Семестровый план / 5 курс / ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ИТС-57

УЧЕБНАЯ ДИСЦИПЛИНА

«ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ»

1. ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ

0. 1.1. ЛИТЕРАТУРА

Основная литература.

1. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники: Учебное пособие для вузов.- М.: Лаборатория базовых знаний, 2004 – 488 с.

2. Богданович Б.Ю., Графутин В.И., Калугин В.В., Нестерович А.В., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А. Технология и методы исследования структур КНИ.- М.: изд. МИЭТ и МИФИ, 2003 – 288 с.

3. Симонов Б.М., Заводян А.В. Технологические основы микроэлектроники/Под ред. С.П.Тимошенкова: Учебное пособие в 2-х частях. - М.:МИЭТ, ч.1, 2008-160 с.; ч.2, 2009-156 с.

4. Щука А.А. Наноэлектроника: Учебное пособие. – М.: Физматкнига, 2012- 344 с.

5. Симонов Б.М. и др.Лабораторная работа №5.Технологические процессы изготовления МДП интегральных схем. – М.:МИЭТ, 2012.

Дополнительная литература.

1. Симонов Б.М., Заводян А.В., Грушевский А.М. Конструкторско-технологические аспекты разработки ИС и микросборок. – М.: МИЭТ, 1998. - 167с.

2. Волков В.А., Заводян А.В. Производство перспективных ЭВС: Учебное пособие в 2-х частях. – М.: МИЭТ, ч.1, 1998-172с.; ч.2, 1999-280с.

3. Грабовски Б. Краткий справочник по электронике: Пер. с фр.-М.: ДМК Пресс, 2001 – 416 с.

4. Воженин И.Н., Заводян А.В., Симонов Б.М. Основы полупроводниковой микроэлектроники. - М.: МИЭТ, 1983, 136 с.

Периодические издания

1. Известия вузов. Электроника

2. Электроника

3. Электроника: наука, технология, бизнес

4. Проектирование и технология электронных средств

0. 1.2.ЭЛЕКТРОННЫЕ РЕСУРСЫ

1. Коллекция информационных ресурсов МИЭТ:

http://www.mocnit.miet.ru/oroks-miet/

2. Поисковые системы: www.google.ru, yandex.ru.

3. Щука А. А. Наноэлектроника: Учебное пособие. – М.: БИНОМ,2012 – http://e.lanbook.com.

2. СОДЕРЖАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ

1. ЛЕКЦИОННЫЕ ЗАНЯТИЯ

	Содержание раздела
Лекция 1	Введение. Электроника как область науки, техники и производства. Роль электроники и микроэлектроники в жизни общества
Лекция 2	Изделия микроэлектроники, их конструктивно-технологические варианты реализации и характеристики. Основные понятия и определения.
Лекция 3	Особенности производства изделий микроэлектроники. Технологические процессы производства микросхем и микросборок. Жизненные циклы производства микросхем и микросборок, характерные особенности построения технологических процессов.
Лекция 4	Физико-химическая природа и методы выполнения технологических операций. Технологические и контрольные операции, соответствующие различным этапам производств изделий микроэлектроники.
Лекция 5	Обеспечение качества изделий микроэлектроники и эффективности их производства. Критерии качества. Построение контрольных процедур на этапах производства. Методы повышения качества и эффективности производства изделий микроэлектроники.

2. ЛАБОРАТОРНЫЕ ЗАНЯТИЯ

№ п/п	Содержание лабораторных работ
1	Работа 1. Технологии изготовления полупроводниковых микросхем с диэлектрической и комбинированной изоляцией элементов.
2	Работа 2. Технологии изготовления тонкоплёночных гибридных микросхем, микросборок и титалановых подложек.
3	Работа 3 . Технологии изготовления толстоплёночных гибридных микросхем и многослойных керамических БГИС.
4	Работа 4. Технологии сборки и монтажа бескорпусных полупроводниковых БИС и СБИС.