Бакалаврский диплом (каф. ИЭМС) / Диплом / вывод

Выводы по работе в целом:

В данной выпускной работе было произведено схемотехническое и топологическое проектирование и моделирование, и составлен маршрут изготовления суммирующего счётчика с параллельным переносом.

- Технологический базис устройства – 1.2 мкм

- Быстродействие – 20МГц ( 50МГц - максимально возможное)

- Напряжение питания – 5 В

- Потребляемая мощность: рабочая - 2 мВт

максимальная - 4 мВт

Было проведено моделирование схемы при изменении параметров(c_н=7.5 пФ и U_ип=3.6В) в результате которого было выявлено,что схема при данных значениях не работает.

Все требования технического задания соблюдены.

Технология изготовления: однокарманная,самосовмещённая с поликремниевым затвором.

В качестве критической операции рассмотрена операция фотолитографии,как наиболее критичная в сфере уменьшения размеров.

При разработке использовались следующие программные продукты:

1)Shematics из пакета OrCAD - для разработки и схемотехнического моделирования

2)DSCH заданного устройства

3)Microwind - для топологического проектирования

4)Prowize - для расчёта технологических параметров

Заключение

Подводя итоги можно сказать,что ключевой проблемой в развитии микроэлектронной технологии всегда было совершенствование литографического процесса и прежде всего обеспечения соответствующего разрешения и прецизионности. При переходе к субмикронному диапазону топологических размеров элементов СБИС роль литографии становится основной и правильный выбор метода определяет эффективность разрабатываемой базовой технологии в целом.