Технологическая

Сечения для моделирования в Prowize

Топология DV-триггера

Часть

Результаты моделирования в Prowize

Критическая операция: Литография

Рис Зависимость предельной теоретической разрешающей способности литографии от длины волны излучения и энергии заряженных частиц.

1 — контактная (теневая) печать, зазор 20 мкм,

2 — проекционная печать