_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 2.2 / 19(2)

19(2) Выбор легирующей примеси

При выборе легирующей примеси пользуются следующими критериями:

-примесь должна обеспечивать заданный тип проводимости;

-заданная концентрация не должна превышать пределов раствори­мости примеси;

-значение коэффициента диффузии должно быть соответствующим;

-величины ионного радиуса примеси и ионного радиуса кремния не должны сильно различаться