Гл.2 Технологическая часть. Задание на технологическую часть работы:

Разработать технологический маршрут изготовления КМОП инвертора для суммирующего счётчика с параллельным переносом на JK-триггерах со следующими параметрами:

- технологический базис - 1.2 мкм – 2 слоя металлизации

- напряжение питания - U­_ип= 5 В

- пороговое напряжение n-канального транзистора – U_пор=0.7 В

- пороговое напряжение p-канального транзистора – U_пор= - 0.76 В

- толщина подзатворного окисла - d_ок= 30нм

Разработка топологического маршрута

Маршрут изготовления КМОП пары

17