Инструкция по программе Nova

Глава 2. Анализ и обработка СЗМ-данных

2.4.3.4Left-Right

Метод Left-Right – зеркальное отображение слева направо.

2.4.3.5Up-Down

Метод Up-Down - зеркальное отображение сверху вниз.

2.4.3.6Add Z Points

В методе Add Z Points число точек исходной функции Zij увеличивается в четыре раза.

2.4.3.7Delete Z Points

В методе Delete Z Points число точек исходной функции Zij уменьшается в четыре раза.

2.4.3.8Min Z-> 0

В методе Min Z-> 0 осуществляется преобразование Z – координаты: за нулевое значение Z – координаты принимается Zmin (минимальное значение функции).

2.4.3.9Min X,Y -> 0

В методе Min X,Y-> 0 осуществляется преобразование X,Y – координат: за нулевые значение для X – координаты принимается Xmin, для Y- координаты Ymin.

2.4.3.10 Axis Strain-Stress

Иногда возникает необходимость осуществить преобразования координат типа растяжение-сжатие для того, чтобы устранить известные систематические ошибки, (например, ошибки, связанные с калибровочными коэффициентами сканера).

В методе Axis Strain-Stress осуществляется преобразование типа растяжение-

сжатие для одной из выбранных координат: Aoutput=Ainput*constant, где А, соответственно, одна из координат X, Y, Z, а constant – коэффициент сжатия-

растяжения.

Панель настройки параметров Axis Strain-Stress имеет вид (Рис. 2-101):

Рис. 2-101. Панель настройки параметров Axis Strain-Stress

2-93

Глава 2. Анализ и обработка СЗМ-данных

2.4.4.1Fill area by Average

Метод Fill area by Average применим, если имеется одна или несколько выделенных областей (при помощи инструмента Select Region, 1.2.1.2 на стр. 2-9).

Панель настройки метода Fill area by Average имеет вид (Рис. 2-103):

Рис. 2-103. Панель настройки метода Fill area by Average

В методе Fill area by Average устанавливается для Z координаты всех точек (X,Y) выделенной области значение, равное «среднему». Вариант расчета среднего значения выбирается на панели настройки метода в поле Average from. Возможны три варианта расчета среднего значения:

Рис. 2-104. Выбор значения параметра Average from

В поле Delta устанавливается ширина прилегающей области в пикселях.

2-95

Глава 2. Анализ и обработка СЗМ-данных

2.4.4.2Fill area by Z Const

Метод Fill area by Z Const применим, если имеется одна или несколько выделенных областей (при помощи инструмента Select Region, 1.2.1.2 на стр. 2-9).

Панель настройки метода Fill area by Z Const имеет вид (Рис. 2-107):

Рис. 2-107. Панель настройки метода Fill area by Z Const

В методе Fill area by Z Const устанавливается для Z координаты всех точек (X,Y) выделенной области значение, равное константе. Величина константы задается параметром Z Value.

2.4.4.3Fill area by Zero

Метод Fill area by Zero применим, если имеется одна или несколько выделенных областей (при помощи инструмента Select Region, 1.2.1.2 на стр. 2-9).

Панель настройки метода Fill area by Zero имеет вид (Рис. 2-108):

Рис. 2-108. Панель настройки метода Fill area by Zero

В методе Fill area by Zero устанавливается значение для Z координаты всех точек (X,Y) выделенной области, равное нулю.

2.4.4.4Fill by Superposition

Метод Fill by Superposition «исправляются» отдельные фрагменты изображения. Это может быть полезно, когда необходимо отредактировать («исправить») отдельные фрагменты изображения, которые, с точки зрения автора, являются второстепенными, и портят результат. Задача – сделать эти отдельные фрагменты примерно такими же, как и все остальное изображение.

Метод Fill by Superposition применим, если имеется одна или несколько выделенных областей (области выделяют при помощи инструмента Select Region,

см. п. 1.2.1.2 на стр. 2-9).

2-97

Глава 2. Анализ и обработка СЗМ-данных

2.4.4.5Lines Filling

Вметоде Lines Filling редактируются «линейные дефекты», расположенные горизонтально.

Вметоде Lines Filling несколько расположенных рядом горизонтальных строк (от одной до четырех) заменяются суперпозицией ближайших соседних строк посредством кубической аппроксимации.

Панель настройки параметров Lines Filling имеет вид (Рис. 2-111):

Рис. 2-111. Панель настройки параметров Lines Filling

Посредством параметра Line number задается номер первой заменяемой строки. Посредством параметра Lines number задается число последующих строк, лежащих выше первой строки, которые будут заменяться. Возможные значения этого параметра: от 1 до 4.

2-99

Глава 2. Анализ и обработка СЗМ-данных

Рис. 2-114. Сечение вдоль 90-й строки, имеющей «линейный дефект»

3.В панели Lines Filling для параметра Line number установите значение, соответствующее номеру строки, т.е. Line number=90 (Рис. 2-115).

Рис. 2-115.Панель Lines Filling

Так как в нашем случае размер «линейного дефекта» в вертикальном направлении составляет одну строку, то значение параметра Lines number устанавливается равным 1(Рис. 2-115). Если бы вертикальный размер дефекта

составлял несколько строк, то для параметра Lines number следовало бы установить значение, равное числу строк вертикального размера дефекта (но не больше 4 – программное ограничение).

4.Запустите процедуру Lines Filling стандартным образом (посредством кнопки

Apply).

Аналогичным образом, используя инструмент X-Section, находим, что следует заменить строку №57(Y - координата 1.81 мкм) и лежащую рядом с ней, №58. Для замены этих двух срок следует установить, соответственно, значения для параметров Line number=57 и Lines number=2 и запустить процедуру.

Результат последовательного применения Lines Filling для замены строки №90 и расположенных ниже двух строк № 57 и 58 приведен на Рис. 2-116.

Рис. 2-116. Слева – исходное СЗМ изображение, справа – после последовательного применения Lines Filling для замены строки №90 и строк № 57 и 58

2-101