Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Плазмохимическое травление нитрида кремния на установке LAM 490.docx
Скачиваний:
30
Добавлен:
29.06.2019
Размер:
300.46 Кб
Скачать

3.4 Предложения по повышению процента выхода годных изделий

Автоматизация производства дает основной вклад в увеличение выхода годных приборов. Повышение чистоты помещений и устранение пыли при обработках являются еще одним путем увеличения выхода годных. Для успешной автоматизации всей последовательности операций требуются линейные контролирующие устройства. Устройства индивидуального контроля пластин корректируют параметры обработки для наиболее точного соблюдения параметров.

Для снижения числа факторов влияющих на процесс и для обеспечения воспроизводимости самого процесса необходим технологический контроль, воздействующих на работу оборудования. Поскольку в большинстве случаев приходится иметь дело как с независимыми, так и взаимосвязанными параметрами, для понимания самого процесса и его контроля очень важно использование компьютерного моделирования и компьютерных контролирующих систем. Если установлен технологический контроль, то его автоматизация возможна на различных уровнях и может рассматриваться как способ повышения производительности и увеличения выхода годных.

Для устранения этих видов брака в основном необходимо оптимизировать режимы плазмохимического травления (время травления, давление, ВЧ - мощность и расход газов). Для изделий с категорией качества "ВП" изменение режимов травления необходимо проводить с помощью технолога. Затем провести контрольный процесс на скорость травления и неравномерность. Если при контроле параметры соответствуют норме - провести плазмохимическое травление и контроль одной пластины.

4 Экономическая часть

Республика Беларусь в своей социально–экономической политике на предстоящее пятилетие исходит из преемственности целей и приоритетов, которые были сформулированы и реализовывались в предыдущие годы. Национальная модель социально ориентированной экономики хорошо зарекомендовала себя на протяжении последних 15 лет и в основном будет сохранена в перспективе.

Вместе с тем для динамичного развития требуется более активное совершенствование и модернизация действующих организационно–экономических механизмов, экономических институтов и экономической политики, которые позволят повысить эффективность, устойчивость и конкурентоспособность существующей модели развития Республики Беларусь.

Основные направления совершенствования предусматривают формирование национальной инновационной системы; создание благоприятных условий для развития предпринимательской инициативы и увеличения притока инвестиций в экономику; развитие государственно–частного партнерства в целях обеспечения устойчивости государственной финансовой системы; расширение самостоятельности и ответственности региональных и местных органов управления в решении социально–экономических проблем.

Главная цель — рост благосостояния и улучшение условий жизни населения на основе совершенствования социально–экономических отношений, инновационного развития и повышения конкурентоспособности национальной экономики.

Ее реализация предусматривает повышение реальных располагаемых денежных доходов населения в 2019 году к уровню 2010 года в 1,7 — 1,76 раза на основе обеспечения роста ВВП — в 1,62 — 1,68 раза, производительности труда — в 1,63 — 1,68 раза, объемов промышленного производства — в 1,54 — 1,6 раза, сельского хозяйства — в 1,39 — 1,45 раза, удельного веса отгруженной инновационной продукции организациями, основным видом деятельности которых является производство промышленной продукции, в общем объеме отгруженной продукции до 20 — 21 процента в 2019 году, инвестиций в основной капитал за пятилетие — в 1,9 — 1,97 раза, основная часть которых будет направлена на создание и модернизацию более одного миллиона рабочих мест.

Реализация поставленной цели будет достигнута на основе всестороннего использования потенциала сильного государства, концепция которого успешно претворяется в жизнь в нашей стране. Именно оно выступит гарантом защиты частной собственности, инициатором и эффективным проводником прогрессивных преобразований.

При этом потребуется концентрация ресурсов на следующих приоритетных направлениях социально–экономического развития Республики Беларусь на 2015 — 2019 годы.

В дипломном проекте предлагается оптимизация процесса плазмохимического травления.

В данном разделе дипломного проекта определяется сравнительная экономическая эффективность базового варианта проведения операции и проведённого эксперимента с целью снижения полной себестоимости.

Разработка любых ИМС представляет собой довольно сложный процесс, требующий решения разнообразных научно-технических проблем. Вопросы выбора конкретного технологического воплощения ИМС решаются с учетом особенностей разрабатываемой схемы, возможностей и ограничений, присущих различным способам изготовления, а также технико-экономического обоснования целесообразности массового производства.

Плазмохимическое травление является наиболее ответственной операцией процесса фотолитографии и поэтому к нему предъявляются строгие требования, которые влияют на качество продукции.

В дипломном проекте реализуется оптимизация процесса травления, которая позволяет увеличить процент выхода годных изделий.

Соседние файлы в предмете Микроэлектроника