
Лекции
.pdfЭлектронно-дырочный переход |
41 |
Тепловой пробой возникает за счет интенсивной термогенерации в р-n-переходе при нарушении равновесия между выделяемой в р-n-переходе и отводимой от него теплотой. С увеличением обратного напряжения и тока увеличивается тепловая мощность, выделяемая в р-n-переходе, а следовательно, и его температура. Как следствии, ток нарастает лавинообразно. Процесс носит обычно локальный характер, но в конечном счете приводит к расплавлению соответствующего участка р-n-перехода и частичного или полного его разрушения.
Отличия от теоретической есть и в прямой ветви вольтамперной характеристики р-n-перехода из-за влияния объемного сопротивления слоев полупроводника, что увеличивает прямое падение напряжения Ua. В результате для кремния получаем
Ua 0,8 1,2 В, а для германия (0,3 0,6) В.
1.3.КОНТАКТ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ОДНИМ ТИПОМ
ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ
Контакт полупроводников с одной электропроводностью, но с разной удельной проводимостью обозначают как р+ – р- или n+ – n-пе- реход, где знаком «+» отмечают область полупроводника с большей удельной электропроводностью, т.е. с большей концентрацией примеси. При таком контакте носители из области с большей концентрацией диффундируют в область с меньшей концентрацией, при этом в слаболегированной области создается избыток основных носителей заряда, а в сильнолегированной – недостаток. То есть на контакте двух полупроводников с одним типом электропроводности, но с разной удельной проводимостью образуется область объемного заряда, диффузионное электрическое поле и контактная разность потенциалов, которая определяется выражениями для контактов р+ – р- и n+ – n-типов соответственно:
|
|
|
|
pp |
|
|
|
|
|
кон. |
|
ln |
|
|
, |
|
|
|
|
|
||||||
|
T |
|
pp |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
(1.23) |
|||
|
|
|
|
n |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
кон. |
|
ln |
n |
. |
|
|
|
|
|
|||||||
|
T |
|
n |
|
|
|||
|
|
|
|
n |
|
|
|

42 |
Полупроводниковые приборы |
Отличием от р-n-перехода является отсутствие слоя с меньшей концентрацией по сравнению с концентрацией носителей в слаболегированной области, т.е. отсутствует высокоомный слой (в р-n-переходе за счет рекомбинаций происходило обеднение его подвижными носителями зарядов и, как следствие, увеличение сопротивления). Поэтому на таком контакте падает сравнительно небольшое напряжение, высота его потенциального барьера практически не изменяется от величины и направления тока. Следовательно, такой контакт не обладает выпрямляющими свойствами и имеет малое сопротивление, даже по сравнению со слаболегированной областью р или n. Структура контакта и распределение концентраций примесей (носителей) показаны на рис.1.17.
Eдиф.
|
+ |
++ |
|
– |
– |
|
|
n |
++ |
|
– |
– |
n |
|
|
|
++ |
|
– |
– |
|
||
|
|
|
|
|
n |
|
|
+ |
|
NDn |
n |
|
– |
||
|
||
|
NDn |
|
|
0 |
Рис. 1.17
Особенностью такого контакта является также отсутствие инжекции неосновных носителей заряда в слаболегированную область. Действительно, если внешнее напряжение приложено плюсом к высокоомной области n n-перехода, что аналогично прямому смещению р-n-перехода, то из n -области в n-область вводятся электроны, т.е. основные носители. При противоположной полярности напряжения дырочный ток из n+-области в n-область имеет место и аналогичен обратному току через р-n-переход, однако он чрезвычайно мал из-за ничтожно малой концентрации неосновных носителей в сильнолегированной n -области. Напряжение внешнего источника падает в основном в объеме слаболегированной области. При построении подобных контактов следует учиты-
Контакт полупроводников с одним типом электропроводности |
43 |
вать, что создаваемый потенциальный барьер кон. препятствует движению неосновных носителей из слаболегированной области к контакту и, как следствие, создает накопление неосновных носителей вблизи контакта. Это происходит потому, что движению через переход дырок (неосновных носителей) слоя n в слой n препятствует диффузионное поле перехода, и эти дырки скапливаются на границе с переходом со стороны n-области. Эффект накопления этих зарядов и последующего их рассасывания достаточно инерционный, что сказывается на быстродействии соответствующих приборов.
1.4.КОНТАКТ МЕТАЛЛ –ПОЛУПРОВОДНИК
При идеальном контакте металл – полупроводник происходят явления, определяемые разницей в «работе выхода» электронов в металле AМ и в полупроводнике – AП . Под работой выхода электронов будем понимать энергию, необходимую для перевода электрона с уровня Ферми на «потолок» верхней свободной зоны (без удаления электрона в вакуум). При контакте металл – полупроводник возникает переход электронов из материала с меньшей работой выхода в материал с большей работой выхода. В результате происходит перераспределение зарядов, приводящее к появлению электрического поля и контактной разности потенциалов:
кон. |
|
AМ AП |
. |
(1.24) |
|
||||
|
|
q |
|
Причем поле сосредоточено практически в полупроводнике, т.к. в нем концентрация носителей заряда (электронов, находящихся на уровнях Ферми) существенно меньше, чем в металле. Перераспределение зарядов в полупроводнике занимает заметный объем, в металле (в связи с указанной причиной) – ничтожно малый, а глубина слоя соизмерима с межатомным расстоянием.
В зависимости от типа электропроводности полупроводника и соотношения работ выхода металла и полупроводника в последнем может возникать обедненный, инверсный или обогащенный слой.

44 |
Полупроводниковые приборы |
К примеру, если AМ AП , то электроны переходят из металла в полупроводник, и если он р-типа, то образуют в нем обедненный основными носителями слой.
При AМ AП образуется в р-полупроводнике не просто обедненный, а инверсный слой, т.е. слой с иным, чем основная примесь, типом проводимости. Если же взять полупроводник n-типа, то в нем при тех же условиях образуется обогащенный слой. Соответствующая картина приведена на рис. 1.18.
|
|
|
|
|
|
обогащ. |
|
М |
q кон. |
p |
М |
p |
|
слой |
|
М |
n |
||||||
|
электроны |
|
|
||||
|
|
WC |
|
AП |
WiAM |
AП |
|
AM |
|
AM |
|
||||
|
AПWi |
|
|
WF |
WF |
||
|
|
WF |
|
|
Wi |
||
WB |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
||
обеднённый |
дырки |
инверсный |
обедн. |
|
|||
|
|
||||||
слой |
|
|
слой |
слой |
|
|
Рис. 1.18
При противоположном соотношении работ выхода (AМ AП ) в полупроводниках n-типа получается обедненный или инверсный слой, а в дырочном – обогащенный.
Обогащенный слой дает малое сопротивление приконтактной области полупроводника по сравнению с объемом полупроводника, поэтому такой контакт не обладает выпрямляющими свойствами. Обедненный или инверсный слой обладает выпрямляющими свойствами и повышенным сопротивлением.
Впервые детально процессы в контакте металл – полупроводник были изучены в 1938 году немецким ученым В. Шоттки, его именем и был назван соответствующий переход: контакт металлполупроводник n-типа. Изучение свойств такого контакта позволило значительно улучшить характеристики различных полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
1.5.ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДИОДЫ
1.5.1.Общая характеристика полупроводниковых диодов
Полупроводниковые диоды – это приборы с одним выпрямляющим переходом и двумя внешними выводами. Образовываться выпрямляющий переход может не только контактом двух полупроводников различной проводимости, но и контактом металл – полупроводник при ранее оговоренных условиях. Различаются полупроводниковые диоды друг от друга как по своим свойствам и назначению, так и по конструкции.
Прежде всего, диоды различают на плоскостные и точечные, суть различий которых в соотношении площади перехода и его толщины. В плоскостных площадь перехода (его линейные размеры) существенно больше его толщины, а в точечных линейные размеры перехода меньше, чем его толщина (т.е. область пространственного заряда, диффузионная длина и т.д.). Плоскостные переходы получают методами сплавления, диффузии и эпитаксии. При сплавлении обычно таблетка примеси накладывается на пластину примесного полупроводника с другим типом электропроводности. При термической обработке таблетка расплавляется и растворяет прилегающую к ней поверхность полупроводника. Затем в процессе остывания на границе расплава кристаллизуется тонкий слой полупроводника с проводимостью иного типа, а именно определяемой материалом таблетки. С помощью свинцово-оловянного припоя создаются невыпрямляющие омические контакты. У сплавных диодов р-n-переходы получаются резко несимметричными, т.е. прямой ток (диффузионный) определяется практически движением одного типа носителей. Область полупроводникового диода с большей концентрацией основных носителей называют эмиттером, а область с меньшей концентрацией – базой. При изготовлении плоскостного перехода диффузионным методом используется диффузия акцепторной или донорной примеси из газовой среды в глубь пластины полупроводника n- или р-типа. Диффузионные переходы получаются плавными, т.е. концентрация примеси
46 |
Полупроводниковые приборы |
уменьшается с глубиной. Омические контакты создаются напылением обычно алюминия в вакууме.
При изготовлении диода методом эпитаксии на полупроводниковой пластине, содержащей акцепторную примесь, наращивают кристаллический слой с донорной примесью, в результате чего получают резкий р-n-переход.
К плоскостным диодам относят и диоды с переходом Шоттки. Технология получения этого перехода состоит в том, что на низкоомной подложке из кремния n+-типа наращивают эпитаксиальный слой n--типа, на который затем наносят металл, образующий переход Шоттки.
При изготовлении точечных диодов к поверхности германия или кремния n-типа прижимают металлическую иглу и пропускают через нее достаточно мощный импульс тока. В результате происходит сваривание проволочного электрода с пластиной полупроводника с одновременным внесением примеси в приконтактную область, что определяет ее проводимость р-типа. Как итог образуется р-n-переход. Такая процедура называется формовкой.
Как сплавные, так и точечные диоды герметизируются и помещаются в корпус (металлический, металлокерамический, стеклянный) или заливаются эпоксидными смолами. По назначению вне зависимости от технологии изготовления все диоды делятся на следующие группы: выпрямительные, высокочастотные, сверхвысокочастотные, импульсные, стабилитроны, туннельные, обращенные, варикапы, фотодиоды и светодиоды. Для обозначения и маркировки диодов используют четыре элемента. Первый элемент (буква или цифра) означает исходный материал: Г или 1 – германий; К или 2 – кремний; А или 3 – арсенид галлия. Второй элемент – буква, указывающая класс или группу приборов: Д – выпрямительные, высокочастотные, импульсные диоды; А – сверхвысокочастотные; И – туннельные и обращенные; С – стабилитроны и т.д. Третий элемент – число, указывающее назначение и электрические свойства (частотный диапазон, мощность) прибора. К примеру, выпрямительные диоды: 101–399; высокочастотные диоды: 401– 499; импульсные диоды: 501–599; варикапы: 601–699. Четвертый элемент – буква, указывающая разновидность типа из данной

Полупроводниковые диоды |
47 |
группы приборов. Пример: 2Д503Б – кремниевый импульсный диод, разновидность типа Б.
Условные графические обозначения диодов показаны на рис. 1.19, где а – выпрямительный, СВЧ, импульсный; б – стабилитрон; в – туннельный; г – варикап; д – обращённый; е – диод Шоттки; ж – фотодиод; з – светоизлучающий.
а |
б |
в |
г |
д |
е |
ж |
з |
Рис. 1.19
Стрелка указывает прямое направление тока диода. Внешний вывод, к которому прикладывается «+» источника в прямом направлении, называется «анод», а другой – «катод».
1.5.2. Вольт-амперная характеристика двухэлектродных полупроводниковых приборов
Вольт-амперная характеристика выпрямительных, импульсных и СВЧ-диодов показана на рис. 1.20, где сплошная линия – реальная характеристика, а штриховая линия – теоретическая характеристика.
I
1
0 U
I0 2 |
Uкн |
3
4
Рис. 1.20
После точки 1 реальная характеристика отклоняется от теоретической в сторону больших падений напряжения из-за сопротив-

48
ления объема полупроводниковых областей (в основном за счет базы и сопротивления контактов) – это при Ua Uкн в прямом направлении. При Ub 0 на участке 0–2 обратный ток диода больше теплового I0 в силу двух причин. Первая заключается в том, что тепловой ток за счет термогенерации зависит от объема запирающего слоя. С ростом Ub увеличивается этот объем, а следовательно, растет и I0 . Это приращение иногда учитывают введением дополнительной составляющей IT – тока термогенерации. Т.е. можно считать для удобства, что I0 const, а применять IT .
Вторая причина роста обратного тока с ростом Ub состоит в наличии тока утечки Iу , который проходит по поверхности кри-
сталла от эмиттера к базе. Он сильно зависит от загрязнения этой поверхности, но практически не зависит от температуры. На участке 2–3 растет обратный ток – это предпробойное состояние диода. В точке 3 происходит пробой р-n-перехода. В точке 4 пробой переходит в фазу теплового в результате превышения допустимой мощности, рассеиваемой диодом.
Следует помнить, что в зависимости от температуры растет не только обратный, но и прямой ток.
1.5.3. Основные параметры полупроводниковых диодов
Указанные полупроводниковые диоды характеризуются рядом основных параметров. Постоянный обратный ток диода Iобр. –
ток в обратном направлении при заданном обратном напряжении. Постоянное обратное напряжение диода Uобр. – значение постоян-
ного напряжения, приложенного к диоду и соответствующее Iобр..
Постоянный прямой ток диодаIпр. – значение постоянного тока в
прямом направлении, который может протекать длительное время. Постоянное прямое напряжение диода Uпр. – значение постоянного напряжения на диоде при заданном прямом токе. Дифференциальное сопротивление rдиф. dUdI в прямом направлении (rдиф. rS –
сопротивление с учетом сопротивления выводов и самих областей полупроводника). Обратное максимально допустимое напряжение,

Полупроводниковые диоды |
49 |
ограничиваемое пробивным напряжением Ubmax 0,8Uпроб.. Мак-
симальная допустимая мощность рассеивания диодом Pmax . Максимальный допустимый постоянный прямой ток диода Iпр. max . Ем-
кость диода CД Cзар. Cдиф..
С учетом приведенных параметров диода для его анализа удобно пользоваться эквивалентной схемой, показанной на рисун-
ке 1.21.
|
Rp-n |
rS |
Lв |
Cзар. |
|
|
Cдиф. |
|
Cв |
|
Рис.1.21 |
Здесь Cв – емкость выводов, Lв – индуктивность выводов, rS – сопротивление областей полупроводникового кристалла и выводов, Rp-n – переменное сопротивление р-n-перехода, Cзар. – пере-
менная зарядная емкость, Cдиф. – переменная диффузионная ем-
кость.
1.5.4. Выпрямительные диоды
Выпрямительные диоды – это приборы, предназначенные для преобразования переменного тока в выпрямленный. Выпускаются они в основном на основе кремния и германия. Кремниевые имеют меньшие обратные токи, работают при более высоких температурах и больших обратных напряжениях, имеют допустимые плотности прямого тока 60–80 А/см2 против 20–40 А/см2 у германия, но имеют большие падения напряжения при прямом токе 0,8 1,2 В против 0,3 0,6 В у германия.
Помимо ранее указанных в п. 1.5.3 параметров для выпрямительных диодов являются важными дополнительные параметры,

50 |
Полупроводниковые приборы |
определяющие их электрические свойства: Ub ср. – среднее за период значение обратного напряжения; Ib ср. – среднее за период значение обратного тока; U – среднее за период прямое напряжение при
заданном среднем значении прямого тока Iпр.ср.; Iвып.ср.max – максимально допустимое среднее значение выпрямленного тока.
Выпрямительные свойства диодов оцениваются с помощью коэффициента выпрямления, определяемого при Uпр. Uобр. 1 В
по формуле
Kвыпр. |
Iпр. |
|
rобр.д |
. |
(1.25) |
|
I |
обр. |
r |
||||
|
|
|
пр.д |
|
|
Конструктивно выпрямительные диоды выполняются самым различным образом. Корпуса диодов средней и большой мощности крепятся к теплоотводу. К диодам малой мощности обычно относят приборы с Iпр. 300 мА, средней – с Iпр. 300 мА-10 А. Мощные (силовые) диоды выпускаются на токи от 10 А до нескольких тысяч ампер. При этом возрастают и обратные напряжения Ub max, достигая нескольких тысяч вольт.
В ряде мощных преобразовательных установок требования к среднему значению прямого тока и обратному напряжению могут превышать значения параметров существующих или имеющихся в распоряжении диодов. В этом случае задача решается параллельным или последовательным включением диодов. Параллельное соединение предназначено для увеличения суммарного прямого тока
(рис. 1.22).
|
Iа1 |
R1 |
|
Ia |
|
|
|
|
|
Ia1 |
|
|
|
|
|
|
|
Iа |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
+ |
– |
Ia2 |
|
|
|
|
|
R2 |
|
|
Ua |
Iа2 |
|
0 |
Ua |
|
Рис. 1.22 |
|
|