Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
17
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
1.03 Mб
Скачать

Технологическая

Сечения для моделирования в Prowize

Топология DV-триггера

Часть

Результаты моделирования в Prowize

Критическая операция: Литография

Рис Зависимость предельной теоретической разрешающей способности литографии от длины волны излучения и энергии заряженных частиц.

1 — контактная (теневая) печать, зазор 20 мкм,

2 — проекционная печать

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Оставленные комментарии видны всем.

Соседние файлы в папке Диплом