osaz_sm

.htm

Скачиваний:

Добавлен:

17.04.2013

Размер:

5.05 Кб

Скачать

☆

Сравнение различных методов осаждения пленокСравнение различных методов осаждения пленокВ следующей таблице представлен сравнительный анализ методов осаждения из парогазовой смеси и плазмохимического осаждения.

Методы осаждения из парогазовой смесиПлазмохимическ. осаждениеАтмосферное давлениеПониженное давлениеНизкие температурыВысокие температурыТемпература, °C300-500300-500500-900100-350МатериалыSiO2SiO2поликремний, SiO2, Si3N4SiNx, SiO2НазначениеПассивиров.,

изоляцияПассивиров.,

изоляция, электродыПассивирование, изоляцияПроизводительн.ВысокаяВысокаяВысокаяНизкаяВоспроизводим.

рельефаПлохоеПлохоеКонформноеПлохоеНаличие пылевидных частицМногоМалоМалоМногоКачество пленокУдовл.Удовл.ВысокоеНизкое

Соседние файлы в папке osazhd

#
17.04.20134.41 Кб6osaz_obr.htm
#
17.04.20132.7 Кб7osaz_osr.htm
#
17.04.20137.16 Кб7osaz_pir.htm
#
17.04.20135.7 Кб7osaz_pk.htm
#
17.04.20131.85 Кб6osaz_sin.htm
#
17.04.20135.05 Кб6osaz_sm.htm