2.2 Разработка алгоритма технологического процесса плазмохимического травления

Алгоритм — описанная последовательность процедур для воспроизводства процесса с обусловленным задачей алгоритма результатом при заданных начальных условиях.

Алгоритмы представляются в виде блок-схем. Существуют специальные стандарты для построения блок-схем, где определяются графические изображения блоков. Команды алгоритмов записываются внутри блоков на обычном языке или с использованием математических формул. Блоки соединяются по определенным правилам линиями связи, которые показывают порядок выполнения команд.

Блок-схемой называется такое графическое представление алгоритма, когда отдельные действия (или команды) представляются в виде геометрических фигур - блоков. Внутри блоков указывается информация о действиях, подлежащих выполнению. Связь между блоками изображают с помощью линий, называемых линиями связи, обозначающих передачу управления.

Существует Государственный стандарт, определяющий правила создания блок-схем. Конфигурация блоков, а также порядок графического оформления блок-схем регламентированы ГОСТ 19.701-90 «Схемы алгоритмов и программ».

Алгоритм процесса плазмохимического травления нитрида кремния на установке LAM 490 представлен в графической части дипломного проекта на Лист 3.

2.3 Анализ методов контроля плазмохимического травления

Браком считаются изделия, которые по своему качеству не соответствуют установленным стандартам, техническим условиям или договорам. В зависимости от характера дефектов, обнаруженных при оценке готовой продукции или полуфабрикатов, брак делят на исправимый и неисправимый (окончательный).

Исправимым браком считаются изделия и полуфабрикаты, которые после исправления могут быть использованы по прямому назначению и исправление которых технически возможно и экономически целесообразно.

Неисправимым (окончательным) браком считаются изделия , которые не могут быть использованы по прямому назначению и исправление которых технически невозможно и экономически нецелесообразно. Такие изделия реализуют по ценам возможного использования или используют в качестве вторичного сырья для переработки на другие виды продукции.

При выявлении брака делаются соответствующие отметки в первичных документах по учету выработки.

Неисправимый брак, кроме того, оформляется актом о браке или ведомостью о браке, в которой фиксируется несколько фактов брака.

В акте указываются характеристика брака, его причина, количество забракованной продукции, виновник брака; себестоимость брака; суммы, подлежащие взысканию с виновных лиц; потери от брака; отметки цеха-получателя или склада о приемке забракованной продукции.

Акт составляется работником отдела технического контроля, мастером и начальником цеха и передается в бухгалтерию, где калькулируется себестоимость брака. Акт утверждается руководителем организации, который принимает решение о порядке списания потерь от брака, — за счет виновных лиц или за счет производства

Для устранения этих видов брака в основном необходимо оптимизировать режимы плазмохимического травления (время травления, давление, ВЧ-мощность и расход газов). Для изделий с категорией качества "ВП" изменение режимов травления необходимо проводить с помощью технолога. Затем провести контрольный процесс на скорость травления и неравномерность. Если при контроле параметры соответствуют норме - провести плазмохимическое травление и контроль одной пластины.

Методы контроля процессов сухого травления можно разделить на прямые, при которых на чувствительный элемент измерительного устройства воздействуют атомы или молекулы подвергаемого обработке материала, и косвенные, при которых на чувствительный элемент воздействуют частицы, не содержащие атомов или молекул обрабатываемого материала.

При повышенной дефектности поверхности пластин (пылевидные частицы на поверхности) - следует провести уборку рабочего места, чистку зоны загрузки/выгрузки. Провести контрольный процесс на привносимую дефектность, если результат не соответствует норме - сообщить технологу.

Для обеспечения качества продукции необходимо тщательно соблюдать требования технологической документации, повышать квалификацию персонала, соблюдать требования ЭГ, оптимизировать процесс производства.