Список літератури

1. Пека Г.П., Стріха В.І. Поверхневі та контактні явища у напівпровідниках: Підручник. – К.: Либідь, 1992. – 240с.

2. Ржанов А.В. Электронные процессы на поверхности полупроводников. – М.: Наука, 1971. – 480с.

3. Боонстра А. Поверхностные свойства германия и кремния: Пер. с англ. – М.: Мир, 1970. – 176с.

4. Зенгуил Э. Физика поверхности: Пер. с англ. – М.: Мир, 1990. – 536с.

5. Нестеренко Б.А., Снитко О.В. Физические свойства атомарно-чистой поверхности полупроводников. – К.: Наук. думка, 1983. – 264с.

6. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов. Учебн.пособие. – М.: Высш. школа, 1974. – 400с.

7. Блинов И.Г., Кожинов Л.В. Оборудование полупроводникового производства. Учебн.пособие. – М.: Машиностроение, 1986. – 264с.

8. Электронные явления на поверхности полупроводников /В.И. Ляшенко, В.Г. Литовченко, И.И. Степко и др. – К.: Наук. думка, 1968. – 399с.

59

Основи фізики поверхні напівпровідників. Навчальний посібник