PALADIN / RESENZIA

Содержание.

Введение.......................................................................................

Глава 1. Многоуровневая металлизация. Проблема неровности профиля изоляционного слоя. 1.1. Многоуровневая металлизация в современных СБИС................................................................................. 1.2. Технология создания слоя металлизации в многоуровневых структурах............................................... 1.3. Анализ структуры после химико-механического полирования......................................................................

Глава 2. Метод уменьшения неровности профиля изоляционного слоя. 2.1. Метод снижения неровности поверхности................ 2.2. Структура процесса разработки фотошаблона......... 2.3. Этап коррекции фотошаблона.................................. 2.4. Общая характеристика средств описания топологии........................................................................

Глава 3. Алгоритм коррекции фрагмента топологии. 3.1. Общее описание алгоритма коррекции слоя металлизации.......................................................... 3.2. Описание алгоритма коррекции фрагмента.............. 3.2.1. Основные представления и понятия.................... 3.2.2. Общее описание алгоритма коррекции фрагмента..................................................................... 3.2.3. Детальное описание алгоритма...........................

Глава 4. Программная реализация алгоритма и результаты тестирования. 4.1. Общее описание программы.................................... 4.2. Тестовые примеры.................................................... 4.3. Временная оценка работы программы.....................

Глава 5. Организационно - экономический раздел. Расчет годового экономического эффекта от внедрения системы автоматической коррекции шаблонов БИС. 5.1. Общие положения..................................................... 5.2. Методика расчета годового экономического эффекта от внедрения САПР........................................... 5.3. Расчет годовой экономии......................................... 5.4. Расчет дополнительных капитальных вложений........ 5.5. Данные для расчета.................................................. 5.6. Расчет годового экономического эффекта и ожидаемых технико - экономических показателей.......... 5.7. Вывод.......................................................................

Глава 6. Раздел «Производственно-Экологическая безопасность». Электробезопасность в помещениях вычислительных центров. 6.1. Анализ вредных воздействий на организм человека при работе на ЭВМ .......................................... 6.2. Электроопасность при работе с ЭВМ....................... 6.3. Факторы влияющие на степень поражения электрическим током...................................................... 6.4. Медицинская помощь при поражении электрическим током....................................................... 6.5. Организационные и технические мероприятия по безопасности эксплуатации........................................ 6.6. Вывод.......................................................................

Заключение...................................................................................

Список используемой литературы.................................................

Приложение. Текст основных процедур, реализующих алгоритм.................................................................

Рецензия

на дипломную работу студента гр. ЭКТ-66 Кондратовича Дмитрия Винариевича

Тема: Разработка программы автоматической коррекции шаблонов

Темой данного дипломного проекта является разработка программы автоматической коррекции шаблонов. В дипломной работе Кондратовича Д.В. рассмотрена проблема, возникающая на этапе формирования уровня металлизации при создании кристалла СБИС, и метод, позволяющий устранить ее. В настоящее время проблема весьма актуальна, и ее решение позволит увеличить выход годных кристаллов СБИС.

Дипломная работа состоит из введения, шести разделов, заключения, списка литературы и необходимых приложений.

Во ведении показана актуальность задачи, решаемой в дипломном проекте.

В первой части работы рассмотрена упрощенная технология создания уровня металлизации СБИС и проблема, возникающая после этапа химико-механического полирования.

Вторая часть посвящена изучению причин, ведущих к возникновению проблемы и рассматривается метод устранения этих причин.

В третьей части дипломной работы описывается алгоритм, позволяющий проводить коррекцию топологических данных для изготовления шаблона металлизации в целях ликвидации возникающих трудностей.

В четвертой части приводится работа по программной реализации алгоритма для тестирования качества алгоритма. Приведены результаты работы программы на конкретных фрагментах топологии уровней металлизации. Оценена временная сложность программы.

В экономической части произведена оценка годового экономического эффекта от внедрения программного продукта в САПР СБИС.

Раздел производственной безопасности содержит анализ электробезопасности в помещениях вычислительных центров.

В целом дипломный проект выполнен на высоком техническом уровне. Хорошо освещены трудности, встающие при формирования слоя металлизации кристалла СБИС, описана методика их устранения и выполнена программная реализация указанной методики .

К недостаткам работы можно отнести недоработанность интерфейсной части программы с существующими форматами топологических данных, что не позволяет произвести непосредственное внедрение программы в САПР СБИС, а также сжатое изложение анализа полученных результатов.

Считаю ,что данная дипломная работа выполнен на оценку «отлично», а Кондратович Д.В. заслуживает присвоения квалификации инженер - физик.

Рецензент: