PALADIN / END

Заключение.

В итоге проделанной при выполнении данного дипломного проекта работы получены следующие результаты:

• рассмотрен метод коррекции топологии слоев металлизации в СБИС для устранения возможных дефектов поверхности изоляционного слоя, остающихся после процесса химико-механической полировки могущих привести к снижению выхода годных СБИС.

• разработан алгоритм, реализующий указанный выше метод, и определено его место в иерархии процесса создания фотошаблонов уровней металлизации.

• создано программное обеспечение для IBM - совместимых компьютеров, реализующих алгоритм коррекции топологии, и проведен тест алгоритма на конкретных топологических фрагментах. Оценена временная сложность данной программной реализации.

• проведена оценка экономической эффективности разработки программного обеспечения.

• разработан комплекс мероприятий по производственной и экологической безопасности при работе на ЭВМ.

Список используемой литературы.

1. Казеннов Г.Г., Щемелинин В.М. «Топологическое проектирование нерегулярных СБИС». - Москва, «Высшая школа», 1990.

2. Марченко А.М., Щемелинин В.М. «Методы компиляции конструкции заказных СБИС». - МГИЭТ, 1995.

3. Селютин В.А. «Автоматическое проектирование топологии БИС».- Москва, «Радио и связь», 1983.

4. Перевощиков В.А., Скупов В.Д. «Особенности абразивной и химической обработки полупроводников».- Издательство Нижнегородского университета, 1992.

5. Захаров Б.Г., Дмитриева Т.В., и др. «Способ полирования п/п материалов», 1985.

6. Марченко А.М., Щемелинин В.М., Казеннов Г.Г. «Автоматический синтез топологии заказных СБИС», 1989.

7. «GDSII ^tm Stream format manual, Release 6.0». - Calma Company, 1987.

8. Nicholas K.Eib «The art and science of lithography simulation». - «Microlythography world», 1996.

9. Долин П.А. «Справочник по технике безопасности». - Москва, «Энергоатомиздат», 1984г.

10. Золиной З.М. «Охрана труда при выполнении монотонной работы». - Тематический сборник.

11. Каракеян В.И., Константинова Л. А., Писеев В.М. «Лабораторный практикум по курсу «Производственная и экологическая безопасность в микроэлектронике»». - Москва, МИЭТ, 1990г.

12. Каракеян В.И., Писеев В. М. «Методы и средства обеспечения оптимальных параметров производственной среды на предприятиях электронной промышленности». - Учебное пособие, МИЭТ, 1987г.

13. Константинова Л. А., Ларионов Н. М., Писеев В. М. «Методы и средства обеспечения безопасности технологических процессов на предприятиях электронной промышленности». - МИЭТ, 1990г.

14. Ильин Ю.М., Короткова Т.Л., Костина Г.Д. «Методические указания к курсовой работе и дипломному проектированию по расчету экономической эффективности от внедрения АСУТП и САПР». - МИЭТ, 1987.

15. Проскуряков А.В., Моисеева Н.К., Анискин Ю.П. «Экономика и организация разработок, освоения и производства изделий микроэлектроники». - Москва, «Высшая школа», 1987.