
Бакалаврский диплом (каф. ИЭМС) / Диплом / вывод
.docВыводы по работе в целом:
В данной выпускной работе было произведено схемотехническое и топологическое проектирование и моделирование, и составлен маршрут изготовления суммирующего счётчика с параллельным переносом.
- Технологический базис устройства – 1.2 мкм
- Быстродействие – 20МГц ( 50МГц - максимально возможное)
- Напряжение питания – 5 В
- Потребляемая мощность: рабочая - 2 мВт
максимальная - 4 мВт
Было проведено моделирование схемы при изменении параметров(cн=7.5 пФ и Uип=3.6В) в результате которого было выявлено,что схема при данных значениях не работает.
Все требования технического задания соблюдены.
Технология изготовления: однокарманная,самосовмещённая с поликремниевым затвором.
В качестве критической операции рассмотрена операция фотолитографии,как наиболее критичная в сфере уменьшения размеров.
При разработке использовались следующие программные продукты:
1)Shematics из пакета OrCAD - для разработки и схемотехнического моделирования
2)DSCH заданного устройства
3)Microwind - для топологического проектирования
4)Prowize - для расчёта технологических параметров
Заключение
Подводя итоги можно сказать,что ключевой проблемой в развитии микроэлектронной технологии всегда было совершенствование литографического процесса и прежде всего обеспечения соответствующего разрешения и прецизионности. При переходе к субмикронному диапазону топологических размеров элементов СБИС роль литографии становится основной и правильный выбор метода определяет эффективность разрабатываемой базовой технологии в целом.