Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Инструкция по программе Nova

.pdf
Скачиваний:
143
Добавлен:
28.05.2015
Размер:
27 Мб
Скачать
☆

Оглавление (Примеры)

Примеры

Оглавление

Пример 2.2-1.

Roughness Analysis СЗМ-изображения стандартной решетки TGZ-1 .......................

2-37

Пример 2.2-2.

Применение высокочастотной и низкочастотной Фурье-фильтрации

 

 

к периодической структуре...........................................................................................

2-47

Пример 2.2-3.

Применение метода Autocorrelation к поверхности с нормальной плотностью

 

 

распределения высоты...................................................................................................

2-50

Пример 2.2-4.

Применение Average profile для выделенной области на СЗМ-изображении..........

2-53

Пример 2.2-5.

Применение Average FFT для области, выделенной на СЗМ-изображении

 

 

в направлении оси X ......................................................................................................

2-56

Пример 2.2-6.

Применение Local Equilization для контрастирования тонкой структуры деталей

 

 

поверхности. Исходный объект – СЗМ-изображение бактерии E-Coli.....................

2-57

Пример 2.2-7.

Применение Local Equilization. Исходный объект – СЗМ-изображение

 

 

поверхности полимера...................................................................................................

2-58

Пример 2.2-8.

Применение Local Equilization. Исходный объект – СЗМ-изображение

 

 

поверхности тонкой пленки полипропилена...............................................................

2-58

Пример 2.2-9.

Использование Calibration для проверки калибровочных параметров.

 

 

Исходный объект – СЗМ-изображение решетки.........................................................

2-60

Пример 2.3-1.

Roughness Analysis кривой профиля сечения стандартной решетки TGZ-1.............

2-72

Пример 2.3-3.

Применение 1D FFT для анализа кривой типа профиля сечения..............................

2-75

Пример 2.4-1.

Применение Subtract Plane, в случае, когда параметры плоскости

 

 

определяются по данным всего изображения..............................................................

2-79

Пример 2.4-2.

Применение Subtract Plane, Include Случай, когда параметры плоскости

 

 

определяются по выделенным областям СЗМ изображения......................................

2-81

Пример 2.4-3.

Применение Subtract Plane, Exclude. Случай, когда параметры плоскости

 

 

определяются с исключением выделенной области изображения............................

2-82

Пример 2.4-4.

Применение Fit Lines для всего изображения .............................................................

2-87

Пример 2.4-5.

Применение Fit Lines by Area, Include..........................................................................

2-90

Пример 2.4-6.

Применение Fit Lines by Area, Exclude.........................................................................

2-90

Пример 2.4-7.

Применение Fill area by Average...................................................................................

2-96

Пример 2.4-8.

Применение Fill by Superposition для редактирования отдельных

 

 

фрагментов изображения...............................................................................................

2-98

Пример 2.4-9.

Применение Lines Filling для редактирования отдельных

 

 

фрагментов изображения.............................................................................................

2-100

Пример 2.4-10.

Применение Columns Filling для редактирования отдельных фрагментов

 

 

изображения..................................................................................................................

2-103

Пример 2.4-11.

Применение Cut Peaks .................................................................................................

2-107

Пример 2.6-1.

Применение фильтра Prewitt vertical для выделения вертикальных границ...........

2-115

Пример 2.6-2.

Применение фильтра Prewitt horizontal для выделения горизонтальных границ...

2-115

Пример 2.6-3.

Применение HighPass 5x5 фильтра для контрастирования СЗМ изображения......

2-117

Пример 2.6-4.

Применение фильтра Median 5x5 для фильтрации импульсных помех..................

2-118

2-3

ЧАСТЬ 2. Модуль обработки изображений

Введение

Задача программного модуля обработки изображений Image Analysis – обработка и анализ СЗМ-изображений и СЗМ-данных, имеющих формат *.mdt.

Для запуска программного модуля Image Analysis следует выполнить ряд действий:

1.Запустить программу управления Nova.

2.Открыть окно Data, выбрав на панели основных операций закладку Data.

3.Загрузить файл с расширением *.mdt.

4.В панели инструментов окна просмотра и редактирования фрейма нажать кнопку .

2-4

Глава 1. Интерфейс программного модуля Image Analysis

1Интерфейс программного модуля Image Analysis

1.1Основные компоненты интерфейса программного модуля Image Analysis

Основными

компонентами интерфейса (Рис. 1-1) программного модуля

Image Analysis

являются:

−Контейнер изображений (п. 1.2 на стр. 2-6);

−Главное меню (п. 1.3 на стр. 2-13);

−Главная панель инструментов (п. 1.4 на стр. 2-28);

−Дерево методов, Панель настройки метода (п. 1.5 на стр. 2-29).

Рис. 1-1. Интерфейс программного модуля Image Analysis

2-5

ЧАСТЬ 2. Модуль обработки изображений

1.2 Контейнер изображений

Большую часть окна программного модуля Image Analysis занимает Контейнер изображений (Рис. 1-1).

Контейнер изображений служит для отображения СЗМ-данных:

−СЗМ-изображений (2D-данных - функций двух переменных);

−различных кривых, типа профилей сечений и данных спектроскопии (1D-данных – функций одной переменной);

−различных текстовых данных.

Загрузка СЗМ-данных в контейнер изображений

Загрузка СЗМ-данных в Контейнер изображений производится стандартным образом: File ==> Open ==> выбор файла СЗМ-данных ==> выбор требуемого СЗМ-фрейма (элемента СЗМ-данных) в файле.

При загрузке соответствующего фрейма СЗМ-данных в контейнере изображений открывается новый элемент – Окно просмотра СЗМ-данных, в котором отображается выбранный фрейм.

#ПРИМЕЧАНИЕ: Окно просмотра СЗМ-данных является элементом Контейнера изображений.

Окно просмотра СЗМ-данных (далее – Окно данных) может быть трех типов:

−для отображения 2D-данных (СЗМ-изображений) – Окно 2D-данных;

−для отображения 1D-данных (функций одной переменной, например кривых спектроскопии, профилей сечения и т. д.) – Окно 1D-данных;

−для отображения текстовых данных.

Одновременно в контейнере изображений может быть открыто любое число Окон просмотра СЗМ-данных. На Рис. 1-1 показан пример, когда в контейнере изображений открыто четыре элемента.

Один из элементов СЗМ-данных может находиться в активированном (выделенном) состоянии. Выделение необходимого элемента СЗМ-данных производится стандартным образом посредством левой клавиши мыши.

Все действия (анализ, преобразования, фильтрация, и т.д.) производятся над активированным элементом СЗМ-данных.

Перемещение элементов контейнера изображений

Любой активированный элемент (Окно данных) можно перемещать, меняя его положение с соседним элементом посредством использования клавиш клавиатуры в комбинации: клавиша <Ctrl> + соответствующая клавиша <↑>, <↓>, <→>, <←>.

2-6

Глава 1. Интерфейс программного модуля Image Analysis

1.2.1 Окно 2D-данных

Окно 2D-данных (Рис. 1-2) содержит

−панель инструментов Окна 2D-данных;

−поле, на котором отображается фрейм 2D-данных, и которое занимает большую часть окна;

−информационную строку, расположенную внизу под изображением, которая появляется при использовании инструментов типа «сечение», «координаты точки», «угол», «расстояния между точками», и т.д.

Рис. 1-2. Окно 2D-данных

1.2.1.1Панель инструментов Окна 2D-данных

Панель инструментов Окна 2D-данных (Рис. 1-3) содержит следующие кнопки:

Рис. 1-3. Панель инструментов Окна 2D-данных

Инструменты, выполняющие стандартные операции с файлами данных

Save – открывает диалоговое окно для сохранения текущего фрейма в виде отдельного файла СЗМ-данных в формате *.MDT;

Store 2D Data – присоединяет текущий фрейм в виде нового фрейма к исходному файлу СЗМ-данных;

2-7

ЧАСТЬ 2. Модуль обработки изображений

Save 2D Image – открывает диалоговое окно для сохранения текущего фрейма в виде отдельного графического файла с расширением

*.bmp или *.jpg;

Print 2D Image – печатает изображения текущего фрейма.

Инструмент выделения области на изображении

Select Region – выделяет на изображении область при помощи мыши.

Инструменты сечения

Arbitrary L – произвольное сечение фиксированной длины и ориентации;

X Section – сечение по оси X;

Y Section – сечение по оси Y;

Center Section – сечение из центра 2D изображения;

Arbitrary – сечение по любому отрезку.

Инструменты масштабирования и перемещения изображения

Move Visible Area – позволяет перемещать видимую область с помощью мыши;

Zoom In – инструмент увеличения. После нажатия данной кнопки необходимо выбрать интересующий объект или область с помощью мыши;

Zoom Out – инструмент уменьшения. Позволяет уменьшать ранее увеличенную область.

Инструменты для геометрических измерений объектов изображения

Point Instrument – отображение координат точки, выбранной курсором на изображении;

Length Instrument – позволяет измерить расстояние между двумя выделенными точками. После нажатия данной кнопки необходимо щелчком мыши зафиксировать на изображении первую точку. После этого при передвижении курсора от одной точки к другой, в информационной строке-панели выводится расстояние от зафиксированной точки до текущей;

2-8

Глава 1. Интерфейс программного модуля Image Analysis

Angle Instrument – позволяет измерять угол между двумя выбранными направлениями на изображении. После нажатия данной кнопки необходимо щелчком мыши зафиксировать первую точку. Затем, вторым щелчком мыши зафиксировать вторую точку - вершину угла. После этого при передвижении курсора от одной точки изображения к другой в строке состояния выводится значение угла, образованного двумя выделенными ранее точками и текущей.

Инструменты настройки изображения

Coloration – включение ручной настройки уровня светлого – темного;

Change Palette – позволяет загрузить палитру отличную от используемой по умолчанию (файл с расширением *.pal);

2D/3D Properties – открывает меню настройки параметров Окна 2D-данных (шкал осей, шрифтов, заголовков, линий и т.д.);

Smooth Switcher – включение сглаживания изображения;

Toggle Axis – выключение/включение отображения координат осей;

3D/2D Image Representation – переключение между двумерным и трехмерным представлением данных.

1.2.1.2Инструмент Select Region

Инструмент Select Region позволяет выделить одну или несколько прямоугольных областей на изображении.

Выделение области или нескольких областей на изображении

Для выделения следует включить Select Region на панели инструментов (Рис. 1-4) и при помощи мыши выделить необходимую область на изображении

(Рис. 1-5).

Рис. 1-4. Включение инструмента Select Region

Если необходимо выделить несколько областей, то последующие области следует выделять при нажатой клавише <Ctrl>.

2-9

ЧАСТЬ 2. Модуль обработки изображений

Рис. 1-5. Действие инструмента Select Region

Снятие выделения

Выделение не снимается при выключении инструмента Select Region. Если необходимо снять выделение с какой-либо области, то необходимо поставить курсор мыши на эту область и нажать правую клавишу мыши. Выбор в открывшемся меню (Рис. 1-6) Delete снимает выделение с выбранной области, соответственно, выбор Delete All снимает выделение со всех областей.

Рис. 1-6. Снятие выделения

Изменение размеров и перемещение выделенных областей

Размеры выделенной области (и координата одного угла) отображаются на информационной строке под изображением (Рис. 1-5). При помощи мыши можно изменять размеры области, а также перемешать область относительно изображения.

2-10

Глава 1. Интерфейс программного модуля Image Analysis

1.2.2 Окно 1D-данных

Окно 1D-данных (Рис. 1-7) содержит:

−панель инструментов Окна 1D-данных;

−поле, на котором отображается фрейм 1D-данных, и которое занимает большую часть окна;

−информационную строку, расположенную внизу под изображением, которая появляется при использовании инструментов типа маркеров.

Рис. 1-7. Окно 1D-данных

1.2.3 Панель инструментов Окна 1D-данных

Панель инструментов Окна 1D-данных (Рис. 1-8) содержит следующие инструменты:

Рис. 1-8. Панель инструментов Окна 1D-данных

2-11

ЧАСТЬ 2. Модуль обработки изображений

Инструменты, выполняющие стандартные операции с файлами данных

Save – открывает диалоговое окно для сохранения текущего фрейма в виде отдельного файла СЗМ-данных в формате *.MDT;

Store – присоединяет текущий фрейм в виде нового фрейма к исходному файлу СЗМ-данных;

Print – печать изображения данного фрейма;

Save Image – открывает диалоговое окно для сохранения текущего фрейма в виде отдельного графического файла (файла с расширением

*.bmp или *.jpg).

Инструменты масштабирования и перемещения изображения

Move Visible Area – позволяет перемещать видимую область с помощью мыши;

Zoom In – инструмент увеличения. После нажатия данной кнопки нужно кликнуть мышью в центре той области, которую необходимо увеличить;

Zoom Out – инструмент уменьшения. Позволяет уменьшать ранее увеличенную область;

Fit Graph to Visible Area – если кнопка нажата, то масштаб по осям автоматически выбирается таким образом, чтобы график занимал все поле окна;

Fit All Graphs to Visible Area – если кнопка нажата, то масштаб по осям автоматически выбирается таким образом, чтобы все графики помещались в поле окна.

Инструмент выделения области на изображении

Select Area Operation – инструмент выделения области на изображении.

Маркеры

Markers – включает одиночный маркер;

Pair Markers – включает пару маркеров;

Settings – открывает меню настройки параметров Окна 1D-данных (шкал осей, шрифтов, заголовков, линий и т.д.).

2-12