Експериментальні результати вимірювання коефіцієнтів деформації[23]

Система сплаву	Характеристика системи сплаву	Пружна деформація			Пластична деформація
	Системи з обмеженою розчинністю елементів. Фазовий склад: ГЦК-Ag+ +ГЩП-Со + т.р. (Ag, Co).
Ag(18)/Co(17)/П		4,2	= 0,55	-
Ag(22)/Co(22)/П		3,5	= 0,50	-
Ag(40)/Co(20)/П		2,4	= 0,60	-
Ag(45)/Co(36)/П		2,7	= 0,42	-

Таким чином, короткий аналіз робіт показав, що електрофізичні властивості багатошарових плівкових, а особливо гранульованих сплавів в умовах магнітного поля на сьогодні вивчені недостатньо. Значно більше приділяється уваги дослідженню магніторезистивним, структурно-фазовим та тензорезистивним характеристикам плівкових систем на основі Ag та Co. Отже, метою даної роботи є дослідження електрофізичних властивостей гранульованих систем на основі Ag/Co в умовах дії магнітного поля.

1.2 Методика і техніка експерименту

1.2.1 Обладнання для отримання гранульованого плівкового сплаву на основі Ag і Co

Для отримання плівкових систем на основі Co і Ag, використовувався універсальний вакуумний пост ВУП-5М (рис.1.5, а) з тиском залишкових газів ~10-4 Па. Він призначений для отримання і дослідження плівок із різних матеріалів методами термічного, магнетронного та електронно-променевого розпилення, а також для підготовки об’єктів, які вивчаються за допомогою електронного мікроскопу або інших аналогічних приладів[25].

Рис.1.5. Зовнішній вигляд ВУП-5М (а) та піч для термічної обробки зразків (б)

Метали конденсувались на ситалову підкладку. Контакти у вигляді плівки Cu/П (П-підкладка) формувались через спеціальну маску і витримувались після конденсації у вакуумі 1 годину з метою стабілізації структурно-фазових процесів.

При отриманні двошарових плівок осадження здійснювалось пошарово на ситалову підкладку через маску з геометричними розмірами (1х10) мм². З метою стабілізації свіжосконденсовані плівки витримувалися у вакуумі протягом 0,5–1,0 годинн. Ag/Co плівкові системи отримувалася методом термічного випаровування в одному циклі почергово кожен шар.

Отримані зразки різної товщини піддавались термічному відпаленню для отримання гранульованих сплавів. Відпалювання здійснювалося у вакуумі на спеціальній печі (рис.1.5, б) в інтервалі температур Tв = 300–900 К. До зразка під’єднувалася хромель-алюмілева термопара, за допомогою якої можна було контролювати температуру нагріву та охолодження.

1.2.2 Методика контролю товщини отриманих зразків

Для контролю товщини плівок безпосередньо в процесі напилення застосовувався метод кварцового резонатора. Як датчики товщини використовувались кварцові пластини РГ-08, які вмикалась в схему генератора. Частота вихідного сигналу вимірювалась приладом ЧЗ-54.

Товщинa сконденсовaної плiвки визнaчaлaсь зa спiввiдношенням:

^, (1.10)

де D_q та D_f - густинa квaрцу i речовини, якa конденсується, вiдповiдно; f_q – резонaнснa чaстотa квaрцу до почaтку конденсaцiї; f – резонaнснa чaстотa квaрцу пiсля конденсaцiї метaлу, N_a=d_q·f_q=const=1,668·10³Гц·м.

Для контролю загальної товщини багатошарових зразків використовувався інтерферометричний метод, який базується на використанні приладу під назвою інтерферометр Лінника[25].