ЧФ ПНИПУ. Лабораторные работы по физике
Министерство образования и науки российской федерации
Чайковский филиал
федерального государственного бюджетного
образовательного учреждения высшего профессионального образования
"Пермский национальный исследовательский политехнический университет"
(ЧФ ПНИПУ)
Кафедра гуманитарных и естественнонаучных дисциплин
Лаборатория физики
Оптика
Лабораторная работа №4
“Определение шероховатости поверхности
с помощью микроинтерферометра Линника”
2011
Цель работы: познакомиться с принципом действия и устройством МИИ-4. Определить шероховатость поверхности.
Приборы и материалы: микроинтерферометр Линника МИИ-4, исследуемые образцы.
Принцип действия и описание прибора
Микроинтерферометр Линника предназначен для визуальной оценки, измерения и фотографирования неровностей поверхностей после различных видов механической обработки. Прибор позволяет измерить высоту неровностей в пределах от 0,8 до 0,05 микрона, что соответствует 10–14 классам чистоты поверхности. Наблюдения могут вестись как в обычном, так и в монохроматическом свете.
Действие микроинтерферометра Линника основано на явлении интерференции света. Как известно, интерферировать могут только когерентные лучи, для получения которых необходимо разделить световые лучи, исходящие от одного источника света, и направить их разными путями в точку, где наблюдается интерференция.
В
микроинтерферометре Линника пучок
света от источникаS,
расположенного в фокальной плоскости
объектива 1 (рис. 1),
направляется параллельным пучком к
разделительной пластинке 3. На задней
стороне пластинки нанесен тонкий слой
серебра, делящий этот пучок пополам.
Половина пучка, отраженная от задней
стороны пластинки, собирается в фокусе
объектива 2 на испытуемой поверхности
М1,
отражается от неё, снова проходит
объектив 2, пластинку 3 и собирается в
фокальной плоскости окуляра 6, где
наблюдается изображение испытуемой
поверхности.
Вторая половина пучка, прошедшая посеребренную поверхность, собирается в фокальной плоскости объектива 5 на зеркале М2, отображается от посеребренной поверхности пластинки 3 и также собирается в фокальной плоскости окуляра 6. В этой плоскости и происходит интерференция раздельных пучков света. Так как первый пучок лучей проходит пластинку 3 два раза, а второй не проходит этой пластинки, то на пути второго пучка ставится пластинка 4, компенсирующая добавочную разность хода.
На рис. 1 показан только ход центральных лучей от источника. В общем случае разность хода лучей, а следовательно, и вид интерференционной картины, обусловлены неравенством плеч интерферометра, шероховатостью испытуемой поверхности и углами, которые образуют падающие лучи с поверхностями М1 и М2. Если исследуемая поверхность абсолютно гладкая, то интерференционная картина состоит из системы темных и светлых полос. Темным полосам (минимумам) соответствует разность хода между лучами, отраженными и прошедшими через посеребренную поверхность пластинки 3, равная /2, 3/2, 5/2 и т.д.; светлым (максимумам) – 0, , 2, 3… Если на исследуемой поверхности имеется впадина глубиной /2, то для соответствующих лучей возникает добавочная разность хода, равная , т.к. свет проходит эту впадину дважды. При этом соответствующая интерференционная полоса искривляется и достигает полосы следующего порядка.
Таким
образом, глубина неровности испытуемой
поверхности, равная /2,
вызывает искривление интерференционной
полосы на величину h0
одного интервала между полосами. Тогда
искривление полосы на величину h
будет вызвано глубиной неровности Н,
которую найдем, составив пропорцию:
![]()
Откуда
(1)
В
ид
интерференционной картины в поле зрения
микроинтерферометра представлен нарис. 2.
С помощью микроинтерферометра Линника
можно достаточно точно измерить изгиб
в 0,1 интервала между полосами (h/h0=0,1),
что соответствует высоте неровности
при измерении в белом свете (=0,55 мк):
.
М
икроинтерферометр
МИИ-4 имеет круглое основание 1 (рис. 3),
на котором может быть установлена
фотокамера или рамка с матовым стеклом
2. К верхнему торцу основания привинчена
полая колонка 3, несущая предметный
столик 11, который при помощи двух
микрометрических винтов 10 может
перемещаться в двух взаимно перпендикулярных
направлениях. Кроме того, столик может
поворачиваться вокруг вертикальной
оси и стопориться винтом 13. В колонке
под углом 70˚ к вертикальной оси расположен
наблюдательный тубус с окулярным
микрометром. На тубусе имеется кольцо
4, вращением которого можно вводить в
оптическую систему отражательное
зеркало.
Винт 18 служит для фокусировки микроскопа на объект.
Интерференционная головка содержит: осветитель 6 с винтами 5 и 7 для центрирования лампы; горизонтально выдвигающуюся пластинку 8 с тремя отверстиями в двух поставлены светофильтры: зеленый з=0,543 мк и красный к=0,602 мк; кольцо 9 с накаткой – для измерения диаметра апертурной диафрагмы; рукоятку 14 для включения шторки; винт 17, вращением которого вокруг своей оси можно изменять ширину интерференционных полос, а вращением вокруг всей интерференционной головки – направление полос; винт 16 для смещения интерференционных полос в поле зрения микроскопа.
