Б Д З / В1_Рябышенков

Последовательность действий

Результат действия

1. Декомпозиция анализируемых объектов с целью выявления потенциально опасных и вредных факторов

1. Исходные материалы:

Одним из основных материалов при изготовлении ИМС является подложка. Основными материалами подложки являются аморфные, силикатные, боросиликатные, кварцевые стекла, ситаллы, фотоситаллы, керамика.

2. Средства труда:

- машины,

- орудия,

- сооружения,

- здания,

- энергия.

Основное оборудование, используемое при изготовлении гибридных ИМС:

- здания,

- центрифуги,

- установки экспонирования,

- установки контактной и проекционной печати,

- установки травления,

- установки удаления фоторезиста.

3. Продукты труда, полуфабрикаты:

Продуктом труда является подложка, очищенная и механически обработанная.

4. Технологический процесс операции, действия:

Одним из основных методов получения конфигурации тонкопленочных пассивных элементов гибридных ИМС является метод фотолитографии, который состоит из этапов нанесения фоторезиста, экспонирования методами контактной и проекционной печати, травления и удаления фоторезиста.

5. Производственная среда:

Производственная среда – помещение с установленными параметрами микроклимата, запыленности, аэродинамическими и шумовыми характеристиками, параметрами освещенности и теплового режима рабочих мест, пожаровзрывоопастности производства и безопасности работы электроустановок.

Факторы производственной среды:

- температура,

- интенсивность образования теплового излучения,

- теплоизоляция,

- наличие легковоспламеняемых веществ,

- наличие огнетушащих средств,

- освещенность,

- уровень шума,

- вибрация,

- статическое электричество,

- электромагнитное излучение,

- прочность помещения и оборудования,

- наличие герметичных объемов, герметичность самого помещения,

- давление,

- запыленность,

- влажность,

- скорость воздухообмена,

- поступление в воздух вредных паров, газов, пыли,

- концентрация токсичных газов,

- содержание кислорода,

- наличие аварийной вентиляции.

6. Природно-климатическая среда:

Предприятие находится в средней полосе России. Климат субконтинентальный. Средняя температура летом +25, зимой – 25. В зимнее время необходимо отопление рабочих помещений и искусственное освещение.

7. Флора и фауна:

Отсутствуют в производственном помещении.

8. Люди, персонал:

- наличие соответствующей квалификации (высшее образование, опыт работы),

- возраст от 23 лет до 50,

- удовлетворительное состояние здоровья (наличие медицинской книжки, удовлетворительное состояние зрительного и опорно-двигательного аппарата и т.д.),

- использование соответствующей одежды и СИЗ.

2. Составление перечня факторов обитаемости

1. Физические факторы:

- воздействие ультразвуком,

- тепловое воздействие,

- мягкое рентгеновское излучение,

- вредные газообразные вещества.

2. Химические факторы:

- легко воспламеняющиеся жидкости,

- едкие жидкости (кислоты),

- ядовитые жидкости.

3. Биологические факторы:

Рабочий коллектив.

4. Психофизические факторы:

- монотонность работы и, как следствие – повышенная утомляемость,

- эмоциональные перегрузки.

3. Количественная и качественная оценка факторов обитаемости.

2. Фактические значения факторов, получаемые при помощи измерений или на основе экспертных оценок:

- температура 22±0.1°С,

- относительная влажность 45±1%,

- запыленность < 1 частицы/фут³ (ø 0.3 мкм),

- вибрация < 1 мкм (только фундамент),

- концентрация токсичных газов не должна превышать ПДК,

- содержание кислорода (по объему) в воздухе производственного помещения должна быть не ниже 18%.

4. Сравнение результатов оценки факторов с нормами и допустимыми значениями с целью выявления опасных и вредных факторов.

Перечень опасных и вредных производственных факторов, возникающих при изготовлении гибридных ИМС:

1. поражение электрическим током,

1. термический ожог,

1. воздействие энергии токов высокой частоты,

1. воздействие мягкого рентгеновского излучения,

1. повышенный шум при работе вакуумных откачных систем.

5. Комплексная оценка условий жизнедеятельности и возможности возникновения опасных ситуаций.

Категория тяжести труда по рабочим местам и профессиям:

- монотонный труд,

- повышенная утомляемость,

- вредное производство,

- средняя тяжесть труда.

6. Выбор принципов и материалов, разработка мероприятий, выбор и расчет средств защиты рабочих от опасных и вредных факторов.

1. Механизация, автоматизация, применение роботов и манипуляторов.

Работа с вредной средой автоматизируется, механизируется.

2. Адаптация окружающей среды к человеку.

Помещения оборудуются боксами, скафандрами, специальными монтажными столиками и рабочими местами с локальной пылезащитой на отдельных операциях.

3. Адаптация человека к окружающей среде.

Обслуживающий персонал обеспечивается спецодеждой (резиновыми и хлопчатобумажными перчатками, фартуками, защитными очками, противогазами марки “М”).

4. Комбинированный метод.

Для обеспечения более полной защиты персонала вышеизложенные методы должны комбинироваться.

7. Оценка эффективности различных мероприятий и выбранных средств защиты.

Разработанные мероприятия являются экономически и технически обоснованными и оптимальными.