Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
4
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
20.48 Кб
Скачать

19(2) Выбор легирующей примеси

При выборе легирующей примеси пользуются следующими критериями:

-примесь должна обеспечивать заданный тип проводимости;

-заданная концентрация не должна превышать пределов раствори­мости примеси;

-значение коэффициента диффузии должно быть соответствующим;

-величины ионного радиуса примеси и ионного радиуса кремния не должны сильно различаться

Соседние файлы в папке 2.2