - 1 10^-2) мм pт.cт.] с нестабильностью (отклонением от среднего значения) не более ±5%, и отображение давления в зоне осаждения на дисплее,

Отклонение показаний вакуумметра измеряющего давление в зоне осаждения, от давления отображенного на дисплее, не превышает ±10%.

Установка обеспечивает одновременную и раздельную работу трех магнетронов в диапазоне мощности (2-6) кВт, поддержание мощности каждого магнетрона на уровне (4-6) кВт с нестабильностью (отклонением от среднего значения) уровня мощности не более ±3% (КР) и отображение мощности каждого магнетрона на дисплее. Отклонение мощности магнетронов, измеренной с помощью амперметра и вольтметра от мощности, отображаемой на дисплее, не превышает ±10%.

Установка обеспечивает питание катода каждого магнетрона напряжением (350-700) В при токе в магнетроне не более I2A в защиту источника питания от перегрузки при увеличении тока до (15±3)А (КР).

Установка обеспечивает подачу на анод относительно корпуса регулируемого напряжения смещения в диапазоне (30-50)В, не менее, и измерение напряжения смещения в диапазоне (0-50)В с погрешностью не более 2,5%.

Установка обеспечивает автоматическую загрузку пластин на конвейер из кассеты и выгрузку пластин с конвейера в кассету, счёт загружаемых и выгружаемых пластин и световую и звуковую сигнализацию об окончании загрузки и выгрузки пластин (КР).

Установка обеспечивает в режиме "тренировка" автоматическое увеличение мощности включенных магнетронов в диапазоне (0,2-6) кВт со скоростью (0,2 ± 0,1) кВт/мин.

Установка обеспечивает автоматическое уменьшение мощности магнетронов до (0,5±0,1) кВт и включение на дисплее надписей "КАССЕТА ЗАГРУЗКИ ПУСТА" и "ОЖИДАНИЕ" при отсутствии пластин на конвейере и автоматическое увеличение мощности до заданного значения и включение надписи "РАБОТА" вместо надписи "ОЖИДАНИЕ" и отключение надписи "КАССЕТА ПУСТА" - после загрузки пластин.

Установка обеспечивает ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин, давлением в зоне распыления и мощностью трех магнетронов.

Установка обеспечивает равномерность толщины наносимых пленок на пластинах диаметром (76-100) мм. Допускаемое отклонение толщины пленки от среднего значения в диапазоне изменения толщины от 0,2 до 1 мкм ± 3%.

Время непрерывной работы установки в автоматическом режиме не менее 16 ч.

Установка сохраняет работоспособность при отклонениях напряжения питающей сети на ± 38/22 В от номинального значения.

Уровень радиопомех, создаваемых установкой, не превышает значений, указанных в Общесоюзных нормах допускаемых индустриальных радиопомех (Нормы В-72), утвержденных Государственной комиссией по радиочастотам СССР 12 июня 1972 г.

Показатели надежности при доверительной вероятности Р=0,8 должны быть в соответствии с ГОСТ 27.003-83 следующими:

- Средняя наработка на отказ, Т, не менее 250 ч.

- Установленная безотказная наработка Tу» не менее 25 ч.

- Полный средний срок службы не менее 6 лет,

- Установленный срок службы, не менее 2,5 лет.

- Коэффициент готовности Кг не менее 0,95.

За критерии отказов установки следует считать отклонения параметров установки от установленных в технических требованиях и обозначенных знаком (КР). В соответствии с ГОСТ 27.401-84 при оценке надежности не учитываются отказы, причины возникновения которых устранены в результате доработок, что должно быть подтверждено техническим обоснованием (расчетом) или дополнительными испытаниями. Не учитываются отказы в случае нарушения потребителем состава, содержания и периодичности работ по техническому обслуживанию установки, указанных в разделе "Техническое обслуживание" ЯИЗ.273.041 ТО, а также в случае отсутствия информации о проведении этих работ, которая должна с периодичностью один раз в полгода направляться предприятию-разработчику по форме таблицы учета технического обслуживания 3.273.041 ТО.

Уровни звуковой мощности в октавных полосах частот не превышают значений, указанных в табл.1.

Таблица 1.1 - Уровни звуковой мощности в октавных полосах частот

Среднегеометрические частоты октавных полос, Гц	63	125	250	500	1000	2000	4000	8000
Уровни звуковой мощности, дБ, не более	99	92	87	63	79	78	76	75

Эргономические требования соответствуют Г0CTII0S3.000-77.

Удельная энергоемкость установки не более 2,8 Вт ч/см² для диаметра пластин 100 мм.

Удельная материалоемкость установки не более 0,18 кг/см² для диаметра пластин 100 мм.

Общий вид вакуумной установки 01НИ – 7 – 015 представлен на рисунке 1.1

Рисунок 1.1 – Общий вид установки 01НИ – 7 - 015