Добавил:
korayakov
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Бакалаврский диплом (каф. ИЭМС) / Диплом / плакаты2
.docТехнологическая
Сечения для моделирования в Prowize
Топология DV-триггера
Часть
Результаты моделирования в Prowize
Критическая операция: Литография
Рис Зависимость предельной теоретической разрешающей способности литографии от длины волны излучения и энергии заряженных частиц.
1 — контактная (теневая) печать, зазор 20 мкм,
2 — проекционная печать
Соседние файлы в папке Диплом
Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.
Оставленные комментарии видны всем.