- •Л.А. Торгонский
- •Содержание
- •4 Проектирование гимс 4
- •5 Проектирование бис 105
- •4.2 Подложки и платы гимс
- •4.3 Резисторы гис
- •4.3.1 Конструкции пленочных резисторов
- •4.3.2 Функциональные параметры резисторов гис
- •4.3.3 Материалы тонкоплёночных резисторов
- •4.3.4 Материалы толстоплёночных резисторов
- •4.3.5 Технологические ограничения
- •4.3.6 Тонкоплёночные резисторы без подгонки
- •4.3.7 Проектирование резисторов в форме меандра
- •4.3.8 Резисторы с подгонкой сопротивления
- •4.3.9 Проектирование толстоплёночных резисторов
- •4.3.10 Частотные свойства плёночных резисторов
- •4.4 Плёночные конденсаторы гис
- •4.4.1 Введение
- •4.4.2 Конструкции плёночных конденсаторов гимс
- •4.4.3 Функциональные параметры конденсаторов гимс
- •4.4.4 Материалы тонкоплёночных конденсаторов
- •4.4.5 Проектирование тонкоплёночных конденсаторов
- •4.4.6 Подгоняемые плёночные конденсаторы
- •4.4.7 Материалы толстоплёночных конденсаторов
- •4.4.8 Проектирование толстоплёночных конденсаторов
- •4.5 Индуктивные элементы гис
- •4.5.1 Введение
- •4.5.2 Проектирование плёночных катушек
- •4.6 Соединения и контакты гис
- •4.7 Коммутационные платы
- •4.8 Компоненты гис
- •4.8.1 Введение
- •4.8.2 Конструкции кристаллов
- •4.8.3 Конструкции конденсаторов
- •4.8.4 Конструкции резисторов
- •4.8.5 Индуктивные компоненты гимс
- •4.9 Гибридные микросхемы свч диапазона
- •4.9.1 Введение
- •4.9.2 Элементы гимс свч
- •4.9.3 Подложки гимс свч
- •4.9.4 Микрополосковые линии передачи гимс свч
- •4.9.5 Пассивные элементы гимс свч
- •4.9.6 Активные элементы гимс свч
- •4.9.7 Конструкции гимс свч
- •5 Проектирование бис
- •5.1 Введение
- •5.2 Проблемы проектирования бис
- •5.3 Этапы проектирования бис
- •5.4 Элементная база бис. Матричные кристаллы
- •5.4.1 Введение
- •5.4.2 Библиотечный набор функциональных элементов и узлов
- •5.4.3 Конструктивные параметры модулей матричных бис
- •5.5 Автоматизация проектирования топологии имс
- •5.6 Системы автоматизации проектирования бис
- •6 Обеспечение защиты имс и мп
- •6.1 Введение
- •6.2 Корпуса микросхем
- •6.3 Бескорпусные микросхемы
- •6.4 Тепловые режимы имс
- •6.5 Внешние и внутренние паразитные связи и помехи в ис
- •6.6 Обеспечение механической устойчивости конструкций ис
- •6.7 Защита микросхем от воздействия агрессивных сред
- •6.8 Монтаж кристаллов и плат
- •6.9 Электрический монтаж кристаллов и плат
- •7 Конструкторская документация ис
- •7.1 Понятия и определения
- •7.2 Состав и содержание текстовых документов
- •7.3 Схемная докумнтация
- •7.4 Масштабные графические документы микросхем
- •8 Заключение
- •Список литературы
5.2 Проблемы проектирования бис
Повышение степени интеграции ИМС естественным образом сопровождается и порождает ограничения и проблемы разнообразного свойства, в ряду которых выделяются следующие [1, 3, 4, 9, 10, 12, 14]:
уменьшения геометрических размеров элементов ИМС;
увеличения размеров конструкций, реализуемых методами групповой технологии производства (кристаллов, плат);
совершенствования элементной базы устройств;
совершенствования структурной организации устройств;
совершенствования конструкций корпусов;
совершенствования средств проектирования, сопровождения проектов в производстве и эксплуатации.
Возможности уменьшения геометрических размеров радиоэлементов ИМС определяются, с одной стороны, необходимыми электрическими параметрами, а с другой — разрешающей способностью технологических процессов и оборудования. Технические методы и оборудование производства изделий микроэлектроники совершенствуются, приближая минимальные геометрические размеры элементов к предельным значениям, сравнимым с длиной световой волны. Дальнейшее повышение степени интеграции может достигаться для принятой технологии увеличением размеров кристаллов и плат, развитием конструкций объёмного исполнения. Реализация технологических процессов производства БИС становится доступной исключительно автоматическому и автоматизированному оборудованию.
Увеличение размеров конструкций кристаллов и плат сопровождается повышением процента бракованных изделий в процессе производства. Обеспечение приемлемого процента выхода годных изделий при увеличении размеров конструкций кристаллов и плат является достаточно острой проблемой их производства. Требования к качеству технологического процесса характеризуются выражением [10]
P = exp (–B∙ d ∙ S), (5.1)
где P — процент выхода годных изделий;
В — коэффициент производственной «поражаемости» изделий;
d — плотность на единице площади изделия;
S — площадь, занимаемая изделием.
Согласно выражению (5.1), процент Р выхода годных БИС уменьшается с увеличением площади кристалла или платы. Эту зависимость можно улучшить, совершенствованием качества технологии путем уменьшения коэффициента «поражаемости» В и плотности дефектов d.
Коэффициент производственной «поражаемости» БИС рассматривается как отношение части площади, дефект на которой выводит изделие из строя, к полной площади, занимаемой БИС. В свою очередь, плотность дефектов есть число поражающих дефектов на единице площади пластины.
Высокая плотность упаковки и увеличение числа элементов на кристалле повышают энергопотребление и тепловыделение быстродействующих микроэлектронных устройств и обуславливают повышение удельной мощности рассеяния до (10–20) Вт/см3. Отвод таких мощностей требует проектирования специальных конструкций корпусов с принудительным охлаждением.
Высокие быстродействие схем (менее 1 мкс) и энергопотребление приводят к повышению скорости переключения тока до значений dI/dt ≈ (10–20)∙106 А/с, вследствие чего даже незначительные индуктивности монтажа вызывают существенные колебания напряжения питания и обостряют проблему влияния паразитных связей и помех.
Острота названных проблем снижается применением элементной базы адекватной уровню проблем. Наиболее эффективные по энергии переключения логические элементы, исполненные по биполярной и полевой технологии рассмотрены в разд. 2, 3 пособия. В основу новых схемотехнических решений по элементной базе закладывается снижение рабочих потенциалов логических уровней до единиц термического потенциала и рабочих токов до единиц микроампер. Структуры и решения, направленные на сокращение потерь рабочей площади кристалла, обсуждались в подразд. 2.20.
Совершенствование структурной организации устройств высокой степени интеграции осуществляется в направлениях:
разбиения изделия на функционально полные конструктивные модули с целью снижения потерь от обработки бракованных изделий;
разбиения изделия на функционально полные конструктивные модули для покрытия спроса на рынке этих функциональных изделий;
поиска и проектирования новых структурных образований для достижения более совершенных функциональных и параметрических качеств устройств.
Повышение степени интеграции, сопровождаемое увеличением габаритов кристаллов и плат, обуславливает увеличение размеров установочной (монтажной) зоны корпусов ИМС и, преимущественно, сопровождается увеличением числа выводов для внешних соединений изделий. Названные факторы требуют, наряду с решением задач проектирования кристаллов и плат, решения задачи проектирования новых конструкций корпусов (увеличенных размеров при повышенном числе выводов). Если корпуса микросхем первой, второй степени интеграции имели 12–40 выводов для внешних подключений, то корпуса современных микропроцессоров имеют более 60–200 выводов и являются многослойными коммутационными платами, оборудованными выводами внешних подключений. Параллельно решаются проблемы совершенствования структурной организации устройств в части сокращения числа выводов внешних связей использованием ресурсов последовательной передачи информации.
Следствием усложнения функций, выполняемых БИС, и увеличения числа выводов является усложнение и повышение трудоёмкости контроля функционирования и проведения испытаний БИС. Функциональный контроль БИС без применения специализированного автоматического оборудования становится невозможным.
Повышение степени интеграции существенно повышает трудозатраты по выполнению проектно-конструкторских работ, составной частью которых является проектирование топологии микросхем. Согласно [4] трудоемкость ручного проектирования БИС может быть приближенно оценена следующими формулами:
Та = 70 ∙ N 0,55 (5.2 a)
для аналоговых схем,
Тd = 45 ∙ N 0,55 (5.2 б)
для цифровых схем.
В выражениях (5.1) N есть число элементов БИС, а Тi — трудоемкость проектирования, в часах. При N = 10000 время проектирования составляет около 4500 часов при годовом ресурсе рабочего времени одного проектировщика 2200 часов. К приведенной оценке следует добавить проблему обнаружения и исправления ошибок проектирования, число которых повышается с увеличением числа компонуемых элементов.
Применение средств систем автоматизированного проектирования (САПР) БИС снижает трудоемкость проектирования до значения, определяемого по формуле [5]
Т = 22 ∙ N 0,22. (5.2 в)
Уже при четвёртой степени интеграции рост ошибок, вносимых при ручном проектировании, и затрат времени на их обнаружение и исправление делает процесс достижения положительного результата проектирования проблематичным.
Проектирование БИС без применения САПР становится практически невозможным, как по срокам исполнения и внедрения проекта в приемлемые сроки, так и самому факту экономически оправданного достижения результата.
Применение и совершенствование средств автоматизации проектирования на разных этапах этого процесса, средств автоматизированного и автоматического сопровождения проектов в производстве и эксплуатации изделий повышенной степени интеграции является основной составляющей технического обеспечения проектов проектирования БИС.