Расчет поперечных размеров структуры

При расчете поперечных размеров эмиттер и контактное окно к нему полагаем квадратным. Принципы, использованные при расчете продольных размеров, справедливы и для поперечных. Размеры, указанные на рисунках, приведены в мкм.

Рис. 10.12. Структура с диэлектрической изоляцией

Исправить эмиттер-коллектор!

Рис. 10.13. Общий вид структуры при изоляции p-n-переходом

Тогда минимальный размер базы в поперечном направлении (если нет необходимости делать структуру более широкой для снижения плотности тока):

Номинальный поперечный размер базы с учетом случайных ошибок и боковой диффузии:

Максимальный размер:

Размер окна для диффузии примеси в область базы на фотошаблоне:

Необходимо сравнить поперечный размер базы с размером глубокого коллектора. Если размер ГК больше, то он, а не база ограничивает поперечный размер скрытого слоя и расстояние между изолирующими областями. А если меньше – ГК обычно делают прямоугольным, вытягивая в поперечном направлении до размера базы.

Поперечный размер скрытого слоя:

Минимальный размер:

мкм,

Номинальный размер:

Размер на фотошаблоне: