Инструкция по программе Nova
.pdf
Глава 17. Вкладка «NanoFab»
Повернуть карусель в направлении по часовой стрелке на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу двигателя можно, нажав клавишу <Esc>
на клавиатуре либо “отжав” кнопку 
.
Поле ввода числа шагов шагового двигателя.
Остановить работу двигателя.
#ПРИМЕЧАНИЕ. Остановить работу двигателя также можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки, которой была инициирована работа.
Если флажок установлен, работа шагового двигателя осуществляется непрерывно до тех пор, пока пользователь не остановит работу двигателя.
Если флажок не установлен, работа пьезопривода осуществляется до момента приведения исполнительного механизма в заданное положение либо до остановки работы пьезопривода пользователем.
Остановить работу двигателя можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки, которой была инициирована работа.
1-123
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
17.4.Панель управления манипулятором замены зондовых головок
Рис. 17-6. Панель управления манипулятором замены зондовых головок
Табл. 17-5. Элементы панели Probe Transport
Coordinate Z-координата текущего положения кронштейна манипулятора. Двойным щелчком мыши на поле Coordinate Z-координата текущего положения принимается за нулевую и устанавливается в поле
Coordinate.
Freq |
Поле ввода значения частоты сигнала, подаваемого на |
||||
|
шаговый двигатель (задает частоту отработки шагов |
||||
|
двигателя). |
|
|
|
|
Steps |
Поле ввода числа шагов шагового двигателя. |
|
|||
|
Переместить кронштейн вниз на количество шагов, |
||||
|
заданное |
соответствующим |
параметром |
Steps. |
|
|
Остановить работу двигателя можно, нажав клавишу |
||||
|
<Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки |
||||
|
, либо кнопкой |
. |
|
|
|
Переместить кронштейн вверх на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу двигателя можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки
, либо кнопкой 
.
1-124
Глава 17. Вкладка «NanoFab»
Остановить работу двигателя.
#ПРИМЕЧАНИЕ. Остановить работу двигателя также можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки, которой была инициирована работа.
Если флажок установлен, работа шагового двигателя осуществляется непрерывно до тех пор, пока пользователь не остановит работу двигателя.
Если флажок не установлен, работа двигателя осуществляется до момента приведения исполнительного механизма в заданное положение либо до остановки работы двигателя пользователем.
Остановить работу двигателя можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки, которой была инициирована работа, либо щелкнув на
кнопке 
.
“Запомнить” Z-координату текущего положения кронштейна.
Zero Position – нулевое положение кронштейна;
Move in the Probe – положение кронштейна, при котором его торец находится напротив отверстия для кронштейна в зондовой головке;
Get Probe(PRB CH) – положение кронштейна, в котором зондовая головка снята с карусели зондовых головок;
Give Probe(SPM CH) – положение кронштейна, в котором зондовая головка будет приниматься манипулятором установки зондовых головок в СЗМ камере;
Get Probe(SPM CH) – положение кронштейна, в котором зондовая головка снята с манипулятора замены зондовых головок в СЗМ камере;
Get Probe(PRB CH) – положение кронштейна, в котором зондовая головка установлена на карусель зондовых головок.
Установить кронштейн в положение, соответствующее “запомненной” координате
1-125
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
17.5. Панель выбора координатного стола
Рис. 17-7. Панель выбора координатного стола
Табл. 17-6. Элементы панели Stage Select
Открыть диалоговое окно управления координатным столом СЗМ камеры (см. Рис. 17-8).
Открыть диалоговое окно управления координатным столом ФИП камеры (см. Рис. 17-8).
Рис. 17-8. Диалоговое окно управления координатным столом
1-126
Глава 17. Вкладка «NanoFab»
Табл. 17-7. Элементы диалогового окна управления координатным столом
Строка состояния координатного стола.
В зависимости от состояния координатного стола может содержать следующие информационные сообщения:
Stage Disconnected! – координатный стол не подключен;
Stage Enabled |
– |
координатный |
стол |
подключен; |
|
|
|
No Homing! – не определена нулевая координата. Следует выполнить процедуру поиска нулевой координаты (щелкнуть на кнопке Make Homing).
Открыть диалоговое окно выбора координатного стола.
Запустить процедуру поиска нулевой координаты. Процедуру следует запускать один раз после включения питания координатного стола.
Открыть диалоговое |
окно PMac Settings |
|||
(см. |
Рис. 17-9). |
В |
диалоговом |
окне |
PMac Settings задаются параметры управления координатным столом.
1-127
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
Рис. 17-9. Диалоговое окно PMac Settings
Элементы диалогового окна PMac Settings
PMac Communicate – панель управления координатным столом. В нижней строке панели вводятся управляющие команды, верхнее поле – информационный терминал.
Operation Parameters – список управляющих параметров. Список управляющих параметров содержит следующие группы параметров:
Motors overheating protection parameters (Параметры |
защиты |
двигателей |
|
координатного стола от перегрева) |
|
|
|
Max total move time, [sec] |
– максимальное время |
работы |
двигателей, в |
течение которого двигатели в вакууме не перегреваются. По прошествии этого времени двигатели выключаются и в течение времени, заданного параметром Cooling rest time, [sec], происходит охлаждение двигателей.
Время охлаждения двигателей больше максимального времени работы двигателей.
Motors positioning parameters (Условия завершения перемещения и отключения питания двигателей координатного стола во избежание перегрева):
Neglible time to accelerate, [msec] – время на разгон координатного стола (не учитывается параметр Zero–moving delta coord, [cts]).
1-128
Глава 17. Вкладка «NanoFab»
Zero–moving delta coord, [cts] – если за прошедшие 200 мс платформа позиционирования переместилась на расстояние меньшее, чем заданное параметром Zero–moving delta coord, [cts], то двигатели выключаются. Считается, что заданная координата достигнута либо вследствие каких–либо причин двигатели не могут переместить платформу позиционирования. Параметр
задается в единицах cts. Cts – единицы внутренней системы отсчета координатного стола (6400 cts=1 мм).
Motors misc parameters (Прочие параметры)
Homing at StartUp – если флажок установлен, программа осуществляет автоматический поиск нулевой координаты (если это необходимо). Поиск нулевой координаты осуществляется, когда активно диалоговое окно управления координатным столом (см. Рис. 17-8).
Панель индикации нагрева двигателей
Рис. 17-10. Панель индикации нагрева двигателей
Данная панель содержит цветовые индикаторы изменения температуры двигателей координатного стола в процессе их работы или охлаждения. Максимальное время работы двигателей, в течение которого двигатели в вакууме не перегреваются, задается параметром Max total move time, [sec]. В первую половину времени работы двигателей их температура отображается синим цветом (двигатели “холодные”, можно запускать перемещение платформы позиционирования на большое расстояние). Во вторую половину времени работы двигателей их температура отображается сначала зеленым цветом, затем – красным. Зеленый цвет в индикаторной полосе – “зона внимания”: не рекомендуется запускать перемещение платформы позиционирования на большое расстояние. Появление красного цвета в индикаторной полосе сигнализирует о скором выключении двигателей. По прошествии времени, задаваемого параметром Max total move time, [sec], двигатели выключаются и в течение времени, заданного параметром Cooling rest time, [sec], происходит охлаждение двигателей. В процессе охлаждения температура двигателей отображается в обратном порядке.
1-129
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
Панель позиционирования
Рис. 17-11. Панель позиционирования
Табл. 17-8. Элементы панели Coordinate Positioning
Координата текущего положения платформы позиционирования по оси Х.
Координата текущего положения платформы позиционирования по оси Y.
Поле ввода скорости перемещения платформы позиционирования.
Список выбора единиц измерения перемещения. Список содержит следующие пункты:
Millimeters – миллиметры; Micrometers – микрометры;
Cts – единицы внутренней системы отсчета координатного стола (6400 cts=1 мм).
“Запомнить” координату текущего положения.
Вернуться в положение, соответствующее заданной координате.
Задать координаты вручную.
1-130
Глава 17. Вкладка «NanoFab»
Панель управления перемещением платформы позиционирования
Рис. 17-12. Панель управления перемещением платформы позиционирования
Табл. 17-9. Элементы панели Stage Move Interface
Поле ввода скорости перемещения платформы позиционирования.
Список выбора единиц перемещения. Список содержит следующие пункты:
Millimeters – миллиметры; Micrometers – микрометры;
Cts – единицы внутренней системы отсчета координатного стола (6400 cts=1 мм).
Переместить платформу позиционирования в положительном направлении оси Y. Расстояние, на которое перемещается платформа, задается в поле ввода справа от кнопки.
Переместить платформу позиционирования в отрицательном направлении оси Y. Расстояние, на которое перемещается платформа, задается в поле ввода справа от кнопки.
Переместить платформу позиционирования в положительном направлении оси X. Расстояние, на которое перемещается платформа, задается в поле ввода справа от кнопки.
Переместить платформу позиционирования в отрицательном направлении оси X. Расстояние, на которое перемещается платформа, задается в поле ввода слева от кнопки.
Если флажок установлен, перемещение платформы позиционирования осуществляется непрерывно до тех пор, пока пользователь не остановит перемещение.
1-131
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
Если флажок не установлен, перемещение платформы позиционирования осуществляется до момента приведения ее в заданное положение либо до остановки перемещения пользователем.
Остановить перемещение можно, нажав клавишу <Esc>
на клавиатуре либо щелкнув на кнопке 
.
Остановить перемещение.
#ПРИМЕЧАНИЕ. Остановить перемещение также можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре.
17.6.Диалоговое окно AQ Settings
Рис. 17-13. Диалоговое окно AQ Settings
1-132